專利名稱：激光晶體裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及用于短脈沖激光器的激光晶體裝置，包括容器和支架，所述容器的內(nèi) 部相對(duì)于環(huán)境密封并且包含技術(shù)上純凈的空氣，所述窗口包括窗口并且連接到側(cè)壁以用于 通過激光輻射，所述激光輻射在工作時(shí)通過激光晶體，所述窗口的位置與激光輻射的光束 路徑傾斜Brewster的角度，所述支架用于激光晶體連接在容器的內(nèi)部。這種激光晶體裝置 在US 6002 697 A中已知。另外，本發(fā)明還涉及包括這種激光晶體裝置的激光振蕩器。
背景技術(shù)：
現(xiàn)在用于產(chǎn)生短激光脈沖的激光振蕩器由于短的脈沖持續(xù)時(shí)間所以具有高峰值 功率，盡管其具有低的平均功率。因此，在模耦合的飛秒激光振蕩器的情況下，例如，具有小 于IOOfs的脈沖持續(xù)時(shí)間的情況下，，由于高強(qiáng)度的激光輻射，即由于高峰值功率，所以可 能會(huì)造成晶體表面的老化，即使晶體表面的影響一般地遠(yuǎn)低于晶體的毀壞閾值。這種晶體 表面的毀壞導(dǎo)致激光器工作中的干擾以及對(duì)于晶體的更高的吸收，因此會(huì)導(dǎo)致激光體晶體 的毀壞。晶體表面的損壞是晶體周圍的空氣以及激光輻射的強(qiáng)度所形成的。在純凈的大氣 和/或低的激光強(qiáng)度的情況下，不會(huì)存在激光晶體的老化。另一方面，已經(jīng)看出，即使在清 潔的室內(nèi)，例如，如果電子設(shè)備在激光器裝置附近排氣，老化過程也可能會(huì)出現(xiàn)。具有頻率放大器的二極管抽運(yùn)激光器在前面提及的US6002697A中是已知的，非 線性激光晶體提供在頻率放大器中，該頻率放大器位于密封的容器中以便防止?jié)駳饣蛭廴?物從外部滲透。特別地，這里存在一個(gè)擔(dān)憂，即通過在冷卻和加熱時(shí)吸收和釋放濕氣來防止 激光晶體的損壞，另外，為此目的，在殼體或容器的內(nèi)部提供惰性氣體或干燥的空氣，或者 排空容器的內(nèi)部。位于與激光輻射呈Brewster角度的位置的用于激光輻射的進(jìn)出的窗口 在容器的直接相對(duì)側(cè)上相互傾斜地放置，所述容器一般為立方體。因此，這個(gè)激光晶體裝置 的設(shè)計(jì)相比而言是復(fù)雜的并且體積較大。盡管在相關(guān)的激光裝置的工作期間存在與其連接 的花費(fèi)，在之后將要描述的容器內(nèi)部中的惰性氣體的連續(xù)監(jiān)測(cè)和涌入已經(jīng)被證明對(duì)于激光 器操作是不利的。用于激光器放大器的激光晶體在EP 1034 584 B中進(jìn)行了描述，其中，激光晶體容 納在緊密密封的容器中，該容器包括單獨(dú)的導(dǎo)管插口上的激光束耦合窗口。容器的內(nèi)部在 這里被排空并且/或者使用干燥劑保持干燥。這些措施的背景是，激光晶體將會(huì)在Peltier 元件的幫助下進(jìn)行強(qiáng)烈的冷卻，從而獲得分配給激光晶體的高效率的激光放大器，晶體表 面上的冷凝水或冰烘焙通過容器內(nèi)部的排空或干燥來防止。但是，在沒有激光振蕩器中這種強(qiáng)烈冷卻的情況下，如果激光晶體沒有提供為“純 凈”的環(huán)境，則晶體表面的老化仍然會(huì)出現(xiàn)。另外，已經(jīng)顯示出，激光到達(dá)晶體所通過并進(jìn)行耦合的提供在容器上的窗口也可 能會(huì)發(fā)生老化，從而激光晶體所屬的激光裝置的操作也可能受到破壞。特別是在激光放大器的情況下這非常重要，正如EP1034584中所擔(dān)心的，并且其中特別地，與短脈沖激光裝置 相比較高峰值功率會(huì)出現(xiàn)；因此，位于Brewster角度處的激光束窗口在這個(gè)用于激光放大 器的已知的激光晶體裝置中外部連接在單獨(dú)的導(dǎo)管插口上，從而獲得相距激光晶體的最大 可能的距離，數(shù)量級(jí)是8至10cm。