專利名稱：有機(jī)薄膜太陽能電池模塊的制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及在同一基板上集成有多個(gè)有機(jī)光電轉(zhuǎn)換元件的有機(jī)薄膜太陽能電池模塊的制造方法、以及可很好地用于所述的制造方法的制造裝置。
背景技術(shù)：
有機(jī)薄膜太陽能電池模塊通常通過包括如下工序的制造方法進(jìn)行制造(1)準(zhǔn)備基板的工序，⑵在基板上形成第1電極的工序，⑶在上述第1電極上形成第1電荷傳輸層的工序，(4)在上述第1電荷傳輸層上形成活性層的工序，( 在上述活性層上形成第2 電荷傳輸層的工序，和(6)在上述第2電荷傳輸層上形成第2電極的工序。S卩，有機(jī)薄膜太陽能電池模塊可通過依次使電荷傳輸層、活性層這樣的多層的功能層成膜而進(jìn)行制造。各功能層可在每次對應(yīng)的成膜工序分別結(jié)束時(shí)，通過與各功能層的材料等相應(yīng)的任意適合的圖案形成工序使所述各功能層形成為所需的形狀。例如，就制造色素敏化型的太陽能電池而言，已知如下的圖案形成工序，即，利用烙鐵或加熱激光刀(heated rezor blade)之類的加熱針(heated stylus)狀的刀刃結(jié)構(gòu)體將導(dǎo)電層燒斷，從而在基板上將導(dǎo)電層截?cái)嗟墓ば?參照專利文獻(xiàn)1)。另外，制造具有黃銅礦型的光吸收層的無機(jī)薄膜太陽能電池時(shí)，已知如下的圖案形成工序，即，通過使利用激光照射的加熱除去與使用金屬針的機(jī)械性切削這樣的不同的方法組合而進(jìn)行元件分離的工序(參照專利文獻(xiàn)2)。專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)1 美國專利公開第20040031520號公報(bào)專利文獻(xiàn)2 日本特開2007-317885號公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
但是，如果將上述現(xiàn)有的、利用熱的圖案形成工序應(yīng)用于有機(jī)薄膜太陽能電池模塊的制造方法，則活性層這樣的功能層所含的有機(jī)化合物有時(shí)會因熱而失活或發(fā)生分解， 或者有時(shí)會損傷例如基板等位于比圖案形成對象的層更下側(cè)的構(gòu)成。另外，例如有機(jī)薄膜太陽能電池模塊所具有的、含有有機(jī)化合物的有機(jī)薄膜與無機(jī)膜比較是極其柔軟的，并且與下方緊鄰的層的密合性低，因此在以往基于機(jī)械性切削的圖案形成工序中，有時(shí)會引起層發(fā)生剝離等的層結(jié)構(gòu)的破壞。結(jié)果，有機(jī)光電轉(zhuǎn)換元件有時(shí)發(fā)生工作不良的狀況。另外， 由于切削會產(chǎn)生大量的粉塵，所以有機(jī)光電轉(zhuǎn)換元件有時(shí)發(fā)生工作不良的狀況，另外，為了除去(除塵)粉塵而進(jìn)一步需要除塵用的設(shè)備。本發(fā)明人針對有機(jī)薄膜太陽能電池模塊及其制造方法進(jìn)行了深入的研究，從而完成了本發(fā)明。即，本發(fā)明提供下述有機(jī)薄膜太陽能電池模塊的制造方法及其制造裝置。[1] 一種有機(jī)薄膜太陽能電池模塊的制造方法，其特征在于，是在基板上配置有多個(gè)有機(jī)光電轉(zhuǎn)換元件的有機(jī)薄膜太陽能電池模塊的制造方法，所述有機(jī)光電轉(zhuǎn)換元件具有包含由第1電極和第2電極構(gòu)成的一對電極、以及夾持在上述一對電極之間的1層有機(jī)薄膜或1層以上有機(jī)薄膜的層疊結(jié)構(gòu)；該方法包括切斷工序，所述切斷工序是在未加熱下，使用刀刃結(jié)構(gòu)體將包含1層有機(jī)薄膜或1層以上有機(jī)薄膜的層疊結(jié)構(gòu)切斷，從而形成貫通包含所述1層有機(jī)薄膜或所述1層以上有機(jī)薄膜的層疊結(jié)構(gòu)而使在其正下方設(shè)置的層的表面露出的槽部的工序。