專利名稱：芯片多注射頭塑封模的多油缸轉(zhuǎn)進(jìn)結(jié)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及集成電路芯片的封裝模具，特別涉及芯片多注射頭塑封模中的多 油缸轉(zhuǎn)進(jìn)結(jié)構(gòu)。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體集成電路制造技術(shù)中，塑料封裝是指使用環(huán)氧樹脂聚合物將已完成引線 鍵合的芯片和引線框架完全包封的過程。而塑料封裝通常是通過塑封模采用壓力注塑方式 來實(shí)現(xiàn)。為了提高生產(chǎn)效率一般采用多注射頭塑封模，一次能夠封裝成型多個(gè)集成電路芯 片。圖1為典型的多注射頭塑封模結(jié)構(gòu)原理示意圖。從圖中可以看出，多注射頭塑封模由 上模1、下模2、兩個(gè)注射頭和單油缸轉(zhuǎn)進(jìn)結(jié)構(gòu)組成，其中，上模1與下模2合模后形成四個(gè) 模腔3，晶片4與引線框架5連接好后位于模腔3中；注射頭由料筒6、擠膠頭7和擠膠桿8 組成，并構(gòu)成塑封料餅9的注射結(jié)構(gòu)；單油缸轉(zhuǎn)進(jìn)結(jié)構(gòu)由轉(zhuǎn)進(jìn)板10、單油缸11、導(dǎo)柱12和底 板13組成，導(dǎo)柱12相對底板13固定，轉(zhuǎn)進(jìn)板10通過導(dǎo)套14滑動(dòng)套裝在導(dǎo)柱12上，單油 缸11缸體安裝在底板13上，活塞桿與轉(zhuǎn)進(jìn)板10連接。多注射頭塑封模工作時(shí)，首先將塑 封模模具加熱到175士5°C并保溫，然后把連接好晶片4的引線框架5(銅或鐵鎳合金)放入 模具，接下來將塑封料餅9 (環(huán)氧樹脂)放入多個(gè)注射頭內(nèi)，并開始合模，然后高壓油通過單 油缸11的活塞桿推動(dòng)轉(zhuǎn)進(jìn)板10向上運(yùn)動(dòng)，轉(zhuǎn)進(jìn)板10在向上運(yùn)動(dòng)過程中，一方面推動(dòng)所有 注射頭分別向各自的模腔3中注射環(huán)氧樹脂，另一方面通過導(dǎo)套14與導(dǎo)柱12配合保持所 有注射頭運(yùn)動(dòng)平衡，直至所有注射頭轉(zhuǎn)進(jìn)至頂部，并保持高壓2分鐘左右待環(huán)氧樹脂固化 后開模，取出產(chǎn)品，即完成整個(gè)塑封過程。從理論上看，采用單油缸11推進(jìn)的轉(zhuǎn)進(jìn)結(jié)構(gòu)對轉(zhuǎn)進(jìn)板的運(yùn)動(dòng)平衡比較合理，但實(shí) 踐中由于塑封模模具的體積均較大，轉(zhuǎn)進(jìn)板尺寸大約是600X500mm，傳統(tǒng)單油缸推進(jìn)的設(shè) 計(jì)方案是在轉(zhuǎn)進(jìn)板中心下方安裝一個(gè)缸徑120mm的油缸，通過此油缸將轉(zhuǎn)進(jìn)板向上平移推 進(jìn)實(shí)現(xiàn)模具灌膠。但由于保持轉(zhuǎn)進(jìn)板平移的導(dǎo)向機(jī)構(gòu)中存在間隙，加上多注射頭的反作用 力不可能非常均勻，因此容易造成轉(zhuǎn)進(jìn)板10在向上運(yùn)動(dòng)的轉(zhuǎn)進(jìn)行程中左右或前后受力不 平衡，導(dǎo)致多注射頭之間對模腔3的灌膠密度不一致，甚至轉(zhuǎn)進(jìn)板10在向上運(yùn)動(dòng)過程中偶 然會(huì)發(fā)生卡死的現(xiàn)象，影響了客戶的產(chǎn)品生產(chǎn)。