專利名稱：柔性基板位置控制設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及柔性基板位置控制設(shè)備，尤其涉及在傳輸柔性基板時(shí)在執(zhí)行諸如膜沉積的處理的處理設(shè)備中控制帶狀柔性基板在寬度方向上的位置的控制設(shè)備。
背景技術(shù)：
雖然剛性基板通常用于諸如半導(dǎo)體薄膜的薄膜層疊體的基板，但是為了改善生產(chǎn)率并降低成本，由于重量輕并能夠成輥地處理所以能提供較大的處理方便，也有使用諸如塑料膜的柔性基板的情況。例如，專利文獻(xiàn)1揭示了薄膜層疊體(薄膜光電轉(zhuǎn)換元件)的制造設(shè)備，它在柔性基板上層疊并形成不同性質(zhì)的多個(gè)薄膜，并使用在柔性基板的傳輸方向上排列的多個(gè)沉積單元繞成成品輥，同時(shí)間歇地以指定間距傳輸從退繞輥提供的帶狀柔性基板(聚酰亞胺膜)。專利文獻(xiàn)1 日本專利申請(qǐng)?zhí)卦S公開(kāi)No. 2005-72408

發(fā)明內(nèi)容
有兩種類型的這種薄膜層疊體制造設(shè)備，一種是以水平方位傳輸時(shí)執(zhí)行沉積，即在傳輸時(shí)帶狀柔性基板的寬度方向是水平方向，一種是以垂直方位傳輸時(shí)執(zhí)行沉積，即在傳輸時(shí)帶狀柔性基板的寬度方向是垂直方向。雖然與前者相比后者提供諸如安裝面積小和基板表面更抗污染等優(yōu)點(diǎn)，但是如果傳輸跨度變得過(guò)長(zhǎng)，它將變得難以對(duì)抗重力而保持恒定的傳輸高度，從而導(dǎo)致柔性基板表面出現(xiàn)皺紋或使得柔性基板下垂的趨勢(shì)變得顯著。專利文獻(xiàn)1揭示的設(shè)備用夾緊構(gòu)件(墊片)夾緊柔性基板的上下邊緣，并在柔性基板的分步傳輸?shù)耐Ｖ闺A段期間在寬度方向上拉伸。然而，由于該設(shè)備重復(fù)夾緊、拉伸和釋放柔性基板，所以它難以將柔性基板保持在恒定的傳輸高度，并且也不能實(shí)現(xiàn)在連續(xù)傳輸柔性基板時(shí)執(zhí)行沉積的連續(xù)沉積設(shè)備。因此，如圖IA至IC所示，本發(fā)明的發(fā)明人已開(kāi)發(fā)了一種設(shè)備，其中夾持柔性基板 1的上下邊緣的成對(duì)的上下夾持輥30和30'排列在構(gòu)成薄膜層疊體制造設(shè)備的各沉積單元20之間，夾持部分處各夾持輥的旋轉(zhuǎn)方向相對(duì)于柔性基板1的傳輸方向F具有朝向上對(duì)角方向和下對(duì)角方向的偏轉(zhuǎn)角+ θ和-θ，并且柔性基板1的傳輸高度通過(guò)允許向上和向下作用的提升力和下降力作用在柔性基板1的上下邊緣上來(lái)調(diào)節(jié)。雖然該設(shè)備在展開(kāi)柔性基板和調(diào)節(jié)柔性基板的傳輸高度方面是有利的，但它不能應(yīng)用于包括柔性基板在相反方向上傳輸?shù)耐鶑?fù)沉積過(guò)程。如果柔性基板在相反方向上傳輸，則歸因于上述偏轉(zhuǎn)角的提升力和下降力在相反的方向上作用，從而導(dǎo)致夾持輥30和 30'的問(wèn)題。鑒于以上原因，本發(fā)明的目的是提供一種柔性基板位置控制設(shè)備，它能夠以垂直方位傳輸帶狀柔性基板，同時(shí)抑制柔性基板出現(xiàn)下垂和皺紋，并且在實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量處理的同時(shí)，能夠適應(yīng)柔性基板在相反方向上的傳輸。為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的第一方面是一種處理設(shè)備中的柔性基板位置控制設(shè)備，該柔性基板位置控制設(shè)備以垂直方位在水平方向傳輸帶狀柔性基板，并由安裝在基板的傳輸路徑中的處理單元進(jìn)行基板的處理，該控制設(shè)備設(shè)置有一對(duì)夾持輥，夾持基板的上邊緣；支撐機(jī)構(gòu)，可旋轉(zhuǎn)地支撐一對(duì)夾持輥，同時(shí)允許這些輥彼此互相接觸和分離；施力裝置，用于經(jīng)由支撐機(jī)構(gòu)向所述一對(duì)夾持輥施加壓力；以及調(diào)節(jié)裝置，用于調(diào)節(jié)由施力裝置施加的壓力，其中，該對(duì)夾持輥具有傾斜度，其中相對(duì)于基板的夾持面的加壓方向?yàn)槌蚧鍖挾确较虻倪吘?，且該?duì)夾持輥由支撐機(jī)構(gòu)支撐，以使夾持面處的旋轉(zhuǎn)方向與基板的傳輸方向?yàn)橄嗤较颉４送?，為了?shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的第二方面是一種處理設(shè)備中的柔性基板位置控制設(shè)備，該柔性基板位置控制設(shè)備以垂直方位在水平方向傳輸帶狀柔性基板，并由安裝在基板的傳輸路徑中的處理單元進(jìn)行基板的處理，該控制設(shè)備設(shè)置有支撐機(jī)構(gòu)，可旋轉(zhuǎn)地支撐一對(duì)夾持輥，同時(shí)允許這些輥彼此互相接觸和分離；施力裝置，用于經(jīng)由支撐機(jī)構(gòu)向該對(duì)夾持輥施加壓力；以及調(diào)節(jié)裝置，用于調(diào)節(jié)由施力裝置施加的壓力，其中該對(duì)夾持輥具有傾斜度，其中各個(gè)輥的軸方向朝向基板寬度方向的邊緣移離基板的夾持面，且該對(duì)夾持輥由支撐機(jī)構(gòu)支撐，以使夾持面處的旋轉(zhuǎn)方向與基板的傳輸方向?yàn)橄嗤较?。在上述處理設(shè)備中，通過(guò)分別排列在處理單元(沉積單元)的上游和下游的諸如退繞輥的傳輸裝置，柔性基板以垂直方位傳輸，即在水平方向上寬度方向是垂直方向，并且柔性基板經(jīng)歷安裝在基板的傳輸路徑中的處理單元的諸如沉積的處理。此時(shí)，柔性基板的上邊緣由構(gòu)成位置控制設(shè)備的一對(duì)夾持輥來(lái)夾持。在第一方面中，由于一對(duì)夾持輥具有傾斜度，其中相對(duì)于基板的夾持面的加壓方向?yàn)槌蚧鍖挾确较虻倪吘?，因此由施力裝置施加的壓力具有相對(duì)于基板的夾持面的垂直加壓分量和沿基板的夾持面朝向基板的邊緣作用的展開(kāi)分量。因此，通過(guò)調(diào)節(jié)施力裝置的壓力并調(diào)節(jié)朝向基板的邊緣作用的展開(kāi)分量 (力分量)連同加壓分量，柔性基板在寬度方向上的垂直位置可被調(diào)節(jié)并且傳輸高度可保持恒定。另外，在第二方面，由于一對(duì)夾持輥具有傾斜度，其中各個(gè)輥的軸方向朝向基板寬度方向的邊緣移離基板的夾持面，所以相對(duì)于基板的夾持面朝向基板邊緣的展開(kāi)力由夾持輥的被動(dòng)旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生。因此，通過(guò)調(diào)節(jié)施力裝置的壓力并調(diào)節(jié)展開(kāi)力，柔性基板在寬度方向上的垂直位置可被調(diào)節(jié)并且傳輸高度可保持恒定。用該方式，在以上任一方面中，柔性基板的上邊緣朝向邊緣展開(kāi)，并且在傳輸跨度的中間部分處由其本身重量所引起的下垂和皺紋被抑制。此外，由于上述控制不依賴于夾持面處每個(gè)夾持輥的旋轉(zhuǎn)方向，并且?jiàn)A持面處的旋轉(zhuǎn)方向與基板的傳輸方向相同，所以在相反方向的傳輸期間也可執(zhí)行類似的位置控制，從而有可能廉價(jià)地適應(yīng)各種類型的往復(fù)過(guò)程，諸如包括柔性基板在相反方向的傳輸?shù)耐鶑?fù)沉積過(guò)程。在本發(fā)明的一優(yōu)選方面中，構(gòu)成一對(duì)夾持輥的各個(gè)輥的周面具有弧形截面，且輥由支撐機(jī)構(gòu)支撐以便于在軸向偏移時(shí)能夠互相接觸和分離。在該方面，由于加壓方向的傾斜度根據(jù)每個(gè)夾持輥的截面形狀賦予，所以不必傾斜每個(gè)夾持輥的軸方向，并且例如，每個(gè)夾持輥在夾持狀態(tài)中的軸向可被設(shè)置為平行于傳輸面的垂直方向，這在簡(jiǎn)化支撐機(jī)構(gòu)方面是有利的。例如，加壓方向的傾斜角可容易地設(shè)置成對(duì)應(yīng)于每個(gè)夾持輥的軸向保持平行的狀態(tài)中的偏移量，并且朝向基板的邊緣作用的展開(kāi)分量可簡(jiǎn)單地通過(guò)改變壓力在寬范圍上改變。
在本發(fā)明的一優(yōu)選方面中，構(gòu)成一對(duì)夾持輥的一個(gè)或兩個(gè)輥是錐形輥，具有在其軸向傾斜的周面。在這些方面中，同樣由于加壓方向的傾斜度根據(jù)每個(gè)夾持輥的截面形狀賦予，因此這在簡(jiǎn)化支撐機(jī)構(gòu)方面是有利的，并且朝向基板的邊緣作用的展開(kāi)分量可簡(jiǎn)單地通過(guò)改變壓力在寬范圍上改變。在上述各個(gè)方面中，一對(duì)夾持輥中的每一個(gè)輥優(yōu)選由支撐機(jī)構(gòu)支撐，以使夾持面相對(duì)于基板寬度方向具有傾斜度。在該方面，由于柔性基板的邊緣被夾持在彎向包括沉積區(qū)域的基板的中心部分的狀態(tài)，因此與夾持輥的接觸壓力相比可獲得較大的夾持力。在本發(fā)明的一優(yōu)選方面中，支撐機(jī)構(gòu)包括第一連桿，該第一連桿使得一對(duì)夾持輥中的一個(gè)或者兩個(gè)輥能在彼此接觸和分離的方向上移動(dòng)，以及第二連桿，該第二連桿使得夾持輥能在基板寬度方向上移動(dòng)；施力裝置包括第一施力構(gòu)件，該第一施力構(gòu)件在夾持輥被壓在一起的方向上對(duì)第一連桿施力，以及第二施力構(gòu)件，該第二施力構(gòu)件在朝向基板寬度方向的邊緣的方向上對(duì)第二連桿施力，且壓力調(diào)節(jié)裝置包括該第二施力構(gòu)件的施力調(diào)節(jié)裝置。與由于通過(guò)施力裝置(施力構(gòu)件)的施力夾持輥被加壓的方向(接觸和分離的方向)具有相對(duì)于夾持面的傾斜度而具有產(chǎn)生壓力和展開(kāi)力(力分量)的構(gòu)造的上述第一方面不同，在本方面中，通過(guò)采用壓力和展開(kāi)力分別由對(duì)應(yīng)于兩個(gè)方向(包括大致垂直于夾持面的接觸和分離方向，以及大致平行于夾持面的方向)的施力的兩個(gè)連桿產(chǎn)生的構(gòu)造， 通過(guò)對(duì)應(yīng)于第二連桿或第二施力構(gòu)件的位移改變展開(kāi)力并在第一連桿和第一施力構(gòu)件的壓力保持大致恒定的狀態(tài)中提升或下降柔性基板的邊緣，柔性基板在寬度方向的垂直位置可被調(diào)節(jié)并且傳輸高度可保持恒定。在本發(fā)明的一優(yōu)選方面中，支撐機(jī)構(gòu)還包括第三連桿，第三連桿使得第一連桿的支撐點(diǎn)在基板寬度方向移動(dòng)。在該方面，通過(guò)用第三連桿移位第一連桿的支撐點(diǎn)，柔性基板可伴隨夾持面上夾持輥的實(shí)質(zhì)移動(dòng)而展開(kāi)，并且基板的傳輸高度和展開(kāi)程度可在更寬的范圍上被調(diào)節(jié)。此外，通過(guò)在加壓期間在相反方向移動(dòng)第三連桿，具有使分離夾持輥并釋放夾持的操作能執(zhí)行的額外優(yōu)點(diǎn)。