[2] 一種有機(jī)薄膜太陽能電池模塊的制造方法，其特征在于，包括在基板的主面上形成多個(gè)第1電極的工序；在形成于基板上的第1電極上形成第1電荷傳輸層的工序；在多個(gè)第1電極彼此之間的區(qū)域形成貫通第1電荷傳輸層而使基板的主面露出的第1槽部的第1切斷工序；形成覆蓋在上述第1電荷傳輸層上的活性層、和覆蓋在所述活性層上的第2 電荷傳輸層的工序；形成貫通第1電荷傳輸層、活性層和第2電荷傳輸層而使第1電極的一部分露出的第2槽部的第2切斷工序；形成覆蓋在第2電荷傳輸層上且填埋第2槽部的第 2電極的工序；以及形成貫通第2電極、第2電荷傳輸層、活性層和第1電荷傳輸層而使第1 電極的一部分露出的第3槽部，從而對多個(gè)有機(jī)光電轉(zhuǎn)換元件進(jìn)行元件分離的第3切斷工序；并且，上述第1切斷工序、上述第2切斷工序和上述第3切斷工序中的至少一種切斷工序是在未加熱下，使用刀刃結(jié)構(gòu)體而進(jìn)行的工序。[3]根據(jù)[1]或[2]所述的有機(jī)薄膜太陽能電池模塊的制造方法，其中，切斷工序是通過使用圓盤狀刀刃結(jié)構(gòu)體的壓切(push cutting)加工而進(jìn)行的工序。[4]根據(jù)[1]或[2]所述的有機(jī)薄膜太陽能電池模塊的制造方法，其中，切斷工序是通過使用針狀刀刃結(jié)構(gòu)體的拉切(pull cutting)加工而進(jìn)行的工序。[5]根據(jù)[1]或[2]所述的有機(jī)薄膜太陽能電池模塊的制造方法，其中，切斷工序是通過使用平刃狀刀刃結(jié)構(gòu)體的拉切(pull cutting)加工而進(jìn)行的工序。[6]根據(jù)[4]或[5]所述的有機(jī)薄膜太陽能電池模塊的制造方法，其中，切斷工序是使刀刃結(jié)構(gòu)體與作為切斷對象的有機(jī)薄膜所成的角成為30° 60°而進(jìn)行的工序。[7]根據(jù)[1] W]中任一項(xiàng)所述的有機(jī)薄膜太陽能電池模塊的制造方法，其中， 刀刃結(jié)構(gòu)體的材料是選自金屬、合金、陶瓷和樹脂中的材料。[8]根據(jù)[1] [7]中任一項(xiàng)所述的有機(jī)薄膜太陽能電池模塊的制造方法，其中， 刀刃結(jié)構(gòu)體的尖端部的曲率半徑為5μπι ΙΟΟΟμπι。[9] 一種有機(jī)薄膜太陽能電池模塊，其特征在于，能夠利用[1] [8]中任一項(xiàng)所述的制造方法進(jìn)行制造。[10] 一種有機(jī)薄膜太陽能電池模塊制造用的制造裝置，其特征在于，具有支承且輸送設(shè)有有機(jī)薄膜的基板的輸送輥、和在未加熱的狀態(tài)下接觸于被輸送輥支承的基板的有機(jī)薄膜并將所述有機(jī)薄膜切斷的刀刃結(jié)構(gòu)體。[11]根據(jù)[10]所述的有機(jī)薄膜太陽能電池模塊制造用的制造裝置，其中，刀刃結(jié)構(gòu)體為能夠進(jìn)行壓切加工的圓盤狀。[12]根據(jù)[10]所述的有機(jī)薄膜太陽能電池模塊制造用的制造裝置，其中，刀刃結(jié)構(gòu)體為針狀。[13]根據(jù)[10]所述的有機(jī)薄膜太陽能電池模塊制造用的制造裝置，其中，刀刃結(jié)構(gòu)體為平刃狀。


