專(zhuān)利名稱(chēng)：基板對(duì)位裝置、基板對(duì)位平臺(tái)和基板傳送設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及液晶顯示器制造技術(shù)，特別涉及一種基板對(duì)位裝置、基板對(duì)位平 臺(tái)和基板傳送設(shè)備。
背景技術(shù)：
在薄膜晶體管液晶顯示器的制造過(guò)程中，為了實(shí)現(xiàn)玻璃基板的正常傳動(dòng)，存在很 多玻璃基板對(duì)位步驟。目前常用的是通過(guò)基板對(duì)位裝置進(jìn)行玻璃基板的定位。圖1為現(xiàn)有技術(shù)基板對(duì)位裝置的結(jié)構(gòu)示意圖，如圖1所示，該基板對(duì)位裝置可以包 括氣缸主體11、運(yùn)動(dòng)活塞12、活動(dòng)件導(dǎo)軌13、運(yùn)動(dòng)活塞位置檢測(cè)傳感器14和對(duì)位針15。其 中，活動(dòng)件導(dǎo)軌13設(shè)置在氣缸主體11的下方，運(yùn)動(dòng)活塞12活動(dòng)設(shè)置在氣缸主體11內(nèi)，可以 沿活動(dòng)件導(dǎo)軌13進(jìn)行往復(fù)運(yùn)動(dòng)；對(duì)位針15固定設(shè)置在運(yùn)動(dòng)活塞12的端部，可以隨著運(yùn)動(dòng) 活塞12 —起運(yùn)動(dòng)，該對(duì)位針15上設(shè)置有對(duì)位滾輪；運(yùn)動(dòng)活塞位置檢測(cè)傳感器14用于檢測(cè) 運(yùn)動(dòng)活塞12的運(yùn)動(dòng)位置。該基板對(duì)位裝置在工作時(shí)，外部驅(qū)動(dòng)信號(hào)驅(qū)動(dòng)電磁閥門(mén)開(kāi)啟，向 氣缸主體11內(nèi)通入作為動(dòng)力的壓縮空氣，驅(qū)動(dòng)運(yùn)動(dòng)活塞12沿活動(dòng)件導(dǎo)軌13做往復(fù)運(yùn)動(dòng)， 并帶動(dòng)對(duì)位針15 —起運(yùn)動(dòng)對(duì)基板進(jìn)行位置校正。運(yùn)動(dòng)活塞位置檢測(cè)傳感器14可以將運(yùn)動(dòng) 活塞12的位置信息反饋至控制系統(tǒng)，確保運(yùn)動(dòng)活塞12運(yùn)動(dòng)到位。但是，上述現(xiàn)有技術(shù)的基板對(duì)位裝置存在如下技術(shù)缺陷運(yùn)動(dòng)活塞在帶動(dòng)對(duì)位針 運(yùn)動(dòng)的過(guò)程中，緩沖性較差，容易使得對(duì)位過(guò)程中的硬力損傷玻璃基板，造成玻璃基板破 碎。例如特別是對(duì)于制造小尺寸的液晶顯示器中所使用的薄玻璃基板損傷較大，造成玻璃 基板破碎的高發(fā)，降低了產(chǎn)品良率。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是提供一種基板對(duì)位裝置、基板對(duì)位平臺(tái)和基板傳送設(shè)備，以 解決基板對(duì)位過(guò)程中易發(fā)生基板破碎的問(wèn)題，實(shí)現(xiàn)降低對(duì)位過(guò)程中的玻璃基板損傷率，提 高基板對(duì)位時(shí)的產(chǎn)品良率。本實(shí)用新型提供一種基板對(duì)位裝置，包括支持部件、氣缸主體、活塞氣缸、運(yùn)動(dòng)活 塞、對(duì)位部件、彈性部件和導(dǎo)軌；所述氣缸主體固定在所述支持部件上，兩個(gè)所述活塞氣缸設(shè)置在所述氣缸主體 內(nèi)，且兩個(gè)所述活塞氣缸之間存在間隙；所述支持部件的端部設(shè)置有端部體，所述運(yùn)動(dòng)活塞 的一端設(shè)置在所述活塞氣缸內(nèi)，另一端與所述端部體相對(duì)；所述對(duì)位部件包括對(duì)位支架、對(duì)位滾輪、活動(dòng)件和滑塊；所述對(duì)位滾輪設(shè)置在所述 對(duì)位支架上，所述活動(dòng)件固接在所述對(duì)位支架的下部，且所述活動(dòng)件上設(shè)置有穿設(shè)孔，所述 運(yùn)動(dòng)活塞穿設(shè)于所述穿設(shè)孔中；所述滑塊設(shè)置在所述活動(dòng)件的底部且與所述支持部件上設(shè) 置的導(dǎo)軌滑動(dòng)連接；所述彈性部件的一端連接所述活動(dòng)件，另一端連接所述端部體。