在本發(fā)明的一優(yōu)選方面中，支撐機(jī)構(gòu)包括第一連桿，第一連桿使得一對(duì)夾持輥中的一個(gè)或者兩個(gè)輥在彼此接觸和分離的方向上移動(dòng)；第二連桿，第二連桿在基板寬度方向上樞軸地支撐一對(duì)夾持輥中的一個(gè)或者兩個(gè)輥；以及復(fù)位彈簧，復(fù)位彈簧經(jīng)由第二連桿對(duì)夾持輥中的一個(gè)或者兩個(gè)輥在與基板寬度方向的邊緣相反的方向上施力，并且施力裝置包括第一施力構(gòu)件，第一施力構(gòu)件在夾持輥接觸和分離的方向上對(duì)第一連桿施力，而夾持輥中的一個(gè)或者兩個(gè)輥構(gòu)成為以第一施力構(gòu)件的壓力和復(fù)位彈簧的復(fù)位力處于平衡的擺角被按壓。在該方面，通過(guò)調(diào)節(jié)第一施力構(gòu)件的壓力來(lái)改變擺角并在基板的寬度方向上移位夾持面，柔性基板的垂直位置可被調(diào)節(jié)。即，在伴隨基板寬度方向上一對(duì)夾持輥的夾持面的移位展開(kāi)柔性基板時(shí)，寬度方向上的垂直位置可被調(diào)節(jié)，并且基板的傳輸高度和展開(kāi)程度可簡(jiǎn)單地通過(guò)調(diào)節(jié)第一施力裝置的壓力在更寬的范圍上調(diào)節(jié)。在支撐機(jī)構(gòu)包括多個(gè)連桿和施力構(gòu)件的上述方面中，連桿和施力構(gòu)件也可分別對(duì)應(yīng)于每個(gè)夾持輥來(lái)設(shè)置。本發(fā)明也適用于在柔性基板上方和下方排列多對(duì)夾持輥的方面。即，在本發(fā)明的一優(yōu)選方面中，還提供一對(duì)下夾持輥，其夾持基板的下邊緣，以及用于一對(duì)下夾持輥的支撐機(jī)構(gòu)和施力裝置，其以與上述的支撐機(jī)構(gòu)和施力裝置相同的方式構(gòu)成。在該方面中，通過(guò)調(diào)節(jié)壓力，柔性基板可提升或下降，傳輸高度可在寬度方向上向上和向下兩個(gè)方向上展開(kāi)柔性基板時(shí)根據(jù)作用在上下夾持面中的每一個(gè)上的壓力的展開(kāi)分量之差來(lái)控制，從而有效地抑制柔性基板的皺紋并有可能進(jìn)一步改進(jìn)柔性基板的定位精確度。在本發(fā)明的一優(yōu)選方面中，處理設(shè)備是薄膜層疊體制造設(shè)備，其設(shè)置有以均等的間距沿著基板的傳輸路徑排列成行的作為處理單元的多個(gè)沉積單元，依序在基板的表面連續(xù)地層疊和形成薄膜，同時(shí)間歇地以與沉積單元相對(duì)應(yīng)的間距傳輸基板，其中一對(duì)上夾持輥和一對(duì)下夾持輥設(shè)置于多個(gè)沉積單元之間。在本發(fā)明的一優(yōu)選方面中，處理設(shè)備是薄膜層疊體制造設(shè)備，在連續(xù)傳輸基板時(shí)在用作為處理單元的沉積單元處在基板的表面上層疊和形成薄膜，其中多對(duì)上夾持輥和多對(duì)下夾持輥沿著沉積單元的上方和下方的傳輸方向排列。在上述方面中，在基板的薄膜形成區(qū)域與多對(duì)上夾持輥之間、以及薄膜形成區(qū)域與多對(duì)下夾持輥之間，還分別優(yōu)選設(shè)置沿著支撐基板的傳輸方向排列的多個(gè)支撐輥。在本方面，在柔性基板能夠由不包括用于調(diào)節(jié)壓力的移動(dòng)部分的耐熱支撐輥可靠地支撐在沉積單元附近的同時(shí)，多組成對(duì)的夾持輥可排列在離開(kāi)高溫沉積單元一段距離處，從而有可能減小輻射熱對(duì)夾持輥的影響，這在選擇夾持輥材料時(shí)改進(jìn)自由度方面是有利的。本發(fā)明也可應(yīng)用于處理設(shè)備中的柔性基板位置控制設(shè)備，該柔性基板位置控制設(shè)備通過(guò)在水平、垂直或?qū)欠较蛏弦猿舜怪狈轿恢獾闹T如水平方位的方位傳輸帶狀柔性基板來(lái)執(zhí)行諸如沉積的處理。例如，上述本實(shí)施例的第二方面是一種處理設(shè)備中的柔性基板位置控制設(shè)備，該柔性基板位置控制設(shè)備在傳輸帶狀柔性基板時(shí)由安裝于基板的傳輸路徑中的處理單元執(zhí)行基板的處理，該控制設(shè)備設(shè)置有各對(duì)夾持輥，其夾持基板的各個(gè)邊緣；各個(gè)支撐機(jī)構(gòu)， 其可旋轉(zhuǎn)地支撐各對(duì)夾持輥，并分別允許每一對(duì)輥彼此互相接觸和分離；施力裝置，用于經(jīng)由各個(gè)支撐機(jī)構(gòu)向各對(duì)夾持輥施加壓力；以及調(diào)節(jié)裝置，用于調(diào)節(jié)由施力裝置施加的壓力， 其中柔性基板位置控制設(shè)備可作為柔性基板位置控制設(shè)備應(yīng)用，每對(duì)夾持輥具有傾斜度， 其中各個(gè)輥的軸方向向基板寬度方向的邊緣移離基板的保持面，且由各個(gè)支撐機(jī)構(gòu)支撐以使夾持面處的旋轉(zhuǎn)方向與基板的傳輸方向?yàn)橄嗤较?。在該方面，相?duì)于各邊緣的夾持面朝向基板各邊緣的展開(kāi)力由分別夾持柔性基板各邊緣的一對(duì)夾持輥中每一個(gè)的被動(dòng)旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生，并且柔性基板通過(guò)該展開(kāi)力在寬度方向上展開(kāi)。此外，由于通過(guò)分別調(diào)節(jié)施力裝置在各側(cè)的壓力，對(duì)應(yīng)于各施力裝置的壓力而改變?cè)撜归_(kāi)力，因此可調(diào)節(jié)柔性基板在寬度方向上的位置，并且在寬度方向上展開(kāi)時(shí)可抑制柔性基板的下垂。由于這些動(dòng)作不依賴于各夾持輥的旋轉(zhuǎn)方向，且各夾持面的旋轉(zhuǎn)方向與基板的傳輸方向相同，因此對(duì)相反方向的傳輸也可類似地執(zhí)行位置控制。在該方面，同樣，構(gòu)成各對(duì)夾持輥的每個(gè)輥優(yōu)選是錐形輥，具有相對(duì)于其軸向傾斜的周面。如上所述，根據(jù)本發(fā)明的柔性基板位置控制設(shè)備在傳輸帶狀柔性基板時(shí)能夠有效地抑制在執(zhí)行諸如沉積的處理時(shí)柔性基板出現(xiàn)下垂和皺紋，并且通過(guò)保持寬度方向上的恒定位置實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量處理，還可廉價(jià)地適應(yīng)包括柔性基板在相反方向上傳輸?shù)耐鶑?fù)過(guò)程。
附圖簡(jiǎn)述圖IA是示出薄膜層疊體制造設(shè)備的一部分的示意俯視圖，圖IB是其示意性側(cè)視圖，而圖IC是沿圖IB的線A-A所取的截面圖；圖2是示出根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的基板位置控制設(shè)備的前視圖；圖3是圖2的重要部分的放大圖；圖4A是示出應(yīng)用根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的基板位置控制設(shè)備的分步沉積設(shè)備的一個(gè)沉積單元的示意性俯視圖，而圖4B是其示意性側(cè)視圖；圖5是沿圖4B的線B-B所取的截面圖；圖6A是示出應(yīng)用根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的基板位置控制設(shè)備的連續(xù)沉積設(shè)備的一個(gè)沉積單元的示意性俯視圖，而圖6B是其示意性側(cè)視圖；圖7是沿圖6B的線C-C所取的截面圖；圖8是示出根據(jù)本發(fā)明第二實(shí)施例的基板位置控制設(shè)備的前視圖；圖9是圖8的重要部分的放大圖；

圖10是從傳輸方向的上游側(cè)觀察的截面圖，它示出在將根據(jù)本發(fā)明第二實(shí)施例的基板位置控制設(shè)備應(yīng)用于連續(xù)沉積設(shè)備的情況下的變體；圖11是從傳輸方向的下游側(cè)觀察的截面圖，它示出在將根據(jù)本發(fā)明第二實(shí)施例的基板位置控制設(shè)備應(yīng)用于連續(xù)沉積設(shè)備的情況下的另一變體；圖12是示出根據(jù)本發(fā)明第三實(shí)施例的基板位置控制設(shè)備的前視圖；圖13是圖12的重要部分的放大圖；圖14是示出根據(jù)本發(fā)明第四實(shí)施例的基板位置控制設(shè)備的前視圖；圖15是圖14的重要部分的放大圖；圖16A是示出在釋放狀態(tài)下的根據(jù)本發(fā)明第五實(shí)施例的基板位置控制設(shè)備的前視圖，圖16B示出施加壓力的狀態(tài)，而圖16C示出施加展開(kāi)力的狀態(tài)；圖17A是示出在釋放狀態(tài)下的根據(jù)本發(fā)明第六實(shí)施例的基板位置控制設(shè)備的前視圖，圖17B示出施加壓力的狀態(tài)，而圖17C示出施加展開(kāi)力的狀態(tài)；圖18A是示出在釋放狀態(tài)下的根據(jù)本發(fā)明第七實(shí)施例的基板位置控制設(shè)備的前視圖，圖18B是它的重要部分的放大圖，而圖18C示出施加展開(kāi)力的狀態(tài)；圖19A是示出在釋放狀態(tài)下的根據(jù)本發(fā)明第八實(shí)施例的基板位置控制設(shè)備的前視圖，圖19B是在開(kāi)始加壓的狀態(tài)下的重要部分的放大圖，而圖19C示出施加展開(kāi)力的狀態(tài)；圖20是示出根據(jù)本發(fā)明第九實(shí)施例的基板位置控制設(shè)備的前視圖；圖21A是根據(jù)本發(fā)明第九實(shí)施例的一對(duì)夾持輥的重要部分的放大圖，其中軸向的傾斜角不同，而圖21B是示出在其正方向和反方向兩者施加的展開(kāi)動(dòng)作的示意性側(cè)視圖；圖22A是示出應(yīng)用根據(jù)本發(fā)明第九實(shí)施例的基板位置控制設(shè)備的分步沉積設(shè)備的一部分的示意性俯視圖，圖22B是其示意性側(cè)視圖，而圖22C是沿圖22B的D-D所取的截面圖；圖23是示出應(yīng)用根據(jù)本發(fā)明第九實(shí)施例的基板位置控制設(shè)備的連續(xù)沉積設(shè)備的截面圖；圖M是示出以不同形式應(yīng)用根據(jù)本發(fā)明第九實(shí)施例的基板位置控制設(shè)備的連續(xù)沉積設(shè)備的截面圖；以及圖25是示出應(yīng)用根據(jù)本發(fā)明第九實(shí)施例的基板位置控制設(shè)備的另一連續(xù)沉積設(shè)備的截面圖。
