專利名稱：自動的托盤交換裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用于自動交換托盤(pallet)的裝置，該托盤供應用在芯片連結(jié) 裝置中的芯片。
背景技術(shù)：
芯片連結(jié)裝置執(zhí)行用于通過熱壓和連結(jié)將從晶片板剝落的芯片安裝在板上的連 結(jié)操作。由于晶片板富有柔性，不便的是，很難就這樣進行處理，因此在連結(jié)裝置中晶片板 是在晶片板被安裝在被稱為托盤的環(huán)形剛性元件上的狀態(tài)下進行處理的。在專利文獻1 中，公開了這樣的示例，其中，在連結(jié)裝置中使用托盤。這里，多個托盤預先容納在托盤容納 盒中，以完全地使用目前正在使用的托盤的芯片或者在期望連結(jié)另一種類的芯片時將托盤 更換為容納在盒中的另一托盤。
專利文獻1 :JP-A-4-196148 專利文獻1中公開的裝置包括作為用于交換托盤的機構(gòu)的直線移動臂，用于使與 托盤接合的臂直線移動，從而使托盤移動。然而，當托盤僅通過臂的直線移動而交換時，由 于臂的移動速度就是托盤的移動速度，因此，因直線移動機構(gòu)的限制，縮短交換時間是受限 的。此外，問題是，當直線移動機構(gòu)設置成除了交換目的以外不用于其它目的且確保用于直 線移動臂移動的空間時，裝置的整個部分被擴大，導致高成本。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種實現(xiàn)緊湊性且縮短交換時間的自動托盤交換裝置。
本發(fā)明的第一方面提供了一種自動托盤交換裝置，該自動托盤交換裝置包括托 盤盒，容納多個托盤，所述多個托盤分別具有多個水平延伸的突出部，以在水平方向上放入 和取出；托盤固定部，允許所述多個突出部與多個凹陷部接合，以水平固定托盤；托盤固定 工作臺，托盤固定部布置在該托盤固定工作臺上；使托盤固定工作臺水平移動的單元；和 使托盤固定部水平轉(zhuǎn)動的單元。由托盤固定部水平固定的托盤水平轉(zhuǎn)動并水平移動，以在 托盤固定工作臺與托盤盒之間交換托盤。 本發(fā)明的第二方面提供了 一種自動托盤交換裝置，其中，突出部具有錐體部，該錐 體部的直徑朝一端逐漸減小，并且凹陷部具有與錐體部的外周表面相同構(gòu)造的內(nèi)周表面， 允許所述外周表面與所述內(nèi)周表面緊密接觸，以固定托盤。 本發(fā)明的第三方面提供了 一種自動托盤交換裝置，其中，托盤在托盤固定工作臺 與托盤盒之間同時水平轉(zhuǎn)動且水平移動。 本發(fā)明的第四方面提供了一種用在本發(fā)明第一方面中限定的自動托盤交換裝置 中的托盤，該托盤包括多個水平延伸的突出部，其中突出部具有錐體部，該錐體部的直徑朝 一端逐漸減小。 根據(jù)本發(fā)明，在交換托盤時，執(zhí)行水平移動操作和直線移動操作，從而，與通常的 裝置相比，可以進一步縮短托盤的直線移動距離，并可以使裝置的整個部分進一步簡化且緊湊。此外，由于托盤可以同時直線移動和轉(zhuǎn)動，因此可以縮短交換托盤需要的時間。
此外，托盤具有多個突出部，分別允許這些突出部與托盤固定部的凹陷部接合，使 得托盤固定在多個位置。這樣，定位的準確度或再現(xiàn)性極好。 此外，使突出部的錐體部的外周表面與凹陷部的內(nèi)周表面緊密接觸以固定托盤。 這樣，即使當慣性力或離心力在托盤移動或轉(zhuǎn)動期間施加在托盤上時，托盤的位置也不會 偏移并得到較強地保持。


