專利名稱：機臺裝置組裝方法
技術領域：
本發(fā)明涉及機臺裝置的技術領域，尤其涉及機臺裝置的組裝方法。
背景技術：
圖9的符號105顯示了現(xiàn)有技術的機臺裝置。 該機臺裝置105具有底座板lll，底座板111由配置于背面的四角的腳部112a 112d載置于地面上。 在底座板111的表面上鋪設有軌道114a、114b，在其上方承載有吐出裝置113。在 吐出裝置113的與底座板111面對的面，配置有印刷頭。印刷頭連接于箱119，并從箱119 將吐出液供給至印刷頭，如果使基板107承載于底座板111上并從印刷頭將吐出液吐出，則 吐出液著陸于基板107上。 吐出裝置113構成為可在軌道114a、114b上移動，如圖10所示，如果在基板107
的上方將吐出液吐出，則能夠使吐出液著陸于基板107表面的期望位置。 該吐出液例如為液晶取向膜用的有機薄膜的原料，或液晶顯示裝置的間隔件的分
散液、有機EL元件的發(fā)光層的原料等，機臺裝置105用于將吐出液吐出至大的基板。 然而，吐出對象的基板一直向大型化發(fā)展，與此相對應地，機臺裝置也大型化，從
成本的問題或法規(guī)上的問題看，難以將在工廠中所制造的機臺裝置搬運至設置場所。 因此，在現(xiàn)有技術中也采取對策，嘗試將底座板分割搬運。 專利文獻1 :日本特開2007-73688號公報

發(fā)明內(nèi)容
然而，當在設置場所組裝暫時分割的底座板時，需要花費極大的人工進行對位，或
者組裝精度惡化，仍期望加以解決。 為了解決上述問題，在本發(fā)明的機臺裝置組裝方法中，在正式設置場所對設置于
主載置臺的主底座板和設置于副載置臺的副底座板的相對位置關系進行對位，并聯(lián)接上述 主載置臺和上述副載置臺，從而組裝機臺裝置，其中，在與上述正式設置場所分離的暫時設 置場所，預先對上述副底座板和上述主底座板進行對位，在保存了上述副底座板和上述主 底座板的經(jīng)過對位的狀態(tài)之后，分離上述主載置臺和上述副載置臺，將上述主載置臺和上 述副載置臺搬運至上述正式設置場所，復原上述經(jīng)過對位的狀態(tài)并聯(lián)接上述主載置臺和上 述副載置臺，從而組裝上述機臺裝置。 此外，在本發(fā)明的機臺裝置組裝方法中，具有粗調(diào)整工序，在上述暫時設置場所 進行，粗調(diào)整上述副底座板和上述主底座板的相對位置關系，成為包含粗調(diào)整誤差的粗調(diào) 整位置關系；暫時定位工序，使上述副載置臺相對于上述主載置臺移動，使設置于上述副載 置臺的定位部件和設置于上述主載置臺的引導部接觸，在接觸的狀態(tài)下，上述副底座板和 上述定位部件之間的位置關系、上述定位部件和上述引導部的位置關系、上述引導部和上 述主底座板之間的位置關系成為固定的狀態(tài)；以及分離工序，使上述副載置臺和上述主載置臺相對地移動，使上述定位部件和上述引導部分離，并且，使上述副載置臺和上述主載置 臺分離，還具有復歸工序，該復歸工序在上述正式設置場所進行，以與上述暫時設置場所相 同的位置關系使上述定位部件和上述弓I導部接觸。 此外，在本發(fā)明的機臺裝置組裝方法中，在上述暫時設置場所的上述粗調(diào)整工序
之后，并在上述暫時定位工序之前，進行微調(diào)整工序，該微調(diào)整工序?qū)μ幱谏鲜龃终{(diào)整位置
關系的上述副底座板和上述主底座板的相對位置關系進行微調(diào)整，并使其成為包含比上述
粗調(diào)整誤差小的微調(diào)整誤差的微調(diào)整位置關系。 主底座板和副底座板的對位精度提高。 在設置場所的作業(yè)變簡單。