如上所述的基板對(duì)位裝置，所述彈性部件為彈簧。如上所述的基板對(duì)位裝置，還包括調(diào)節(jié)部件；所述調(diào)節(jié)部件包括調(diào)節(jié)桿和固定件；所述調(diào)節(jié)桿設(shè)置于兩個(gè)所述運(yùn)動(dòng)活塞之間的間隙處，且穿設(shè)于所述彈簧；所述調(diào)節(jié)桿 的一端連接所述活動(dòng)件，另一端穿過(guò)所述端部體伸出后由所述固定件鎖緊。如上所述的基板對(duì)位裝置，所述固定件為調(diào)節(jié)螺母。如上所述的基板對(duì)位裝置，還包括基板檢測(cè)部件；所述基板檢測(cè)部件包括檢測(cè) 支架和檢測(cè)傳感器；所述檢測(cè)支架設(shè)置在所述氣缸主體的靠近所述對(duì)位部件的端部位置， 所述檢測(cè)傳感器設(shè)置在所述檢測(cè)支架上。如上所述的基板對(duì)位裝置，所述檢測(cè)支架固定在所述氣缸主體上。如上所述的基板對(duì)位裝置，所述氣缸主體的靠近所述對(duì)位部件的端部位置還設(shè)置 有活動(dòng)件定位停止裝置，所述活動(dòng)件定位停止裝置的一端伸出所述氣缸主體的端部。如上所述的基板對(duì)位裝置，所述檢測(cè)傳感器的數(shù)量與所述對(duì)位滾輪的數(shù)量相等。如上所述的基板對(duì)位裝置，所述檢測(cè)傳感器為光感傳感器。本實(shí)用新型提供一種基板對(duì)位平臺(tái)，包括平臺(tái)支架和本實(shí)用新型所述的基板對(duì)位 裝置，所述基板對(duì)位裝置固定在所述平臺(tái)支架上。本實(shí)用新型提供一種基板傳送設(shè)備，包括基板傳送軌道和本實(shí)用新型所述的基板 對(duì)位平臺(tái)，所述基板對(duì)位平臺(tái)設(shè)置在所述基板傳送軌道上。本實(shí)用新型的基板對(duì)位裝置、基板對(duì)位平臺(tái)和基板傳送設(shè)備，通過(guò)設(shè)置彈性部件 等緩沖結(jié)構(gòu)，解決了基板對(duì)位過(guò)程中易發(fā)生基板破碎的問(wèn)題，降低了對(duì)位過(guò)程中的玻璃基 板損傷率，提高了基板對(duì)位時(shí)的產(chǎn)品良率。

為了更清楚地說(shuō)明本實(shí)用新型實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例 或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作一簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見(jiàn)地，下面描述中的附圖是 本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下， 還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。圖1為現(xiàn)有技術(shù)基板對(duì)位裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本實(shí)用新型基板對(duì)位裝置實(shí)施例的俯視圖；圖3為本實(shí)用新型基板對(duì)位裝置實(shí)施例的側(cè)視圖；圖4為本實(shí)用新型基板對(duì)位裝置實(shí)施例的應(yīng)用示意圖。附圖標(biāo)記說(shuō)明11-氣缸主體；12-運(yùn)動(dòng)活S ； 13-活動(dòng)件導(dǎo)軌[0027]14-運(yùn)動(dòng)活塞位置檢測(cè)傳感器；15-對(duì)位針；16-彈性部件；[0028]17-端部體；18-間隙； 19-對(duì)位支架；[0029]20-對(duì)位滾輪；21-活動(dòng)件； 22-滑塊；[0030]23-調(diào)節(jié)桿；24-固定件； 25-檢測(cè)支架；[0031]26-檢測(cè)傳感器；27-基板對(duì)位裝置；28-基板；[0032]29-支持部件；30-活塞氣缸； 31-氣缸導(dǎo)軌；[0033]32-進(jìn)出氣口 ；33-活動(dòng)件定位停止裝置()具體實(shí)施方式
