專利名稱：用于制造平板顯示器的裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及用于制造平板顯示器的裝置，特別地，涉及一種在形成薄膜晶體管陣 列(TFT-Array)面板時(shí)用于結(jié)晶非晶硅(a_Si)的裝置。
背景技術(shù)：
液晶顯示器(IXD)在電子器件中被廣泛地采用。IXD包括一對(duì)顯示面板，其又包括 形成于其上的場產(chǎn)生電極，以及夾置于該對(duì)顯示面板之間的液晶層。液晶層的液晶分子的 定向通過施加到場產(chǎn)生電極上的電壓進(jìn)行控制。根據(jù)液晶分子的定向，通過控制通過液晶 層的光的傳輸可顯示圖像。該IXD通過以下工序可被制造在上部顯示面板上形成共電極和濾色器，以及在 下部顯示面板上形成像素電極和薄膜晶體管。用于對(duì)準(zhǔn)液晶分子的對(duì)準(zhǔn)層涂覆在上部和下 部顯示面板上。通過涂抹密封劑在下部顯示面板上限定閉環(huán)形狀的主動(dòng)區(qū)域。液晶設(shè)置在 該主動(dòng)區(qū)域。該對(duì)顯示面板在真空狀態(tài)下進(jìn)行組裝，并且固化密封劑。下部顯示面板上形成的薄膜晶體管的性能非常重要。為了改善下部顯示面板上形 成的薄膜晶體管的性能，結(jié)晶薄膜晶體管的半導(dǎo)體層的『Si (非晶硅)是非常重要的。采用激光的連續(xù)側(cè)向結(jié)晶(SLS)型裝置通常用于結(jié)晶a-Si。該SLS型裝置包括用 于移動(dòng)下部顯示面板的移動(dòng)單元，以及用于照射下部顯示面板的a-Si的激光單元。移動(dòng)單元包括具有導(dǎo)軌的框架、適用于沿著導(dǎo)軌移動(dòng)的導(dǎo)向器、設(shè)置于導(dǎo)軌和導(dǎo) 向器之間的空氣軸承、以及安裝于導(dǎo)向器并固定顯示面板的臺(tái)。激光單元包括用于產(chǎn)生激光束的激光源、用于控制激光束的能量的量的控制透 鏡、用于聚集控制的激光束的聚集透鏡、用于使聚集的激光束選擇地通過的掩模、以及用于 將通過的激光束縮減到預(yù)定的焦距從而用激光束照射a-Si的縮減透鏡。因此，激光束通過激光源、控制透鏡、聚集透鏡、掩模、以及縮減透鏡照射下部顯示 面板的a-Si。此時(shí)，裝載下部顯示面板的臺(tái)以預(yù)定的方式移動(dòng)。SLS型裝置具有如下問題。可能發(fā)生如下現(xiàn)象，S卩，形成于掩模和縮減透鏡之間的激光束的焦點(diǎn)由于空氣流 可能發(fā)生抖動(dòng)，例如，該抖動(dòng)由于臺(tái)的移動(dòng)而產(chǎn)生，由于空氣軸承產(chǎn)生的空氣流而產(chǎn)生，和/ 或由于掩模產(chǎn)生的熱而導(dǎo)致的自然對(duì)流。通過掩模和縮減透鏡之間的激光束直接受空氣流的影響，并且因此形成于掩模和縮減透鏡之間的焦點(diǎn)可能容易產(chǎn)生抖動(dòng)。在形成于掩模和縮減透鏡之間的焦點(diǎn)產(chǎn)生抖動(dòng)的情況下，照射a-Si的激光束的 聚焦深度(DOF)不能夠保持在預(yù)定的D0F，并且因此該裝置不合格。此外，為了精確地限定a-Si的融化區(qū)域，需要增加透鏡的分辨率，并且因此必須 降低D0F。如果形成于掩模和縮減透鏡之間的焦點(diǎn)發(fā)生抖動(dòng)，則很難保持該降低的D0F。因此，需要一種用于在平板顯示器的制造工藝中降低空氣流的裝置。

發(fā)明內(nèi)容
