專利名稱：末端效應器的制作方法
末端效應器
背景技術：
在整個制造過程中，對于硬盤驅(qū)動器磁盤(HDD)盤片或基板的移動而言，節(jié)省HDD 在輸送/運輸時間中不及一秒的時間，將會轉(zhuǎn)換成較高產(chǎn)量，此為能獲致實質(zhì)收益的競爭 優(yōu)勢。舉例而言，在HDD完成某些制造過程后進行測試之處，HDD進出測試站的移動會變成 瓶頸。任何對處置/輸送時間的改善將會促使產(chǎn)量的實質(zhì)改善。因此，有必要為硬盤驅(qū)動器制造商提供一種能最小化或減少處置/輸送時間的工具。

發(fā)明內(nèi)容
大致而言，本發(fā)明通過提供減少傳輸時間的末端效應器(end effector)來滿足這 些需求。應了解到，本發(fā)明可以眾多方式實施，包括實施為方法或系統(tǒng)。以下將敘述本發(fā)明 的多個具有發(fā)明性的實施例。在本發(fā)明的一個方面，提供用于傳輸基板的設備。該設備包括收納電動馬達的上 部部分，其中該電動馬達具有驅(qū)動軸。馬達殼體包圍該電動馬達。該設備包括具有第一端 和第二端的樞轉(zhuǎn)托架，其中該樞轉(zhuǎn)托架的第一端耦合至該驅(qū)動軸。該設備包括下部部分，該 下部部分具有固定于該樞轉(zhuǎn)托架的第二端的頂部表面。該下部部分包括多個載具組件，每 個載具組件具有延伸穿過該下部部分的軸承組件的多個支撐延伸部。每個載具組件具有設 置于對應支撐延伸部之間的獨立驅(qū)動組件，其中，該下部部分通過繞著該驅(qū)動軸的軸線樞 轉(zhuǎn)而在垂直與水平方向之間移動。在本發(fā)明的另一方面，提供用于傳輸基板的末端效應器。該末端效應器包括收納 電動馬達的固定上部部分，該電動馬達驅(qū)動可樞轉(zhuǎn)下部部分。該可樞轉(zhuǎn)下部部分固定于該 固定上部部分。該可樞轉(zhuǎn)下部部分具有從軸承組件延伸的第一和第二載具組件。該第一和 第二載具組件通過多個對應的磁性耦合驅(qū)動軸而被驅(qū)動。該軸承組件的外部表面具有減震 機構，該減震機構在這些載具組件接近行進終點時減少對應載具組件的行進速度。這些磁 性耦合驅(qū)動軸經(jīng)由順應(compliant)托架連接至該第一和第二載具組件的對應支撐延伸 部。每個對應支撐延伸部是中空的，并從外部源輸送真空至對應的載具組件的盤片載具。在本發(fā)明的又一方面，提供用于傳輸基板的設備。該設備包括收納電動馬達的第 一部分，其中該電動馬達具有驅(qū)動軸。該設備包括具有第一端和第二端的樞轉(zhuǎn)托架，其中該 樞轉(zhuǎn)托架的第一端耦合至該驅(qū)動軸。該設備包括固定于該樞轉(zhuǎn)托架的第二端的第二部分。 該第二部分包括多個載具組件，每個載具組件具有延伸穿過被收納于該第二部分內(nèi)的軸承 組件的多個支撐延伸部。每個載具組件具有設置于對應的支撐延伸部之間的獨立磁性耦合 驅(qū)動組件。每個磁性耦合驅(qū)動具有軸，其中外部驅(qū)動本體設置于該軸的一部分的周圍，且內(nèi) 部驅(qū)動本體設置于該軸的內(nèi)部空腔內(nèi)。該外部驅(qū)動本體和該內(nèi)部驅(qū)動本體包括將該內(nèi)部和 外部驅(qū)動本體耦合在一起的多個磁鐵，使該內(nèi)部驅(qū)動本體在該內(nèi)部空腔內(nèi)的移動導致該外 部驅(qū)動本體的移動。通過以下詳細描述并結(jié)合附圖，本發(fā)明的其他方面和優(yōu)點將變得明顯。附圖以示例的方式圖示說明本發(fā)明的原理。