因此在Brewster窗口的區(qū)域中獲得相對(duì)大的光束的截 面，從而在這個(gè)位置上獲得一個(gè)相對(duì)低的峰值強(qiáng)度。窗口上的反射遭受到窗口在Brewster 角度(其已知是一個(gè)輻射的波長(zhǎng)或頻率的函數(shù))上的設(shè)置的反作用?，F(xiàn)在本發(fā)明的一個(gè)目的是設(shè)計(jì)一種本說明書開始所描寫類型的激光晶體裝置，使 得一種簡(jiǎn)單、緊湊的結(jié)構(gòu)成為可能，并且由容器窗口上的老化效應(yīng)可能造成的損壞也能夠 被避免或最小化。根據(jù)前文提到的發(fā)明類型，此激光晶體裝置的特點(diǎn)是窗口彼此傾斜兩倍的 Brewster角度，并且裝置與激光晶體的距離足夠大，從而光束在窗口上的截面積足夠大以 便保證窗口上的峰值強(qiáng)度比激光晶體上的峰值強(qiáng)度低，從而預(yù)防窗口的老化過程。在當(dāng)前的激光晶體裝置中，一個(gè)非常簡(jiǎn)單、緊湊又節(jié)省空間的結(jié)構(gòu)從前文描述過 的窗口之間的相對(duì)設(shè)置形成，優(yōu)選地，形成在以某個(gè)角度相互鄰接的側(cè)壁中，這些側(cè)壁彼此 相對(duì)呈兩倍Brewster角度設(shè)置。如果在一個(gè)側(cè)壁到另一個(gè)側(cè)壁的轉(zhuǎn)換處提供扁平或圓形 的區(qū)域，則這還能起到節(jié)省空間的效果。此外，為激光輻射提供的窗口(由例如石英玻璃構(gòu)成)相對(duì)于激光晶體放置，使 得激光輻射在窗口上的峰值強(qiáng)度顯著小于在晶體表面的峰值強(qiáng)度，從而避免窗口的老化過 程。這種窗口上激光輻射的強(qiáng)度的減少或最小化通過調(diào)節(jié)窗口與激光晶體之間的距離來完 成，使用一些條件使激光束在激光晶體上聚焦，即，其具有匯聚的形狀，因此在距離激光晶 體一定的距離上具有比直接在晶體表面上的光束截面更大的光束截面。作為這個(gè)激光束幾 何形狀的結(jié)果，適應(yīng)于激光束的總能量或強(qiáng)度，激光束從而與激光晶體的位置上的輻射強(qiáng) 度相比在窗口的位置上具有低得多的強(qiáng)度，從而避免對(duì)石英玻璃的表面的損傷。窗口與激 光晶體的距離主要取決于激光輻射的聚焦程度，即，聚焦角度越大，則距離可能越小，反之， 如果激光束的匯焦越弱，則窗口將距離激光晶體相對(duì)越遠(yuǎn)。當(dāng)然，激光輻射的基本能量，更 準(zhǔn)確地說相對(duì)于短脈沖持續(xù)時(shí)間的具體的峰值功率，也必須在距離的選擇中得以考慮。作 為例子，這里可以指定，在具有800mm波長(zhǎng)和20fs脈沖持續(xù)時(shí)間的激光輻射的情況下，其具 有1.5MW的峰值功率，在激光晶體及其容器的區(qū)域中激光束的聚焦角度(半個(gè)孔徑角度) 約為2. 3°的情況下，激光晶體和窗口之間相距大約為3mm或8mm的距離是足夠的。當(dāng)激光輻射在激光晶體上聚焦時(shí)，窗口位置上的光束直徑通過對(duì)窗口距離激光晶 體的距離的特定選擇得以放大。如果窗口位于傾斜于光軸Brewster角度，則這種放大會(huì)更 強(qiáng)。很明顯地，激光束通過窗口所依據(jù)的區(qū)域的放大由這個(gè)傾斜的位置額外得以實(shí)現(xiàn)，從而 窗口上激光輻射的峰值強(qiáng)度也得以降低。如前所述，我們已經(jīng)知道把激光晶體所處的容器內(nèi)部抽真空并充滿惰性氣體，借 助于干燥劑保持干燥。