根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的用于制造平板顯示器的示例性裝置包括顯示面板移動(dòng)單元， 該顯示面板移動(dòng)單元包括框架，導(dǎo)軌設(shè)置于其上；導(dǎo)向器，用于沿著所述導(dǎo)軌移動(dòng)；空氣 軸承，設(shè)置于所述導(dǎo)軌和所述導(dǎo)向器之間，從而所述導(dǎo)向器定位于離開所述導(dǎo)軌預(yù)定距離 的位置處；以及顯示面板臺(tái)，安裝于所述導(dǎo)向器，其中所述顯示面板臺(tái)包括設(shè)置于其邊緣上 的空氣流導(dǎo)向器，從而主要防止由所述空氣軸承產(chǎn)生的空氣流流過所述臺(tái)的上方，所述空 氣流導(dǎo)向器朝向所述框架傾斜。根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的用于制造平板顯示器的示例性裝置包括顯示面板移動(dòng)單元 和用于在顯示面板移動(dòng)單元的方向產(chǎn)生激光束的激光單元。該激光單元包括用于使激 光束選擇性地通過的掩模；用于聚焦已經(jīng)通過掩模的激光束的縮減透鏡；以及用于主要防 止外部空氣流流入到掩模和縮減透鏡之間的空隙中的阻擋部，其中激光束形成于該縮減透
^Mi ο根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例，阻擋部包括中空體，其具有開口的上部和閉合的下部；其 中，開口的上部的內(nèi)表面固定到掩模的外表面上，并且縮減透鏡設(shè)置于中空體的內(nèi)部。根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例，中空體的內(nèi)部維持在預(yù)定的真空。根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例，中空體的內(nèi)部填充有惰性氣體。根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例，中空體或者由透明材料形成或者由半透明材料形成。根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例，中空體由不透明材料形成，并且激光束通過的光束通過部 通過中空體的閉合下部而設(shè)置。根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例，光束通過部包括通過孔，其形成于中空體的閉合下部的預(yù) 定部上，激光束經(jīng)由該通過孔而通過；以及設(shè)置于通過孔以閉合該通過孔的窗口，其中該窗 口由透明材料形成。根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例，窗口由石英形成。根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例，阻擋部包括中空體，其具有開口的上部和開口的底部，其 中開口的上部的內(nèi)表面固定到掩模的外表面；并且開口的下部的內(nèi)表面固定到縮減透鏡的 外表面。根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例，移動(dòng)單元包括框架，導(dǎo)軌設(shè)置于其上；導(dǎo)向器，用于沿著 導(dǎo)軌移動(dòng)；空氣軸承，設(shè)置于導(dǎo)軌和導(dǎo)向器之間，從而導(dǎo)向器離開導(dǎo)軌預(yù)定距離而定位；以 及顯示面板臺(tái)，安裝于導(dǎo)向器，其中顯示面板臺(tái)包括設(shè)置在其邊緣上的空氣流導(dǎo)向器，從而 可主要防止由空氣軸承產(chǎn)生的空氣流流過上述臺(tái)的上方，該空氣流導(dǎo)向器朝向框架傾斜。根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例，空氣流導(dǎo)向器具有圓形。


以下將參照附圖對(duì)根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)地描述，其中圖1是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的用于制造平板顯示器的裝置的示意圖；圖2是圖1中的“A”部分的放大圖；以及圖3是根據(jù)本發(fā)明的另一實(shí)施例的用于制造平板顯示器的裝置的示意圖。