參照附圖及以下詳細描述，本發(fā)明將變得顯而易見。附圖以示例的方式圖示說明 本發(fā)明的原理。圖IA和IB為簡化示意圖，其圖示說明根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的末端效應器的 透視圖。圖2為簡化示意圖，其圖示說明根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的末端效應器組件和末 端效應器組件的組成構件。圖3為簡化示意圖，其圖示說明根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的上致動器組件。圖4為簡化示意圖，其圖示說明根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的磁性耦合無桿汽缸。圖5A和5B圖示說明根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的上載具組件和下載具組件的更進
一步細節(jié)。圖6A至6D分別圖示說明根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的上組件殼體軸承和下組件殼 體軸承。圖7A和7B為簡化示意圖，其圖示說明根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的軸承蓋。圖8為簡化示意圖，其圖示說明根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的載具組件。圖9為簡化示意圖，其圖示說明根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的末端效應器的透視 圖，其中移除一部分殼體。圖IOA和IOB為簡化示意圖，其圖示說明根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的末端效應器 的可替換視圖。圖IlA和IlB為簡化示意圖，其圖示說明根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的末端效應器 的可樞轉(zhuǎn)定向。圖12A和12B提供根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的萬向載具支撐部結(jié)構的更進一步細節(jié)。
具體實施例方式下述實施例提供一種末端效應器，在整個制造過程中，該末端效應器加強了盤片 或基板的移動。末端效應器能夠接達處于垂直或水平位置的盤片，并將盤片分別移動至水 平或垂直位置。此外，這些實施例能采用伺服馬達或具有反饋的步進馬達來將HDD迅速且 平穩(wěn)地從一平面方向輸送至另一平面方向，同時減少、最小化或消除跳動。使用氣動空氣汽 缸進行運動控制時，跳動是一種常見現(xiàn)象。因為跳動可能造成HDD的損壞，跳動不利于HDD 處理。然而，過去對減輕跳動所做的措施卻會使處置/輸送時間增加。相對于提供樞轉(zhuǎn)運 動的延伸與縮回機構和電動馬達而言，末端效應器也是順應的(compliant)或者說具有順 應性。此外，末端效應器適合用于無塵室環(huán)境，因微粒污染物可以通過本文所述的實施例被 實質(zhì)移除。圖IA和IB為簡化示意圖，其圖示說明根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的末端效應器的 透視圖。處于設置在末端效應器41上部的殼體中的電動馬達(如伺服馬達或步進馬達) 驅(qū)動末端效應器的垂直和水平定位。真空源提供真空，以便使載具組件可以抓取并固定如HDD的基板，如后詳述。在一個實施例中，真空經(jīng)過載具組件的支撐延伸部而被提供，這些支 撐延伸部通過順應的磁性耦合無桿汽缸來驅(qū)動。上、下載具組件能在必要時延伸和縮回。圖2為根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的末端效應器組件和末端效應器組件的組成構 件的簡化示意圖。