因此，如何解決這一問題是本實(shí)用新型研究 的課題。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型提供一種芯片多注射頭塑封模的多油缸轉(zhuǎn)進(jìn)結(jié)構(gòu)，旨在解決多注射頭 塑封模中轉(zhuǎn)進(jìn)板的運(yùn)動(dòng)平衡問題。為達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是一種芯片多注射頭塑封模的多油缸轉(zhuǎn)進(jìn)結(jié)構(gòu)，該結(jié)構(gòu)包括一塊水平設(shè)置的轉(zhuǎn)進(jìn)板，轉(zhuǎn)進(jìn)板的頂面與多注射頭中的各個(gè)擠 膠桿連接，轉(zhuǎn)進(jìn)板與上下方向的導(dǎo)向機(jī)構(gòu)連接，使轉(zhuǎn)進(jìn)板可沿上下方向作平行移動(dòng)，其創(chuàng)新 在于在轉(zhuǎn)進(jìn)板下方至少設(shè)有兩個(gè)油缸，各油缸的大小規(guī)格和結(jié)構(gòu)相同，而且在轉(zhuǎn)進(jìn)板頂面向下投影的區(qū)域內(nèi)對稱或均勻布置；每個(gè)油缸的缸體均安裝在一塊底板上，每個(gè)油缸的活 塞桿均與上方的轉(zhuǎn)進(jìn)板連接；各油缸的進(jìn)油通路和回油通路均布置在所述底板內(nèi)部，其中， 各油缸之間的進(jìn)油通路直徑和長度相等，各油缸之間的回油通路直徑和長度相等，而且各 油缸的進(jìn)油通路在所述底板內(nèi)部供用一條進(jìn)油總通路，各油缸的回油通路在所述底板內(nèi)部 供用一條回油總通路。上述技術(shù)方案中的有關(guān)內(nèi)容解釋如下1、上述方案中，所述導(dǎo)向機(jī)構(gòu)可以有以下三種形式(1)導(dǎo)向機(jī)構(gòu)由相對轉(zhuǎn)進(jìn)板對稱設(shè)置的導(dǎo)柱和導(dǎo)套結(jié)構(gòu)構(gòu)成，導(dǎo)柱和導(dǎo)套兩者中， 一者相對轉(zhuǎn)進(jìn)板定位，另一者相對底板定位，導(dǎo)柱與導(dǎo)套在轉(zhuǎn)進(jìn)板平行移動(dòng)方向上滑動(dòng)配合(2)導(dǎo)向機(jī)構(gòu)由相對轉(zhuǎn)進(jìn)板對稱設(shè)置的齒輪和齒條結(jié)構(gòu)構(gòu)成，齒輪和齒條兩者中， 一者相對轉(zhuǎn)進(jìn)板定位，另一者相對底板定位，齒輪和齒條在轉(zhuǎn)進(jìn)板平行移動(dòng)方向上嚙合。(3)導(dǎo)向機(jī)構(gòu)由第一導(dǎo)向機(jī)構(gòu)和第二導(dǎo)向機(jī)構(gòu)組成，其中，第一導(dǎo)向機(jī)構(gòu)由相對轉(zhuǎn) 進(jìn)板對稱設(shè)置的導(dǎo)柱和導(dǎo)套結(jié)構(gòu)構(gòu)成，導(dǎo)柱和導(dǎo)套兩者中，一者相對轉(zhuǎn)進(jìn)板定位，另一者相 對底板定位，導(dǎo)柱與導(dǎo)套在轉(zhuǎn)進(jìn)板平行移動(dòng)方向上滑動(dòng)配合；第二導(dǎo)向機(jī)構(gòu)由相對轉(zhuǎn)進(jìn)板 對稱設(shè)置的齒輪和齒條結(jié)構(gòu)構(gòu)成，齒輪和齒條兩者中，一者相對轉(zhuǎn)進(jìn)板定位，另一者相對底 板定位，齒輪和齒條在轉(zhuǎn)進(jìn)板平行移動(dòng)方向上嚙合。