圖1(a)是用于說明暫時設置場所的主載置臺的俯視圖，(b)為其側視圖。 圖2(a)是用于說明暫時設置場所的副載置臺的俯視圖，(b)為其側視圖。 圖3是用于說明在暫時設置場所相對于主載置臺而聯(lián)接副載置臺的順序的內(nèi)部 俯視圖。 圖4是用于說明在暫時設置場所或正式設置場所聯(lián)接的主載置臺和副載置臺的 狀態(tài)的內(nèi)部俯視圖。 圖5(a)是吐出裝置位于在正式設置場所組裝的機臺裝置的副載置臺上的狀態(tài)的 俯視圖，(b)為其側視圖。 圖6(a)是吐出裝置位于在正式設置場所組裝的機臺裝置的主載置臺上的狀態(tài)的 俯視圖，(b)為其側視圖。 圖7是用于說明在正式設置場所將副載置臺聯(lián)接于主載置臺的順序的俯視圖。 圖8是用于說明副載置臺的其它示例的俯視圖。 圖9(a)是現(xiàn)有技術的機臺裝置的俯視圖(1) ， (b)為其側視圖(1)。 圖10(a)是現(xiàn)有技術的機臺裝置的俯視圖(2) ， (b)為其側視圖(2)。 符號說明 5 :機臺裝置 10 :主載置臺 11 :主底座板 13:吐出裝置 16:引導部 20a 20f:副載置臺 21 :副底座板 24、242 :定位部件
具體實施例方式
圖5(a)、(b)的符號5顯示了本發(fā)明的機臺裝置。同圖(a)為俯視圖，同圖(b)為 側視圖。 該機臺裝置5具有主載置臺10以及多個副載置臺20a 20d。
4
主載置臺10和副載置臺20a 20d分別具有表面平坦的主底座板11和副底座板 21。主底座板11和副底座板21的表面分別以在相同的高度成為水平的方式配置。
主底座板11的俯視形狀為矩形，沿著其四邊之中的互相平行的兩邊鋪設有軌道 14a、14b。 各軌道14a、14b的兩端比主底座板11更突出配置在外側，在突出部分的下方，分 別配置有副載置臺20a 20d所具有的副底座板21。所以，各軌道14a、14b的兩端位于副 載置臺20a 20d的上方，其間的部分位于主載置臺10的上方。 在軌道14a、14b上，設置有可移動的移動部件(在此，為起重機架)，在起重機架上 承載有吐出裝置13。 在該吐出裝置13的底面部分，設置有印刷頭(圖中未顯示)。配置有吐出液的箱 19連接于吐出裝置13，并構成為，如果一邊從箱19供給吐出液， 一邊使印刷頭進行動作，則 從印刷頭將吐出液吐出。 在軌道14a和軌道14b之間的主載置臺10上，配置有基板7。
吐出裝置13構成為可在軌道14a、 14b上行走，如圖6所示，如果在吐出裝置13位 于基板7上的狀態(tài)下，從印刷頭將吐出液吐出，則吐出液著陸于基板7表面。如果移動吐出 裝置13，則能夠使吐出液著陸于基板7表面的期望位置。 該機臺裝置5配置在對基板7進行吐出作業(yè)的正式設置場所，但由于主底座板11 較大，因而如圖5、6所示，在將副載置臺20a 20d聯(lián)接于主載置臺10并組裝了主底座板 11和副底座板21的狀態(tài)下，無法從組裝場所搬送至正式設置場所。 所以，優(yōu)選在主載置臺10和副載置臺20a 20d分離的狀態(tài)下將本發(fā)明的機臺裝 置5搬入至正式設置場所，在正式設置場所正確且迅速地對主底座板11和副底座板21進 行對位并進行聯(lián)接。因此，為了盡可能減少在正式設置場所的作業(yè)，必須進行搬入至正式設 置場所之前的作業(yè)。 圖1 (a)顯示了不放置在正式設置場所而是放置在暫時設置場所的狀態(tài)的主載置