主板1(亦稱作移動板)支撐上致動器組件8和下致動器組件2。在一個 實施例中，為了分別提供上載具組件7和下載具組件3的延伸和縮回作用，致動器組件為磁 性耦合致動器組件。上載具組件7經(jīng)由軸承上組件29耦合至致動器組件8。類似地，下載 具組件3經(jīng)由下軸承組件28耦合至致動器組件2。在一個實施例中，上組件軸承29和下組 件軸承28提供清潔的功能，以便使在對硬盤驅(qū)動器盤片的操作和移動期間，上、下載具組 件的對應支撐臂不致含有可能導致污染物的污漬。包括馬達蓋組件30的殼體19封裝或收 納伺服馬達或步進馬達，該伺服馬達或步進馬達用來驅(qū)動樞轉(zhuǎn)運動以相應地將載具組件定 向。在一個實施例中，伺服馬達使末端效應器組件繞著樞軸21樞轉(zhuǎn)，樞軸21固定于樞軸托 架20和托架10和9。在一個實施例中，具有反饋的步進馬達可取代伺服馬達。應了解到， 通過在此描述的實施例，伺服馬達將能夠消除與硬停止(hard stop)有關的跳動，由此節(jié)省 能在對該單元連續(xù)操作時所累積的寶貴輸送時間。被配置為與此處描述的實施例整合的示 例性伺服致動器是HARMONIC DRIVE LLC的伺服致動器。在另一實施例中，為了進一步限制 任何進入無塵室環(huán)境的污染，整個末端效應器組件可被殼體所容納。伺服致動器和步進致 動器具有順應性，即若有東西阻擋在環(huán)繞樞軸點的行進路徑上，則這些馬達能檢測錯誤而 停止。在一個實施例中，在馬達控制器的反饋電路中配合的傳感器能檢測錯誤狀況而停止 馬達，從而使錯誤狀況能夠被校正。舉例而言，用于檢測某種扭矩程度的一個或多于一個傳 感器檢測到超過扭矩程度時，能引發(fā)錯誤狀況，以停止馬達。配合馬達控制器的反饋電路的 傳感器檢測錯誤狀況，并通過與馬達控制器的通信而觸發(fā)馬達停止。錯誤狀況接著可被傳 遞給相關人員，以便使該狀況能被解決。本領域技術人員應當了解到，因為實施例不限制為 上述的扭矩傳感器，任何適合用來檢測錯誤狀況的傳感器都可整合到馬達控制器的反饋電 路中。圖3是根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的上致動器組件的簡化示意圖。上致動器組件8 包括為硬盤驅(qū)動器盤片提供支撐組件的延伸與縮回的磁性耦合無桿汽缸4。在一個實施例 中，磁性耦合驅(qū)動器是市面上任何適合的磁性耦合驅(qū)動器。有關磁性耦合驅(qū)動器的更多信 息，參照圖4。在一個實施例中，安裝托架5將汽缸4耦合至對應載具組件的支撐臂。應了 解到，圖2的下致動器組件除了是圖3的上致動器組件的鏡像之外，該下致動器組件的結(jié)構 類似于該上致動器組件的結(jié)構。圖4是根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的磁性耦合無桿汽缸的簡化示意圖。磁性耦合無 桿汽缸4包括缸管14。缸管14的內(nèi)部有活塞15和軸16。在一個實施例中，活塞15和軸 16從缸管14的各端以氣動方式驅(qū)動。亦即，依據(jù)不同驅(qū)動方向，空氣可從外部源輸送至各 端。在一個實施例中，空氣可穿過末端效應器的控制器而被輸送。磁鐵19和20提供了外 部滑件本體與活塞15之間的耦合。汽缸4包括間隔件21和緩沖件22。本領域技術人員將 了解到，磁性耦合無桿汽缸4可以是市面上任何適合的單元，如可從SMC公司獲得的單元。 磁性耦合無桿汽缸4起到對末端效應器提供順應性的作用。亦即，若在載具組件縮回或延 伸時，載具組件或載具組件所載托的盤片在行進路徑中撞擊到某物，磁性耦合汽缸4便會 與外部滑件本體18的磁鐵20解除耦合，而外部滑件本體18的磁鐵20與活塞15的磁鐵19解除耦合。因此，在撞擊后或遭遇某種程度阻力時，載具組件的驅(qū)動力便會磁性解除耦合。 