由于上述技術(shù)方案運(yùn)用，本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比具有下列優(yōu)點(diǎn)1、本實(shí)用新型將原來單油缸推進(jìn)的轉(zhuǎn)進(jìn)結(jié)構(gòu)改為多油缸同時(shí)推進(jìn)的轉(zhuǎn)進(jìn)結(jié)構(gòu)，為 了解決多油缸推進(jìn)時(shí)的同步問題，除了選擇大小規(guī)格和結(jié)構(gòu)相同的油缸而外，采用同路進(jìn) 油和同路回油的設(shè)計(jì)方案，從而保證了各油缸動(dòng)作的同步性和一致性，因此大大提高了轉(zhuǎn) 進(jìn)板的運(yùn)動(dòng)平衡性。經(jīng)試驗(yàn)證明，改進(jìn)后轉(zhuǎn)進(jìn)的平穩(wěn)性相當(dāng)好，綜合性能比傳統(tǒng)的單油缸轉(zhuǎn) 進(jìn)結(jié)構(gòu)有明顯的提升。2、本實(shí)用新型將各油缸的進(jìn)油通路和回油通路由外部明管改為底板內(nèi)藏式暗管， 并且供用一條進(jìn)油總通路和一條回油總通路，而且從進(jìn)油總通路分別到各油缸的進(jìn)油通路 直徑和長度相等，從回油總通路分別到各油缸的回油通路直徑和長度相等，避免了明管配 管造成的長度誤差和形狀誤差，確保各油缸動(dòng)作的同步性和一致性。3、本實(shí)用新型由于取消了明管管接頭的連接方式，極大提高油路的可靠性，完全 避免了因多管連接而在接頭處發(fā)生漏油的現(xiàn)象。4、本實(shí)用新型由于油缸座落式安裝在底板上，擰開少量螺栓即可拆卸油缸，給維 護(hù)和保養(yǎng)帶來方便。

附圖1為改進(jìn)前典型的多注射頭塑封模結(jié)構(gòu)原理示意圖；附圖2為改進(jìn)前單油缸外接式油管示意圖；附圖3為本實(shí)用新型多注射頭塑封模結(jié)構(gòu)原理示意圖；附圖4為本實(shí)用新型雙油缸油路設(shè)計(jì)原理圖；附圖5為圖4的右視圖；附圖6為本實(shí)用新型底板內(nèi)的雙油缸油路設(shè)計(jì)平面圖；[0022]附圖7為本實(shí)用新型雙油缸轉(zhuǎn)進(jìn)結(jié)構(gòu)實(shí)施例立體圖；附圖8為本實(shí)用新型雙油缸轉(zhuǎn)進(jìn)結(jié)構(gòu)實(shí)施例主視圖；附圖9為圖8的仰視圖；附圖10為圖8的右視圖。以上附圖中1、上模；2、下模；3、模腔；4、晶片；5、引線框架；6、料筒；7、擠膠頭； 8、擠膠桿；9、塑封料餅；10、轉(zhuǎn)進(jìn)板；11、單油缸；12、導(dǎo)柱；13、底板；14、導(dǎo)套；15、第一油 缸；16、第二油缸；17、齒輪；18、齒條；19、油管；20、進(jìn)油總通路；21、回油總通路；22、進(jìn)油 通路；23、回油通路；24、工藝堵頭；25、接頭安裝座；26、油管接頭。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖及實(shí)施例對本實(shí)用新型作進(jìn)一步描述實(shí)施例一種芯片多注射頭塑封模的雙油缸轉(zhuǎn)進(jìn)結(jié)構(gòu)圖3為本實(shí)用新型多注射頭塑封模結(jié)構(gòu)原理示意圖，從圖中可以看出，多注射頭 塑封模由上模1、下模2、兩個(gè)注射頭和雙油缸轉(zhuǎn)進(jìn)結(jié)構(gòu)組成，其中，上模1與下模2合模后 形成四個(gè)模腔3，晶片4與引線框架5連接好后位于模腔3中。