臺10的俯視圖，同圖(b)顯示了該主載置臺10的側視圖。 在主底座板11的背面的四角附近，配置有腳部12a 12d。 在同圖(a)中，以兩點劃線表示主底座板11，以實線表示腳部12a 12d。腳部 12a 12d固定于主底座板11的背面。 接著，圖2(a)為副載置臺20a 20d的俯視圖，同圖(b)為其側視圖。 副載置臺20a 20d具有車部22，副底座板21承載于車部22上。在車部22上設置有多個搬送車輪23。在此，搬送車輪23設置于車部22的臺座
27的底面的四處。 主底座板11和副底座板21為長方形或正方形形狀。副底座板21的寬度為主底 座板11的寬度的一半以下的大小，在軌道14a、14b從主底座板11突出的兩邊，能夠分別連 接兩個。 搬送車輪23設置在副底座板21以連接于主底座板11的部分為先頭而能夠前進 和后退的方向，如果使搬送車輪23接觸于地面并向著前進方向或后退方向施加力，則搬送 車輪23旋轉(zhuǎn)，副載置臺20a 20d沿施加力的方向在地面上行走。 在車部22設置有臺座27，在副載置臺20a 20d的前進方向先頭，由輥形成的定位部件24"242互相離開地配置在行進方向的兩側位置。 腳部12a 12d接觸于地面，并具有支撐主底座板11的支撐部15和設置于支撐 部15的外周側面的板狀的引導部16。引導部16配置于離地面一定距離的上方，在引導部 16和地面之間形成有間隙。 定位部件24p242構成為能夠變更臺座27上的位置，預先增大定位部件24"242之
間的距離，如圖3的副載置臺20b所示，使其先頭向著副底座板21連接于主底座板11的部
分前進，如同圖的副載置臺20a所示，將臺座27插入引導部16和地面之間。 引導部16沿著腳部12a 12d的側面之中的與副載置臺20a 20d的前進方向
平行的部分配置。 定位部件24p242配置在與引導部16相同的高度，但兩定位部件24"242預先比引 導部16的寬度更分離，即使定位部件24p242不與引導部16接觸，也能夠?qū)⑴_座27插入引 導部16的下方。 如同圖的副載置臺20b所示，副底座板21和主底座板11前進至應當互相連接的 邊接觸為止。 在該狀態(tài)下，偏離主底座板11和副底座板21之間的理想位置關系的誤差較大。
在副載置臺20a 20d或主載置臺10，設置有粗調(diào)整機構31和微調(diào)整機構32，該 粗調(diào)整機構31和微調(diào)整機構32能夠調(diào)整副底座板21的高度方向的位置、斜率以及副底座 板21相對于主底座板11的水平面內(nèi)的位置和方向。 微調(diào)整機構32的調(diào)整精度比粗調(diào)整機構31的調(diào)整精度更精密，但由于粗調(diào)整機 構31的調(diào)整量比微調(diào)整機構32的調(diào)整量更大，因而首先由粗調(diào)整機構31對每個副載置臺 20a 20d進行副底座板21相對于主底座板11的對位。 如果暫時設置場所的地面為水平，且主底座板11由設置于主載置臺10的主調(diào)整 機構(圖中未顯示)預先使表面水平，則由粗調(diào)整機構31使副底座板21在與主底座板11 的表面大致相同的高度成為水平，并且，粗調(diào)整與主底座板ll相對的位置和方向，進行粗 略的對位。 在該狀態(tài)下，雖然包含偏離理想的對位狀態(tài)的誤差，但如果以粗調(diào)整前的誤差量 (絕對值)為開始誤差Ep以粗調(diào)整后的誤差量(絕對值)為粗調(diào)整誤差E2，則粗調(diào)整誤差 E2比開始誤差E工小經(jīng)過粗調(diào)整的程度。 