這些措施用于使得容器內(nèi)部的濕度最小化。然而，如前所述，如果激 光晶體開始在環(huán)境中霧化，則晶體表面可以很普遍地被各種材料、氣體、或是環(huán)境中的顆粒 損壞。在本激光晶體裝置中，容器內(nèi)部因此包含一種技術(shù)上純凈的環(huán)境，即使當(dāng)激光強(qiáng)度較 大的情況下，激光晶體的老化也不會(huì)發(fā)生。技術(shù)上純凈的環(huán)境可以理解為沒有自然來源或 技術(shù)生成的懸浮微粒。這里最好使用惰性氣體或純凈空氣，或是具有高電離電位的氣體，例如惰性氣體。就這種具有高電離電位的氣體的情況下，激光光束的強(qiáng)度不足以電離分子。前面提到，由于激光晶體附近的激光的高強(qiáng)度，晶體表面發(fā)生老化，從而輸出能量 會(huì)降低，不穩(wěn)定性會(huì)發(fā)生；即使事先已經(jīng)非常小心地密封容器，非常仔細(xì)地選取材料，長(zhǎng)時(shí) 間地處理熱處理特定的材料，這種老化也會(huì)發(fā)生，因?yàn)榫徛臍堄嗷瘜W(xué)物質(zhì)氣體泄露不可 避免。這些材料在晶體附近的高強(qiáng)電場(chǎng)作用下會(huì)出現(xiàn)裂痕，顆粒在晶體表面沉積。為了避免 這種效應(yīng)，本發(fā)明還提出減少晶體附近的電場(chǎng)強(qiáng)度，根據(jù)本發(fā)明這可以通過選取比通常厚 度更厚的晶體來實(shí)現(xiàn)。這種具有更大厚度的激光晶體可以放大晶體表面的光束直徑，并且 拉伸脈沖。這樣晶體附近的電場(chǎng)強(qiáng)度就被顯著減小，對(duì)應(yīng)于直徑乘以脈沖持續(xù)時(shí)間的乘積 的倒數(shù)。晶體厚度的增加對(duì)于50fs的脈沖被證明是有利的。具體而言，實(shí)驗(yàn)顯示至少3mm 的晶體厚度，特別是4到7mm，最好4-6nm的厚度，更具體是5_6mm厚度，明顯減少了晶體表 面的強(qiáng)度，在壽命和穩(wěn)定性上有卓越效果。本激光晶體裝置可以被廣泛地用于各種激光裝置，尤其是模耦合振蕩器，優(yōu)選地 作為短脈沖激光振蕩器，最優(yōu)選地飛秒激光振蕩器。本激光裝置和/或振蕩器或放大器可以用色散鏡體以通常方式來構(gòu)造，但可能有 例如棱鏡來做色散控制。本發(fā)明基于優(yōu)選的實(shí)施例參照附圖以示例方式而非限制性的方式進(jìn)行更加詳細(xì) 的解釋。


圖1-4顯示根據(jù)本發(fā)明的激光晶體裝置的正視圖(圖1)、俯視圖(圖2)、從右面 觀看的側(cè)視圖(圖3)以及從左面觀看的側(cè)視圖(圖4)。圖5顯示通過根據(jù)圖1到4的激光晶體裝置的一個(gè)部分，對(duì)應(yīng)于表1中的線V-V ；圖6以主要部件的示意性剖視圖的方式示出了根據(jù)圖1到5的激光晶體裝置；圖7顯示激光束(以mm為單位)和諧振器位置的圖表，具體而言，在激光晶體裝 置的殼體中以mm為單位測(cè)量的位置或距離；圖8顯示針對(duì)各種晶體厚度的與激光束強(qiáng)度成比例的多數(shù)值曲線(任意單位)與 脈沖持續(xù)時(shí)間的圖表；圖9A及9B顯示可以或正在使用根據(jù)本發(fā)明的激光晶體裝置的各種配置的短脈沖 激光諧振器。