在一個實施例中，外部傳感器可用來在解除耦合時感測錯誤狀況。在此實施例中，傳感器可 用以基于載具組件的完整縮回循環(huán)與完整延伸循環(huán)之間的計時而觸發(fā)。傳感器接著能提供 錯誤狀況，以停止末端效應器以及所包括的伺服致動器，并告知相關人員。本領域技術人員 將了解到，末端效應器的控制器能監(jiān)視傳感器，以檢測錯誤狀況，且任何適合用來檢測錯誤 狀況的傳感器均可與實施例整合，因為實施例并不限為計時傳感器。圖5A和5B根據(jù)本發(fā)明的一個實施例圖示說明上載具組件與下載具組件的更多細 節(jié)。上載具組件7包括空心的線性軸2和3(亦稱作臂延伸部或支撐延伸部)。為了通過在 線性軸一端附接在安裝托架上的支撐部固持硬盤驅(qū)動器盤片，可穿過線性軸2和3施加真 空。在一個實施例中，支撐部利用HDD的部分邊緣而固持HDD。因此，供應至該邊緣的真空 會提供在運輸HDD時支撐HDD所用的手段。應了解到，分別在圖5A和5B中的上載具組件 和下載具組件為彼此的鏡像。圖6A至6D分別根據(jù)本發(fā)明的一個實施例圖示說明上組件殼體軸承和下組件殼體 軸承。如圖6A至6D所示，在一個實施例中，為了防止任何污漬曝露至外部環(huán)境，殼體組件提 供清潔功能。圖6A和6B為軸承組件的側(cè)視圖，而圖6C為俯視圖。圖6D是沿著圖6A中的 線段AA的橫剖面圖。清潔的功能由凈化接頭(scavenge adaptor) 42、43、45、47所提供。軸 承46設于軸承蓋40中。應了解到，通過在此描述的實施例，末端效應器能從垂直定向的基 板的容器中取出基板后，將該基板置放或定位在使基板呈水平定向的測試器上。此外，應了 解雖然實施例描述夾持硬盤驅(qū)動器盤片的真空邊緣，但實施例并不限于此結(jié)構。亦即，可 應用實施例以通過硬盤驅(qū)動器盤片的中心開口而獲得或固持硬盤驅(qū)動器盤片。當然，可利 用邊緣夾持與利用硬盤驅(qū)動器盤片的中心孔洞的組合來作為支撐用途。此外，雖然在此提 及硬盤驅(qū)動器盤片，應該注意實施例可以延伸包含任何適當半導體基板或任何磁性媒體的 運輸，或其它基板的運輸，因為實施例不限于磁性媒體或半導體基板。應了解到，雖然為了 支撐硬盤驅(qū)動器盤片而抓住盤片的外部邊緣，因此將真空施加穿過載具組件的延伸軸，但 為了移除由于零件移動所產(chǎn)生的任何微粒，亦可將真空施加至末端效應器的自含環(huán)境中。圖7A和7B是根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的軸承蓋的替代性實施例的簡化示意圖。 在此例示性實施例中，軸承殼體40是單一單元，即上、下組件整合成一個單元。軸承殼體40 包括開口 46來收納載具組件的延伸支撐部。減震器70整合到軸承殼體40的內(nèi)部表面。減 震器70的功能是以可控制方式終止(如逐漸減少)磁性耦合無桿汽缸的運動，使其完全停 止。在一個實施例中，彈簧加載機構可實現(xiàn)運動的逐漸減少，其中，當減震器上的銷被更加 壓陷時，彈簧張力會增加。圖7B中除了軸承殼體40的外部蓋呈透明以檢視軸承蓋的內(nèi)部 零件之外，其所示類似于圖7A。如圖7B所示，每個開口包括一對軸承46。圖8是根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的載具組件的簡化示意圖。該載具組件包括臂延 伸部32和33。在一個實施例中，臂延伸部32包括容許接達于臂延伸部的空心部分的孔洞 82，因而臂延伸部又能將真空供給到載具支撐部，用以固持HDD。在一個實施例中，可經(jīng)過 穿過被覆蓋軸承殼體的孔洞82而施加真空。磁性耦合無桿汽缸4驅(qū)動載具組件，亦即驅(qū)動 載具組件的縮回與延伸。安裝托架5固定于磁性耦合無桿汽缸4的本體蓋18。托架80提 供載具組件臂延伸部與磁性耦合無桿汽缸之間的連結(jié)。在一個實施例中，托架80具有順應 性，即螺絲將托架固定于外部滑件本體而穿過托架的洞是一開槽，容許托架遭遇某種程度