圖1是本發(fā)明示例性實施例的自動托盤交換裝置的平面圖。圖2是本發(fā)明示例性實施例的自動托盤交換裝置的側(cè)視圖。圖3(a)和(b)是托盤定位機構(gòu)的解釋圖。圖4(a)和(b)是用于通過第一托盤固定部固定托盤的機構(gòu)的解釋圖。圖5是晶片環(huán)的平面圖。圖6是托盤旋轉(zhuǎn)部的平面圖。圖7是托盤基部的平面圖。圖8是托盤的整個部分的平面圖。圖9是用于將晶片環(huán)附接到托盤旋轉(zhuǎn)部的機構(gòu)的解釋圖。圖10是用于將托盤旋轉(zhuǎn)部附接到托盤基部的機構(gòu)的解釋圖。圖ll(a)和(b)是用于調(diào)節(jié)托盤旋轉(zhuǎn)部的旋轉(zhuǎn)的機構(gòu)的解釋圖。圖12是用于通過第二托盤固定部固定托盤的機構(gòu)的解釋圖。圖13是用于通過第二托盤固定部固定托盤的機構(gòu)的解釋圖。圖14(a)和(b)是用于通過第二托盤固定部固定托盤的機構(gòu)的解釋圖。圖15是用于通過第二托盤固定部固定托盤的機構(gòu)的解釋圖。圖16是托盤的自動交換過程的解釋圖。圖17是托盤的自動交換過程的解釋圖。圖18是托盤的自動交換過程的解釋圖。圖19是托盤的自動交換過程的解釋圖。圖20是托盤的自動交換過程的解釋圖。
具體實施例方式
現(xiàn)在將參照附圖描述本發(fā)明的示例性實施例。圖1是本發(fā)明示例性實施例的自動 托盤交換裝置的平面圖。圖2是本發(fā)明示例性實施例的自動托盤交換裝置的側(cè)視圖。圖3 是托盤定位機構(gòu)的解釋圖。圖4是用于通過第一托盤固定部固定托盤的機構(gòu)的解釋圖。圖 5是晶片環(huán)的平面圖。圖6是托盤旋轉(zhuǎn)部的平面圖。圖7是托盤的基部的平面圖。圖8是 托盤的整個部分的平面圖。圖9是用于將晶片環(huán)附接到托盤旋轉(zhuǎn)部的機構(gòu)的解釋圖。圖10 是用于將托盤旋轉(zhuǎn)部附接到托盤基部的機構(gòu)的解釋圖。圖ll是用于調(diào)節(jié)托盤旋轉(zhuǎn)部的旋 轉(zhuǎn)的機構(gòu)的解釋圖。圖12是用于通過第二托盤固定部固定托盤的機構(gòu)的解釋圖。圖13是 用于通過第二托盤固定部固定托盤的機構(gòu)的解釋圖。圖14是用于通過第二托盤固定部固 定托盤的機構(gòu)的解釋圖。圖15是用于通過第二托盤固定部固定托盤的機構(gòu)的解釋圖。圖16是托盤的自動交換過程的解釋圖。圖17是托盤的自動交換過程的解釋圖。圖18是托盤 的自動交換過程的解釋圖。圖19是托盤的自動交換過程的解釋圖。圖20是托盤的自動交 換過程的解釋圖。 首先，描述自動托盤交換裝置。在圖1和2中，托盤盒1包括在垂直方向上分開的 多個托盤容納室2。在每個托盤容納室2中，容納一個托盤3。由于所容納的托盤3從最上 面的托盤容納室2中取出，因此最上面的托盤容納室2是空的。托盤盒1可以通過升降機4 向上和向下運動。在取出托盤時，其中容納有期望被取出的托盤3的托盤容納室2定位在 規(guī)定的高度。當被取出的托盤3容納在托盤容納室2中時，使空的托盤容納室2定位在規(guī) 定的高度。 托盤盒1包括托盤定位機構(gòu)5，用于將分別容納在托盤盒1中的托盤3的位置調(diào) 節(jié)至橫向方向(與放入和取出托盤3的方向正交的方向)；和托盤跑出防止裝置6，用于向 前和向后(放入和取出托盤3的方向)施壓于托盤，以使托盤3不從盒中跑出。