具體實(shí)施例方式以下參考本發(fā)明實(shí)施例的附圖提供詳細(xì)說(shuō)明，同時(shí)將本發(fā)明應(yīng)用于構(gòu)成用于太陽(yáng)能電池的薄膜光電轉(zhuǎn)換元件的薄膜層疊體制造設(shè)備的基板位置控制設(shè)備的情況用作示例。 此外，在以下說(shuō)明中，公共或?qū)?yīng)的附圖標(biāo)記用于指示各實(shí)施例的公共或?qū)?yīng)的組成部分， 且對(duì)其的說(shuō)明可省略。(第一實(shí)施例)圖2是從傳輸方向的上游側(cè)觀察的前視圖，它示出根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的基板位置控制設(shè)備100。圖1中部分示出，薄膜層疊體制造設(shè)備設(shè)置有在維持指定真空度的真空室10內(nèi)的傳輸裝置，該傳輸裝置在水平方向上傳輸帶狀柔性基板1(柔性膜)且以柔性基板的寬度方向?yàn)榇怪狈较颍⒂醚厝嵝曰?的傳輸路徑排列成行的多個(gè)沉積單元20在柔性基板1的表面上層疊并形成薄膜。構(gòu)成傳輸裝置的諸如進(jìn)料輥和張力輥的多個(gè)輥在傳輸方向上排列在沉積單元的上游側(cè)和下游側(cè)，并且柔性基板1的退繞輥和卷繞輥在傳輸方向上排列在其上游側(cè)和下游側(cè)。另外，引導(dǎo)柔性基板1在沉積單元的上游側(cè)和下游側(cè)轉(zhuǎn)向并在沉積單元處設(shè)置柔性基板1的線性傳輸路徑的導(dǎo)向輥(空轉(zhuǎn)輥)排列在上游側(cè)和下游側(cè)進(jìn)料輥與沉積單元之間。 由于其構(gòu)造與現(xiàn)有技術(shù)的構(gòu)造相同，所以在圖中未示出?；逦恢每刂圃O(shè)備100通過(guò)控制懸掛在導(dǎo)向輥之間并傳輸通過(guò)沉積單元的柔性基板1在垂直方向的位置來(lái)保持恒定傳輸高度，基板位置控制設(shè)備100排列在沉積單元的傳輸路徑上以在寬度方向(即垂直方向)展開(kāi)柔性基板1，并且基板位置控制設(shè)備100包括例如一對(duì)夾持輥130，夾持柔性基板1的上邊緣；支撐機(jī)構(gòu)140，可旋轉(zhuǎn)地支撐構(gòu)成該對(duì)夾持輥130的每個(gè)輥131和132，同時(shí)允許這些輥彼此互相接觸和分離；施力裝置(150)，用于經(jīng)由支撐機(jī)構(gòu)140向該對(duì)夾持輥130(131，132)施加壓力；以及壓力調(diào)節(jié)裝置(160)。在根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的基板位置控制設(shè)備100中，構(gòu)成一對(duì)夾持輥130的各個(gè)輥中的一個(gè)是固定輥131，而另一個(gè)是可動(dòng)輥132，固定輥131由軸131a可旋轉(zhuǎn)地支撐， 而可動(dòng)輥132由軸13 可旋轉(zhuǎn)地支撐。固定輥131的軸131a設(shè)置在平行于柔性基板1的傳輸面的垂直方向，且上端和下端從固定側(cè)支撐構(gòu)件141下端由設(shè)置成在垂直于傳輸方向的方向上突出的大致U形的支架141a支撐。固定側(cè)支撐構(gòu)件141固定在真空室的結(jié)構(gòu)元件11上。另一方面，可動(dòng)輥132的軸13 的上端和下端從可動(dòng)側(cè)支撐構(gòu)件142的遠(yuǎn)端由設(shè)置成相對(duì)于支架141a突出的類似形狀支架14 支撐，并且在一對(duì)夾持輥130被壓在一起的工作狀態(tài)中，可動(dòng)輥132的軸13 被設(shè)置為與固定輥131的軸131a平行。可動(dòng)側(cè)支撐構(gòu)件142從支架14 突出的遠(yuǎn)端向上延伸，進(jìn)一步彎曲以向固定側(cè)支撐構(gòu)件141的上端延伸，并且在位于傳輸面上方的鉸鏈142b處，樞軸地耦合到固定側(cè)支撐構(gòu)件141的上端，并且由于可動(dòng)側(cè)支撐構(gòu)件142以鉸鏈142為中心的樞軸旋轉(zhuǎn)可動(dòng)輥132能夠與固定輥131接觸和分離。
彈簧150(張力彈簧)作為固定側(cè)支撐構(gòu)件141和可動(dòng)側(cè)支撐構(gòu)件142之間的施力裝置來(lái)插入。彈簧150的一端連接到固定側(cè)支撐構(gòu)件141，彈簧150的另一端通過(guò)壓力調(diào)節(jié)螺釘160連接到可動(dòng)側(cè)支撐構(gòu)件142，并且通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)壓力調(diào)節(jié)螺釘160調(diào)節(jié)彈簧150的初始位移，可調(diào)節(jié)固定輥131上可動(dòng)輥132的壓力(接觸壓力)。如圖2和3所示，在根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的一對(duì)夾持輥130的每個(gè)輥131和132 中，夾持柔性基板1的周面131b和132b具有弧形截面，在軸向相互偏移，并分別由軸131a 和13 支撐。雖然未在圖中示出，但每個(gè)輥131和132用例如金屬、陶瓷或塑料形成，或者通過(guò)將諸如橡膠的彈性材料粘附到由這些材料形成的核芯的外周而構(gòu)成。每個(gè)輥131和132通過(guò)能夠承受推力負(fù)載的軸承被可旋轉(zhuǎn)地支撐，以分別通過(guò)軸 131a和132a(軸承)保持在軸向偏移的位置處?；蛘?，每個(gè)輥131和132可分別通過(guò)軸 131a和132a (旋轉(zhuǎn)軸)粘附到軸向偏移的位置，并且每個(gè)軸131a和13 可由對(duì)應(yīng)的支架 141a和14 通過(guò)能夠承受推力負(fù)載的軸承可旋轉(zhuǎn)地支撐。根據(jù)上述配置，如圖3所示，柔性基板1的上邊緣被軸向偏移的固定輥131和可動(dòng)輥132夾持為相對(duì)于垂直方向?qū)菑澢臓顟B(tài)。因此，由大致在水平方向施加的可動(dòng)輥132 的加壓分量1^，相對(duì)于垂直輸入到柔性基板1的夾持面的加壓分量px，在柔性基板1的夾持面產(chǎn)生平行展開(kāi)分量τ χ (剪切力分量)，以橫貫基板傳輸面，并且柔性基板1的上邊緣由朝向該柔性基板1的邊緣的展開(kāi)分量τ χ向上展開(kāi)。由于可動(dòng)輥132施加的壓力I^x與彈簧150的彈性位移成比例，因此通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)壓力調(diào)節(jié)螺釘160并調(diào)節(jié)彈簧150的初始位移X，調(diào)節(jié)展開(kāi)分量τ χ連同加壓分量ρΧ，施加到柔性基板1的上邊緣的展開(kāi)力可被調(diào)節(jié)，并且由于該展開(kāi)力(τχ)變?yōu)橄鄬?duì)于柔性基板本身的重量提升柔性基板1的上邊緣的提升力，因此可調(diào)節(jié)柔性基板1的上邊緣的位置。此外，雖然圖中的示例示出了在使用作為壓力調(diào)節(jié)裝置的壓力調(diào)節(jié)螺釘160來(lái)手動(dòng)操作將壓力預(yù)置為通過(guò)測(cè)試操作等確定的最佳值之后操作的情況，但是也可提供直接或通過(guò)一機(jī)構(gòu)間接地轉(zhuǎn)動(dòng)使彈簧150的支撐點(diǎn)移位的壓力調(diào)節(jié)螺釘160的致動(dòng)器，檢測(cè)柔性基板1的上邊緣的位置的傳感器，以及基于傳感器檢測(cè)到的值控制致動(dòng)器的控制設(shè)備，從而采用能夠通過(guò)反饋控制來(lái)控制柔性基板1的傳輸高度的構(gòu)造。圖4Α和4Β與圖5示出第一實(shí)施例的基板位置控制設(shè)備100被應(yīng)用于類似于圖1 所示的分步沉積型制造設(shè)備110的一個(gè)實(shí)施例。雖然圖4只示出一個(gè)沉積單元20，但是如上所述，大量的沉積單元20沿傳輸方向成行排列在公共真空室10中。每個(gè)沉積單元20包括用于執(zhí)行諸如等離子體CVD的化學(xué)汽相沉積(CVD)或諸如濺射的物理汽相沉積(PVD)的真空沉積單元。每個(gè)沉積單元20包括相對(duì)設(shè)置在柔性基板1的兩側(cè)的電極21 (高頻電極或靶，其表面具有大量原料氣體排出孔)和包含內(nèi)加熱器的接地電極22，柔性基板1介于這兩者之間，并且電極21和接地電極22分別容納在朝向柔性基板1的傳輸面打開(kāi)的室中。在該分步沉積過(guò)程中，由于在對(duì)應(yīng)于單個(gè)沉積單元的分步傳輸?shù)耐Ｖ蛊陂g電極21和/或接地電極 22前進(jìn)和后撤以打開(kāi)和關(guān)閉室，因此一對(duì)夾持輥130不能安裝在電極21和接地電極22之間。因此，在分步沉積型制造設(shè)備110中，基板位置控制設(shè)備100在沉積單元20之前和之后避開(kāi)沉積單元20安裝，即安裝在各個(gè)沉積單元20之間。在圖中所示的示例中，多對(duì)夾持輥130和130'分別設(shè)置在傳輸路徑的上側(cè)和下側(cè)。一對(duì)下夾持輥130'可通過(guò)垂直翻轉(zhuǎn)使用與一對(duì)上夾持輥130類似的結(jié)構(gòu)。在該方面，允許由一對(duì)上夾持輥130向上施加到柔性基板1的上邊緣的展開(kāi)力τ χ 和由一對(duì)下夾持輥130'向下施加到柔性基板1的下邊緣的展開(kāi)力τ χ同時(shí)作用，并且同時(shí)能夠在向上和向下兩個(gè)方向展開(kāi)柔性基板1，它們之間的差變成對(duì)抗其重量提升柔性基板 1的力。因此，在由于一對(duì)上夾持輥和一對(duì)下夾持輥130和130'各自因其重量具有較大效果情況下，如在長(zhǎng)傳輸跨度的情況下，一對(duì)上夾持輥130的展開(kāi)力的范圍設(shè)置為大于一對(duì)下夾持輥130'的范圍。圖6Α和6Β與圖7示出第一實(shí)施例的基板位置控制設(shè)備100被應(yīng)用于連續(xù)沉積型制造設(shè)備112的一個(gè)實(shí)施例。連續(xù)沉積型制造設(shè)備112的每個(gè)沉積單元M具有相對(duì)設(shè)置在柔性基板1的兩側(cè)的電極(靶)25和包含內(nèi)加熱器的接地電極沈，柔性基板1介于這兩者之間。然而，電極25和接地電極沈相對(duì)于柔性基板1固定在指定間隙處，并且連續(xù)沉積以非接觸方式執(zhí)行。因此，柔性基板1上的沉積區(qū)域不在傳輸方向上分區(qū)，并且引導(dǎo)柔性基板1的輥23可在傳輸方向上設(shè)置在沉積單元上游側(cè)和下游側(cè)。因此，在連續(xù)沉積型制造設(shè)備112中，重點(diǎn)在于在寬度方向上展開(kāi)柔性基板1，以抑制由于張力和熱量引起的皺紋在柔性基板1中的出現(xiàn)，而不是抑制由于其本身的重量引起的柔性基板1的下垂，并且如圖所示，多對(duì)上夾持輥和下夾持輥130和130'分別沿沉積單元M的上側(cè)和下側(cè)線性排列。然而，在連續(xù)沉積型制造設(shè)備112中，由于來(lái)自加熱器的輻射熱，電極25外周的溫度升高到約300°C。因此，考慮到輻射熱對(duì)多對(duì)夾持輥130和130' 的影響，沿傳輸方向成行設(shè)置的多個(gè)支撐輥27設(shè)置在電極25與多對(duì)夾持輥130和130 ‘中的每一個(gè)輥之間，并且多對(duì)夾持輥130和130'中的每一個(gè)輥設(shè)置在電極25之外。支撐輥27優(yōu)選由具有令人滿意的耐熱性的金屬輥構(gòu)成，并由設(shè)置在從電極25的框架突出的托架觀的遠(yuǎn)端上的軸27a可旋轉(zhuǎn)地支撐。此外，如圖7所示，多對(duì)上夾持輥和下夾持輥130和130'中的每一個(gè)輥被設(shè)置成比支撐輥27更遠(yuǎn)離傳輸面，并且柔性基板1 由支撐輥27穩(wěn)定地支撐。(第二實(shí)施例)接著，圖8是從傳輸方向的上游側(cè)觀察的前視圖，它示出根據(jù)本發(fā)明第二實(shí)施例的基板位置控制設(shè)備200，且圖9是它的重要部分的放大圖。如圖所示，構(gòu)成第二實(shí)施例的基板位置控制設(shè)備200的一對(duì)夾持輥230的各個(gè)輥231和232是錐形輥，具有分別相對(duì)于軸向傾斜的周面231b和232b，并且在一對(duì)夾持輥230相互接觸和分離的工作狀態(tài)中，不同于將可動(dòng)輥232設(shè)置為使其軸23 平行于傳輸面，通過(guò)將固定輥231的軸231a設(shè)置在垂直于可動(dòng)輥232的軸23 的方向，相對(duì)于軸向傾斜的各個(gè)周面231b和232b被相互壓在一起，同時(shí)形成相對(duì)于垂直方向傾斜的夾持面，從而能夠在夾持柔性基板1的同時(shí)傳輸柔性基板1。