圖1是表示利用本發(fā)明的制造方法制造的有機(jī)薄膜太陽能電池模塊的構(gòu)成的示意性剖面圖。圖2-1是表示第1實(shí)施方式的制造裝置的示意性側(cè)視圖。圖2-2是表示第1實(shí)施方式的制造裝置的示意性主視圖。圖3-1是表示第2實(shí)施方式的制造裝置的示意性側(cè)視圖。圖3-2是表示第2實(shí)施方式的制造裝置的示意性主視圖。圖4-1是表示第3實(shí)施方式的制造裝置的示意性側(cè)視圖。圖4-2是表示第3實(shí)施方式的制造裝置的示意性主視圖。圖5-1是表示切斷區(qū)域的光學(xué)顯微鏡圖像的照片(1)。圖5-2是表示切斷區(qū)域的光學(xué)顯微鏡圖像的照片(2)。圖5-3是表示切斷區(qū)域的光學(xué)顯微鏡圖像的照片(3)。符號說明10 基板IOA 電極形成區(qū)域IOB 非電極形成區(qū)域22 第 1 電極24 第 2 電極24a 觸點(diǎn)32:第1電荷傳輸層34 第2電荷傳輸層40 活性層50 層疊結(jié)構(gòu)體50A 第1層疊體50B 第2層疊體60 輸送輥70:刀刃結(jié)構(gòu)體70a 尖端部70b 針軸部80 割劃區(qū)域(切斷區(qū)域)100 有機(jī)薄膜太陽能電池模塊100A1 第1元件(形成區(qū)域)100A2 第 2 元件100B 元件間隔部(區(qū)域)C:中心旋轉(zhuǎn)軸Cl 第1中心旋轉(zhuǎn)軸C2 第2中心旋轉(zhuǎn)軸X 第1槽部Y 第2槽部
Z 第3槽部
具體實(shí)施例方式<有機(jī)薄膜太陽能電池模塊>本發(fā)明的有機(jī)薄膜太陽能電池模塊可采用與以往的太陽能電池模塊基本上相同的模塊結(jié)構(gòu)。一般而言，有機(jī)薄膜太陽能電池模塊采取在金屬、陶瓷等的基板(支承基板) 上構(gòu)成多個(gè)有機(jī)光電轉(zhuǎn)換元件(電池單元)，用填充樹脂、保護(hù)玻璃等覆蓋在所述有機(jī)光電轉(zhuǎn)換元件上，從基板的相反側(cè)進(jìn)行采光的結(jié)構(gòu)；也可以形成在基板中使用強(qiáng)化玻璃等透明材料，且在所述基板上構(gòu)成有機(jī)光電轉(zhuǎn)換元件，從所述基板的透明的基板側(cè)進(jìn)行采光的結(jié)構(gòu)。作為模塊結(jié)構(gòu)的例子，具體而言，已知被稱為超直型(Super Straight Type)、襯底型(Substrate Type)、灌封型(Potting Type)的模塊結(jié)構(gòu)，在無定形硅太陽能電池等中使用的基板一體型模塊結(jié)構(gòu)等。本發(fā)明的有機(jī)薄膜太陽能電池模塊可根據(jù)使用目的、使用場所和環(huán)境來適當(dāng)?shù)剡x擇從上述的模塊結(jié)構(gòu)。代表性的超直型(Super Straight Type)或襯底型(Substrate Type)的模塊結(jié)構(gòu)形成為如下結(jié)構(gòu)在單側(cè)或雙側(cè)為透明的且實(shí)施了防反射處理的基板之間，以恒定的間隔配置有機(jī)光電轉(zhuǎn)換元件，利用觸點(diǎn)電極(填埋電極)、金屬導(dǎo)線、撓性布線等使相鄰的有機(jī)光電轉(zhuǎn)換元件彼此相連，在外緣部配置集電電極，使所產(chǎn)生的電輸出至模塊外部的結(jié)構(gòu)。為了保護(hù)有機(jī)光電轉(zhuǎn)換元件、提高集電效率，可根據(jù)需要在基板與有機(jī)光電轉(zhuǎn)換元件之間，以膜或填充樹脂的形式使用乙烯醋酸乙烯酯(EVA)等各種塑料材料。另外，在來自外部的沖擊少等無需用硬的材料覆蓋表面的地方使用所述各種塑料材料的情況下，可利用透明塑料膜構(gòu)成表面保護(hù)層，另外，可通過使上述填充樹脂固化而賦予保護(hù)功能，從而去掉單側(cè)的基板。為了確保內(nèi)部的密封和模塊的剛性，用金屬制的框夾持基板的周圍而進(jìn)行固定，用密封材料對基板與框之間進(jìn)行密封。另外，如果在有機(jī)光電轉(zhuǎn)換元件自身、基板、填充材料和密封材料中使用撓性的材料，則還能夠在曲面上構(gòu)成有機(jī)光電轉(zhuǎn)換元件。在使用有聚合物膜等撓性支承體的太陽能電池模塊的情況下，可在送出輥狀的支承體的同時(shí)，依次在支承體上形成光電轉(zhuǎn)換元件，將其切斷為所需的尺寸，然后用具有撓性和防濕性的材料密封周邊部，從而制作所述太陽能電池模塊。