托盤定位機構(gòu)5允許爪7與容納在托盤盒1中的每個托盤3的兩個側(cè)表面接觸， 以將托盤定位在橫向方向。在托盤盒1的兩側(cè)，分別布置有垂直豎立的兩個旋轉(zhuǎn)軸8。爪7 在與容納在托盤盒1中的每個托盤3相同高度的位置處分別附接到旋轉(zhuǎn)軸8。爪7在與旋 轉(zhuǎn)軸8偏心的位置處附接到旋轉(zhuǎn)軸8，并通過旋轉(zhuǎn)軸8的旋轉(zhuǎn)與每個托盤3的兩個表面接 觸。在托盤盒1中，除了用于放入和取出托盤的側(cè)表面以外的三個側(cè)表面是封閉的，但開口 9形成在兩個側(cè)表面中，以允許爪7與托盤3接觸。 在托盤盒1的上部，布置有汽缸IO，作為用于使旋轉(zhuǎn)軸8旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動源。汽缸10 通過使活塞桿11擴張和收縮，通過連桿部12，使旋轉(zhuǎn)軸8旋轉(zhuǎn)規(guī)定的角度。在活塞桿11收 縮的狀態(tài)下，爪7與托盤3的兩個表面接觸以在橫向方向上調(diào)節(jié)托盤3的運動，并使托盤3 定位在規(guī)定的位置(參見圖3a)。另一方面，當活塞桿11擴張時，爪7與托盤3的兩個表面 分離，從而解除托盤3的被調(diào)節(jié)狀態(tài)(參見圖3b)。在此狀態(tài)下，可以從托盤盒1中取出托 盤3，并且，可以將托盤3容納在托盤盒1中。 托盤跑出防止機構(gòu)6允許接合元件13與容納在托盤盒1中的每個托盤3的端部 接觸，以調(diào)節(jié)托盤的向前和向后運動、將托盤固定在盒中以及防止托盤跑出。接合元件13 是垂直豎立的桿形部件，并且在旋轉(zhuǎn)軸14上旋轉(zhuǎn)，以運動至接合元件在托盤盒1的在放入 和取出托盤一側(cè)的前表面與每個托盤3的端部接觸的位置以及接合元件從前表面后退至 托盤盒1的兩個側(cè)表面的位置。在托盤盒1的下部，布置有作為驅(qū)動源的汽缸機構(gòu)15，用于 使接合元件13運動。汽缸機構(gòu)15的直線運動轉(zhuǎn)化為接合元件13的旋轉(zhuǎn)。
托盤固定工作臺20是從托盤盒1中取出的托盤3固定的地方，并布置在托盤盒1 的用于放入和取出托盤的一側(cè)。托盤固定工作臺20可以通過兩個直線移動工作臺21和22 而水平移動，并包括用于固定托盤3的托盤固定部23和24。第一直線移動工作臺21通過 滾珠絲杠機構(gòu)25使托盤固定工作臺20在放入和取出托盤3的方向上移動。第二直線移動 工作臺22通過滾珠絲杠機構(gòu)26使托盤固定工作臺20在與放入和取出托盤3的方向正交 的方向上移動。 第一托盤固定部23設置在托盤固定工作臺20的上部，以在托盤盒1附近的一側(cè) 水平轉(zhuǎn)動。第一托盤固定部23具有兩個凹陷部17，在托盤3的端部沿水平方向平行布置的 兩個突出部16插入到這兩個凹陷部17中。第一托盤固定部23由旋轉(zhuǎn)軸27樞轉(zhuǎn)地支撐在托盤固定工作臺20上，并在作為驅(qū)動源的電機28的作用下水平轉(zhuǎn)動，使得第一托盤固定部 23可以改變其方向。 第二托盤固定部24在遠離托盤盒1的一側(cè)設置在托盤固定工作臺20的上部。第 二托盤固定部24對托盤3的與被第一托盤固定部23固定的一側(cè)相反的一側(cè)進行固定。從 托盤盒1取出的托盤3被水平固定在托盤固定工作臺20的規(guī)定位置，前側(cè)和后側(cè)由第一固 定部23和第二固定部24固定。 拾取裝置30和彈出裝置31具有從托盤3取出電子部件32的功能。托盤3具有在 托盤的中心部垂直貫穿的空間。在該空間的上部，設置有連結(jié)到晶片板33的電子部件32。 圖中虛線所示的位置是電子部件32的拾取位置。