為使本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施 例中的附圖，對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí) 施例是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例。基于本實(shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng) 域普通技術(shù)人員在沒(méi)有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用 新型保護(hù)的范圍。本實(shí)用新型的主要技術(shù)方案為，在目前的基板對(duì)位裝置的結(jié)構(gòu)基礎(chǔ)上，增設(shè)了彈 性部件等，使得該對(duì)位裝置可以實(shí)現(xiàn)緩沖功能，以避免對(duì)位過(guò)程中的硬力對(duì)基板造成損傷， 提高產(chǎn)品的良率。下面通過(guò)附圖和具體實(shí)施例，對(duì)本實(shí)用新型的技術(shù)方案做進(jìn)一步的詳細(xì)描述。圖2為本實(shí)用新型基板對(duì)位裝置實(shí)施例的俯視圖，圖3為本實(shí)用新型基板對(duì)位裝 置實(shí)施例的側(cè)視圖，如圖2和圖3所示，本實(shí)施例的基板對(duì)位裝置可以包括支持部件四、氣 缸主體11、兩個(gè)活塞氣缸30、運(yùn)動(dòng)活塞12、活動(dòng)件導(dǎo)軌13、對(duì)位部件和彈性部件16。其中，活動(dòng)件導(dǎo)軌13設(shè)置在氣缸主體11的下部，運(yùn)動(dòng)活塞12 —端設(shè)置在氣缸主 體11內(nèi)，另一端伸出氣缸主體11外。氣缸主體11的下部可以設(shè)置有氣缸導(dǎo)軌31，運(yùn)動(dòng)活 塞12的底部與氣缸導(dǎo)軌31構(gòu)成滑動(dòng)連接，其可以在進(jìn)出氣口 32通入的壓縮空氣動(dòng)力的推 動(dòng)下，沿氣缸導(dǎo)軌31往復(fù)運(yùn)動(dòng)。支持部件四的端部還設(shè)置有端部體17，運(yùn)動(dòng)活塞12 —端 設(shè)置在活塞氣缸30內(nèi)，另一端與端部體17相對(duì)。此外，兩個(gè)活塞氣缸30之間存在間隙18， 即兩個(gè)運(yùn)動(dòng)活塞12之間存在間隙18。對(duì)位部件包括對(duì)位支架19、對(duì)位滾輪20、活動(dòng)件21和滑塊22。其中，對(duì)位滾輪20 設(shè)置在對(duì)位支架19上，例如本實(shí)施例中可以包括兩個(gè)對(duì)位滾輪20，分別設(shè)置在對(duì)位支架19 的兩端；其安裝個(gè)數(shù)可以根據(jù)實(shí)際需要確定。該對(duì)位滾輪20是可以在玻璃基板的行進(jìn)方向 上自由轉(zhuǎn)動(dòng)的圓柱體裝置，它的作用是在氣缸主體11收緊對(duì)位的情況下對(duì)玻璃基板進(jìn)行 位置校正。活動(dòng)件21固接在對(duì)位支架19的下部，且活動(dòng)件21上設(shè)置有穿設(shè)孔，運(yùn)動(dòng)活塞12 由該穿設(shè)孔中穿過(guò)?；顒?dòng)件21的底部設(shè)置有滑塊22，該滑塊22與活動(dòng)件導(dǎo)軌13構(gòu)成滑動(dòng) 連接。上述結(jié)構(gòu)使得對(duì)位部件和運(yùn)動(dòng)活塞為同軌道設(shè)計(jì)，能夠有效保障氣缸主體收縮時(shí)運(yùn) 動(dòng)活塞12及活動(dòng)件21的運(yùn)動(dòng)方向在一條直線(xiàn)上。彈性部件16設(shè)置在活動(dòng)件21和運(yùn)動(dòng)活塞12的端部體17之間，其一端連接活動(dòng) 件21，另一端連接端部體17。例如，該彈性部件16可以為彈簧。在氣缸主體11收緊定位 使得運(yùn)動(dòng)活塞12向氣缸主體11內(nèi)方向運(yùn)動(dòng)的過(guò)程中，運(yùn)動(dòng)活塞12端部的端部體17可以 將收緊力傳遞至與其連接的彈性部件16，再依靠彈性部件16的彈性將收緊力傳遞至對(duì)位 部件。上述的對(duì)位過(guò)程中的緩沖設(shè)計(jì)能夠有效降低硬力對(duì)玻璃基板的損傷。