專利名稱：電子部件的沖裁裝置及沖裁方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及用模具裝置從沿預(yù)定方向行進輸送的帶狀部件上沖裁出電 子部件的沖裁裝置及沖裁方法。
背景技術(shù)：
例如，TAB (Tape Automated Bonding,帶式自動焊接)或COF (Chip On Film,薄膜覆晶封裝)等是安裝了作為電子部件的半導(dǎo)體芯片的帶狀部 件，通過一邊用輸送裝置沿預(yù)定的方向輸送薄膜狀載帶一邊對其定位，然 后沖裁該載帶的安裝了上述半導(dǎo)體芯片的部位而形成。
艮P，上述載帶巻繞在供給巻軸上。在該載帶上形成有器件孔(device hole),在該器件孔的周邊部位上形成有一端設(shè)置在上述載帶上、另一端突 出到上述器件孔中的引線。并且，將下表面上設(shè)置了上述半導(dǎo)體芯片的凸 起接合到上述引線的突出到上述器件孔中的另一端上進行安裝。
從上述供給巻軸退繞出的載帶用巻取巻軸巻繞。上述載帶的位于上述 供給巻軸與巻取巻軸之間的部分中至少一部分水平行進，在該載帶的水平 行進部分設(shè)置有模具裝置。該模具裝置具有下模和上模，上述載帶在處于 開模狀態(tài)下的模具裝置的下模與上模之間被節(jié)距輸送(匕。、乂于送19 )。下模 固定設(shè)置，上模能夠沿上下方向驅(qū)動地被設(shè)置。
在上述載帶的寬度方向的兩側(cè)，沿長度方向隔開預(yù)定的間隔形成有卡 合孔，在上述下模的上表面上突設(shè)有與上述卡合孔卡合的定位銷。在模具 裝置的下模與上模打開的狀態(tài)下，為了使上述載帶不碰到下模的定位銷， 用一對保持輥被保持在能夠在相對于上述下模上升了的位置上行進。
當上述載帶被節(jié)距輸送時，向下降方向驅(qū)動一對保持輥。由此，載帶 的卡合孔卡合在下模的定位銷上，如果在這種狀態(tài)下向下降方向驅(qū)動上模 進行閉模的話，則能夠從上述載帶上沖裁下電子部件來。
反復(fù)進行沖裁下電子部件后，驅(qū)動一對保持輥上升，使載帶的卡合孔離開定位銷，節(jié)距輸送上述載帶。
專利文獻1中公開了從載帶上沖裁電子部件時使下模固定、使上模下 降，從上述載帶上沖裁下電子部件的技術(shù)。
專利文獻1:日本特開2001-326253號公報
如果采用上述結(jié)構(gòu)的沖裁裝置，當載帶被像上述那樣輸送時，與下模 相對的部分被保持輥保持在離開上述下模上表面的定位銷的上升位置，如 果在這種狀態(tài)下節(jié)距輸送的話，則使上述保持輥下降來使上述卡合孔卡合 在下模的定位銷上，然后使上模下降進行閉模，通過這樣沖裁電子部件。
因此，上述載帶在被保持輥保持在上升位置的狀態(tài)下節(jié)距輸送，節(jié)距 輸送后使上述保持輥下降，使載帶的被保持在上升位置的部分向下降方向 位移。
結(jié)果，由于上述保持輥上下運動，作用在上述載帶上的張力變動，該 張力的變動使載帶的位置產(chǎn)生錯位，因此在使上模下降推壓載帶時，有時 載帶的卡合孔鉤掛在定位銷上、不能順利并且精確地進行電子部件的沖裁。
而且，如果載帶的與下模相對的部分上下運動，則該部分沿上下方向 振動，因此如果在該振動靜止之前使上模下降進行沖裁的話，由此也有可 能產(chǎn)生錯位。