通過托盤固定工作臺20的運動而定位在 該位置的電子部件32被彈出裝置31的銷31a從下部向上推并由拾取裝置30的噴嘴34從 上部吸入，從而將電子部件32從托盤3中拾取出來。 照相機35拾取位于拾取位置的電子部件32的圖像。在將電子部件32安裝在板 36上時，使用通過拾取圖像獲得的電子部件32的圖像數(shù)據(jù)。當電子部件32的方向傾斜時， 通過使噴嘴34旋轉(zhuǎn)來修正方向，并且，通過使支撐板36的板工作臺37運動來修正位置偏 移。 現(xiàn)在將描述允許第一托盤固定部23的凹陷部17與托盤3的突出部16接合的機 構(gòu)。在圖4 (a)中，突出部16從托盤3的端部水平突出，并具有錐體形狀的部分(錐體部)40， 該錐體部40形成為其直徑朝端部逐漸減小。在錐體部40的端部，形成有直徑比錐體部40 的最前側(cè)的細部分的直徑小的部分41。在小直徑部分41的端部，形成有直徑比小直徑部分 41的直徑大的部分42。 在第一托盤固定部23的凹陷部17中，形成有內(nèi)周表面43，該內(nèi)周表面43具有與 錐體部40的外周表面相同的構(gòu)造。在內(nèi)周表面43的內(nèi)部空間中，大直徑側(cè)開口于外部。 在內(nèi)周表面43的更內(nèi)部的部分，布置有接合元件44，該接合元件44可以在突出部16的插 入方向上運動。接合元件44設置有與突出部16的大直徑部分42接合的接合元件45。接 合元件44在大直徑部分42與接合元件45接合的狀態(tài)下在突出部16的插入方向上運動， 以允許錐體部40的外周表面與第一托盤固定部23的內(nèi)周表面43完全地緊密接觸。錐體 部40的外周表面與內(nèi)周表面43完全地緊密接觸，使得托盤3堅固地固定到第一托盤固定 部23。 接合元件45是球形元件，分別可移動地插入到形成在接合元件44中的兩個孔中。 在內(nèi)周表面43的更內(nèi)部的空間中，形成有直徑在突出部16的插入方向上逐漸減小的變細 部46。當接合元件44移動時，接合元件45沿著變細部46向內(nèi)移動，以與變細部47接合， 該變細部47形成在大直徑部分42中且在與變細部46的方向相反的方向上傾斜(參見圖 4b)。 接合元件44通過在水平方向上擴張和收縮的活塞桿48而移動。當活塞桿48收 縮時，大直徑部分42與接合元件接合以固定托盤3。當活塞桿48擴張時，接合被解除，以解 除托盤3的被固定狀態(tài)。此外，在該狀態(tài)下，突出部16可以插入到凹陷部17中，托盤3可 以由第一托盤固定部23固定。 現(xiàn)在將描述托盤3的結(jié)構(gòu)。托盤3包括晶片環(huán)50 (參見圖5)、托盤基部51 (參見 圖6)和托盤旋轉(zhuǎn)部52(參見圖7)。在晶片環(huán)50中，具有柔性的晶片板54由環(huán)形的剛性環(huán)
6框架53保持。晶片板54具有粘著表面，半導體晶片粘附到該粘著表面上，其被分成作為個 體片(individual pieces)的多個電子部件32。晶片環(huán)50固定在托盤旋轉(zhuǎn)部52上。托盤 旋轉(zhuǎn)部52安裝在托盤基部51上，以相對于托盤基部51自由地旋轉(zhuǎn)。 在托盤基部51的端部，布置有突出部16。在與之相對的一側(cè)，形成有切口部49。 突出部16與第一托盤固定部23接合，切口部49與第二托盤固定部24接合，使得托盤基部 51固定到托盤固定工作臺20。 在托盤旋轉(zhuǎn)部52的上表面上，設置有直徑比環(huán)框架53的中空部分小的環(huán)部55。 