具體實(shí)施例方式激光晶體裝置1顯示在圖1至6中，其包括殼體2和蓋體3，所述殼體2和蓋體3 共同限定容器4和連接至容器4的內(nèi)部的支架5，用于作為基本部件的激光晶體6。這個(gè)激 光晶體6例如是鈦的藍(lán)寶石晶體，這本身是已知的。殼體2和蓋體3包括例如鋁鎂合金?？?抽為真空的0形環(huán)8的周邊密封槽7 (圖5)被提供在殼體2的上側(cè)，0形環(huán)8在蓋體3借 助于五缸頭螺釘9適當(dāng)?shù)鼐o擰在殼體2上時(shí)密封容器4的內(nèi)部，例如，五缸頭螺釘9被分別 擰入蓋體3和殼體2的孔10和11中。容器4，更確切地說是其殼體2，進(jìn)一步提供有兩個(gè)Brewster窗口 12和13，它們 位于殼體2的法蘭樣緊固凸起14的下方，這樣蓋體3陷在殼體2的深處的兩個(gè)側(cè)壁12'和13'中，他們彼此間有一個(gè)角度。在圖中所示的實(shí)施例中，側(cè)壁12’和13'通過扁平或 圓形的區(qū)域X相互鄰接，具體可以參見圖6。從圖9A及9B中可以明顯看出，被反射的激光 束可以被引導(dǎo)至恰好通過激光晶體裝置1的殼體。Brester窗口 12和13在可抽為真空的粘合劑的幫助下被粘附到為此目的提供的 側(cè)壁12'和13'的凹陷處，Brewster的窗口 12和13的角度適用于盡可能小的損失，如圖 9A及9B所示，其中激光晶體6和激發(fā)光(pump beam) 15和/或在激光諧振器中被多次反射 的激光束16在圖中顯示為在激光晶體6的相應(yīng)角度上。激光晶體裝置1的內(nèi)在組件，即支架5，實(shí)現(xiàn)為有角度的、有底部17和從此向上突 出的柱狀體18 ；后者在它的前面是圓形的——對(duì)應(yīng)于容器4的內(nèi)側(cè)，在二個(gè)側(cè)面壁12'和 13'之間的過渡區(qū)域上——它具有由導(dǎo)線腐蝕形成的保險(xiǎn)裝置19和20，例如，比如說低一 點(diǎn)的保險(xiǎn)裝置19用于接受激光晶體6，而在它之上位于上部的較高的保險(xiǎn)裝置20用于接 觸壓力曝光。位于保險(xiǎn)裝置20和19之間的部件21被用來夾緊激光晶體6，其稍微向下偏 轉(zhuǎn)，并且在夾緊螺釘22的幫助下夾緊在激光晶體6上，所述夾緊螺釘22從上側(cè)擰入到柱體 部件18中。底部部件17具有兩個(gè)垂直的埋頭孔的鉆孔23，從而能夠借助于具有中心的埋頭 孔螺釘(圖中未示出)在殼體2的底部24上朝著支架5向下的方向被擰入到容器4的內(nèi) 部中(見圖5)此外，殼體2具有兩個(gè)平行側(cè)緊固的法蘭25和26，以便為激光晶體6形成密封晶 體設(shè)置的激光晶體裝置1可以安裝在特別的激光裝置中，其位置使得激光束可以穿過一個(gè) 窗口 12進(jìn)入另一個(gè)窗口 13并且可以通過另一個(gè)窗口 13出來，例如在圖9A中所示。殼體 2可以通過例如銑削制成；支架5中的垂直孔23允許在將支架5安裝到殼體2的內(nèi)部時(shí)進(jìn) 行中心孔加工。殼體的總體截面形狀是五邊形，正如從附圖中可以看到的，在殼體2的側(cè)壁 12’和13’的區(qū)域中，激光晶體6停止移動(dòng)，所述側(cè)壁12’和13’以鈍角相互鄰接，其還包括 窗口 12和13。但是，沒有提供對(duì)稱配置，而是提供比激光晶體的另一個(gè)進(jìn)入或流出表面更 靠近鄰近的窗口的進(jìn)入或流出表面。在圖9A和9B之夕卜，在圖7中也可以看出，其中，例如， 其中繪出了激光束的半徑R(以mm為單位)的曲線與激光振蕩器的縱向位置P (以mm為單 位)之間的關(guān)系，特別是在激光晶體裝置1或容器4的內(nèi)部。殼體2上窗口 12和13的位 置表示為30和31 ；半徑在晶體表面上激光晶體6的區(qū)域32中最小，為0. 02mm。從X軸上 可以看出，一個(gè)窗口位置30距離激光晶體6的鄰近前側(cè)大約為3mm，而與此相對(duì)，另一個(gè)窗 口 31距離面對(duì)它的激光晶體的前側(cè)大約為8mm。在裝配密封激光晶體裝置1的過程中，窗口 12和13粘合到殼體2的壁部凹陷處， 支架5被擰入到殼體2中；然后0形環(huán)8被放置于殼體2的上側(cè)的凹槽7中，并且蓋體3被 置于殼體2上并且借助于氣缸頭螺釘9得以固定。然后，可排空殼體2，然后使用具有高電離電位的氣體進(jìn)行充氣，具體地為惰性氣 體。