此外，支撐可動(dòng)輥232的軸23 的支架對(duì)加由可動(dòng)側(cè)支撐構(gòu)件242通過(guò)鉸鏈對(duì)加可旋轉(zhuǎn)地支撐，并且通過(guò)調(diào)節(jié)設(shè)置成能夠接觸支架對(duì)加另一端M2d上側(cè)和下側(cè)的調(diào)節(jié)螺釘261和沈2，可相對(duì)于固定輥231調(diào)節(jié)可動(dòng)輥232的位置。各個(gè)夾持輥231和232分別由軸231a和232a(軸承)通過(guò)能夠承受推力負(fù)載的軸承可旋轉(zhuǎn)地支撐，或者分別固定在軸231a和23 的軸向(旋轉(zhuǎn)軸)，并且各個(gè)軸231a和232a分別由支架Mla和Mh通過(guò)能夠承受推力負(fù)載的軸承可旋轉(zhuǎn)地支撐，同時(shí)其它組成部分與第一實(shí)施例中的相同。根據(jù)上述構(gòu)造，如圖9所示，柔性基板1的上邊緣被固定輥231和可動(dòng)輥232夾持在相對(duì)于垂直方向?qū)菑澢臓顟B(tài)，由大致在水平方向施加的可動(dòng)輥232的加壓分量I3X, 相對(duì)于垂直輸入到柔性基板1的夾持面的加壓分量px，產(chǎn)生沿柔性基板1的夾持面的展開(kāi)分量τ χ(剪切力分量)，柔性基板1的上邊緣由朝向該柔性基板1的邊緣的展開(kāi)分量τ χ 向上展開(kāi)，并且以與上述第一實(shí)施例相同的方式，調(diào)節(jié)展開(kāi)分量τ χ連同加壓分量ρχ，并且可通過(guò)調(diào)節(jié)彈簧250的初始位移χ調(diào)節(jié)柔性基板1的上邊緣的位置。第二實(shí)施例的基板位置控制設(shè)備200也可以與第一實(shí)施例相同的方式應(yīng)用于分步沉積型制造設(shè)備和連續(xù)沉積型制造設(shè)備，并且圖10和11示出將基板位置控制設(shè)備200 應(yīng)用于連續(xù)沉積型制造設(shè)備的情況下的變體。在圖10所示的變體202中，通過(guò)在鄰近電極25和接地電極沈(加熱器)的各個(gè)夾持輥231和232的固定側(cè)和可動(dòng)側(cè)支撐機(jī)構(gòu)241和242上設(shè)置輻射熱保護(hù)蓋Mlc和M2c， 可省略支撐輥咖并可簡(jiǎn)化結(jié)構(gòu)。輻射熱保護(hù)蓋Mlc和M2c優(yōu)選由耐熱和絕熱材料構(gòu)成，相對(duì)于各個(gè)夾持輥231和232的直徑延伸到傳輸方向上的上游側(cè)和下游側(cè)，并且相鄰?qiáng)A持輥231和232的輻射熱保護(hù)蓋Mlc和M2c優(yōu)選設(shè)置成相互鄰近。該變體也可應(yīng)用于上述第一實(shí)施例以及之后將描述的其它實(shí)施例。另外，在圖11所示的變體203中，通過(guò)將支撐輥27可旋轉(zhuǎn)地附連到從固定側(cè)支撐構(gòu)件241的支架Mla向下突出的支撐軸27a，可略去支撐輥27的托架Q8)，同時(shí)另一方面， 通過(guò)在可動(dòng)側(cè)支撐構(gòu)件242上設(shè)置輻射熱保護(hù)蓋M2c，可簡(jiǎn)化結(jié)構(gòu)。該變體也可應(yīng)用于上述第一實(shí)施例的基板位置控制設(shè)備100以及包括一對(duì)夾持輥中的固定輥的各實(shí)施例。(第三實(shí)施例)接著，圖12是從傳輸方向的上游側(cè)觀察的前視圖，它示出根據(jù)本發(fā)明第三實(shí)施例的基板位置控制設(shè)備300，而圖13是它的重要部分的放大圖。構(gòu)成第三實(shí)施例的基板位置控制設(shè)備300的一對(duì)夾持輥330的各個(gè)輥331和332具有相互不同的形狀。固定輥331是圓柱輥，具有平行于軸向的周面331b，而軸33 設(shè)置為垂直方向。與此不同，可動(dòng)輥332是錐形輥，具有相對(duì)于軸向傾斜的周面332b，并且在工作狀態(tài)中，軸33 設(shè)置為具有對(duì)應(yīng)于周面332b的傾斜度，使得相對(duì)固定輥331沿其平行周面 331b按壓傾斜周面332b。此外，可旋轉(zhuǎn)地支撐可動(dòng)輥332的可動(dòng)側(cè)支撐構(gòu)件342通過(guò)鉸鏈 342b樞軸地耦合在從固定側(cè)支撐構(gòu)件341的上端延伸至可動(dòng)輥332 —側(cè)的延伸部，并且通過(guò)以鉸鏈342b為中心樞軸旋轉(zhuǎn)可動(dòng)側(cè)支撐構(gòu)件342，可動(dòng)輥332能夠與固定輥331接觸和分離。彈簧352作為施力裝置置于固定側(cè)支撐構(gòu)件341和可動(dòng)側(cè)支撐構(gòu)件342之間，并且彈簧350的端部通過(guò)壓力調(diào)節(jié)螺釘360連接至可動(dòng)側(cè)支撐構(gòu)件342。雖然這些點(diǎn)與第一和第二實(shí)施例中的相同，但在本實(shí)施例中，彈簧350沿樞軸旋轉(zhuǎn)可動(dòng)側(cè)支撐構(gòu)件342的方向?qū)菓覓?，并且壓力調(diào)節(jié)螺釘360也是對(duì)角穿過(guò)。根據(jù)上述構(gòu)造，雖然柔性基板1的上邊緣被固定輥331和可動(dòng)輥332夾持在平坦?fàn)顟B(tài)，但是由從柔性基板1的傳輸面偏移的以鉸鏈:342b為中心對(duì)角向上作用的可動(dòng)輥332 的壓力I3X產(chǎn)生垂直輸入到柔性基板1的夾持面(即水平的)的加壓分量px，以及平行于柔性基板1的夾持面的展開(kāi)分量τ χ(剪切力分量)，柔性基板1的上邊緣由該展開(kāi)分量τχ 向上展開(kāi)，并且類似于各個(gè)上述實(shí)施例，調(diào)節(jié)加壓分量PX和展開(kāi)分量τ χ,且可通過(guò)調(diào)節(jié)彈簧350的初始位移χ來(lái)調(diào)節(jié)柔性基板1的上邊緣的位置。(第四實(shí)施例)接著，圖14是從傳輸方向的上游側(cè)觀察的前視圖，它示出根據(jù)本發(fā)明第四實(shí)施例的基板位置控制設(shè)備400，而圖15是它的重要部分的放大圖。構(gòu)成第四實(shí)施例的基板位置控制設(shè)備400的一對(duì)夾持輥340的各個(gè)輥431和432均以錐形輥的形式構(gòu)成，兩個(gè)輥均是可動(dòng)輥431和432，并且各個(gè)輥分別由設(shè)置在可動(dòng)側(cè)支撐構(gòu)件441和442的遠(yuǎn)端部分441a 和44 上的軸431a和43 可旋轉(zhuǎn)地支撐。在各個(gè)可動(dòng)輥431和432相互壓在一起的工作狀態(tài)中，各個(gè)可動(dòng)輥431和432的軸431a和43 對(duì)應(yīng)于周面431b和432b相對(duì)于夾持面的傾斜度對(duì)角取向，使得柔性基板1的上邊緣被夾持在相對(duì)于傳輸面的平坦夾持面。可動(dòng)側(cè)支撐構(gòu)件441和442在彎曲成L形的中間部分處由固定在安裝托架470處的軸471和472樞軸地支撐，并且置入作為施力裝置的彈簧450。以與上述實(shí)施例的每一個(gè)相同的方式，彈簧450的一端通過(guò)壓力調(diào)節(jié)螺釘460連接到可動(dòng)側(cè)支撐構(gòu)件442。此外，相互嚙合并能夠滑動(dòng)和旋轉(zhuǎn)的銷釘447a和槽447b設(shè)置于在傳輸面上方從其各自的中間部分(軸471和472)延伸的臂441c和442c的交叉點(diǎn)處，并且通過(guò)對(duì)抗彈簧 450的施力向下按壓一個(gè)可動(dòng)側(cè)支撐構(gòu)件441的操作部分441d，可動(dòng)輥431和432可相互移開(kāi)，并且如果釋放該按壓，一對(duì)可動(dòng)側(cè)支撐構(gòu)件441和442由于上述銷釘447a和槽447b 的嚙合而相互協(xié)調(diào)地移動(dòng)，并且一對(duì)可動(dòng)輥431和432通過(guò)彈簧450的施力被相互壓在一起，從而使它們能夠夾持柔性基板1的上邊緣。在以上述方式構(gòu)成的第四實(shí)施例的基板位置控制設(shè)備400中，雖然柔性基板1的上邊緣被一對(duì)可動(dòng)輥431和432夾持在平坦?fàn)顟B(tài)，但是由均從柔性基板1的傳輸面偏移的以軸471和472為中心相互對(duì)角向上作用的壓力I3X產(chǎn)生垂直輸入到柔性基板1的夾持面 (即大致水平的)的加壓分量px，以及平行于柔性基板1的夾持面的展開(kāi)分量τχ，柔性基板1的上邊緣由展開(kāi)分量τ χ向上展開(kāi)，并且以與各個(gè)上述實(shí)施例相同的方式，調(diào)節(jié)加壓分量PX和展開(kāi)分量τ χ,且可通過(guò)調(diào)節(jié)彈簧450的初始位移χ來(lái)調(diào)節(jié)柔性基板1的上邊緣的位置。在上述第一至第四實(shí)施例的基板位置控制設(shè)備中，各自采用如下構(gòu)造，垂直于夾持面的加壓分量PX和平行于夾持面的展開(kāi)分量τ χ,即力分量，因?yàn)橥ㄟ^(guò)具有相對(duì)于夾持面朝向柔性基板1的邊緣的傾斜度的單個(gè)施力裝置(彈簧)向一對(duì)夾持輥加壓(在接觸和分離的方向)而產(chǎn)生。相反，在之后將描述的第五至第八實(shí)施例的基板位置控制設(shè)備中， 因?yàn)椴捎弥螜C(jī)構(gòu)設(shè)置有兩個(gè)連桿和對(duì)應(yīng)于在兩個(gè)方向(包括大致垂直于夾持面的一對(duì)輥530的接觸和分離的方向以及大致平行于夾持面的展開(kāi)方向)施力的兩個(gè)施力構(gòu)件的構(gòu)造，分開(kāi)產(chǎn)生壓力PX和展開(kāi)力τ χ，從而導(dǎo)致能夠分開(kāi)調(diào)節(jié)的特征。壓力px和展開(kāi)力τχ 的合力也可被認(rèn)為等價(jià)于在夾持面的對(duì)角方向上作用的Px。以下參考附圖提供本發(fā)明第五至第八實(shí)施例的詳細(xì)說(shuō)明。(第五實(shí)施例)圖16A是從傳輸方向的上游側(cè)觀察的前視圖，示出處于一對(duì)夾持輥530被釋放的狀態(tài)的根據(jù)本發(fā)明第五實(shí)施例的基板位置控制設(shè)備500，圖16B示出由一對(duì)夾持輥530施加壓力的狀態(tài)，而圖16C示出施加展開(kāi)力的狀態(tài)。雖然構(gòu)成第五實(shí)施例基板位置控制設(shè)備500 的一對(duì)夾持輥530的固定輥531和可動(dòng)輥532兩者都示為圓柱輥，但是它們中的一個(gè)或兩個(gè)也可以是具有弧形截面的輥或錐形輥。固定輥531與第三實(shí)施例中的類似?？蓜?dòng)輥532在軸向由第二連桿542遠(yuǎn)端上的支架Mh經(jīng)由軸53 可旋轉(zhuǎn)并不可移動(dòng)地支撐。第二連桿542在其近端上的鉸鏈M2b處由第一連桿544的遠(yuǎn)端樞軸地支撐， 介于第二連桿542和第一連桿544之間的第二彈簧552(展開(kāi)彈簧)在圖中向上(為展開(kāi)方向)對(duì)第二連桿542施力，即朝向柔性基板1寬度方向的邊緣側(cè)，并且處于圖16A所示的一對(duì)夾持輥530被釋放的狀態(tài)中，第二連桿542接觸設(shè)置在第一連桿544上的擋塊討如。