為了防止載帶振動引起的錯位，必須等待載帶的振動靜止再沖裁電子 部件。但是，如果等待載帶的振動靜止，則該等待時間使生產(chǎn)節(jié)拍時間變 長，生產(chǎn)效率變得低下。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明就是要提供一種不會產(chǎn)生錯位和振動，能夠順利并且精確、而 且生產(chǎn)效率高地從輸送來并被定位的帶狀部件上沖裁下電子部件的電子部 件的沖裁裝置及沖裁方法。
為了解決上述問題，本發(fā)明提供具有以下特征的沖裁安裝在帶狀部件
上的電子部件的沖裁裝置
具有巻繞了上述帶狀部件的供給巻軸、巻取巻繞在該供給巻軸上的 上述帶狀部件的巻取巻軸、以及從上述帶狀部件的被水平地支持在上述供給巻軸與上述巻取巻軸之間的部分沖裁出上述電子部件的模具裝置；
上述模具裝置包括下模和上模，所述下模能夠沿上下方向被驅(qū)動地設(shè) 置，通過被向上升方向驅(qū)動來支持上述帶狀部件的水平部分的下表面；所 述上模在該下模的上方與下模相對，能夠沿上下方向被驅(qū)動地設(shè)置，通過 被向下降方向驅(qū)動來從上述帶狀部件的被上述下模支持著下表面的部分沖 裁出上述電子部件。
并且，本發(fā)明為一種沖裁安裝在帶狀部件上的電子部件的沖裁方法， 其特征在于，具有以下工序?qū)喞@在供給巻軸上的帶狀部件巻繞到巻取 巻軸上，并且水平地支持該帶狀部件的位于上述供給巻軸與上述巻取巻軸 之間的部分的工序；以及當用模具裝置的上模和下模從上述帶狀部件的上 述被水平地支持著的部分上沖裁上述電子部件時，向上升方向驅(qū)動上述下 模來支持上述帶狀部件的下表面，然后用上述上模從上述帶狀部件上沖裁 出上述電子部件的工序。


圖1為表示本發(fā)明一個實施形態(tài)的沖裁裝置的大致結(jié)構(gòu)圖2為沖裁裝置控制系統(tǒng)的方框圖3為表示載帶的一部分的俯視圖4為模具裝置的主視圖5為圖4所示模具裝置的側(cè)視圖6為帶齒巻盤的局部放大剖視圖7A為模具裝置使用的凸輪的主視圖7B為凸輪曲線圖8為設(shè)定一對被同步旋轉(zhuǎn)驅(qū)動帶齒巻盤的旋轉(zhuǎn)角度的說明圖9A為將窄幅載帶架設(shè)在能夠水平架設(shè)寬幅載帶地設(shè)置的一對帶齒
巻盤之間時的傾斜狀態(tài)的說明圖9B為用一對支持輥將窄幅載帶水平地支持在一對帶齒巻盤之間的
說明圖IOA為初始狀態(tài)下下模與上模的位置的說明圖；圖10B為下模上升到上表面與載帶的下表面接觸的位置時的說明圖； 圖10C為用上模沖裁載帶時的說明圖。
具體實施例方式
下面參照

本發(fā)明的實施形態(tài)。
圖1表示沖裁安裝在作為帶狀部件的載帶1W或1N上的作為電子部件 的圖3所示的半導(dǎo)體芯片2，提供給圖中沒有表示的安裝裝置的沖裁裝置。 上述載帶1W或1N如圖3所示在寬度方向的中央部位以預(yù)定的間隔形成有 器件孔3。
另外，如圖6中點劃線所示，載帶1W為寬幅載帶，載帶1N為寬度比 載帶1W窄的窄幅載帶。
如圖3所示，在載帶1W或1N的器件孔3的部分上設(shè)置有一端接合在 載帶1W或IN上、另一端突出到器件孔3內(nèi)的引線4。而且，在載帶1W 或1N的寬度方向的兩端，沿長度方向隔開預(yù)定的間隔形成有多個矩形卡合 孔la。
上述半導(dǎo)體芯片2被安裝在上述引線4上。并且，如圖3中點劃線所 示，還通過像后述那樣與上述半導(dǎo)體芯片2—起沖裁引線4形成TCP。另 外，安裝在器件孔3中的半導(dǎo)體芯片2用圖中沒有表示的樹脂被覆。