但是，圖中已經(jīng)示出，如果如圖所示激光晶體6距離窗口 12和13足夠遠(yuǎn)從而保證窗口 12和13上的相應(yīng)大的光束直徑，如圖7所示，從而由于在窗口 12和13的區(qū)域中提供了相 對(duì)低的強(qiáng)度所以窗口 12和13上的顆料或類似物體的沉積不會(huì)導(dǎo)致窗口 12和13的老化， 則容器4的純空氣填充完全足夠。對(duì)于激光晶體6，基于脈沖持續(xù)時(shí)間T，激光晶體6可以具有相對(duì)大的厚度，優(yōu)選地大于3mm，特別優(yōu)選地大于4mm，如圖8所示。5條曲線33到37 (對(duì)應(yīng)于五個(gè)不同的晶體厚 度)在這個(gè)圖8中進(jìn)行了表示，其中描繪了任意單位(a. u.)表示的強(qiáng)度值和脈沖持續(xù)時(shí)間 T(以飛秒為單位)，強(qiáng)度值I與激光晶體6上激光束的強(qiáng)度成比例。很明顯地，在激光器厚 度為3mm、約為20fs非常短的脈沖持續(xù)時(shí)間T的情況下(曲線33)，強(qiáng)度相對(duì)而言仍然大，但 是隨著脈沖持續(xù)時(shí)間T的增加而變小。相對(duì)而言，在較大的晶體厚度的情況下，例如3mm(曲 線34)或5mm(曲線35)，特別是6mm(曲線36)或7mm(曲線37)，強(qiáng)度減小的幅度變小，特 別地，也是在20fs的脈沖持續(xù)時(shí)間處，其數(shù)值的幅度僅有3mm晶體厚度(曲線33)的強(qiáng)度 的一半。通過晶體表面上激光束強(qiáng)度的減小，可能防止已經(jīng)沉積在晶體表面上的顆料或類 似物質(zhì)的有害的效應(yīng)。 最后，圖9A和9B中示意性地示出了各種激光振蕩器的配置，其提供來實(shí)現(xiàn)模耦合 短脈沖激光器40和41。在每種情況下，在振蕩器中產(chǎn)生脈沖激光束，所述振蕩器使用鏡體 M1、M2、M3、M4和可選擇的M5和M6并且借助于激發(fā)光束15以已知的方式形成，所述激發(fā)光 束15從典型的泵激光器(圖中未示出)產(chǎn)生；鏡體Ml對(duì)于激發(fā)光束15是透明的，但是對(duì) 于激光束16不是透明的，激光束16在其例如是凹入的鏡體表面上被反射。鏡體M4實(shí)現(xiàn)為 例如部分反光的鏡體，從而形成耦出鏡體，在該耦出鏡體上，激光束組件42被耦出。這個(gè)可 選擇地同樣適用于鏡體M6，在該鏡體M6上，如果需要這種雙側(cè)去耦合，則激光束組件44可 以被耦出，參見圖9B。由于這種類型的短脈沖激光裝置本身是已知的，所以這里省去了對(duì)其 的詳細(xì)描述。另外，從圖9A和9B中可以看出，窗口 12和13或側(cè)壁12’和13’的配置相對(duì) 于特別激光束方向呈Brewster角度a (其是激光輻射的波長(zhǎng)的函數(shù))，還可以看出，兩個(gè)側(cè) 壁12’和13’必須相互呈兩倍的Brewster角度2a延伸。(當(dāng)通過當(dāng)前的激光晶體裝置1 時(shí)，激光輻射不改變波長(zhǎng)也不改變極性。)
權(quán)利要求
一種用于短脈沖激光器的激光晶體裝置(1)，包括容器(4)和支架(5)，所述容器(4)的內(nèi)部相對(duì)于空氣被密封，所述容器(4)包括技術(shù)上純凈的空氣，所述容器(4)還包括連接到側(cè)壁(12，13)的窗口(12，13)，用于通過激光輻射(16)，所述激光輻射(16)在操作時(shí)通過激光晶體(6)，所述窗口(12，13)相對(duì)于所述激光輻射(16)的光徑傾斜Brewster角度，所述支架(5)用于激光晶體(6)連接到所述容器(4)的內(nèi)部，其特征在于，所述窗口(12，13)相互傾斜兩倍的Brewster角度并且與所述激光晶體(6)相對(duì)于激光束的屬性放置足夠大的距離，窗口(12，13)的光束橫截面足夠大以便保證所述窗口(12，13)上的峰值強(qiáng)度與所述激光晶體(6)上所述激光輻射(16)的峰值強(qiáng)度相比較更低，從而防止在所述窗口(12，13)上發(fā)生老化過程。