7阻力時能些微移動。在另一實施例中，托架可相對較薄，以便使托架遭遇某種程度阻力時能彎曲。圖9是根據(jù)本發(fā)明的一個實施例圖示說明一部分殼體移除后的末端效應器的透 視圖的簡化示意圖。所示的末端效應器41具有上、下載具組件，每個載具組件包括臂延伸 部32和33。軸承殼體40包括有臂延伸部32和33延伸穿過的軸承。在一個實施例中，來 自真空源的真空，經(jīng)由入口 90A和90B，穿過臂延伸部中的孔洞，而被提供至臂延伸部32。磁 性耦合無桿汽缸4A和4B經(jīng)由托架80分別耦合至上、下載具組件，驅(qū)動載具組件的延伸和 縮回。為了如圖1IA和1IB所示樞轉(zhuǎn)末端效應器的下部本體，托架10和9支撐末端效應器 41的下部本體，并且還連接至驅(qū)動馬達。圖IOA和IOB是根據(jù)本發(fā)明的一個實施例圖示說明末端效應器的可替代視圖的簡 化示意圖。圖IOA圖示說明具有完整蓋板92的末端效應器下部，而圖IOB中蓋板92被部 分移除。臂延伸部延伸穿過軸承蓋40，其中上載具組件處于延伸位置，而下載具組件處于縮 回位置。提供通道94以使連接至末端效應器的受包覆下部本體部分的真空入口將由下部 本體部分蓋所包覆的區(qū)域抽成真空，或?qū)⒈话膊糠直３衷谙鄬τ谕獠凯h(huán)境較低的壓力之 下。本領域技術人員將了解到，末端效應器可在無塵室環(huán)境中使用，因此期望對微粒污染進 行圍阻。圖IlA和IlB是根據(jù)本發(fā)明的一個實施例圖示說明末端效應器的可樞轉(zhuǎn)定向的簡 化示意圖。在圖IlA中，示出末端效應器41，其中下部本體部分為水平定向，而圖IlB示出 垂直定向的末端效應器。馬達殼體19容納有伺服或步進馬達，該馬達驅(qū)動附連到托架10和 對應托架(即圖9的托架9)的樞轉(zhuǎn)軸。根據(jù)本發(fā)明的一個實施例，馬達殼體19包括伺服 致動器，該伺服致動器提供用來在垂直位置與水平位置之間移動盤片的運動。應了解到，具 有用來加入反饋的控制器的步進馬達可以取代伺服馬達13。使用伺服馬達或有反饋的步進 馬達使馬達控制器能夠控制運輸，而非汽缸停止的位置。此外，伺服馬達能控制運輸運動， 如位置間的加速、減速，以便消除或最小化利用汽缸硬停止的系統(tǒng)中會發(fā)生的跳動。亦即， 相比伺服馬達所提供的反饋控制運動，汽缸的運動是相對不受控制的。通道94被附連到撓 性管上，蓋撓性管連接至馬達殼體19，以適應末端效應器下部的樞轉(zhuǎn)。包括通道94的通道 組件提供馬達殼體19與收納末端效應器下部本體部分的殼體之間的通道。在一個實施例 中，末端效應器41將HDD遞送至圖1IA中的水平位置處的測試器或其它裝置，或從該處取 回。在圖IlB的垂直位置，末端效應器41將HDD遞送至HDD的收納盒或固持裝置(holder)， 或從該處取回。在一個實施例中，末端效應器的上部部分被固定，使得上部部分如圖IlA和 IlB所示并不樞轉(zhuǎn)。應了解到，末端效應器可固定于機器人，該機器人在設備位置之間移動 末端效應器，如在測試器與將基板固持呈垂直定向的收納盒之間。如圖IlA和IlB所示，末 端效應器的下部部分可繞著電動馬達的驅(qū)動軸的軸線樞轉(zhuǎn)。圖12A和12B提供根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的萬向(gimbaled)載具支撐部結(jié)構 的更多細節(jié)。在一個實施例中，盤片載具124可稱作盤片支撐部，其可繞著多個樞轉(zhuǎn)點樞 轉(zhuǎn)，如樞轉(zhuǎn)點132和盤片載具124中的真空通道。