第一連桿544在位于其長(zhǎng)度方向上中間位置的鉸鏈M4b處由第三連桿M6的遠(yuǎn)端樞軸地支撐，并在靠近固定側(cè)支撐構(gòu)件Ml的方向上被通過(guò)壓力調(diào)節(jié)螺釘560介于鉸鏈 544b的遠(yuǎn)側(cè)(圖中所示示例中第二彈簧552的連接點(diǎn))和固定側(cè)支撐構(gòu)件541之間的第一彈簧550施力。第三連桿546在其近端由固定到安裝托架570的軸571樞軸地支撐，并且由未示出的驅(qū)動(dòng)裝置提升并操作的操作構(gòu)件548連接至第三連桿M6的操作部分M6a。根據(jù)上述構(gòu)造，在第五實(shí)施例的基板位置控制設(shè)備500中，在如圖16A所示一對(duì)夾持輥530被釋放的狀態(tài)中，操作構(gòu)件548下降，且第三連桿M6以軸571為中心在圖中向下樞軸旋轉(zhuǎn)，同時(shí)在該狀態(tài)中，通過(guò)對(duì)抗第一彈簧陽(yáng)0的施力按下M4d在第一連桿544的另一端延伸的操作部分M4c，第一連桿M4以鉸鏈M4b為中心在圖中在逆時(shí)針?lè)较蛏闲D(zhuǎn)， 可動(dòng)輥532移離固定輥531，且柔性基板1能被引入到它們之間。當(dāng)從該狀態(tài)釋放操作部分Mk的按壓M4d時(shí)，第一連桿544首先以鉸鏈M4b為中心在圖中在順時(shí)針?lè)较蛏闲D(zhuǎn)，并且如圖16B所示，由第一彈簧550施加的指定壓力將可動(dòng)輥532壓向固定輥531，且柔性基板1被夾持在它們之間。然而，由于第三連桿546仍然位于下降位置且第二連桿542的向上樞軸旋轉(zhuǎn)受擋塊限制，因此可動(dòng)輥532向下位移并壓向固定輥531。接著，如圖16C所示，當(dāng)操作構(gòu)件548從該狀態(tài)提升第三連桿546的操作部分
時(shí)，由于第三連桿546在圖中向上方向上的旋轉(zhuǎn)，第三連桿546移動(dòng)到比第一連桿544的鉸鏈M4b更向上，并且第一連桿544被拉起。伴隨于此，第二連桿642從擋塊釋放，第二彈簧陽(yáng)2的施力(展開(kāi)力)在圖中向上對(duì)可動(dòng)輥532施力，展開(kāi)力τχ作用在柔性基板 1的夾持面上，且柔性基板1的上邊緣由展開(kāi)力τ χ向上展開(kāi)。在第五實(shí)施例的基板位置控制設(shè)備500中，雖然可通過(guò)用壓力調(diào)節(jié)螺釘560調(diào)節(jié)第一彈簧550的初始位移χ來(lái)調(diào)節(jié)一對(duì)夾持輥530的壓力，但是由于壓力垂直于夾持面作用，因此壓力I3X本身不具有傾斜分量。然而，夾持面處的摩擦力因?yàn)檎{(diào)節(jié)壓力I3X而改變，且這反映在展開(kāi)力τχ中。此外，雖然在圖中所示的示例中操作構(gòu)件548接觸限制操作構(gòu)件548提升的銷釘574，但是也可通過(guò)在銷釘574范圍內(nèi)調(diào)節(jié)或可控地構(gòu)成操作構(gòu)件548 在垂直方向上的位置來(lái)調(diào)節(jié)和控制展開(kāi)力τχ?；蛘撸部赏ㄟ^(guò)以與第一彈簧550相同的方式在第二彈簧552 —端設(shè)置壓力調(diào)節(jié)螺釘并調(diào)節(jié)第二彈簧552的初始位移χ來(lái)調(diào)節(jié)展開(kāi)力 τ X0(第六實(shí)施例)接下來(lái)，圖17Α是從傳輸方向的上游側(cè)觀察的前視圖，示出處于一對(duì)夾持輥630被釋放的狀態(tài)的根據(jù)本發(fā)明第六實(shí)施例的基板位置控制設(shè)備600，圖17Β示出其中一對(duì)夾持輥630施加壓力的狀態(tài)，而圖17C示出施加展開(kāi)力的狀態(tài)。雖然第六實(shí)施例的基板位置控制設(shè)備600在其基本操作方面類似于第五實(shí)施例，但是構(gòu)成一對(duì)夾持輥630的每個(gè)輥631 和632都是可動(dòng)輥，并在它們相互彼此接觸和分離的方向上和相對(duì)于展開(kāi)動(dòng)作的垂直方向上樞軸地構(gòu)成?？蓜?dòng)輥631和632分別在軸向由第二連桿641和642各自的支架641a和64 經(jīng)由軸631a和63 可旋轉(zhuǎn)并不可移動(dòng)地支持。第二連桿641和642分別在其近端上的鉸鏈 641b和642b處由第一連桿643和644的遠(yuǎn)端樞軸地支撐，分別介于第二連桿641和642與第一連桿644之間的第二彈簧651和652(展開(kāi)彈簧)在圖中向上(就是展開(kāi)方向)對(duì)第二連桿641和642施力，即朝向柔性基板1寬度方向的邊緣側(cè)，并且在圖17A所示的一對(duì)夾持輥630被釋放的狀態(tài)中，第二連桿641和642分別接觸設(shè)置在第一連桿643和644上的擋塊643a和644a。第一連桿643和644分別在位于其長(zhǎng)度方向上中間位置的鉸鏈64 和644b處由第三連桿645和645的遠(yuǎn)端樞軸地支撐，第一彈簧650 (壓力彈簧)在鉸鏈64 和644b的遠(yuǎn)側(cè)通過(guò)壓力調(diào)節(jié)螺釘660介于第一連桿643和644之間，并且第一連桿643和644由第一彈簧650在它們相互靠近的方向上施力。此外，一個(gè)第一連桿644具有進(jìn)一步從鉸鏈644b 延伸的操作部分6Mc。第三連桿645和646在其各自的近端由固定在安裝托架670上的公共軸671樞軸支撐，且它們各自的樞軸旋轉(zhuǎn)范圍受銷釘673和674限制。一個(gè)第三連桿645具有從近端進(jìn)一步延伸的操作部分64 ，且由未示出的驅(qū)動(dòng)裝置提升并操作的操作構(gòu)件648連接到操作部分64fe。根據(jù)上述構(gòu)造，在第六實(shí)施例的基板位置控制設(shè)備600中，在如圖17A所示一對(duì)夾持輥630被釋放的狀態(tài)中，操作構(gòu)件648提升，且第三連桿645和646兩者在圖中向下樞軸旋轉(zhuǎn)至它們各自的另一端接觸銷釘673的較低位置。在該狀態(tài)，通過(guò)對(duì)抗第一彈簧650的施力在圖中向左按下644d第一連桿644的操作部分6Mc，可動(dòng)輥632移離另一可動(dòng)輥631， 且柔性基板1能被引入它們之間。當(dāng)從該狀態(tài)釋放操作部分6Mc的按壓644d時(shí)，第一連桿644以鉸鏈644b為中心在圖中在順時(shí)針?lè)较蛏闲D(zhuǎn)，并且如圖17B所示，由第一彈簧650施加的指定壓力將可動(dòng)輥 632壓向另一可動(dòng)輥631，且柔性基板1被夾持在它們之間。雖然在上述第五實(shí)施例中一對(duì)夾持輥的位置在垂直方向上偏移，但是在該第六實(shí)施例中，由于一對(duì)夾持輥631和632的支撐機(jī)構(gòu)640的每個(gè)連桿是相對(duì)于傳輸面對(duì)稱地布置的，因此沒(méi)有位置偏移，且?jiàn)A持輥631和 632在相同高度的位置(下降的位置)夾持柔性基板1。接著，當(dāng)如圖17C所示操作構(gòu)件648降下一個(gè)第三連桿645的操作部分64 時(shí)， 各第三連桿645和646的遠(yuǎn)端上的鉸鏈64 和644b兩者在圖中向上樞軸旋轉(zhuǎn)，且各第一連桿643和644被向上提拉。伴隨于此，各第二連桿614和642從它們對(duì)應(yīng)的擋塊643a和 64 釋放，且由于第二彈簧651和652的施力被施加到各第二連桿641和642，各可動(dòng)輥 631和632在圖中被向上施力，展開(kāi)力τ χ作用在柔性基板1的夾持面上，且柔性基板1的上邊緣被向上展開(kāi)。也是在第六實(shí)施例的基板位置控制設(shè)備600中，可通過(guò)用壓力調(diào)節(jié)螺釘648在垂直方向上調(diào)節(jié)第一彈簧650的初始位移X，或者通過(guò)以與上述第五實(shí)施例相同的方式調(diào)節(jié)設(shè)置在第二彈簧651和652上的壓力調(diào)節(jié)螺釘來(lái)調(diào)節(jié)展開(kāi)力τ χ。(第七實(shí)施例)接著，圖18包括從傳輸方向的上游側(cè)觀察的前視圖，它示出根據(jù)本發(fā)明第七實(shí)施例的基板位置控制設(shè)備700，圖18A和18B示出一對(duì)夾持輥730的按壓已開(kāi)始的狀態(tài)，而圖 18C示出施加展開(kāi)力的狀態(tài)。第七實(shí)施例的基板位置控制設(shè)備700的一對(duì)夾持輥730包括固定輥731和可動(dòng)輥732，雖然在圖中所示的示例中兩個(gè)夾持輥730為圓柱輥，但它們中的一個(gè)或兩個(gè)也可以是錐形輥?？蓜?dòng)輥732在軸向由第二連桿742遠(yuǎn)端上的支架74 經(jīng)由軸73 可旋轉(zhuǎn)并不可移動(dòng)地由支撐。第二連桿742在其中間位置的鉸鏈742b處由第一連桿744的遠(yuǎn)端樞軸支撐，并且在柔性基板1的展開(kāi)方向的相反方向上在圖中向下對(duì)可動(dòng)輥732施力的復(fù)位彈簧 752被置于第二連桿742超出鉸鏈74 的另一端742c和第一連桿744的延伸部分7Mc之間。復(fù)位彈簧752的施力(恢復(fù)力)可用旋入延伸部分7Mc的調(diào)節(jié)螺釘764來(lái)調(diào)節(jié)。第一連桿744在其中向部分處彎成L形，在其上端的鉸鏈744b處由固定側(cè)支撐構(gòu)件741的上端樞軸支撐，并且由介于第一連桿744和固定側(cè)支撐構(gòu)件741之間的第一彈簧 750(壓力彈簧)經(jīng)由壓力調(diào)節(jié)螺釘760在靠近固定側(cè)支撐構(gòu)件741的方向上施力。根據(jù)上述構(gòu)造，在第七實(shí)施例的基板位置控制設(shè)備700中，在如圖18A所示的一對(duì)夾持輥730從它們相互分離的釋放狀態(tài)開(kāi)始按壓的狀態(tài)中，由于復(fù)位彈簧752施力，第二連桿742角位移至支架74 的隅角接觸或靠近第一連桿411的內(nèi)側(cè)的位置，可動(dòng)輥732以傾斜狀態(tài)接觸固定輥731的周面731b，并且柔性基板1夾持在它們之間。在該狀態(tài)中，當(dāng)?shù)谝粡椈?50以指定壓力I3X將可動(dòng)輥732壓向固定輥731時(shí)，如圖18B所示在可動(dòng)輥732中產(chǎn)生以第二連桿742的鉸鏈742b為中心的旋轉(zhuǎn)力，從而對(duì)抗復(fù)位彈簧752的施力來(lái)取消角位移，該旋轉(zhuǎn)力用作沿柔性基板1的夾持面在圖中向上作用的展開(kāi)力τ x(剪切力)，并且柔性基板1的上邊緣由展開(kāi)力τχ展開(kāi)。因此，在第七實(shí)施例的基板位置控制設(shè)備中，由于施加到柔性基板1的上邊緣的展開(kāi)力τ χ與第一彈簧750的壓力和復(fù)位彈簧752的恢復(fù)力之差成正比，因此可通過(guò)用壓力調(diào)節(jié)螺釘760調(diào)節(jié)第一彈簧750的初始位移χ和/或用調(diào)節(jié)螺釘764調(diào)節(jié)復(fù)位彈簧 752的恢復(fù)力來(lái)調(diào)節(jié)一對(duì)夾持輥730的壓力Ρχ，從而調(diào)節(jié)展開(kāi)力τ χ。