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光晶體裝置，其特征在于，所述窗口(12，13)所在的所述側(cè) 壁(12，，13，)相互鄰近。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的激光晶體裝置，其特征在于，在一個(gè)側(cè)壁到另一個(gè)側(cè)壁的過 渡區(qū)域上提供扁平或圓形的區(qū)域。
4.根據(jù)權(quán)利要求1到3中任一權(quán)利要求所述的激光晶體裝置，其特征在于，所述容器 (4)包含具有高電離電位的氣體。
5.根據(jù)權(quán)利要求1到4中任一權(quán)利要求所述的激光晶體裝置，其特征在于，所述容器 (4)中包含惰性氣體。
6.根據(jù)權(quán)利要求1到3中任一權(quán)利要求所述的激光晶體裝置，其特征在于，所述容器(4)中包含純凈空氣。
7.根據(jù)權(quán)利要求1到6中任一權(quán)利要求所述的激光晶體裝置，其特征在于，在距離所述 激光晶體(6)所在的位置幾毫米，例如至少3mm，的位置上提供所述窗口(12，13)。
8.根據(jù)權(quán)利要求1到7中任一權(quán)利要求所述的激光晶體裝置，其特征在于，在所述支架(5)中連接有具有至少大約3mm的厚度的激光晶體(6)，優(yōu)選地，所述厚度介于4mm到7mm 之間。
9.一種包括激光晶體裝置(1)的模耦合短脈沖激光振蕩器(40，41)，其特征在于，所述 激光晶體裝置(1)根據(jù)權(quán)利要求1到8中任一權(quán)利要求進(jìn)行設(shè)計(jì)。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的短脈沖激光振蕩器，其特征在于，配置為飛秒激光振蕩器。
全文摘要
一種用于短脈沖激光器的激光晶體裝置(1)，包括容器(4)和支架(5)，所述容器(4)的內(nèi)部相對(duì)于環(huán)境被密封并且包括連接到側(cè)壁(12′，13′)的窗口(12，13)，用于通過激光輻射(16)，所述激光輻射(16)在操作時(shí)通過激光晶體(6)，所述窗口(12，13)相對(duì)于所述激光輻射(16)的光徑傾斜Brewster角度，并且，對(duì)于激光束屬性而言，所述窗口(12，13)與所述激光晶體(6)的位置相距足夠大的距離，在所述激光晶體(6)的位置上，窗口(12，13)的光束橫截面足夠大以便保證所述窗口(12，13)上的峰值強(qiáng)度與所述激光晶體(6)上所述激光輻射(16)的峰值強(qiáng)度相比較更低，從而防止在所述窗口(12，13)上發(fā)生老化過程，所述支架(0用于所述激光晶體(6)連接到所述容器(4)的內(nèi)部，其特征在于，所述窗口(12，13)在兩上側(cè)壁(12′，13′)相互傾斜兩倍的Brewster角度，所述兩個(gè)側(cè)壁(12′，13′)相互呈一個(gè)角度放置，所述容器(4)包含技術(shù)上純凈的空氣。
文檔編號(hào)H01S3/02GK101946376SQ200980105451
公開日2011年1月12日 申請(qǐng)日期2009年2月18日 優(yōu)先權(quán)日2008年2月18日
發(fā)明者克里斯蒂安·瓦爾穆特, 安德烈亞斯·施廷格爾, 安德烈亞斯·阿西翁, 艾爾弗雷德·托馬斯克 申請(qǐng)人:費(fèi)姆托激光產(chǎn)品股份有限公司