在環(huán)部55的外側(cè)，以相等的間隔布置有四個接合元件56。垂直貫通的空間形成在環(huán)部55 的內(nèi)側(cè)。接合元件56包括指狀接合部57和止動器58，并由軸59樞轉(zhuǎn)地支撐在托盤旋轉(zhuǎn)部 52上。止動部58在距離環(huán)部55比距離軸59更近的部分平行于托盤旋轉(zhuǎn)部52在軸59上 旋轉(zhuǎn)。晶片環(huán)50疊置在托盤旋轉(zhuǎn)部52上，使得晶片板54與環(huán)部55接觸，并且環(huán)框架53 由接合元件56固定(參見圖8和圖9)。此時，由于環(huán)框架53被下推至比環(huán)部55的上端略 低的位置，因此晶片板54在環(huán)框架53的內(nèi)側(cè)展開。這樣，由于粘附到晶片板54的電子部 件32之間的間距加寬了，因此在拾取操作期間，可以避免相鄰電子部件32的干擾。
托盤基部51的中心部是在垂直方向上貫通的空間。在該空間的周邊，三個輥60以 相等的間隔布置。在托盤旋轉(zhuǎn)部52的環(huán)部55的外周，布置有輥接收部61，該輥接收部61 具有與輥60的外周接合的凹槽(參見圖10)。由于這三個輥60與輥接收部61接合，因此 托盤旋轉(zhuǎn)部52以微小的間隙安裝在托盤基部51上。托盤旋轉(zhuǎn)部52僅由三個輥60支撐， 使得托盤旋轉(zhuǎn)部52相對于托盤基部51自由地旋轉(zhuǎn)。 現(xiàn)在，參照圖ll，描述用于調(diào)節(jié)托盤旋轉(zhuǎn)部52相對于托盤基部51的旋轉(zhuǎn)的結(jié)構(gòu)。 在托盤基部51中，布置有接合元件62，該接合元件62位于輥接收部61的內(nèi)周側(cè)。接合元 件62被壓縮彈簧63的彈性力壓到輥接收部61的內(nèi)周表面。在接合元件62中，形成有面 對輥接收部61的內(nèi)周的小孔64。形成在輥接收部61的內(nèi)周表面中的小突出部65容納在 孔64中。在該狀態(tài)下，由于突出部65的運動被孔64限制，因此托盤旋轉(zhuǎn)部52不能相對于 托盤基部51旋轉(zhuǎn)(參見圖lla)。 在托盤基部51的端部，設置有連接到接合元件62的按鈕66。當按鈕66被按下 時，接合元件62抵抗彈性力而運動，并與輥接收部61的內(nèi)周表面分離。這樣，托盤旋轉(zhuǎn)部 52可以相對于托盤基部51自由地旋轉(zhuǎn)(參見圖lib)。
現(xiàn)在參照圖12、 13和14描述第二托盤固定部24。 第二托盤固定部24設置有與設置在托盤基部51上的兩個位置處的切口部49接 合的接合部70。這兩個切口部49設置在高度相同的分開位置處。接合部70分別對應于切 口部49設置在高度相同的兩個位置處。 在托盤固定部24的下表面上，設置有滑塊71。滑塊71安裝在布置于托盤固定工 作臺20的上表面上的軌道72上。第二托盤固定部24通過活塞桿73的擴張和收縮沿著軌 道72直線移動。當?shù)诙斜P固定部24朝第一托盤固定部23移動時，第二托盤固定部24 固定托盤基部51 (圖12)。當?shù)诙斜P固定部24移動至相反側(cè)時，第二托盤固定部24解除 托盤基部51的被固定狀態(tài)(圖13)。 圖14是示出接合部70與切口部49接合的狀態(tài)的側(cè)視圖。在切口部49中，截面 是圓形形式的銷74安裝在側(cè)向。在接合部70的一端，形成有V形凹槽75，該V形凹槽75以上和下部分保持銷74，使得在第二托盤固定部24朝第一托盤固定部23移動時，V形凹槽 75與銷74接觸(圖14a)。