專利名稱：一種檢測(cè)晶片的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體器件制造控制系統(tǒng)，即離子注入機(jī)，特別地，涉及一種用于檢測(cè)機(jī)械手上晶片的方法。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體制造工藝設(shè)備離子注入機(jī)中，晶片的傳片系統(tǒng)是整機(jī)重要組成部分，它不僅實(shí)現(xiàn)晶片在靶室里的傳送，而且要達(dá)到高效率的傳片。在晶片傳送的過(guò)程中，我們采用機(jī)械手臂來(lái)傳送晶片，首先晶片是放在load port的晶片盒子里，需要通過(guò)機(jī)械手將晶片取出來(lái)放到load lock中,其次,在等到機(jī)械手把load lock中的晶片取出來(lái),當(dāng)在機(jī)械手腔中時(shí)，系統(tǒng)需要檢測(cè)機(jī)械手臂上是否有晶片，此時(shí)激光器發(fā)出激光，接收器判斷是否接收到激光，若接收到激光，表示機(jī)械手上無(wú)晶片，進(jìn)入等待過(guò)程，接收器沒(méi)有接收到激光時(shí)，則有晶片在機(jī)械手上，進(jìn)入相應(yīng)下一步的操作。判斷機(jī)械手上是否有晶片對(duì)于下一步的操作是 非常重要的，通過(guò)判斷是否有晶片來(lái)決定機(jī)械手臂如何傳送晶片。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是針對(duì)現(xiàn)有離子注入機(jī)傳片系統(tǒng)中，檢測(cè)晶片是一項(xiàng)必須的過(guò)程，不僅給傳片過(guò)程帶來(lái)方便，而且提高傳片系統(tǒng)的效率。使機(jī)械手傳片更準(zhǔn)確。本發(fā)明通過(guò)以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)I. 一種檢測(cè)晶片的方法，包括激光器⑴、接收器(2)、晶片(3)，其特征在于其中所述激光器⑴發(fā)出激光，在無(wú)晶片(3)的情況下，接收器⑵準(zhǔn)確接收到激光，在有晶片⑶時(shí)，激光被晶片⑶擋住，反射光方向改變，接收器⑵接收不到激光。此檢測(cè)晶片的方法簡(jiǎn)單可靠，由于是激光檢測(cè)能更快的檢測(cè)到有無(wú)晶片。2. 一種檢測(cè)晶片的方法，包括激光器⑴、接收器(2)、晶片(3)，其特征在于其中所述激光器(I)發(fā)射激光，接收器(2)用來(lái)接收激光，接收器(2)是否接收到激光，判定是否有晶片(3)存在。本發(fā)明解決了晶片是否在機(jī)械手上的問(wèn)題，提高了機(jī)械手的傳片效率以及它的準(zhǔn)確度。


圖I是本發(fā)明的一種檢測(cè)晶片的方法的示意圖。
具體實(shí)施例方式下面結(jié)合附圖的具體實(shí)施例對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步介紹，應(yīng)該理解，這些描述都是說(shuō)明性的，本發(fā)明不限于此。本發(fā)明的范圍僅由所附權(quán)利要求的范圍所限定。圖I示意出一種檢測(cè)晶片的方法，包括激光器(I)、接收器(2)、晶片⑶激光器(I)發(fā)出激光，在無(wú)晶片(3)的情況下，接收器(2)準(zhǔn)確接收到激光，表明無(wú)晶片。在有晶片(3)時(shí)，激光被晶片(3)擋住，反射光方向改變，接收器(2)接收不到激光。表明有晶片。此檢測(cè)晶片的方法簡(jiǎn)單可靠，由于是激光檢測(cè)能更快的檢測(cè)到有無(wú)晶片。本發(fā)明的特定實(shí)施例已對(duì)本發(fā)明的內(nèi)容做了詳盡說(shuō)明。對(duì)本領(lǐng)域一般技術(shù)人員而言，在不背離本發(fā)明精神的前提下對(duì)它所做的任何顯而易見(jiàn)的改動(dòng)，或者慣用手段的直接替換，都構(gòu)成對(duì)本發(fā)明專利的侵犯，將承擔(dān)相應(yīng)的法律責(zé)任?！?br> 權(quán)利要求
1.一種檢測(cè)晶片的方法，包括激光器(I)、接收器(2)、晶片(3)，其特征在于 其中所述激光器⑴發(fā)出激光，在無(wú)晶片⑶的情況下，接收器⑵準(zhǔn)確接收到激光，在有晶片(3)時(shí)，激光被晶片(3)擋住，反射光方向改變，接收器(2)接收不到激光，此檢測(cè)晶片的方法簡(jiǎn)單可靠，由于是激光檢測(cè)能更快的檢測(cè)到有無(wú)晶片。
2.權(quán)利要求I的一種檢測(cè)晶片的方法，其中所述激光器⑴發(fā)射激光，接收器(2)用來(lái)接收激光，接收器(2)是否接收到激光，判定是否有晶片(3)存在。
全文摘要
一種檢測(cè)晶片的方法，包括激光器(1)、接收器(2)、晶片(3)。其特征在于，其中所述激光器(1)發(fā)出激光，在無(wú)晶片(3)的情況下，接收器(2)準(zhǔn)確接收到激光，在有晶片(3)時(shí)，激光被晶片(3)擋住，反射光方向改變，接收器2接收不到激光。此檢測(cè)晶片的方法簡(jiǎn)單可靠，由于是激光檢測(cè)能更快的檢測(cè)到有無(wú)晶片。
文檔編號(hào)H01L21/66GK102956518SQ20111024115
公開(kāi)日2013年3月6日 申請(qǐng)日期2011年8月22日 優(yōu)先權(quán)日2011年8月22日
發(fā)明者林萍, 彭彬, 伍三忠 申請(qǐng)人:北京中科信電子裝備有限公司