專利名稱：一種微機(jī)械圓盤諧振器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于射頻通信及微電子機(jī)械(MEMQ領(lǐng)域中的電子元器件設(shè)計(jì)制造技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種微機(jī)械圓盤式諧振器的制造；該諧振器可在無線通信手持設(shè)備的濾波電路和高Q值參考振蕩電路等中得到廣泛應(yīng)。
背景技術(shù)：
射頻諧振器是射頻電路的基本元件，廣泛應(yīng)用于濾波、振蕩和可調(diào)放大等電路以及頻率計(jì)中。微機(jī)械圓盤諧振器是近幾年發(fā)展起來的一種射頻諧振器。像其它射頻諧振器一樣，它可以應(yīng)用在無線通信領(lǐng)域中，如射頻收發(fā)系統(tǒng)、衛(wèi)星定位系統(tǒng)以及雷達(dá)通信系統(tǒng)等。相比其它射頻諧振器，微機(jī)械圓盤諧振器具有高Q(儲能與耗能之比)值、小型化、輕量化、智能化、低功耗和低成本特點(diǎn)，滿足目前的移動通信手機(jī)、英特網(wǎng)商務(wù)無線接入系統(tǒng)、藍(lán)牙系統(tǒng)、全球定位系統(tǒng)等提出的要求。近年來，國內(nèi)外微機(jī)械圓盤諧振器研究取得了一些突破，振動微機(jī)械圓盤諧振器的諧振頻率被提高到特(超)高頻中段(mid-UHF range)，Q值也已經(jīng)超過了 10000，這使它能夠應(yīng)用于無線通信手持設(shè)備的濾波電路和高Q值參考振蕩電路。由于振動微機(jī)械圓盤諧振器輸入電壓到短路輸出電流的傳遞函數(shù)可以表示為 、=丄2⑷巢 2(1)
權(quán)利要求
1.一種微機(jī)械圓盤諧振器，包括基片、以及設(shè)于基片上的帶直流偏置導(dǎo)線的振動圓盤， 設(shè)于振動圓盤兩則、且分別帶輸入連接線的環(huán)片式交流輸入電極和帶輸出連接線的環(huán)片式交流輸出電極，其特征在于在諧振器內(nèi)還分別設(shè)有一對用于輸入電極及輸出電極定位的固定條和一對懸置式波紋梁；振動圓盤仍通過設(shè)于該圓盤底部中心的點(diǎn)狀支承與基片固定， 輸入電極及輸出電極環(huán)片的兩內(nèi)端分別與對應(yīng)固定條的定位面連接固定，兩對固定條分別與交流輸入接頭及交流輸出接頭連接，輸入電極及輸出電極的外側(cè)分別與對應(yīng)的一對波紋梁的內(nèi)端連接、各波紋梁的外端則分別通過相應(yīng)的支承柱固定于諧振器基片上。
2.按權(quán)利要求1所述微機(jī)械圓盤諧振器，其特征在于所述輸入、輸出電極內(nèi)側(cè)的圓弧曲率半徑大于對應(yīng)振動圓盤外圓的曲率半徑時，環(huán)片式交流輸入、輸出電極與振動圓盤圓周之間的縫隙為楔子形縫隙，楔子形縫隙的寬度為0-50nm。
3.按權(quán)利要求1或2所述微機(jī)械圓盤諧振器，其特征在于所述輸入、輸出電極內(nèi)側(cè)圓弧的曲率半徑為所對應(yīng)振動圓盤曲率半徑的101-102%、圓弧的弧長均為三分之二 π弧度 (2 π /3)。
全文摘要
該發(fā)明屬于一種微機(jī)械圓盤諧振器，包括基片、帶直流偏置導(dǎo)線的振動圓盤，設(shè)于振動圓盤兩則、且分別帶輸入連接線、波紋梁的環(huán)片式輸入電極和帶輸出連接線、波紋梁的環(huán)片式輸出電極，分別與兩電極固定的固定條。該發(fā)明由于將傳統(tǒng)微機(jī)械圓盤諧振器中固定于基片上的輸入、輸出電極改為懸置式，并增設(shè)一對將輸入及輸出電極定位的固定條和一對懸置式波紋梁，從而在生產(chǎn)過程中可方便調(diào)節(jié)兩電極與振動圓盤之間的距離。該發(fā)明兩電極與振動圓盤之間的縫隙可小到0-50nm，在相同電壓的條件下、其輸出的電流較背景技術(shù)增大了近2倍，換能效率大為提高；從而具有振動圓盤與輸入、輸出電極之間的縫隙小，可有效提高諧振器的換能效率、降低生產(chǎn)成本等特點(diǎn)。
文檔編號H01P7/00GK102280682SQ20111007439
公開日2011年12月14日 申請日期2011年3月27日 優(yōu)先權(quán)日2011年3月27日
發(fā)明者何宗郭, 何月, 杜亦佳, 蔣俊文, 鄧成, 鮑景富 申請人:電子科技大學(xué)