另外，還可形成Solar Energy Materials and Solar Cells，48，p383_391 所記載的被稱為“SCAF”的模塊結(jié)構(gòu)。進(jìn)而，可以將使用了撓性支承體的太陽能電池模塊粘接固定于曲面玻璃等而加以使用。以下，參照附圖，對本發(fā)明詳細(xì)地進(jìn)行說明。在具有上述構(gòu)成的有機(jī)薄膜太陽能電池模塊中，對于框、保護(hù)部材這樣的外裝構(gòu)件而言，它們并不是本發(fā)明的要旨，因此，省略對它們的說明，而是以有機(jī)光電轉(zhuǎn)換元件及其制造方法為中心進(jìn)行說明。需要說明的是，在以下的說明中，各圖僅以能夠理解發(fā)明的程度示意性地表示了構(gòu)成要素的形狀、大小和配置，但是，本發(fā)明并不限于此。另外，在各圖中，對于相同的構(gòu)成成分，有時(shí)采用相同的符號進(jìn)行表示，并省略對其重復(fù)進(jìn)行說明。首先，對于可利用本發(fā)明的制造方法制造的有機(jī)薄膜太陽能電池模塊的構(gòu)成及其制造方法，參照圖1進(jìn)行說明。圖1是表示利用本發(fā)明的制造方法制造的有機(jī)薄膜太陽能電池模塊的構(gòu)成的示意性剖面圖。如圖1所示，有機(jī)薄膜太陽能電池模塊100包含具備由第1電極22和第2電極M 構(gòu)成的一對電極以及夾持在上述一對電極之間的活性層40，并且在基板10上進(jìn)行排列的多個(gè)有機(jī)光電轉(zhuǎn)換元件(第1元件100A1和第2元件100A2)。在上述一對電極中，至少使光入射側(cè)的電極，即，至少使一方的電極為能夠使發(fā)電所需要的波長的入射光(太陽光)透過的透明或半透明的電極。有機(jī)光電轉(zhuǎn)換元件具備由例如作為陽極的第1電極22和例如作為陰極的第2電極M構(gòu)成的一對電極、和夾持在該一對電極之間的活性層40。使第1電極22和第2電極 M的極性成為與元件結(jié)構(gòu)對應(yīng)的任意適合的極性即可，可以將第1電極22作為陰極且將第 2電極M作為陽極。作為透明或半透明的電極，可舉出導(dǎo)電性的金屬氧化物膜、半透明的金屬薄膜等。 作為電極，具體而言，可使用由氧化銦、氧化鋅、氧化錫、以及作為它們的復(fù)合體的銦錫氧化物(有時(shí)稱為ΙΤ0)、銦鋅氧化物等形成的導(dǎo)電性材料、NESA等，金、鉬、銀、銅等的膜；優(yōu)選為 ΙΤ0、銦鋅氧化物、氧化錫的膜。作為電極的制作方法的例子，可舉出真空蒸鍍法、濺射法、離子鍍法、鍍敷法等。另外，作為電極，可使用聚苯胺及其衍生物、聚噻吩及其衍生物等的有機(jī)的透明導(dǎo)電膜。作為不透明的電極的電極材料，可使用金屬、導(dǎo)電性高分子等。作為不透明的電極的電極材料的具體例，可舉出鋰、鈉、鉀、銣、銫、鎂、鈣、鍶、鋇、鋁、鈧、釩、鋅、釔、銦、鈰、釤、 銪、鋱、鐿等金屬；上述金屬中2種以上的合金；或者1種以上的上述金屬與選自金、銀、鉬、 銅、錳、鈦、鈷、鎳、鎢和錫的1種以上的金屬的合金；石墨、石墨層間化合物；聚苯胺及其衍生物、聚噻吩及其衍生物。作為合金，可舉出鎂-銀合金、鎂-銦合金、鎂-鋁合金、銦-銀合金、鋰-鋁合金、鋰-鎂合金、鋰-銦合金、鈣-鋁合金等。有機(jī)光電轉(zhuǎn)換元件通常在基板上形成。即，在基板10的主面上設(shè)置第1元件100A1 和第2元件100A2。所述基板10的材料只要是在形成電極和形成含有有機(jī)化合物的有機(jī)薄膜時(shí)不發(fā)生化學(xué)性變化的材料即可。作為基板10的材料的例子，可舉出玻璃、塑料、高分子膜、硅等。在基板10為不透過入射光的不透明的基板的情況下，優(yōu)選與第1電極22相對置的、設(shè)置于與基板側(cè)相反一側(cè)的第2電極即，距離基板10較遠(yuǎn)的一方的電極)為透明的電極，或者為能夠透過所需的入射光的半透明的電極。