接合部70在壓縮彈簧76的作用下與第二托盤固定部24分離， 以給每個銷74施壓，由此使接合部與V形凹槽75的最里面的部分接觸，并水平地固定托盤 基部51。 現(xiàn)在，將在下面描述使托盤旋轉(zhuǎn)部52旋轉(zhuǎn)的機構(gòu)。在圖7中，在托盤旋轉(zhuǎn)部52中， 設置有圓弧形的從動齒輪80。在圖12中，第二托盤固定部24包括與從動齒輪80嚙合的驅(qū) 動齒輪81和與驅(qū)動齒輪81嚙合的主運動齒輪(main moving gear)82。當?shù)诙斜P固定 部24固定托盤基部51時，驅(qū)動齒輪81與從動齒輪80接合。主運動齒輪82由電機83驅(qū) 動，以將驅(qū)動力通過驅(qū)動齒輪81傳遞給從動齒輪80。托盤旋轉(zhuǎn)部52的旋轉(zhuǎn)角度可以通過 驅(qū)動和控制電機83來調(diào)節(jié)。 第二托盤固定部24包括用于調(diào)節(jié)托盤旋轉(zhuǎn)部52的旋轉(zhuǎn)角度的機構(gòu)。在第二托盤 固定部24中， 一對光電傳感器84和85布置在將驅(qū)動齒輪81夾在中間的位置處，以檢測附 接到托盤旋轉(zhuǎn)部52的遮光板86(圖7)。當隨著托盤旋轉(zhuǎn)部52的旋轉(zhuǎn)而移動的遮光板86 干涉從光電傳感器84和85發(fā)出的光時，通過驅(qū)動和控制電機83而使托盤旋轉(zhuǎn)部52的旋 轉(zhuǎn)停止。 此外，第二托盤固定部24包括用于按壓托盤基部51的按鈕66的接合釋放元件 87。如圖15所示，接合釋放元件87布置成，在第二固定部24移動至驅(qū)動齒輪81和從動齒 輪80的齒頂彼此干涉的位置時與按鈕66接觸。這樣，當接合元件62的接合解除時，驅(qū)動 齒輪81與從動齒輪80接合。這樣，可以防止托盤旋轉(zhuǎn)部52突然旋轉(zhuǎn)。
現(xiàn)在，將在下面描述托盤的自動交換。這里，將通過參照附圖在下面描述從托盤盒 1中取出的托盤3固定到托盤固定工作臺20的過程。首先，如圖16所示，第一托盤固定部 23與將要取出的托盤3的突出部16相對。在自動托盤交換裝置的操作中，使第一托盤固定 部23水平轉(zhuǎn)動(箭頭標記a)，并使托盤固定工作臺20水平移動(箭頭標記b和c)，從而 在水平方向上定位第一托盤固定部23和托盤固定工作臺20，并且，使托盤盒1垂直移動，以 在高度方向上定位托盤固定部和托盤固定工作臺。此外，托盤3由托盤定位機構(gòu)5定位，使 其在托盤盒1中不在橫向方向上移動。此外，托盤跑出防止機構(gòu)6抑制托盤3向前和向后 移動，從而使其不從托盤盒1中跑出。 然后，如圖17所示，托盤固定工作臺20水平移動至托盤3，以允許第一托盤固定部 23與兩個突出部16接合。然后，如圖18所示，在托盤定位機構(gòu)5和托盤跑出防止機構(gòu)6對 托盤3的運動的調(diào)節(jié)解除之后，托盤固定工作臺20水平移動，以從托盤盒1中取出托盤3。 此時，托盤3的一端被第一托盤固定部23以懸臂狀態(tài)固定且保持。 當托盤3完全從托盤盒1中取出時，托盤固定部23水平轉(zhuǎn)動，以使托盤3的方向 改變18(T ，如圖19所示。根據(jù)方向的變化，托盤3的另一端側(cè)(沒有被第一托盤固定部 23固定的一側(cè))在位置關(guān)系上與第二固定部24相對。此后，如圖20所示，第二托盤固定部 24朝托盤3 —側(cè)移動，并與托盤3的端部接合以從另一端側(cè)固定托盤3。同時，驅(qū)動齒輪80 與從動齒輪80嚙合，以使托盤旋轉(zhuǎn)部52可以旋轉(zhuǎn)。此時，托盤3在托盤3的兩個相對側(cè)由 第一托盤固定部23和第二托盤固定部24支撐的狀態(tài)下固定在托盤固定工作臺20上。