在經(jīng)過粗調(diào)整的狀態(tài)下，副底座板21與主底座板11接觸，副載置臺20a 20d即 使無法前進，也能夠向左右方向和后退方向移動。 接著，通過固定粗調(diào)整機構31，對副底座板21和主底座板11進行粗調(diào)整，預先使 副底座板21和主底座板11之間的誤差不大于粗調(diào)整誤差E2， 一邊使該狀態(tài)不變化， 一邊 使定位部件24p242彼此接近，使兩定位部件24p242接觸于引導部16的側面，由定位部件 24p242夾著腳部12a 12d的引導部16的部分。 支撐部15比主底座板11的外周更位于內(nèi)側，引導部16形成為接近支撐部15且 遠離主底座板11的外周的部分的寬度寬，接近主底座板11的外周的部分的寬度窄。如果 在由定位部件24p242夾著引導部16的狀態(tài)下將定位部件24p242固定于臺座27，則雖然 副載置臺20a 20d能夠后退(后行)，但無法相對于腳部12a 12d前進，也無法向左右 方向移動。即，副底座板21成為相對于主底座板11進行了前進方向和左右方向的粗略對
6位的狀態(tài)。高度方向也為進行了粗略對位的狀態(tài)。 接著，由微調(diào)整機構32對每個副載置臺20a 20d精密地調(diào)整副底座板21的高 度、斜率、相對于主底座板11的位置、方向。 如果以偏離經(jīng)過微調(diào)整的狀態(tài)的副底座板21相對于主底座板11的理想的位置的
誤差量(絕對值)為微調(diào)整誤差E3，則微調(diào)整誤差E3接近于零，為^〉E2〉E3^0。 在固定微調(diào)整機構32，使經(jīng)過微調(diào)整的狀態(tài)不變化后，通過將聯(lián)接板(圖中未顯 示)擰緊固定在副載置臺20a 20d的部件和主載置臺10的腳部12a 12d之間等，從而 如圖4所示，暫時將副載置臺20a 20d固定于主載置臺IO并進行組裝。如果確認能夠組 裝，則結束暫時組裝工序。 在暫時設置場所進行了該暫時組裝工序后，在暫時組裝場所解除主載置臺10和 副載置臺20a 20d之間的聯(lián)接。在該狀態(tài)下，副底座板21和主底座板11為經(jīng)過對位的 狀態(tài)，但如果使副載置臺20a 20d后退而分離主載置臺10和副載置臺20a 20d，則成為 能夠分別搬送的狀態(tài)。 此時，不解除定位部件2^、242相對于臺座27的固定，使定位部件24p242之間的 距離不變更，此外，也維持粗調(diào)整機構31或微調(diào)整機構32 (的粗動螺絲或微動螺絲)的固 定，從而使經(jīng)過粗調(diào)整和微調(diào)整的狀態(tài)不變化。 將主載置臺10和副載置臺20a 20d分別搭載于車輛等，通過陸路或海路等而搬 送至正式設置場所，并首先將主載置臺10配置于正式設置場所的規(guī)定位置。
接著，向著腳部12a 12d而配置副載置臺20a 20d，如圖7所示，以能夠復原在 暫時設置場所組裝的狀態(tài)的方式，使各副載置臺20a 20d向著主載置臺10， 一邊將各副載 置臺20a 20d的臺座27插入引導部16的下方，一邊使副載置臺20a 20d前進并接近 主載置臺10。 由于引導部16的寬度向著副載置臺20a 20d的行進方向的縱深方向擴大，因 而，如果各副載置臺20a 20d的臺座27進入引導部16之下，則引導部16插入定位部件 2^、242之間，如果定位部件2^、242和引導部16接觸，則副載置臺20a 20d的前進停止。