活性層40夾持在第1電極22與第2電極M之間。在該例中，活性層40是混合地含有受電子性化合物(η型半導(dǎo)體)和供電子性化合物(P型半導(dǎo)體)的、本體異質(zhì)結(jié)型的有機(jī)薄膜，其能夠利用入射光的能量生成電荷(空穴和電子)，是本質(zhì)上具有光電轉(zhuǎn)換功能功能的層。如上所述，有機(jī)光電轉(zhuǎn)換元件所含的活性層含有供電子性化合物和受電子性化合物。需要說明的是，供電子性化合物和受電子性化合物由這些化合物的能級的能量水平相對地確定，且1個(gè)化合物可成為供電子性化合物、受電子性化合物中的任一者。
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作為供電子性化合物的例子，可舉出吡唑啉衍生物、芳胺衍生物、芪衍生物、三苯基二胺衍生物、低聚噻吩及其衍生物、聚乙烯基咔唑及其衍生物、聚硅烷及其衍生物、側(cè)鏈或主鏈具有芳香族胺的聚硅氧烷衍生物、聚苯胺及其衍生物、聚噻吩及其衍生物、聚吡咯及其衍生物、聚苯乙炔及其衍生物、聚噻吩乙炔及其衍生物等。作為受電子性化合物的例子，可舉出噁二唑衍生物、蒽醌二甲烷及其衍生物、苯醌及其衍生物、萘醌及其衍生物、蒽醌及其衍生物、四氰基蒽醌二甲烷及其衍生物、芴酮衍生物、二氰基二苯乙烯及其衍生物、聯(lián)苯醌衍生物、8-羥基喹啉及其衍生物的金屬絡(luò)合物、聚喹啉及其衍生物、聚喹喔啉及其衍生物、聚芴及其衍生物、C60富勒烯等富勒烯類及其衍生物、浴銅靈等菲衍生物、氧化鈦等金屬氧化物、碳納米管等。作為受電子性化合物，優(yōu)選為氧化鈦、碳納米管、富勒烯、富勒烯衍生物，特別優(yōu)選為富勒烯、富勒烯衍生物。作為富勒烯的例子，可舉出C6tl富勒烯、C7tl富勒烯、C76富勒烯、(^富勒烯、C84富勒烯等。作為富勒烯衍生物，可舉出C6tl富勒烯、C7tl富勒烯、C76富勒烯、(^富勒烯、C84富勒烯各自的衍生物。作為富勒烯衍生物的具體結(jié)構(gòu)的例子，可舉出下述的結(jié)構(gòu)。[化1]
權(quán)利要求
1.一種有機(jī)薄膜太陽能電池模塊的制造方法，其是在基板上配置有多個(gè)有機(jī)光電轉(zhuǎn)換元件的有機(jī)薄膜太陽能電池模塊的制造方法，所述有機(jī)光電轉(zhuǎn)換元件具有包含由第1電極和第2電極構(gòu)成的一對電極、以及夾持在所述一對電極之間的、1層有機(jī)薄膜或者1層以上有機(jī)薄膜的層疊結(jié)構(gòu)；其特征在于，包括切斷工序，所述切斷工序是在未加熱下，使用刀刃結(jié)構(gòu)體將包含所述 1層有機(jī)薄膜或者1層以上有機(jī)薄膜的層疊結(jié)構(gòu)切斷，從而形成貫通包含所述1層有機(jī)薄膜或者所述1層以上有機(jī)薄膜的層疊結(jié)構(gòu)而使在其正下方設(shè)置的層的表面露出的槽部的工序。
2.一種有機(jī)薄膜太陽能電池模塊的制造方法，其特征在于，包括在基板的主面上形成多個(gè)第1電極的工序；在形成于基板上的第1電極上形成第1電荷傳輸層的工序；在多個(gè)第1電極彼此之間的區(qū)域，形成貫通第1電荷傳輸層而使基板的主面露出的第 1槽部的第1切斷工序；形成覆蓋在第1電荷傳輸層上的活性層以及覆蓋在所述活性層上的第2電荷傳輸層的工序；形成貫通第1電荷傳輸層、活性層和第2電荷傳輸層而使第1電極的一部分露出的第 2槽部的第2切斷工序；形成覆蓋在第2電荷傳輸層上且填埋第2槽部的第2電極的工序；以及形成貫通第2電極、第2電荷傳輸層、活性層和第1電荷傳輸層而使第1電極的一部分露出的第3槽部，從而對多個(gè)有機(jī)光電轉(zhuǎn)換元件進(jìn)行元件分離的第3切斷工序；其中，所述第1切斷工序、所述第2切斷工序和所述第3切斷工序中的至少一個(gè)切斷工序是在未加熱下，使用刀刃結(jié)構(gòu)體而進(jìn)行的工序。