上述載帶1W或1N與保護安裝在該載帶1W或1N上的半導(dǎo)體芯片2 的隔離帶6重疊地巻繞到供給巻軸7上。從供給巻軸7上退繞出上述載帶 1W或1N以及上述隔離帶6。
如圖1所示，載帶1W或1N在第1引導(dǎo)輥8的引導(dǎo)下穿過模具裝置9 的下模11和上模12之間。在模具裝置9的上游一側(cè)，設(shè)置有第1帶齒巻 盤(sprocket) 13，在下游一側(cè)，設(shè)置有形狀與上述第1帶齒巻盤13相同 的第2帶齒巻盤14。
如圖6所示，上述第1帶齒巻盤13和第2帶齒巻盤14具有圓盤形狀 的主體部15。在該主體部15的寬度方向的兩端，沿寬度方向隔開預(yù)定的間 隔形成有一對粗徑部15a，在該粗徑部15a的寬度方向的內(nèi)側(cè)，沿寬度方向 隔開預(yù)定的間隔形成有一對細徑部15c，中間夾著溝槽部15b。
在一對粗徑部15a的外周面上，沿圓周方向隔開預(yù)定間隔形成第1齒16a;在一對細徑部15c的外周面上，沿圓周方向隔開預(yù)定間隔形成第2齒 16b。由此，載帶1W或1N能夠與其寬度尺寸相對應(yīng)將寬度方向的兩端上 形成的卡合孔la卡合在上述第1齒16a或第2齒16b上，從而架設(shè)在第1 、 第2帶齒巻盤13、 14之間。
如圖6的點劃線所示，假設(shè)寬度尺寸為將卡合孔la卡合在粗徑部15a 的第1齒16a上而架設(shè)的載帶為寬幅載帶1W，寬度尺寸為將卡合孔la卡 合在細徑部15c的第2齒16b上而架設(shè)的載帶為窄幅載帶1N。
并且，上述第1帶齒巻盤13和第2帶齒巻盤14的高度設(shè)定為，當將 寬幅載帶1W的卡合孔la卡合在粗徑部15a的第1齒16a上架設(shè)時，位于 這些帶齒巻盤13、 14之間的部分被水平地支持著的高度。
具體如圖9 (A)、 (B)所示，使第1帶齒巻盤13的粗徑部15a的外周 面的下端與第2帶齒巻盤14的粗徑部15a的外周面的上端在同一高度地設(shè) 定這對帶齒巻盤13、 14的高度。
當使寬幅載帶1W被一對帶齒巻盤13、 14水平地支持著地設(shè)定這對帶 齒巻盤13、 14的高度時， 一對帶齒巻盤13、 14的細徑部15c的高度不同。 因此，當將窄幅載帶1N的卡合孔la卡合在細徑部15c上設(shè)置的第2齒16b 上時，窄幅載帶1N如圖9 (A)中點劃線所示那樣相對于水平方向傾斜。
因此，當使窄幅載帶1N卡合在一對帶齒巻盤13、 14的第2齒16b上 架設(shè)窄幅載帶1N時，為了使窄幅載帶1N的位于一對帶齒巻盤13、 14之 間的部分不傾斜而是被水平地支持著，在一對帶齒巻盤13、 14之間像圖4 及圖9 (B)所示那樣設(shè)置一對高度相同、并且沿水平方向隔開預(yù)定間隔的 支持輥17。
即， 一個支持輥17支持窄幅載帶1N的靠近第1帶齒巻盤13的部分的 上表面，另一個支持輥17支持靠近第2帶齒巻盤14的部分的下表面。
由此， 一對帶齒巻盤13、 14能夠與寬度尺寸不同的2種載帶1W、 1N 相對應(yīng)，即使是具有第l齒16a和第2齒16b的2級齒帶齒巻盤，即使是 圖9 (B)所示那樣的窄幅載帶1N，也能夠水平地支持位于一對帶齒巻盤 13、 14之間的部分。
雖然本實施形態(tài)水平地支持寬幅載帶1W的位于一對帶齒巻盤13、 14 之間的部分地設(shè)定一對帶齒巻盤13、 14的高度，但由于寬幅載帶1W的位