暫時設置場所和正式設置場所的地面為水平，當定位部件24"242和引導部16在 與位于暫時設置場所中所接觸的位置相同的位置處接觸時，副載置臺20a 20d和主載置 臺IO在暫時設置場所的位置關系復原。 S卩，副底座板21和主底座板11變得與經(jīng)過粗調(diào)整和微調(diào)整的狀態(tài)相同，如果通過
將聯(lián)接板擰緊固定在副載置臺20a 20d的部件和主載置臺10的腳部12a 12d之間，從
而將副載置臺20a 20d聯(lián)接固定在主載置臺IO，則與圖4所示相同地進行組裝。 但是，由于暫時解除副載置臺20a 20d和主載置臺10之間的聯(lián)接，再分離搬送
副載置臺20a 20d和主載置臺10，因而有時候產(chǎn)生小的對位誤差E4。 該對位誤差E4起因于搬送時的振動或溫度變化以及在正式設置場所將主底座板
11的表面再次設定為水平的情況，為與微調(diào)整誤差E3相同的程度的大小。 為了消除對位誤差E4，如果在將副載置臺20a 20d聯(lián)接固定于主載置臺10之
前，首先由主調(diào)整機構將主底座板11的表面設定為水平，接著由微調(diào)整機構32對副載置臺
20a 20d的上下方向的高度、斜率以及相對于主底座板ll的位置和方向進行微調(diào)整，并進
行聯(lián)接固定，則對位誤差E4變小，主底座板11和副底座板21的對位誤差能夠成為與搬送前的微調(diào)整誤差E3相同的程度的大小。 圖5 (a) 、 (b)是通過以上順序而在正式設置場所組裝的機臺裝置5的俯視圖和側 視圖，在主載置臺IO和副載置臺20a 20d上，筆直地鋪設有軌道14a、14b。
在同圖中，吐出裝置13位于主載置臺10的外側位置的副載置臺20b、20c上。在 該位置，能夠進行印刷頭的清潔等。此外，由于吐出裝置13不位于基板上，因而能夠更換主 載置臺10上的基板7。由于對位精度高，因而如圖6 (a) 、 (b)所示，即使在副載置臺20a 20d上和主載置臺IO上之間使吐出裝置13移動，也不產(chǎn)生振動。 如上所述，在本發(fā)明中，在正式設置場所組裝副載置臺20a 20d和主載置臺10 之前，預先在制造該機臺裝置5的工廠內(nèi)等的暫時設置場所，在對副底座板21和主底座板 11進行了對位的狀態(tài)下，將定位部件24p2^和引導部16的相對位置關系固定，從而能夠 復原副底座板21和主底座板11的對位狀態(tài)。 所以，即使分離搬運主載置臺10和副載置臺20a 20d，但如果復原定位部件2^、 242和引導部16的位置關系，則也能夠復原副底座板21和主底座板11的位置關系，并再現(xiàn) 對位的狀態(tài)。 在上述實施例中，由板狀的部件構成引導部16，由接觸于其側面的輥構成定位部 件24p2^但并不限定于此，只要是能夠再現(xiàn)副底座板21和主底座板11的相對位置關系 的部件即可。也能夠由輥構成引導部，由板狀部件構成定位部件。這種情況下，可以相對于 主載置臺可移動地構成主載置臺側的引導部，并使其接觸于副載置臺的定位部件而固定。
以上，將分別具有副底座板21的4臺副載置臺20a 20d分別聯(lián)接1臺至4臺腳 部12a 12d，但如圖8所示，也能夠以由一片副底座板21支撐兩條軌道14a、14b的一端 部的方式，將寬度較寬的副底座板21設置于2臺副載置臺20e、20f，并將各副載置臺20e、 20f聯(lián)接于兩個腳部12a 12d。這種情況下，也預先在暫時設置場所對副載置臺20e、20f 的副底座板21和主載置臺10的主底座板11進行對位，在正式設置場所復原對位。