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的有機(jī)薄膜太陽能電池模塊的制造方法，其中，切斷工序是通過使用圓盤狀刀刃結(jié)構(gòu)體的壓切加工而進(jìn)行的工序。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的有機(jī)薄膜太陽能電池模塊的制造方法，其中，切斷工序是通過使用針狀刀刃結(jié)構(gòu)體的拉切加工而進(jìn)行的工序。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的有機(jī)薄膜太陽能電池模塊的制造方法，其中，切斷工序是通過使用平刃狀刀刃結(jié)構(gòu)體的拉切加工而進(jìn)行的工序。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的有機(jī)薄膜太陽能電池模塊的制造方法，其中，切斷工序是使刀刃結(jié)構(gòu)體與作為切斷對象的有機(jī)薄膜所成的角成為30° 60°而進(jìn)行的工序。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的有機(jī)薄膜太陽能電池模塊的制造方法，其中，刀刃結(jié)構(gòu)體的材料是選自金屬、合金、陶瓷和樹脂中的材料。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的有機(jī)薄膜太陽能電池模塊的制造方法，其中，刀刃結(jié)構(gòu)體的尖端部的曲率半徑為5 μ m 1000 μ m。
9.一種有機(jī)薄膜太陽能電池模塊，其特征在于，能夠利用權(quán)利要求1所述的制造方法進(jìn)行制造。
10.一種有機(jī)薄膜太陽能電池模塊制造用的制造裝置，其特征在于，具有支承且輸送設(shè)有有機(jī)薄膜的基板的輸送輥、和在未加熱的狀態(tài)下與被輸送輥支承的基板的有機(jī)薄膜接觸并將所述有機(jī)薄膜切斷的刀刃結(jié)構(gòu)體。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的有機(jī)薄膜太陽能電池模塊制造用的制造裝置，其中，刀刃結(jié)構(gòu)體為能夠進(jìn)行壓切加工的圓盤。
12.根據(jù)權(quán)利要求10所述的有機(jī)薄膜太陽能電池模塊制造用的制造裝置，其中，刀刃結(jié)構(gòu)體為針狀。
13.根據(jù)權(quán)利要求10所述的有機(jī)薄膜太陽能電池模塊制造用的制造裝置，其中，刀刃結(jié)構(gòu)體為平刃狀。
全文摘要
本發(fā)明提供一種無需損害功能就可進(jìn)行層分離的有機(jī)薄膜太陽能電池模塊。有機(jī)薄膜太陽能電池模塊的制造方法是在基板上配置有多個(gè)有機(jī)光電轉(zhuǎn)換元件的有機(jī)薄膜太陽能電池模塊(100)的制造方法，所述有機(jī)光電轉(zhuǎn)換元件具有由第1電極(22)和第2電極(24)構(gòu)成的一對電極、以及夾持在上述一對電極之間的1層有機(jī)薄膜或者夾持在上述一對電極之間的包含1層以上有機(jī)薄膜的層疊結(jié)構(gòu)；其中，所述制造方法包括切斷工序，所述切斷工序是在未加熱下，使用刀刃結(jié)構(gòu)體將1層有機(jī)薄膜或者包含1層以上有機(jī)薄膜的層疊結(jié)構(gòu)(50A)切斷，從而形成貫通所述1層有機(jī)薄膜或者所述包含1層以上有機(jī)薄膜的層疊結(jié)構(gòu)而使在其正下方設(shè)置的層的表面露出的槽部的工序。
文檔編號H01L51/42GK102598339SQ201080048728
公開日2012年7月18日 申請日期2010年10月26日 優(yōu)先權(quán)日2009年10月29日
發(fā)明者清家崇廣 申請人:住友化學(xué)株式會社