注射頭由料筒6、擠膠頭7 和擠膠桿8組成，并構(gòu)成塑封料餅9的注射結(jié)構(gòu)。本實(shí)施例雙油缸轉(zhuǎn)進(jìn)結(jié)構(gòu)包括一塊水平 設(shè)置的轉(zhuǎn)進(jìn)板10，轉(zhuǎn)進(jìn)板10的頂面與多注射頭中的各個(gè)擠膠桿8連接，轉(zhuǎn)進(jìn)板10與上下 方向的導(dǎo)向機(jī)構(gòu)連接，使轉(zhuǎn)進(jìn)板10可沿上下方向作平行移動(dòng)。在轉(zhuǎn)進(jìn)板10下方設(shè)有兩個(gè) 油缸，即第一油缸15和第二油缸16。這兩個(gè)油缸的大小規(guī)格和結(jié)構(gòu)相同，而且在轉(zhuǎn)進(jìn)板10 頂面向下投影的區(qū)域內(nèi)對稱布置(見圖7和圖8)。每個(gè)油缸的缸體均安裝在一塊底板13 上(見圖3 5)，每個(gè)油缸的活塞桿均與上方的轉(zhuǎn)進(jìn)板10連接。如圖4和圖5所示，兩個(gè)油缸的進(jìn)油通路22和回油通路23均布置在底板13內(nèi)部， 油缸的進(jìn)、出油孔均位于缸體底面上，缸體安裝在底板13上時(shí)，進(jìn)、出油孔處通過密封圈密 封(圖中未畫出)。圖6為底板13內(nèi)的雙油缸油路設(shè)計(jì)平面圖，圖中兩個(gè)圓圈表示第一油 缸15和第二油缸16的安裝位置，20表示底板13內(nèi)的進(jìn)油總通路，21表示底板13內(nèi)的回 油總通路，22表示油缸的進(jìn)油通路，23表示油缸的回油通路，24表示工藝堵頭(即加工時(shí)需 堵塞的工藝孔)。在底板13內(nèi)部設(shè)計(jì)油路可以利用深孔加工技術(shù)來實(shí)現(xiàn)。從圖中不難看出，兩個(gè)油缸之間的進(jìn)油通路22直徑和長度相等，兩個(gè)油缸之間的回油通路23直徑和長度 相等，而且兩個(gè)油缸的進(jìn)油通路22在底板13內(nèi)部供用一條進(jìn)油總通路20，兩個(gè)油缸的回油 通路23在底板13內(nèi)部供用一條回油總通路21。進(jìn)油總通路20和回油總通路21均通過圖 5所示的接頭安裝座25和油管接頭26與外部的油管19連接，其中，接頭安裝座25與底板 13之間的進(jìn)、出油孔處通過密封圈密封(圖中未畫出)，該密封圈一般使用一、二年后由于 老化密封性能降低需要更換。本實(shí)施例油缸與底板13油路連接采用密封圈連接方式，使得 安裝方便，無須螺紋連接式安裝對安裝人員的技術(shù)要求，拆卸維護(hù)快捷，而且無須拆卸整體 下模模具，只要擰開少量螺栓即可自由維護(hù)油缸。在本實(shí)施例雙油缸轉(zhuǎn)進(jìn)結(jié)構(gòu)中，轉(zhuǎn)進(jìn)板10的導(dǎo)向機(jī)構(gòu)由第一導(dǎo)向機(jī)構(gòu)和第二導(dǎo) 向機(jī)構(gòu)組成，其中，第一導(dǎo)向機(jī)構(gòu)見圖3所示，由相對轉(zhuǎn)進(jìn)板10對稱設(shè)置的導(dǎo)柱12和導(dǎo)套 14結(jié)構(gòu)構(gòu)成，導(dǎo)套14相對轉(zhuǎn)進(jìn)板10定位，導(dǎo)柱12相對底板13定位，導(dǎo)柱12與導(dǎo)套14在 轉(zhuǎn)進(jìn)板10平行移動(dòng)方向上滑動(dòng)配合。