在一個實施例中，固定螺絲用來在各樞轉(zhuǎn) 點支撐特定位置。本領域技術人員將了解到，可替換的裝置可用來將位置固定到位，且并非 限于固定螺絲。舉例而言，固定螺絲156可用來致使繞著沿樞轉(zhuǎn)點132延伸的軸的運動，而 一旦固定螺絲調(diào)整完成后，至樞轉(zhuǎn)點132的相鄰固鎖螺絲便可用來將組件固定到位。因此，松開固定螺絲156使盤片載具124繞著樞轉(zhuǎn)點132移動，而鎖緊固定螺絲156則固定載具 支撐部的位置。雖然實施例圖示說明了各種調(diào)整螺絲，如調(diào)整螺絲130，但本發(fā)明不限于這 些實施例。在此描述的任何操作形成本發(fā)明的部分，其為有用的機器操作。本發(fā)明還涉及執(zhí) 行這些操作的裝置或設備。該設備可以是根據(jù)所需目的特別構建的，或者該設備可以是由 儲存在計算機中的計算機程序選擇性地啟動、實施或配置的通用計算機。特別地，各種通用 機器能與根據(jù)在此所教導而寫成的計算機程序一同使用，或者可以更方便地構建更專用的 設備來執(zhí)行所需操作。為了清楚了解本發(fā)明，即使前面已詳細描述，但顯而易見的是可以在隨附權利要 求的范圍內(nèi)實施特定變化或修改。相應地，本文的實施例僅是示例性的而非限制性的，且本 發(fā)明不限于在此所提及的細節(jié)，而是可以在權利要求的范圍內(nèi)和等價范圍內(nèi)進行修改。在 權利要求中，除明確指出外，組件和/或步驟不代表操作的特定順序。
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權利要求
一種用于傳輸基板的設備，包含上部部分，其收納電動馬達，所述電動馬達具有驅(qū)動軸；馬達殼體，所述馬達殼體包圍所述電動馬達；樞轉(zhuǎn)托架，其具有第一端和第二端，所述樞轉(zhuǎn)托架的所述第一端耦合至所述驅(qū)動軸；下部部分，其具有固定于該樞轉(zhuǎn)托架的第二端的頂部表面，所述下部部分包括多個載具組件，每個載具組件具有延伸穿過所述下部部分的軸承組件的多個支撐延伸部，每個所述載具組件具有設置于對應的支撐延伸部之間的獨立驅(qū)動組件，其中，所述下部部分通過繞著所述驅(qū)動軸的軸線樞轉(zhuǎn)而在垂直與水平方向之間移動。
2.如權利要求1所述的設備，其中，所述電動馬達為伺服馬達或步進馬達中的一個。
3.如權利要求1所述的設備，其中，每個所述載具組件包括盤片載具，所述盤片載具用 以支撐所述基板的邊緣的一部分。
4.如權利要求3所述的設備，其中，所述盤片載具通過吸力支撐所述基板。
5.如權利要求1所述的設備，其中，每個所述支撐延伸部是中空的，且至少一個對應的 支撐延伸部容許外部真空源接達于設在所述載具組件之一的一端上的盤片載具，以支撐磁 盤片的邊緣的一部分。
6.如權利要求1所述的設備，其中，所述獨立驅(qū)動組件為磁性耦合無桿驅(qū)動器。
7.如權利要求1所述的設備，其中，所述軸承蓋包括用于每個所述支撐延伸部的一對 軸承。
8.一種用于傳輸基板的末端效應器，包含固定上部部分，其收納電動馬達，所述電動馬達驅(qū)動可樞轉(zhuǎn)下部部分，所述可樞轉(zhuǎn)下部 部分固定于所述固定上部部分，所述可樞轉(zhuǎn)下部部分具有從軸承組件延伸的第一和第二載 具組件，所述第一和第二載具組件通過多個對應的磁性耦合驅(qū)動軸而被驅(qū)動；所述軸承組 件的外部表面具有減震機構，所述減震機構在所述載具組件接近行進終點時減小對應載具 組件的行進速度；所述磁性耦合驅(qū)動軸經(jīng)由順應托架連接至所述第一和第二載具組件的對 應支撐延伸部，每個所述對應的支撐延伸部是中空的，并從外部源將真空輸送至對應載具 組件的盤片載具。