具體實(shí)施例方式圖1是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的用于制造平板顯示器的裝置的示意圖；以及圖2是圖 1中的“A”部分的放大圖。如圖1所示，根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的用于制造平板顯示器的裝置包括激光單元10以 及移動(dòng)單元20，該移動(dòng)單元用于移動(dòng)顯示面板P，而在該顯示面板P上涂覆有非晶材料。激光單元10包括激光源11、控制透鏡12、聚集透鏡13、掩模14、聚焦縮減透鏡15、 以及阻擋部16，從而用激光束B照射非晶材料。激光源11產(chǎn)生激光束B，控制透鏡12控制激光束B產(chǎn)生的能量的量，而聚集透鏡 13聚集控制的激光束B。掩模14使聚集的激光束B選擇地通過，并且可包括傳輸部14a和阻擋部14b。聚焦縮減透鏡15聚焦已經(jīng)通過掩模的激光束B，從而使得激光束B照射到顯示面 板P的非晶材料上。阻擋部16防止外部空氣流流入到掩模14和聚焦縮減透鏡15之間的空隙中，其中 在該聚焦縮減透鏡中形成激光束B的焦點(diǎn)F。例如，該阻擋部16包括具有開口上部和閉合下部的中空體16a，中空體16a的開口 上部固定到掩模14的外部表面，而聚焦縮減透鏡15定位于中空體16a的內(nèi)部。中空體16a的內(nèi)部例如可維持在預(yù)定真空，或者中空體16a的內(nèi)部可填充有惰性 氣體18，從而可主要防止由于熱而導(dǎo)致的自然對(duì)流。中空體16a例如可由透明材料或半透明材料形成，從而激光束B可通過。中空體16a可由不透明材料形成。對(duì)于由不透明材料(如金屬等)形成的中空體 16a，在中空體16a的閉合下部設(shè)置有激光束B可通過的激光通過部A。如圖2所示，激光通過部A包括通過孔16b和窗口 16c。通過孔16b由中空體16a 的閉合下部的預(yù)定部分形成，激光束B可通過該通過孔。窗口 16c設(shè)置于通過孔16b上以 閉合通過孔16b。窗口 16c由透明材料形成。該窗口 16c例如可由石英形成，該石英可容易地被加工為平面，從而可主要防止 激光束B的散射。根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例，由于阻擋部16定位于掩模14和縮減透鏡15之間，因此空 氣流不會(huì)影響通過掩模14和縮減透鏡15之間的激光束B。因此，由于激光束B的焦點(diǎn)形成于掩模14和縮減透鏡15之間，照射到顯示面板P 的非晶硅(a-Si)上的激光束B的聚焦深度(DOF)增加了。另外，由于DOF增加了(例如， 焦點(diǎn)的可利用誤差變寬)，因此可精確地控制a-Si融化的區(qū)域。如圖1所示，移動(dòng)單元20包括框架21，導(dǎo)軌21a形成于該框架上；導(dǎo)向器22，可 沿著導(dǎo)軌21a移動(dòng)；空氣軸承23 ；以及臺(tái)(stage) 24。
空氣軸承23安裝在導(dǎo)軌21a和導(dǎo)向器22之間，從而導(dǎo)向器22離開導(dǎo)軌21a預(yù)定 距離而定位，并且因此空氣軸承23可以降低傳送到導(dǎo)向器22的外部振動(dòng)，并且增加導(dǎo)向器 22的速度。臺(tái)24安裝到導(dǎo)向器22并固定顯示面板P。臺(tái)24包括設(shè)置于其邊緣上的空氣流導(dǎo)向器24a，從而可主要防止空氣流由于空氣 軸承23流到臺(tái)24的上方?？諝饬鲗?dǎo)向器24a在向下的方向傾斜。該空氣流導(dǎo)向器24a可具有圓形從而防止形成漩渦。根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例，空氣流導(dǎo)向器24a設(shè)置在臺(tái)24的邊緣，并且因此可以防止 空氣流，例如，空氣軸承23產(chǎn)生的空氣流以及設(shè)置在臺(tái)24下部的冷卻風(fēng)扇(未示出)用來 冷卻控制器(未示出)而產(chǎn)生的空氣流流過臺(tái)24的上方。