第二導(dǎo)向機(jī)構(gòu)見圖7 10所示，由相對轉(zhuǎn)進(jìn)板10對稱設(shè)置的齒輪17和齒條18結(jié)構(gòu)構(gòu)成，齒條18相對轉(zhuǎn)進(jìn)板10定位，齒輪17相對底板13定位，齒輪17和齒條18在轉(zhuǎn)進(jìn)板10平行移動(dòng)方向上嚙合。 上述實(shí)施例只為說明本實(shí)用新型的技術(shù)構(gòu)思及特點(diǎn)，其目的在于讓熟悉此項(xiàng)技術(shù) 的人士能夠了解本實(shí)用新型的內(nèi)容并據(jù)以實(shí)施，并不能以此限制本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。 從以上實(shí)施例描述中，本領(lǐng)域技術(shù)人員至少可以得出以下幾點(diǎn)等效變化形式第一，將油缸 的個(gè)數(shù)改為三個(gè)、四個(gè)，甚至更多，只要通過底板內(nèi)藏式暗管油路設(shè)計(jì)來保證各油缸動(dòng)作的 同步性均可以實(shí)施；第二，導(dǎo)向機(jī)構(gòu)可以單獨(dú)采用一組導(dǎo)柱與導(dǎo)套配合的結(jié)構(gòu)來實(shí)現(xiàn)，也可 以單獨(dú)采用一組齒輪和齒條嚙合的結(jié)構(gòu)來實(shí)現(xiàn)，甚至可以采用滑槽與滑塊配合的結(jié)構(gòu)來實(shí) 現(xiàn)等等。凡根據(jù)本實(shí)用新型精神實(shí)質(zhì)所作的等效變化或修飾，都應(yīng)涵蓋在本實(shí)用新型的保 護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求一種芯片多注射頭塑封模的多油缸轉(zhuǎn)進(jìn)結(jié)構(gòu)，該結(jié)構(gòu)包括一塊水平設(shè)置的轉(zhuǎn)進(jìn)板(10)，轉(zhuǎn)進(jìn)板(10)的頂面與多注射頭中的各個(gè)擠膠桿(8)連接，轉(zhuǎn)進(jìn)板(10)與上下方向的導(dǎo)向機(jī)構(gòu)連接，使轉(zhuǎn)進(jìn)板(10)可沿上下方向作平行移動(dòng)，其特征在于在轉(zhuǎn)進(jìn)板(10)下方至少設(shè)有兩個(gè)油缸，各油缸的大小規(guī)格和結(jié)構(gòu)相同，而且在轉(zhuǎn)進(jìn)板(10)頂面向下投影的區(qū)域內(nèi)對稱或均勻布置；每個(gè)油缸的缸體均安裝在一塊底板(13)上，每個(gè)油缸的活塞桿均與上方的轉(zhuǎn)進(jìn)板(10)連接；各油缸的進(jìn)油通路和回油通路均布置在所述底板(13)內(nèi)部，其中，各油缸之間的進(jìn)油通路直徑和長度相等，各油缸之間的回油通路直徑和長度相等，而且各油缸的進(jìn)油通路在所述底板(13)內(nèi)部供用一條進(jìn)油總通路，各油缸的回油通路在所述底板(13)內(nèi)部供用一條回油總通路。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多油缸轉(zhuǎn)進(jìn)結(jié)構(gòu)，其特征在于所述導(dǎo)向機(jī)構(gòu)由相對轉(zhuǎn)進(jìn)板 (10)對稱設(shè)置的導(dǎo)柱(12)和導(dǎo)套(14)結(jié)構(gòu)構(gòu)成，導(dǎo)柱(12)和導(dǎo)套(14)兩者中，一者相對 轉(zhuǎn)進(jìn)板(10)定位，另一者相對底板(13)定位，導(dǎo)柱(12)與導(dǎo)套(14)在轉(zhuǎn)進(jìn)板(10)平行 移動(dòng)方向上滑動(dòng)配合。