(第八實(shí)施例)接著，圖19包括從傳輸方向的上游側(cè)觀察的前視圖，示出根據(jù)本發(fā)明第八實(shí)施例的基板位置控制設(shè)備800，圖19A示出其中一對(duì)夾持輥830被釋放的狀態(tài)，圖19B示出其中一對(duì)夾持輥830施加壓力的狀態(tài)，而圖19C示出施加展開(kāi)力的狀態(tài)。不同于在上述第七實(shí)施例中由固定側(cè)支撐構(gòu)件(741)固定支撐的固定輥(731)，在第八實(shí)施例的基板位置控制設(shè)備800中，固定輥831由固定側(cè)支撐構(gòu)件843經(jīng)由第二連桿841支撐，并且同時(shí)能夠在展開(kāi)柔性基板1的方向上有限地樞軸旋轉(zhuǎn)，以與可動(dòng)側(cè)第二連桿842相同的方式，固定側(cè)的第二連桿841具有介于超出鉸鏈841b的另一端841c和固定側(cè)支撐構(gòu)件843的延伸部分843c 之間伴隨有調(diào)節(jié)螺釘863的復(fù)位彈簧853。根據(jù)上述構(gòu)造，在第八實(shí)施例的基板位置控制設(shè)備800中，當(dāng)如圖19A所示處于一對(duì)夾持輥830相互分離的釋放狀態(tài)中時(shí)，由于復(fù)位彈簧853和邪4施力，各第二連桿841和 842角位移至支架841a和84 的隅角接觸固定側(cè)支撐構(gòu)件843或第一連桿844的內(nèi)側(cè)的位置。當(dāng)如圖19B所示從釋放狀態(tài)以第一彈簧850施加的指定壓力I3X將可動(dòng)輥831壓向固定輥831時(shí)，固定輥831和可動(dòng)輥832首先在它們兩者都傾斜的狀態(tài)中接觸，柔性基板 1被夾持在各周面831b和832b的上端，在固定輥831和可動(dòng)輥832中分別產(chǎn)生以第二連桿841和842的鉸鏈841b和842b為中心的旋轉(zhuǎn)力，從而對(duì)抗復(fù)位彈簧853和854的施力取消角位移，該旋轉(zhuǎn)力用作沿柔性基板1的夾持面在圖中向上施加的展開(kāi)力τ χ，并且柔性基板1的上邊緣由該展開(kāi)力τχ展開(kāi)。因此，在第八實(shí)施例的基板位置控制設(shè)備800中，作用在柔性基板1的上邊緣的展開(kāi)力τ χ伴隨使夾持面本身向上移動(dòng)的動(dòng)作。如上所述，通過(guò)用壓力調(diào)節(jié)螺釘860調(diào)節(jié)第一彈簧850的初始位移χ和/或用調(diào)節(jié)螺釘863和864調(diào)節(jié)復(fù)位彈簧853和邪4來(lái)執(zhí)行展開(kāi)力τ χ的調(diào)節(jié)。(第九實(shí)施例)接著，圖20是從傳輸方向的上游側(cè)觀察的前視圖，它示出根據(jù)本發(fā)明第九實(shí)施例的基板位置控制設(shè)備900。構(gòu)成第九實(shí)施例的基板位置控制設(shè)備900的一對(duì)夾持輥930的輥931和932兩者都是錐形輥，其周面931b和932b相對(duì)于軸向傾斜，并且一個(gè)夾持輥是固定輥931而另一個(gè)是可動(dòng)輥932。當(dāng)處于工作狀態(tài)時(shí)，各夾持輥931和932保持在固定側(cè)支撐構(gòu)件941和可動(dòng)側(cè)支撐構(gòu)件942的遠(yuǎn)端，從而傾斜周面931b和93 相互壓在一起，且柔性基板1位于它們之間，并且各個(gè)軸931a和93 具有對(duì)應(yīng)于周面931b和932b相對(duì)于傳輸面(柔性基板1)的傾斜度。在圖中示出的示例中，各個(gè)輥931和932被安排成使得固定輥931接觸柔性基板1的背面，而可動(dòng)輥932接觸正面。各個(gè)輥931和932由例如金屬、陶瓷或塑料形成，或者通過(guò)將諸如橡膠的彈性材料粘附到由這些材料形成的核芯的外周而構(gòu)成，并且各個(gè)輥931和932分別由軸931a和 93加(支撐軸)通過(guò)能夠承受推力負(fù)載的軸承可旋轉(zhuǎn)地支撐。在各個(gè)軸931a和93 插入在各支撐構(gòu)件941和942中形成的固定部分941a和94 (固定孔，固定槽或卡盤)的狀態(tài)中，用諸如螺釘?shù)目梢瞥o固裝置(未示出)來(lái)固定各個(gè)軸931a和93 ，并且各個(gè)軸931a 和93 各自在軸向的位置優(yōu)選能夠被調(diào)節(jié)?；蛘撸捎筛鱾€(gè)軸931a和93 (旋轉(zhuǎn)軸)來(lái)固定各個(gè)夾持輥931和932，并且各個(gè)軸931a和93 可由各自的支架(941a，942a)通過(guò)能夠承受推力負(fù)載的軸承可旋轉(zhuǎn)地支撐，如同上述其它實(shí)施例。固定側(cè)支撐構(gòu)件941通過(guò)安裝托架970固定在真空室的結(jié)構(gòu)元件11上?？蓜?dòng)側(cè)支撐構(gòu)件942由從固定側(cè)支撐構(gòu)件941的上端延伸的延伸部分通過(guò)鉸鏈942b樞軸支撐，并且可動(dòng)輥932能夠通過(guò)可動(dòng)側(cè)支撐構(gòu)件942以鉸鏈軸(94 為中心的樞軸旋轉(zhuǎn)與固定輥931 接觸和分離。此外，彈簧950作為固定側(cè)支撐構(gòu)件941和可動(dòng)側(cè)支撐構(gòu)件942的中間部分之間的施力裝置被插入。彈簧950的一端通過(guò)壓力調(diào)節(jié)螺釘960連接至可動(dòng)側(cè)支撐構(gòu)件942，并且可通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)壓力調(diào)節(jié)螺釘960調(diào)節(jié)彈簧950的初始位移來(lái)調(diào)節(jié)可動(dòng)輥932對(duì)固定輥931 的壓力(接觸壓力)。在以上述方式構(gòu)成的基板位置控制設(shè)備900中，各個(gè)夾持輥931和932在大直徑側(cè)和小直徑側(cè)具有不同的圓周長(zhǎng)度。結(jié)果，如圖21B所示，當(dāng)通過(guò)與在傳輸方向F(R)上移動(dòng)的柔性基板1的接觸而驅(qū)動(dòng)和旋轉(zhuǎn)各個(gè)夾持輥931和932時(shí)，雖然在接觸面(夾持面)中產(chǎn)生順時(shí)針的旋轉(zhuǎn)力vF (vR)，但是由于柔性基板1在施加指定張力的狀態(tài)中由進(jìn)料輥(未示出)線性傳輸，因此只有在垂直于旋轉(zhuǎn)力vF(vR)方向上作用的力分量ux (展開(kāi)力)被傳送到柔性基板1的接觸面，并且柔性基板1的上邊緣由該向上的展開(kāi)力ux向上展開(kāi)。由上述各個(gè)夾持輥931和932傳送至柔性基板1的展開(kāi)力ux與各個(gè)夾持輥931 和932施加的壓力成正比，并且雖然隨著壓力變大，對(duì)應(yīng)于傾斜角α的展開(kāi)力ux根據(jù)各個(gè)夾持輥931和932的形狀來(lái)傳送，但是在壓力較小的情況下，在接觸面上會(huì)發(fā)生顯著的滑動(dòng)并且所傳送的展開(kāi)力ux會(huì)減小。由于各個(gè)夾持輥931和932施加的壓力與彈簧950的彈性位移成正比，因此可通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)壓力調(diào)節(jié)螺釘960調(diào)節(jié)彈簧950的初始位移來(lái)調(diào)節(jié)作用在柔性基板1的上邊緣的展開(kāi)力ux，并且由于該展開(kāi)力ux是使柔性基板1的上邊緣對(duì)抗其本身的重量提升的提升力，因此柔性基板1的上邊緣的位置可被調(diào)節(jié)。圖22A至22C示出上述第九實(shí)施例的基板位置控制設(shè)備900(930,930')應(yīng)用于類似于圖1所示的分步沉積型制造設(shè)備910的一個(gè)實(shí)施例。如上所述，大量沉積單元20沿公共真空室10中的傳輸方向F(R)排列成行?；逦恢每刂圃O(shè)備(930,930')包括在各個(gè)沉積單元20之間排列在傳輸路徑上側(cè)和下側(cè)的多對(duì)夾持輥930和930'，并且一對(duì)下夾持輥930'可通過(guò)垂直翻轉(zhuǎn)與一對(duì)上夾持輥930相同的結(jié)構(gòu)來(lái)安裝。根據(jù)上述構(gòu)造，柔性基板1可在垂直寬度方向上展開(kāi)，并且可通過(guò)在各個(gè)沉積單元20之間相對(duì)于傳輸方向F(R)的相同位置處允許由一對(duì)下夾持輥930'施加的向下作用在柔性基板1下邊緣上的展開(kāi)力-ux與由一對(duì)上夾持輥930施加的向上作用在柔性基板1 上邊緣上的展開(kāi)力ux同時(shí)作用，來(lái)抑制柔性基板1的熱皺紋和由傳輸張力引起的張力皺紋。此外，由于一對(duì)上夾持輥930和一對(duì)下夾持輥930'的展開(kāi)力ux和-ux之差產(chǎn)生對(duì)抗柔性基板1本身的重量提升柔性基板1的力，柔性基板1的傳輸高度可通過(guò)對(duì)應(yīng)于柔性基板1在垂直方向上的位置控制一對(duì)上夾持輥930的壓力來(lái)保持恒定。此外，由于由多對(duì)夾持輥930和930 ‘在垂直寬度方向上作用于柔性基板1的展開(kāi)動(dòng)作在柔性基板1的任一傳輸方向F和R中以相同的方式作用，而且對(duì)柔性基板1在垂直方向的位置的控制也可針對(duì)柔性基板1的任一傳輸方向F和R以相同的方式執(zhí)行，因此該構(gòu)造提供能夠立即適應(yīng)包括柔性基板1在正向和反向兩個(gè)方向上傳輸?shù)某练e過(guò)程的優(yōu)點(diǎn)。此外，上述柔性基板1上的展開(kāi)動(dòng)作和柔性基板1的位置控制不依賴于各對(duì)夾持輥931和932的按壓方向，假如各個(gè)夾持輥931和932的周面不是只在大直徑側(cè)或小直徑側(cè)接觸，并且壓力包含垂直于夾持面的分量。因此，類似于上述第九實(shí)施例的展開(kāi)動(dòng)作也在上述第二實(shí)施例的基板位置控制設(shè)備200 (夾持輥231和23 和第四實(shí)施例的基板位置控制設(shè)備400(夾持輥431和432)中獲得。雖然在上述實(shí)施例中示出了用調(diào)節(jié)螺釘960初步調(diào)節(jié)彈簧950的初始位移的情況的示例，但是如在以下將描述的各個(gè)實(shí)施例中，基板位置控制設(shè)備也可被構(gòu)造成能夠使用驅(qū)動(dòng)設(shè)備(致動(dòng)器或其驅(qū)動(dòng)傳送機(jī)構(gòu))主動(dòng)控制彈簧950的初始位移(壓力)。(第九實(shí)施例的應(yīng)用示例)圖23是從傳輸方向的上游側(cè)觀察的截面圖，它示出上述根據(jù)本發(fā)明第九實(shí)施例的基板位置控制設(shè)備900被應(yīng)用于連續(xù)沉積型制造設(shè)備912的一個(gè)實(shí)施例。以與圖6和7 所示的制造設(shè)備112相同的方式，在維持于指定真空度的真空室內(nèi)，制造設(shè)備912設(shè)置有相對(duì)地設(shè)置在柔性基板1的兩側(cè)的電極925(靶)和接地電極926，且柔性基板1介于它們之間。在該實(shí)施例中，下基板位置控制設(shè)備900'以彈簧950'的初始位移由調(diào)節(jié)螺釘960' 初步調(diào)節(jié)的預(yù)置類型的形式構(gòu)成，而上基板位置控制設(shè)備900設(shè)置有致動(dòng)器966和傳感器 967，并構(gòu)成為允許主動(dòng)控制彈簧950施加的壓力。