上述通過(guò)將對(duì)位部件設(shè)置為沿導(dǎo)軌滑動(dòng)式，且增加了彈性部件，使得在基板的對(duì) 位過(guò)程中起到了緩沖作用，降低了對(duì)位過(guò)程中的基板損傷發(fā)生率，提高了產(chǎn)品良率。進(jìn)一步的，本實(shí)施例的基板對(duì)位裝置還可以包括調(diào)節(jié)部件。該調(diào)節(jié)部件包括調(diào)節(jié) 桿23和固定件M。其中，調(diào)節(jié)桿23設(shè)置于兩個(gè)運(yùn)動(dòng)活塞12之間的間隙18的位置處，其一 端連接對(duì)位部件中的活動(dòng)件21，另一端穿過(guò)運(yùn)動(dòng)活塞12的端部體17伸出，再由固定件M 將該調(diào)節(jié)桿23鎖緊固定。[0044]該調(diào)節(jié)桿23穿設(shè)于彈性部件16例如彈簧中，其作用是可以通過(guò)其穿設(shè)于彈簧的 長(zhǎng)度的變化調(diào)整彈簧的壓縮程度，即調(diào)整彈簧的彈力；固定件M例如可以為調(diào)節(jié)螺母，當(dāng) 調(diào)整調(diào)節(jié)桿23的伸出端部體17的長(zhǎng)度后，可以用該固定件M鎖緊。調(diào)節(jié)部件可以通過(guò)其 中的調(diào)節(jié)桿23和固定件M調(diào)節(jié)彈簧的壓縮程度，在實(shí)際實(shí)施中，可以通過(guò)上述方法根據(jù)對(duì) 位力量的要求調(diào)節(jié)彈簧的緩沖力度。本實(shí)施例中，在氣缸主體11的靠近對(duì)位部件的端部位置，還可以設(shè)置有活動(dòng)件定 位停止裝置33，該活動(dòng)件定位停止裝置33的一端伸出氣缸主體11的端部，可以對(duì)活動(dòng)件 21進(jìn)行抵頂定位使其停止運(yùn)動(dòng)。進(jìn)一步的，本實(shí)施例的基板對(duì)位裝置還可以包括基板檢測(cè)部件，該基板檢測(cè)部件 可以包括檢測(cè)支架25和檢測(cè)傳感器26。其中，檢測(cè)支架25設(shè)置在基板的校正位置，例如， 可以固定在氣缸主體11的靠近對(duì)位部件的端部位置，沿基板收緊對(duì)位的位置邊緣處設(shè)置。 檢測(cè)傳感器26設(shè)置在檢測(cè)支架25上。本實(shí)施例中的檢測(cè)傳感器沈的設(shè)置數(shù)量與對(duì)位部 件中的對(duì)位滾輪20的數(shù)量相等，也為兩個(gè)，且分別設(shè)置于檢測(cè)支架25的兩端。該檢測(cè)傳感器沈可以采用光感傳感器，可以通過(guò)該光感傳感器對(duì)基板進(jìn)行當(dāng)前 位置檢測(cè)和破損檢測(cè)，檢測(cè)基板是否達(dá)到了校正位置，并能夠及時(shí)檢測(cè)出基板的破碎情況， 降低后續(xù)工序中的設(shè)備停機(jī)時(shí)間，提高整個(gè)生產(chǎn)線(xiàn)的生產(chǎn)能力。在實(shí)際實(shí)施中，可以根據(jù)實(shí) 際需要預(yù)先設(shè)定檢測(cè)傳感器26的個(gè)數(shù)、設(shè)置位置以及檢出閥值等參數(shù)。例如，當(dāng)基板尺寸 較大時(shí)，需要多個(gè)對(duì)位滾輪進(jìn)行位置校正，此時(shí)，檢測(cè)傳感器沈通過(guò)檢測(cè)支架25安裝在校 正后的正確的與對(duì)位滾輪相應(yīng)的下部。檢測(cè)傳感器26是通過(guò)接收自身發(fā)射光的反射光進(jìn) 行檢驗(yàn)的，因此可以設(shè)置其接收的反射光強(qiáng)檢測(cè)閥值，可以進(jìn)行基板破碎檢測(cè)，以使得當(dāng)其 中一個(gè)滾輪造成對(duì)位破損或者對(duì)位異常時(shí)能夠及時(shí)發(fā)現(xiàn)，進(jìn)行調(diào)整。圖4為本實(shí)用新型基板對(duì)位裝置實(shí)施例的應(yīng)用示意圖，如圖4所示，外部控制系統(tǒng) 可以發(fā)出驅(qū)動(dòng)信號(hào)驅(qū)動(dòng)電磁閥門(mén)開(kāi)啟，對(duì)基板對(duì)位裝置27中的氣缸主體通入壓縮空氣，推 動(dòng)運(yùn)動(dòng)活塞沿導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)。