因此，由于該空氣流沒有流過臺(tái)24的上方，因此空氣流基本上不會(huì)影響設(shè)置在臺(tái) 24上方的激光單元10和激光束B。盡管在圖1中示出了阻擋部16和空氣流導(dǎo)向器24a，但是也可僅設(shè)置兩個(gè)部件中 的一個(gè)，以降低成本。以下將參照?qǐng)D3詳細(xì)地描述根據(jù)本發(fā)明另一實(shí)施例的用于制造平板顯示器的裝置。圖3是根據(jù)本發(fā)明的另一實(shí)施例的用于制造平板顯示器的裝置的示意圖。參照?qǐng)D3描述的裝置的示例與圖1中示出的裝置除非在此相對(duì)于阻擋部30所描 述的之外，其余部分基本相似。阻擋部30包括具有打開上部和打開底部的中空體31。打開上部的內(nèi)表面固定到 掩模14的外部表面，而打開下部的內(nèi)表面固定到縮減透鏡15的外部表面。中空體31a不會(huì)包圍縮減透鏡15的下部表面，并且沒有單獨(dú)的光束通過部(參見 圖1中的標(biāo)號(hào)“A”)設(shè)置在中空體31上。根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例，阻擋部設(shè)置在掩模和縮減透鏡之間，并且通過掩模和縮減 透鏡之間的激光束不會(huì)受到空氣流的影響。形成于掩模和縮減透鏡之間的激光束的焦點(diǎn)不會(huì)由于空氣流而產(chǎn)生抖動(dòng)，照射顯 示面板的a-Si的激光束的DOF增加了，并且焦距的可利用誤差范圍變寬，因此可以精確地 控制a-Si融化的區(qū)域。另外，根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例，由于空氣流導(dǎo)向器設(shè)置于臺(tái)的邊緣，可以主要防止空 氣流由于空氣軸承等而流過臺(tái)的上方。以上所述僅為本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例而已，并不用于限制本發(fā)明，對(duì)于本領(lǐng)域的技 術(shù)人員來說，本發(fā)明可以有各種更改和變化。凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修 改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求
一種用于制造平板顯示器的裝置，包括顯示面板移動(dòng)單元，包括框架，導(dǎo)軌設(shè)置于其上；導(dǎo)向器，用于沿著所述導(dǎo)軌移動(dòng)空氣軸承，設(shè)置于所述導(dǎo)軌和所述導(dǎo)向器之間，從而所述導(dǎo)向器定位于離開所述導(dǎo)軌預(yù)定距離的位置處；以及顯示面板臺(tái)，安裝于所述導(dǎo)向器，其中所述顯示面板臺(tái)包括設(shè)置于其邊緣上的空氣流導(dǎo)向器，從而主要防止由所述空氣軸承產(chǎn)生的空氣流流過所述臺(tái)的上方，所述空氣流導(dǎo)向器朝向所述框架傾斜。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種用于制造平板顯示器的裝置，該裝置包括顯示面板移動(dòng)單元，包括框架，導(dǎo)軌設(shè)置于其上；導(dǎo)向器，用于沿著所述導(dǎo)軌移動(dòng)；空氣軸承，設(shè)置于所述導(dǎo)軌和所述導(dǎo)向器之間，從而所述導(dǎo)向器定位于離開所述導(dǎo)軌預(yù)定距離的位置處；以及顯示面板臺(tái)，安裝于所述導(dǎo)向器，其中所述顯示面板臺(tái)包括設(shè)置于其邊緣上的空氣流導(dǎo)向器，從而主要防止由所述空氣軸承產(chǎn)生的空氣流流過所述臺(tái)的上方，所述空氣流導(dǎo)向器朝向所述框架傾斜。
文檔編號(hào)H01L21/20GK101937839SQ20101024411
公開日2011年1月5日 申請(qǐng)日期2005年12月22日 優(yōu)先權(quán)日2005年3月10日
發(fā)明者金東范 申請(qǐng)人:三星電子株式會(huì)社