在圖23中，雖然上基板位置控制設(shè)備900的彈簧950的一端以上述相同方式通過(guò)壓力調(diào)節(jié)螺釘960連接到可動(dòng)側(cè)支撐構(gòu)件942，但是另一端連接到由固定側(cè)支撐構(gòu)件941支撐從而能夠向前和向后位移的可動(dòng)軸965，而不是連接到固定側(cè)支撐構(gòu)件941?？蓜?dòng)軸965 由固定側(cè)支撐構(gòu)件941通過(guò)進(jìn)給螺釘機(jī)構(gòu)支撐，并被構(gòu)成為由示意性示出的致動(dòng)器966向前和向后驅(qū)動(dòng)。已知類型的致動(dòng)器，如液壓致動(dòng)器或電磁致動(dòng)器，可用作致動(dòng)器966。然而，由于真空室內(nèi)部暴露于減小的壓力和高溫，因此致動(dòng)器966優(yōu)選設(shè)置在真空室外部，并且可動(dòng)軸 965優(yōu)選通過(guò)諸如推或拉棒、桿、連桿或進(jìn)給螺釘機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)傳送機(jī)制來(lái)遠(yuǎn)距離驅(qū)動(dòng)。此外，基板位置控制設(shè)備900設(shè)置有傳感器967，傳感器967檢測(cè)在夾持輥931和 932附近的或在傳輸方向的上游側(cè)或下游側(cè)離開(kāi)一段距離的柔性基板的上端的位置，并且傳感器967連接到致動(dòng)器966的控制設(shè)備(未示出)。對(duì)傳感器967的類型沒(méi)有特定限制， 并且可用各種已知類型的傳感器。例如，傳感器967可構(gòu)造成包括對(duì)應(yīng)于柔性基板1上端位置的上限值和下限值上下相鄰排列的兩個(gè)檢測(cè)單元(如光學(xué)傳感器)，并且⑴在上下檢測(cè)單元都檢測(cè)到柔性基板 1的情況下確定柔性基板1的上端位置大于或等于上限，(ii)在上下檢測(cè)單元都未檢測(cè)到柔性基板1的情況下確定柔性基板1的上端位置低于下限，(iii)在只有下檢測(cè)單元檢測(cè)到柔性基板1的情況下確定柔性基板1的上端位置在適當(dāng)范圍內(nèi)。或者，傳感器967也可構(gòu)成為包括單個(gè)圖像傳感器，并通過(guò)圖像處理來(lái)檢測(cè)柔性基板1的上端位置。在已確定柔性基板1的上端位置大于或等于上限的情況(i)下，通過(guò)致動(dòng)器966 的驅(qū)動(dòng)使可動(dòng)軸965前進(jìn)，并且如果由彈簧950施加的夾持輥931和932的壓力減小，則通過(guò)夾持輥931和932對(duì)柔性基板1的上邊緣向上作用的展開(kāi)力(ux)減小，通過(guò)下基板位置控制設(shè)備900'的夾持輥931和932對(duì)柔性基板1的下邊緣向下作用的展開(kāi)力(_ux)成為主導(dǎo)，并且使柔性基板1向下。相反，在柔性基板1的上端位置低于下限的情況(ii)下，通過(guò)致動(dòng)器966的驅(qū)動(dòng)使可動(dòng)軸965后撤，并且如果由彈簧950施加的夾持輥931和932的壓力增大，則通過(guò)夾持輥931和932對(duì)柔性基板1的上邊緣向上作用的展開(kāi)力(ux)增大，向上作用的展開(kāi)力(ux) 相對(duì)于通過(guò)下基板位置控制設(shè)備900'的夾持輥931和932向下施加的展開(kāi)力(_ux)成為主導(dǎo)，并且使柔性基板1向上。以該方式，可使用傳感器967、致動(dòng)器966和控制設(shè)備通過(guò)對(duì)上基板位置控制設(shè)備 900的彈簧950施加的夾持輥931和932的壓力的反饋控制，將柔性基板1的上端位置維持在適當(dāng)范圍內(nèi)。此外，控制彈簧950施加的壓力的機(jī)構(gòu)不限于以上所述，而是可用能夠控制彈簧950的初始位移的其它機(jī)構(gòu)。此外，代替控制彈簧950的初始位移，可使用一構(gòu)造來(lái)提供在彈簧950 (第一彈簧) 的相同方向(或相反方向)上對(duì)可動(dòng)側(cè)支撐構(gòu)件942施力的第二彈簧，并且通過(guò)用致動(dòng)器使第二彈簧前進(jìn)和后撤來(lái)控制夾持輥931和932的壓力。雖然在上述實(shí)施例中示出只在上基板位置控制設(shè)備900中設(shè)置致動(dòng)器966并對(duì)下基板位置控制設(shè)備900'使用預(yù)置類型的情況，但是如圖M所示可在各個(gè)上下基板位置控制設(shè)備900和900'中設(shè)置致動(dòng)器966和966'以及傳感器967和967‘，并且通過(guò)用一公共控制設(shè)備來(lái)控制這些設(shè)備，可主動(dòng)地控制柔性基板1的上端位置和下端位置，可主動(dòng)地控制柔性基板1在垂直寬度方向(高度方向)上的位置以及寬度方向上的展開(kāi)度。然而， 考慮到作用在柔性基板1上的重力的影響，有必要為上側(cè)和下側(cè)分開(kāi)設(shè)置各個(gè)上下基板位置控制設(shè)備900和900'的各上側(cè)和下側(cè)的彈簧的初始位移和控制量。此外，雖然上述實(shí)施例描述了構(gòu)造在連續(xù)沉積型制造設(shè)備912中能夠主動(dòng)控制彈簧950的初始位移(壓力)的基板位置控制設(shè)備的情況，但是基板位置控制設(shè)備可類似地構(gòu)造以用于圖22所示的分步沉積型制造設(shè)備910。然而，在分步沉積型制造設(shè)備910中，可與分步傳輸同步地間歇地執(zhí)行柔性基板1的位置檢測(cè)和位置控制。S卩，在單個(gè)傳輸步驟之后，在執(zhí)行單個(gè)步驟的沉積過(guò)程的分步傳輸停止期間，由傳感器967執(zhí)行柔性基板1的上端或上端和下端兩者的位置檢測(cè)，并且在傳感器967已檢測(cè)到柔性基板1的位移的情況下，基于該檢測(cè)的控制信號(hào)被輸出至致動(dòng)器966，且由致動(dòng)器 966校正彈簧950的初始位移(壓力)。此時(shí)，由于柔性基板1是停止的，因此只改變夾持輥931和932的壓力，而柔性基板1在垂直方向上不移動(dòng)。接著，當(dāng)沉積過(guò)程的單個(gè)步驟已完成并對(duì)柔性基板1執(zhí)行下一步的傳輸時(shí)，其壓力已被校正的夾持輥931和932使柔性基板1向上或向下，并且柔性基板1在垂直方向上的位置被校正。因此，用這種類型的控制，基本上以交替方式執(zhí)行柔性基板1的位置檢測(cè)和位置校正。此外，同樣在分步沉積型制造設(shè)備910中，在傳感器967在每一步傳輸柔性基板1 期間執(zhí)行位置檢測(cè)的同時(shí)，致動(dòng)器966校正彈簧950的初始位移(壓力)，從而能夠?qū)崟r(shí)地執(zhí)行柔性基板1的位置控制，同時(shí)還能夠組合使用這兩種類型的控制。雖然各個(gè)上述實(shí)施例描述了將根據(jù)本發(fā)明的基板位置控制設(shè)備應(yīng)用于執(zhí)行沉積過(guò)程的制造設(shè)備912，同時(shí)以垂直方位在水平方向傳輸柔性基板1的情況，但是根據(jù)本發(fā)明的基板位置控制設(shè)備也可應(yīng)用于執(zhí)行諸如沉積的處理的各種處理設(shè)備或制造設(shè)備，同時(shí)在水平方向或垂直方向上以水平方位傳輸柔性基板1。(第十實(shí)施例)圖25是從傳輸方向的上游側(cè)觀察的截面圖，它示出類似于本發(fā)明第九實(shí)施例的基板位置控制設(shè)備1000被應(yīng)用于以水平方位傳輸?shù)倪B續(xù)沉積型制造設(shè)備1012的實(shí)施例。 制造設(shè)備1012設(shè)置有沉積單元，沉積單元包括在柔性基板1的上方和下方相對(duì)設(shè)置的電極 1025(靶)和接地電極10 ,柔性基板1介于它們之間，并且沉積單元設(shè)置在維持于指定真空度的真空室內(nèi)。構(gòu)成傳輸裝置的導(dǎo)向輥(空轉(zhuǎn)輥)、進(jìn)料輥和張力輥在傳輸方向上排列在沉積單元的上游側(cè)和下游側(cè)，并且柔性基板1的退繞輥和卷繞輥在傳輸方向上排列在其上游側(cè)和下游側(cè)。由于其構(gòu)造與現(xiàn)有技術(shù)的構(gòu)造相同，因此未在圖中示出。在圖25中，制造設(shè)備1012的基板位置控制設(shè)備包括設(shè)置在柔性基板1傳輸路徑的寬度方向上的兩側(cè)的兩個(gè)基板位置控制設(shè)備1000，兩個(gè)基板位置控制設(shè)備1000基本具有與第九實(shí)施例的基板位置控制設(shè)備900相同的構(gòu)造，除了被水平設(shè)置且固定側(cè)夾持輥 1031(固定側(cè)支撐構(gòu)件1041)位于底部，兩個(gè)基板位置控制設(shè)備1000均設(shè)置有致動(dòng)器1066 和傳感器1067，并被構(gòu)成為能夠主動(dòng)控制彈簧1050的壓力。
在該制造設(shè)備1012中，接地電極10 設(shè)置在柔性基板1的下表面一側(cè)上，幾乎沒(méi)有柔性基板1的重量的影響，并且這對(duì)于每一側(cè)的基板位置控制設(shè)備1000是類似的。因此， 彈簧1050的初始位移和每個(gè)致動(dòng)器1066的控制量基本設(shè)置為對(duì)于每一側(cè)的基板位置控制設(shè)備1000相等。另一方面，每個(gè)致動(dòng)器1066所施加的壓力的控制由每個(gè)控制設(shè)備基于每個(gè)傳感器1067的檢測(cè)單獨(dú)并協(xié)調(diào)地執(zhí)行，以便于校正柔性基板1在寬度方向上的位移和蛇行，同時(shí)在寬度方向上展開(kāi)柔性基板1。因此，每一側(cè)的傳感器1067優(yōu)選分別設(shè)置有對(duì)應(yīng)于柔性基板1各邊緣位置所允許的最大值和最小值在寬度方向上相鄰排列的兩個(gè)檢測(cè)單元，或者，每一側(cè)的傳感器1067優(yōu)選包括單個(gè)圖像傳感器，并設(shè)置為通過(guò)圖像處理檢測(cè)柔性基板 1各邊緣的位置。雖然以上提供了本發(fā)明各實(shí)施例的描述，但是本發(fā)明不限于上述實(shí)施例，而是可以基于本發(fā)明的技術(shù)構(gòu)想用各種方式改變或修改。例如，雖然各個(gè)上述實(shí)施例示出了使用張力彈簧作為施力裝置的情況，但是也可通過(guò)適當(dāng)?shù)馗淖児潭▊?cè)和可動(dòng)側(cè)的各個(gè)支撐構(gòu)件以及至各個(gè)連桿和可動(dòng)軸的連接點(diǎn)，將施力裝置安裝為壓力彈簧。在這種情況下，可根據(jù)需要在固定側(cè)和可動(dòng)側(cè)的支撐構(gòu)件或各個(gè)連桿和可動(dòng)軸中加入臂等。此外，螺旋彈簧可改變?yōu)楦鞣N已知類型的彈簧，如盤簧、扭簧或片簧。雖然固定側(cè)和可動(dòng)側(cè)的各個(gè)支撐構(gòu)件和各個(gè)連桿相互接觸和分離的形式可用線性滑動(dòng)替換，但是樞軸旋轉(zhuǎn)(懸臂旋轉(zhuǎn))在效率方面是優(yōu)選的。此外，雖然各個(gè)上述實(shí)施例描述了將根據(jù)本發(fā)明的基板位置控制設(shè)備應(yīng)用于太陽(yáng)能電池的薄膜層疊體的制造設(shè)備的情況，但是根據(jù)本發(fā)明的基板位置控制設(shè)備也可自然地應(yīng)用于用于有機(jī)EL設(shè)備等的半導(dǎo)體薄膜的制造設(shè)備，以及需要位置控制和柔性基板展開(kāi)的各種其它類型的處理設(shè)備，除沉積外還包括涂覆、清潔、干燥、熱處理和表面處理。附圖標(biāo)記的說(shuō)明1柔性基板10真空室11結(jié)構(gòu)元件20沉積單元21,25,925,1025 電極22，26，926，1026 接地電極24沉積單元27支撐輥100，200，202，203，300，400，500，600，700，800，900，1000 基板位置控制設(shè)備130，230，330，430，530，630，730，830，930 一對(duì)夾持輥131,231,331,531,731,831,931,1031 固定輥132，232，332，431，432，532，631，632，732，832，932，1032 可動(dòng)輥140，240，340，540，640，740，840，940，1040 支撐機(jī)構(gòu)141,241,341,541,741,843,943,1041 固定側(cè)支撐構(gòu)件142，242，342，441，442，942，1042 可動(dòng)側(cè)支撐構(gòu)件150,250,350,450,950,1050 彈簧(施力裝置)
