技術(shù)編號(hào)：6986748
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及柔性基板位置控制設(shè)備，尤其涉及在傳輸柔性基板時(shí)在執(zhí)行諸如膜沉積的處理的處理設(shè)備中控制帶狀柔性基板在寬度方向上的位置的控制設(shè)備。背景技術(shù)雖然剛性基板通常用于諸如半導(dǎo)體薄膜的薄膜層疊體的基板，但是為了改善生產(chǎn)率并降低成本，由于重量輕并能夠成輥地處理所以能提供較大的處理方便，也有使用諸如塑料膜的柔性基板的情況。例如，專利文獻(xiàn)1揭示了薄膜層疊體(薄膜光電轉(zhuǎn)換元件)的制造設(shè)備，它在柔性基板上層疊并形成不同性質(zhì)的多個(gè)薄膜，并使用在柔性基板的傳輸方向上排列的多...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。