上述的自動托盤交換裝置具有下面描述的這些優(yōu)點。首先，在交換托盤時，執(zhí)行水 平移動操作和直線移動操作，從而，與通常的裝置相比，可以進一步縮短托盤的直線移動距離，并可以使裝置的整個部分進一步簡化且緊湊。此外，由于托盤可以同時直線移動和轉(zhuǎn) 動，因此可以縮短交換托盤需要的時間。此外，托盤具有多個突出部，分別允許這些突出部 與托盤固定部的凹陷部接合，使得托盤固定在多個位置。這樣，定位的準確度或再現(xiàn)性極 好。此外，允許突出部的錐體部的外周表面與凹陷部的內(nèi)周表面緊密接觸以固定托盤。這 樣，即使當慣性力或離心力在托盤移動或轉(zhuǎn)動期間施加在托盤上時，托盤的位置也不會偏 移并得到較強地保持。 此外，由于托盤在懸臂狀態(tài)下移動，因此未被固定的一側(cè)可以因其皮重而偶爾地 懸吊。然而，在托盤固定工作臺上，由于托盤在兩側(cè)受到支撐的條件下被固定，因此托盤被 水平保持。在托盤固定工作臺移動期間，由于振動或位置偏移在兩側(cè)受到支撐的托盤中得 到有效抑制，因此提高了電子部件的定位準確度。 本發(fā)明特別用于多個托盤進行交換以安裝芯片的多芯片連結(jié)裝置。
權(quán)利要求
一種自動的托盤交換裝置，包括托盤盒，容納多個托盤，所述多個托盤分別具有多個水平延伸的突出部，以在水平方向上放入和取出；托盤固定部，允許所述多個突出部與多個凹陷部接合，以水平地固定托盤；托盤固定工作臺，托盤固定部布置在該托盤固定工作臺上；使托盤固定工作臺水平移動的單元；和使托盤固定部水平轉(zhuǎn)動的單元；其中，由托盤固定部水平地固定的托盤水平地轉(zhuǎn)動并水平地移動，以在托盤固定工作臺與托盤盒之間交換托盤。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1的自動的托盤交換裝置，其中，突出部具有錐體部，該錐體部的直徑朝一端逐漸減?。徊⑶野枷莶烤哂信c錐體部的外周表面相同構(gòu)造的內(nèi)周表面，允許所述外周表面與所述內(nèi)周 表面緊密接觸，以固定托盤。
3. 根據(jù)權(quán)利要求l的自動的托盤交換裝置，其中，托盤在托盤固定工作臺與托盤盒之 間同時水平轉(zhuǎn)動且水平移動。
4. 一種用在根據(jù)權(quán)利要求l的自動的托盤交換裝置中的托盤，該托盤包括多個水平延 伸的突出部，其中所述突出部具有錐體部，該錐體部的直徑朝一端逐漸減小。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種自動的托盤交換裝置，其包括托盤盒(1)，容納多個分別具有多個水平延伸的突出部(16)的托盤(3)，從而在水平方向上放入和取出；托盤固定部(23)，允許所述多個突出部(16)與多個凹陷部(17)接合，以水平固定托盤(3)；和托盤固定工作臺(20)，托盤固定部(23)布置在該托盤固定工作臺上。由托盤固定部(23)水平固定的托盤(3)水平轉(zhuǎn)動并水平移動，以在托盤固定工作臺(20)與托盤盒(1)之間交換托盤(3)。
文檔編號H01L21/67GK101794718SQ20101000004
公開日2010年8月4日 申請日期2010年1月5日 優(yōu)先權(quán)日2009年1月5日
發(fā)明者高浪保夫 申請人:松下電器產(chǎn)業(yè)株式會社