例如，氣缸主體收緊對(duì)位時(shí)，運(yùn)動(dòng)活塞向氣缸主體內(nèi)部運(yùn)動(dòng)，端部 體也隨之運(yùn)動(dòng)，并通過(guò)彈性部件將收緊力傳遞至對(duì)位部件，由對(duì)位部件對(duì)基板28進(jìn)行位置 校正。其中，上述在基板觀(guān)的對(duì)位校正過(guò)程中，由于有彈性部件的緩沖作用，可以有效降低 硬力對(duì)基板觀(guān)的損傷，提高了產(chǎn)品良率。此外，設(shè)置在基板校正位置處的檢測(cè)部件可以實(shí)時(shí)檢測(cè)基板觀(guān)的當(dāng)前位置，保證 基板28對(duì)位準(zhǔn)確。并且，可以在每個(gè)對(duì)位滾輪處均設(shè)置該檢測(cè)部件，以及時(shí)檢測(cè)出基板洲 的破損情況，如果有基板觀(guān)發(fā)生破碎，可以被檢測(cè)部件及時(shí)檢出，避免了基板在設(shè)備入口 破損后進(jìn)入設(shè)備腔體造成設(shè)備腔體的污染，處理需要加壓、降溫處理而導(dǎo)致的設(shè)備停機(jī)時(shí) 間過(guò)長(zhǎng)，降低了后續(xù)工序中因基板破損所導(dǎo)致的設(shè)備停機(jī)時(shí)間，提高了整個(gè)生產(chǎn)線(xiàn)的生產(chǎn) 能力。本實(shí)施例的基板對(duì)位裝置，通過(guò)設(shè)置彈性部件等緩沖結(jié)構(gòu)，解決了基板對(duì)位過(guò)程 中易發(fā)生基板破碎的問(wèn)題，降低了對(duì)位過(guò)程中的玻璃基板損傷率，提高了基板對(duì)位時(shí)的產(chǎn) 品良率；并且，通過(guò)設(shè)置檢測(cè)部件等基板位置和破損檢測(cè)結(jié)構(gòu)，可以及時(shí)檢測(cè)出基板的破損 情況，降低了后續(xù)工序中因基板破損所導(dǎo)致的設(shè)備停機(jī)時(shí)間，提高了生產(chǎn)率。 本實(shí)用新型還提供了 一種基板對(duì)位平臺(tái)，該平臺(tái)包括平臺(tái)支架和本實(shí)用新型任意 實(shí)施例所述的基板對(duì)位裝置，所述基板對(duì)位裝置固定在所述平臺(tái)支架上。[0052]本實(shí)用新型還提供了一種基板傳送設(shè)備，該設(shè)備包括基板傳送軌道和本實(shí)用新型 實(shí)施例所提供的基板對(duì)位平臺(tái)，所述基板對(duì)位平臺(tái)設(shè)置在所述基板傳送軌道上，可以在基 板傳送軌道上移動(dòng)。最后應(yīng)說(shuō)明的是以上實(shí)施例僅用以說(shuō)明本實(shí)用新型的技術(shù)方案，而非對(duì)其限制； 盡管參照前述實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行了詳細(xì)的說(shuō)明，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解: 其依然可以對(duì)前述各實(shí)施例所記載的技術(shù)方案進(jìn)行修改，或者對(duì)其中部分技術(shù)特征進(jìn)行等 同替換；而這些修改或者替換，并不使相應(yīng)技術(shù)方案的本質(zhì)脫離本實(shí)用新型各實(shí)施例技術(shù) 方案的精神和范圍。
權(quán)利要求1.一種基板對(duì)位裝置，其特征在于，包括支持部件、氣缸主體、活塞氣缸、運(yùn)動(dòng)活塞、 對(duì)位部件和彈性部件；所述氣缸主體固定在所述支持部件上，兩個(gè)所述活塞氣缸設(shè)置在所述氣缸主體內(nèi)，且 兩個(gè)所述活塞氣缸之間存在間隙；所述支持部件的端部設(shè)置有端部體，所述運(yùn)動(dòng)活塞的一 端設(shè)置在所述活塞氣缸內(nèi)，另一端與所述端部體相對(duì)；所述對(duì)位部件包括對(duì)位支架、對(duì)位滾輪、活動(dòng)件和滑塊；所述對(duì)位滾輪設(shè)置在所述對(duì)位 支架上，所述活動(dòng)件固接在所述對(duì)位支架的下部，且所述活動(dòng)件上設(shè)置有穿設(shè)孔，所述運(yùn)動(dòng) 活塞穿設(shè)于所述穿設(shè)孔中；所述滑塊設(shè)置在所述活動(dòng)件的底部且與所述支持部件上設(shè)置的 活動(dòng)件導(dǎo)軌滑動(dòng)連接；所述彈性部件的一端連接所述活動(dòng)件，另一端連接所述端部體。