160，260，360，460，560，660，760，860，960 壓カ調(diào)節(jié)螺釘542，641，642，742，841，842第二彈簧544，643，644，744，844 第一彈簧546，645，646 第三彈簧550,650,750,850 第一彈簧(壓カ彈簧)552,651,652第二彈簧(展開(kāi)彈簧)544a, 643a, 644a 擋塊754，853，854 復(fù)位彈簧764，863，864 調(diào)節(jié)螺釘965，1065 可動(dòng)軸966，1066 致動(dòng)器967，1067 傳感器
權(quán)利要求
1.一種處理設(shè)備中的柔性基板位置控制設(shè)備，該柔性基板位置控制設(shè)備以垂直方位在水平方向傳輸帶狀柔性基板，并由安裝在基板的傳輸路徑中的處理單元進(jìn)行基板的處理，所述控制設(shè)備包括一對(duì)夾持輥，夾持基板的上邊緣；支撐機(jī)構(gòu)，可旋轉(zhuǎn)地支撐所述一對(duì)夾持輥，同時(shí)允許這些輥彼此互相接觸和分離；施力裝置，用于經(jīng)由支撐機(jī)構(gòu)向所述一對(duì)夾持輥施加壓力；以及調(diào)節(jié)裝置，用于調(diào)節(jié)由施力裝置施加的壓力，其中，所述一對(duì)夾持輥具有傾斜度，其中相對(duì)于基板的夾持面的加壓方向?yàn)槌蚧鍖挾确较虻倪吘墸宜鲆粚?duì)夾持輥由支撐機(jī)構(gòu)支撐，以使夾持面處的旋轉(zhuǎn)方向與基板的傳輸方向?yàn)橄嗤较颉?br> 2.—種處理設(shè)備中的柔性基板位置控制設(shè)備，該柔性基板位置控制設(shè)備以垂直方位在水平方向傳輸帶狀柔性基板，并由安裝在基板的傳輸路徑中的處理單元進(jìn)行基板的處理，所述控制設(shè)備包括支撐機(jī)構(gòu)，可旋轉(zhuǎn)地支撐所述一對(duì)夾持輥，同時(shí)允許這些輥彼此互相接觸和分離；施力裝置，用于經(jīng)由支撐機(jī)構(gòu)向所述一對(duì)夾持輥施加壓力；以及調(diào)節(jié)裝置，用于調(diào)節(jié)由施力裝置施加的壓力，其中，所述一對(duì)夾持輥具有傾斜度，其中各個(gè)輥的軸方向朝向基板寬度方向的邊緣移離基板的夾持面，且所述一對(duì)夾持輥由支撐機(jī)構(gòu)支撐，以使夾持面處的旋轉(zhuǎn)方向與基板的傳輸方向?yàn)橄嗤较颉?br> 3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的柔性基板位置控制設(shè)備，其特征在于，構(gòu)成所述一對(duì)夾持輥的各個(gè)輥的周面具有弧形截面，且輥由支撐機(jī)構(gòu)支撐以便于在軸向偏移時(shí)能夠互相接觸和分離。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的柔性基板位置控制設(shè)備，其特征在于，構(gòu)成所述一對(duì)夾持輥的輥的至少一個(gè)是錐形輥，具有在其軸向傾斜的周面。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的柔性基板位置控制設(shè)備，其特征在于，構(gòu)成所述一對(duì)夾持輥的每個(gè)輥都是錐形輥，具有在其軸向傾斜的周面。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的柔性基板位置控制設(shè)備，其特征在于，所述一對(duì)夾持輥由支撐機(jī)構(gòu)支撐，以使夾持面相對(duì)于基板寬度方向具有傾斜度。
7.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的柔性基板位置控制設(shè)備，其特征在于，所述支撐機(jī)構(gòu)包括第一連桿，所述第一連桿使得所述一對(duì)夾持輥中的一個(gè)或者兩個(gè)輥能向彼此接觸和分離的方向移動(dòng)，以及第二連桿，所述第二連桿使得夾持輥能向基板寬度方向移動(dòng)，所述施力裝置包括第一施力構(gòu)件，所述第一施力構(gòu)件在夾持輥被壓在一起的方向上對(duì)第一連桿施力，以及第二施力構(gòu)件，所述第二施力構(gòu)件朝向基板寬度方向的邊緣在展開(kāi)方向上對(duì)第二連桿施力，且所述壓力的調(diào)節(jié)裝置包括所述第二施力構(gòu)件的施力調(diào)節(jié)裝置。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的柔性基板位置控制設(shè)備，其特征在于，所述支撐機(jī)構(gòu)還包括第三連桿，所述第三連桿使得所述第一連桿的支撐點(diǎn)向基板寬度方向移動(dòng)。
9.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的柔性基板位置控制設(shè)備，其特征在于，所述支撐機(jī)構(gòu)包括第一連桿，所述第一連桿使得所述一對(duì)夾持輥中的一個(gè)或者兩個(gè)在彼此接觸和分離的方向上移動(dòng)；第二連桿，所述第二連桿在基板寬度方向上樞軸地支撐所述一對(duì)夾持輥中的一個(gè)或者兩個(gè)；以及復(fù)位彈簧，所述復(fù)位彈簧經(jīng)由第二連桿對(duì)夾持輥中的一個(gè)或者兩個(gè)在與基板寬度方向的邊緣相反的方向上施力，并且所述施力裝置包括 第一施力構(gòu)件，所述第一施力構(gòu)件對(duì)第一連桿在夾持輥接觸和分離的方向上施力，而夾持輥中的一個(gè)或者兩個(gè)構(gòu)成為以第一施力構(gòu)件的壓力和復(fù)位彈簧的復(fù)位力處于平衡的擺角被按壓。
10.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的柔性基板位置控制設(shè)備，其特征在于，還包括一對(duì)下夾持輥，其夾持所述基板的所述下邊緣；以及用于所述一對(duì)下夾持輥的支撐機(jī)構(gòu)和施力裝置，與上述的支撐機(jī)構(gòu)和施力裝置以相同的方式構(gòu)成。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的柔性基板位置控制設(shè)備，其特征在于，所述處理設(shè)備是薄膜層疊體制造設(shè)備，設(shè)置有以均等的間距沿著基板的傳輸路徑排列成行的作為處理單元的多個(gè)沉積單元，依序在基板的表面連續(xù)地層疊和形成薄膜，同時(shí)間歇地以與沉積單元相對(duì)應(yīng)的間距傳輸基板，并且一對(duì)上夾持輥和所述一對(duì)下夾持輥設(shè)置于多個(gè)沉積單元之間。
12.根據(jù)權(quán)利要求10所述的柔性基板位置控制設(shè)備，其特征在于，所述處理設(shè)備是薄膜層疊體制造設(shè)備，在連續(xù)傳輸基板時(shí)用作為處理單元的沉積單元在基板的表面上層疊和形成薄膜，多對(duì)上夾持輥和多對(duì)下夾持輥沿著沉積單元的上方和下方的傳輸方向排列。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的柔性基板位置控制設(shè)備，其特征在于，在基板的薄膜形成區(qū)域與多對(duì)上夾持輥之間、以及薄膜形成區(qū)域與多對(duì)下夾持輥之間，還包括分別沿著支撐基板的傳輸方向排列的多個(gè)支撐輥。
14.一種處理設(shè)備中的柔性基板位置控制設(shè)備，所述柔性基板位置控制設(shè)備傳輸帶狀柔性基板并由安裝于基板的傳輸路徑中的處理單元進(jìn)行基板的處理，所述控制設(shè)備包括各對(duì)夾持輥，其夾持基板的各個(gè)邊緣；各個(gè)支撐機(jī)構(gòu)，其可旋轉(zhuǎn)地支撐各對(duì)夾持輥，并分別允許每一對(duì)彼此互相接觸和分離；施力裝置，用于經(jīng)由各個(gè)支撐機(jī)構(gòu)向各對(duì)夾持輥施加壓力；以及調(diào)節(jié)裝置，用于調(diào)節(jié)由施力裝置施加的壓力，其中，每對(duì)夾持輥具有傾斜度，其中各個(gè)輥的軸方向向基板寬度方向的邊緣移離基板的保持面，且由各個(gè)支撐機(jī)構(gòu)支撐以使夾持面處的旋轉(zhuǎn)方向與基板的傳輸方向?yàn)橄嗤较颉?br> 15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的柔性基板位置控制設(shè)備，其特征在于，構(gòu)成各對(duì)夾持輥的每個(gè)輥是錐形輥，具有相對(duì)于其軸向傾斜的周面。
全文摘要
一種處理設(shè)備中的柔性基板位置控制設(shè)備(100)，該柔性基板位置控制設(shè)備以垂直方位在水平方向傳輸帶狀柔性基板(1)，并由安裝在基板的傳輸路徑中的處理單元進(jìn)行基板的處理，它設(shè)置有一對(duì)夾持輥(131，132)，夾持基板的上邊緣；支撐機(jī)構(gòu)(140)，可旋轉(zhuǎn)地支撐一對(duì)夾持輥，同時(shí)允許這些輥彼此互相接觸和分離；施力裝置(150)，用于經(jīng)由支撐機(jī)構(gòu)向一對(duì)夾持輥施加壓力；以及調(diào)節(jié)裝置(160)，用于調(diào)節(jié)由施力裝置施加的壓力。一對(duì)夾持輥具有傾斜度，其中相對(duì)于基板的夾持面的加壓方向?yàn)槌蚧鍖挾确较虻倪吘?，且一?duì)夾持輥由支撐機(jī)構(gòu)支撐，以使夾持面處的旋轉(zhuǎn)方向與基板的傳輸方向?yàn)橄嗤较颉Ｈ嵝曰逦恢每刂圃O(shè)備能夠抑制帶狀柔性基板的下垂和皺紋的出現(xiàn)，并且在實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量的處理同時(shí)，能夠處理柔性基板在相反方向上的傳輸。
文檔編號(hào)H01L21/205GK102300796SQ20108000630
公開(kāi)日2011年12月28日 申請(qǐng)日期2010年1月8日 優(yōu)先權(quán)日2009年1月28日
發(fā)明者和田剛典, 山田隆典, 橫山勝治 申請(qǐng)人:富士電機(jī)株式會(huì)社