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多油缸轉(zhuǎn)進(jìn)結(jié)構(gòu)，其特征在于所述導(dǎo)向機(jī)構(gòu)由相對轉(zhuǎn)進(jìn)板 (10)對稱設(shè)置的齒輪(17)和齒條(18)結(jié)構(gòu)構(gòu)成，齒輪(17)和齒條(18)兩者中，一者相對 轉(zhuǎn)進(jìn)板(10)定位，另一者相對底板(13)定位，齒輪(17)和齒條(18)在轉(zhuǎn)進(jìn)板(10)平行 移動(dòng)方向上嚙合。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多油缸轉(zhuǎn)進(jìn)結(jié)構(gòu)，其特征在于所述導(dǎo)向機(jī)構(gòu)由第一導(dǎo)向機(jī) 構(gòu)和第二導(dǎo)向機(jī)構(gòu)組成，其中，第一導(dǎo)向機(jī)構(gòu)由相對轉(zhuǎn)進(jìn)板(10)對稱設(shè)置的導(dǎo)柱(12)和導(dǎo) 套(14)結(jié)構(gòu)構(gòu)成，導(dǎo)柱(12)和導(dǎo)套(14)兩者中，一者相對轉(zhuǎn)進(jìn)板(10)定位，另一者相對底 板(13)定位，導(dǎo)柱(12)與導(dǎo)套(14)在轉(zhuǎn)進(jìn)板(10)平行移動(dòng)方向上滑動(dòng)配合；第二導(dǎo)向機(jī) 構(gòu)由相對轉(zhuǎn)進(jìn)板(10)對稱設(shè)置的齒輪(17)和齒條(18)結(jié)構(gòu)構(gòu)成，齒輪(17)和齒條(18) 兩者中，一者相對轉(zhuǎn)進(jìn)板(10)定位，另一者相對底板(13)定位，齒輪(17)和齒條(18)在 轉(zhuǎn)進(jìn)板(10)平行移動(dòng)方向上嚙合。
專利摘要一種芯片多注射頭塑封模的多油缸轉(zhuǎn)進(jìn)結(jié)構(gòu)，包括一塊轉(zhuǎn)進(jìn)板，其特征在于在轉(zhuǎn)進(jìn)板下方至少設(shè)有兩個(gè)大小規(guī)格和結(jié)構(gòu)相同的轉(zhuǎn)進(jìn)油缸，每個(gè)油缸的缸體均安裝在一塊底板上，各油缸的進(jìn)油通路和回油通路均布置在所述底板內(nèi)部，其中，各油缸之間的進(jìn)油通路直徑和長度相等，各油缸之間的回油通路直徑和長度相等，而且各油缸的進(jìn)油通路在所述底板內(nèi)部供用一條進(jìn)油總通路，各油缸的回油通路在所述底板內(nèi)部供用一條回油總通路。本方案將原來的單油缸推進(jìn)改為多油缸同步推進(jìn)，解決了原來轉(zhuǎn)進(jìn)板偶然發(fā)生卡死的問題，大大提高了轉(zhuǎn)進(jìn)板的運(yùn)動(dòng)平衡性。
文檔編號H01L21/56GK201570492SQ20092028273
公開日2010年9月1日 申請日期2009年12月24日 優(yōu)先權(quán)日2009年12月24日
發(fā)明者時(shí)文崗, 陳勝華 申請人:蘇州均華精密機(jī)械有限公司