此外，在上述實施例中，在本發(fā)明的機臺裝置5的主載置臺10和副載置臺20a 20d上配置有吐出裝置13，并作為噴墨裝置而使用，但本發(fā)明并不限定于此，也能夠在本發(fā) 明的機臺裝置5配置激光照射裝置，并作為加熱裝置、檢查裝置、或曝光裝置而使用，或者 也能夠配置基板對位裝置，并作為對準器而使用。
總而言之，本發(fā)明的機臺裝置5并不限定于噴墨裝置。 此外，可在軌道14a、14b上移動的部件并不限定于起重機架，例如，可以為載置有 基板等處理對象物的載置臺。
權利要求
一種機臺裝置組裝方法，在正式設置場所對設置于主載置臺的主底座板和設置于副載置臺的副底座板的相對位置關系進行對位，并聯(lián)接所述主載置臺和所述副載置臺，從而組裝機臺裝置，其特征在于，在與所述正式設置場所分離的暫時設置場所，預先對所述副底座板和所述主底座板進行對位，在保存了所述副底座板和所述主底座板的經(jīng)過對位的狀態(tài)之后，分離所述主載置臺和所述副載置臺，將所述主載置臺和所述副載置臺搬運至所述正式設置場所，復原所述經(jīng)過對位的狀態(tài)并聯(lián)接所述主載置臺和所述副載置臺，從而組裝所述機臺裝置。
2. 根據(jù)權利要求1所述的機臺裝置組裝方法，其特征在于，具有粗調(diào)整工序，在所述暫時設置場所進行，粗調(diào)整所述副底座板和所述主底座板的相對 位置關系，成為包含粗調(diào)整誤差的粗調(diào)整位置關系；暫時定位工序，使所述副載置臺相對于所述主載置臺移動，使設置于所述副載置臺的 定位部件和設置于所述主載置臺的引導部接觸，在接觸的狀態(tài)下，所述副底座板和所述定 位部件之間的位置關系、所述定位部件和所述引導部的位置關系、所述引導部和所述主底 座板之間的位置關系成為固定的狀態(tài)；以及分離工序，使所述副載置臺和所述主載置臺相對地移動，使所述定位部件和所述引導 部分離，并且，使所述副載置臺和所述主載置臺分離，還具有復歸工序，該復歸工序在所述正式設置場所進行，以與所述暫時設置場所相同 的位置關系使所述定位部件和所述引導部接觸。
3. 根據(jù)權利要求2所述的機臺裝置組裝方法，其特征在于，在所述暫時設置場所的所 述粗調(diào)整工序之后，并在所述暫時定位工序之前，進行微調(diào)整工序，該微調(diào)整工序?qū)μ幱谒?述粗調(diào)整位置關系的所述副底座板和所述主底座板的相對位置關系進行微調(diào)整，并使其成 為包含比所述粗調(diào)整誤差小的微調(diào)整誤差的微調(diào)整位置關系。
全文摘要
提供一種在正式設置場所的組裝精度高且作業(yè)容易的組裝方法。在暫時設置場所，相對于設置于主載置臺(10)的主底座板(11)，對設置于副載置臺(20a～20d)的副底座板(21)進行對位，在保存了該狀態(tài)之后，將主載置臺(10)和副載置臺(20a～20d)分離并搬送至正式設置場所，復原定位狀態(tài)。由于能夠在暫時設置場所進行對位作業(yè)，因而減少了在正式設置場所的作業(yè)。此外，由于能夠在正式設置場所進行微調(diào)整，因而對位精度提高。
文檔編號H01L21/68GK101790784SQ20088010552
公開日2010年7月28日 申請日期2008年8月27日 優(yōu)先權日2007年8月28日
發(fā)明者伊藤慎也, 南展史, 湯山純平, 田中保三, 矢作充, 高橋誠 申請人:株式會社愛發(fā)科