9.如權利要求8所述的末端效應器，其中，所述可樞轉(zhuǎn)下部部分在90度的行進范圍中 樞轉(zhuǎn)。
10.如權利要求8所述的末端效應器，其中，真空通道將真空從所述固定上部部分輸送 至由所述可樞轉(zhuǎn)下部部分的殼體所包覆的區(qū)域。
11.如權利要求8所述的末端效應器，其中，所述磁性耦合驅(qū)動軸包括第一磁鐵，其設 于導管內(nèi)；以及第二磁鐵，其透過所述導管的管壁與所述第一磁鐵配合。
12.如權利要求11所述的末端效應器，其中，所述第一磁鐵和所述第二磁鐵被構建成 多個圓筒狀區(qū)段。
13.如權利要求8所述的末端效應器，其中，每個所述盤片載具可繞著多個樞轉(zhuǎn)點樞轉(zhuǎn)。
14.如權利要求8所述的末端效應器，其中，每個所述盤片載具繞著在該盤片載具內(nèi)的 真空通道樞轉(zhuǎn)。
15.一種用于傳輸基板的設備，包含第一部分，其收納電動馬達，所述電動馬達具有驅(qū)動軸；樞轉(zhuǎn)托架，其具有第一端和第二端，所述樞轉(zhuǎn)托架的第一端耦合于所述驅(qū)動軸；以及第二部分，其固定于所述樞轉(zhuǎn)托架的第二端，所述第二部分包括多個載具組件，每個載 具組件具有延伸穿過被收納于所述第二部分內(nèi)的軸承組件的多個支撐延伸部；每個所述載 具組件具有設置于對應支撐延伸部之間的獨立磁性耦合驅(qū)動組件；每個磁性耦合驅(qū)動具有 軸，且外部驅(qū)動本體設置于該軸的一部分的周圍，以及內(nèi)部驅(qū)動本體設置于該軸的內(nèi)部空 腔內(nèi)；所述外部驅(qū)動本體和所述內(nèi)部驅(qū)動本體包括多個磁鐵，所述磁鐵將所述內(nèi)部和外部 驅(qū)動本體耦合在一起，使所述內(nèi)部驅(qū)動本體在所述內(nèi)部空腔內(nèi)的移動導致所述外部驅(qū)動本 體的移動。
16.如權利要求15所述的設備，其中，所述支撐延伸部中的一個將真空提供至固定于 所述載具組件的一端的載具支撐部，且其中，所述內(nèi)部驅(qū)動本體以氣動方式驅(qū)動。
17.如權利要求15所述的設備，其中，當所述載具組件在延伸和縮回操作期間遭遇阻 力時，所述外部驅(qū)動本體與所述內(nèi)部驅(qū)動本體解除耦合。
18.如權利要求17所述的設備，其中，所述設備包括用以檢測所述支撐延伸部的多個 延伸和縮回循環(huán)的多個傳感器；且其中，當所述延伸和縮回循環(huán)中的一個超過時間限制時， 所述傳感器觸發(fā)錯誤狀況。
19.如權利要求15所述的設備，其中，所述第二部分可繞著所述驅(qū)動軸的軸線樞轉(zhuǎn)。
20.如權利要求16所述的設備，其中，所述載具支撐部可繞著定義于該載具支撐部內(nèi) 的真空通道樞轉(zhuǎn)。
全文摘要
本發(fā)明提供一種用于傳輸基板的設備。該設備包括收納電動馬達的上部部分，該電動馬達具有驅(qū)動軸。馬達殼體包圍該電動馬達。樞轉(zhuǎn)托架具有第一端和第二端，其中該樞轉(zhuǎn)托架的第一端耦合至該驅(qū)動軸。該設備包括下部部分，該下部部分具有固定于該樞轉(zhuǎn)托架的第二端的頂部表面。該下部部分包括多個載具組件，每個載具組件具有延伸穿過該下部部分的軸承組件的多個支撐延伸部。每個載具組件具有設置于對應支撐延伸部之間的獨立驅(qū)動組件，其中該下部部分通過繞著該驅(qū)動軸的軸線樞轉(zhuǎn)而在垂直與水平方向之間移動。
文檔編號H01L21/677GK101978487SQ200980108665
公開日2011年2月16日 申請日期2009年3月13日 優(yōu)先權日2008年3月13日
發(fā)明者F·英, J·柯簡吉安, J·賈米森, S·桑德拉拉簡, S·貝倫基, T·克里格 申請人:奇拉泰克斯科技有限公司