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板對(duì)位裝置，其特征在于，所述彈性部件為彈簧。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基板對(duì)位裝置，其特征在于，還包括調(diào)節(jié)部件；所述調(diào)節(jié)部 件包括調(diào)節(jié)桿和固定件；所述調(diào)節(jié)桿設(shè)置于兩個(gè)所述運(yùn)動(dòng)活塞之間的間隙處，且穿設(shè)于所述彈簧；所述調(diào)節(jié)桿 的一端連接所述活動(dòng)件，另一端穿過(guò)所述端部體伸出后由所述固定件鎖緊。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的基板對(duì)位裝置，其特征在于，所述固定件為調(diào)節(jié)螺母。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板對(duì)位裝置，其特征在于，還包括基板檢測(cè)部件；所述基 板檢測(cè)部件包括檢測(cè)支架和檢測(cè)傳感器；所述檢測(cè)支架設(shè)置在所述氣缸主體的靠近所述對(duì) 位部件的端部位置，所述檢測(cè)傳感器設(shè)置在所述檢測(cè)支架上。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的基板對(duì)位裝置，其特征在于，所述檢測(cè)支架固定在所述氣缸 主體上。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的基板對(duì)位裝置，其特征在于，所述氣缸主體的靠近所述對(duì)位 部件的端部位置還設(shè)置有活動(dòng)件定位停止裝置，所述活動(dòng)件定位停止裝置的一端伸出所述 氣缸主體的端部。
8.根據(jù)權(quán)利要求5-7任一所述的基板對(duì)位裝置，其特征在于，所述檢測(cè)傳感器的數(shù)量 與所述對(duì)位滾輪的數(shù)量相等。
9.根據(jù)權(quán)利要求5-7任一所述的基板對(duì)位裝置，其特征在于，所述檢測(cè)傳感器為光感 傳感器。
10.一種基板對(duì)位平臺(tái)，其特征在于，包括平臺(tái)支架和權(quán)利要求1 9任一所述的基板 對(duì)位裝置，所述基板對(duì)位裝置固定在所述平臺(tái)支架上。
11.一種基板傳送設(shè)備，其特征在于，包括基板傳送軌道和權(quán)利要求10所述的基板對(duì) 位平臺(tái)，所述基板對(duì)位平臺(tái)設(shè)置在所述基板傳送軌道上。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型提供一種基板對(duì)位裝置、基板對(duì)位平臺(tái)和基板傳送設(shè)備，其中，對(duì)位裝置包括支持部件、氣缸主體、兩個(gè)運(yùn)動(dòng)活塞、導(dǎo)軌、對(duì)位部件和彈性部件；所述支持部件的端部設(shè)置有端部體，所述運(yùn)動(dòng)活塞的一端設(shè)置在所述活塞氣缸內(nèi)，另一端與所述端部體相對(duì)；所述對(duì)位部件包括對(duì)位支架、對(duì)位滾輪、活動(dòng)件和滑塊；所述對(duì)位滾輪設(shè)置在所述對(duì)位支架上，所述活動(dòng)件固接在所述對(duì)位支架的下部，且所述活動(dòng)件上設(shè)置有穿設(shè)孔，所述運(yùn)動(dòng)活塞穿設(shè)于所述穿設(shè)孔中；所述滑塊設(shè)置在所述活動(dòng)件的底部且與所述導(dǎo)軌滑動(dòng)連接；所述彈性部件設(shè)置在活動(dòng)件和端部體之間。本實(shí)用新型降低了對(duì)位過(guò)程中的玻璃基板損傷率，提高了基板對(duì)位時(shí)的產(chǎn)品良率。
文檔編號(hào)H01L21/68GK201845752SQ20102059216
公開(kāi)日2011年5月25日 申請(qǐng)日期2010年10月29日 優(yōu)先權(quán)日2010年10月29日
發(fā)明者吳健 申請(qǐng)人:北京京東方光電科技有限公司