8于一對帶齒巻盤13、 14之間的部分是水平的，因此寬幅載帶1W的位于一 對帶齒巻盤13、 14之間的部分也被上述一對支持輥17支持著。
艮P， 一對支持輥17能夠與一對帶齒巻盤13、 14的高度位置無關(guān)地水 平支持寬幅載帶1W或窄幅載帶1N。
換言之，即使不使第1帶齒巻盤13的粗徑部15a的下端與第2帶齒巻 盤14的粗徑部15a的上端的高度相同地設(shè)定一對帶齒巻盤13、 14的高度， 也能夠用一對支持輥17水平地支持寬幅載帶1W和窄幅載帶1N中的任何 一個的位于一對帶齒巻盤13、 14之間的部分。
上述第1帶齒巻盤13用由伺服電動機構(gòu)成的第1驅(qū)動源26驅(qū)動旋轉(zhuǎn)， 上述第2帶齒巻盤14用由伺服電動機構(gòu)成的第2驅(qū)動源27驅(qū)動旋轉(zhuǎn)。第1 驅(qū)動源26和第2驅(qū)動源27用圖2所示的控制裝置28控制驅(qū)動。控制裝置 28使第1帶齒巻盤13和第2帶齒巻盤14同步旋轉(zhuǎn)地控制上述第1、第2 驅(qū)動源26、 27的驅(qū)動。
例如說明在第l、第2帶齒巻盤13、 14之間架設(shè)寬幅載帶1W時，首 先將寬幅載帶1W的卡合孔la卡合在第1、第2帶齒巻盤13、 14的第1 齒16a上，使寬幅載帶1W在第1、第2帶齒巻盤13、 14之間處于松弛狀 態(tài)。
然后，使第1帶齒巻盤13向與圖8中箭頭F所示寬幅載帶1W的進給 方向相反的方向旋轉(zhuǎn)。由此，像圖8所示那樣，第1帶齒巻盤13的第1齒 16a接觸上述卡合孔la的上述進給方向F的上游側(cè)的一端，第2帶齒巻盤 14的第1齒16a接觸上述卡合孔la的進給方向的下游側(cè)的另一端，所以能 夠?qū)挿d帶1W以預(yù)定的張力在既不松弛又不施加過大張力的狀態(tài)下架 設(shè)在第l、第2帶齒巻盤13、 14之間。
并且，如果通過第l、第2驅(qū)動源26、 27將此時的第1、第2帶齒巻 盤13、 14的旋轉(zhuǎn)角度示教給控制裝置28的話，則一對帶齒巻盤13、 14根 據(jù)該示教被同步驅(qū)動旋轉(zhuǎn)。即，以相同的旋轉(zhuǎn)角度同步驅(qū)動第1帶齒巻盤 B和第2帶齒巻盤14旋轉(zhuǎn)。
由此，寬幅載帶1W的位于一對帶齒巻盤13、 14之間的部分像上述那 樣在既不松弛也不被過渡拉伸變形的狀態(tài)下沿圖1的箭頭F所示的方向被 節(jié)距輸送。
9另外，在載帶不是寬幅載帶1W而是窄幅載帶IN的情況下，同樣同步 驅(qū)動第1帶齒巻盤13和第2帶齒巻盤14旋轉(zhuǎn)。
在上述上模12上設(shè)置有沖頭12a，在上述下模11上形成有供沖頭12a 進入的沖裁孔lla。而且，在下模11的上表面上以與載帶1W或1N上形 成的卡合孔la相對應(yīng)的間隔突設(shè)有多個供上述載帶1W或1N的卡合孔la 卡合的定位銷llb。
上述下模11和上述上模12像后述那樣被相關(guān)聯(lián)上下驅(qū)動。下模11從 下降位置上升到與載帶1的下表面接觸的尺寸h (圖10 (A)所示)設(shè)定為 比上模12從上升位置下降到?jīng)_頭12a的頂端面與載帶1W或1N的上表面 接觸的行程小。
由此，下模ll的定位銷llb卡合到載帶lW或lN的卡合孔la中，該 下模11的上表面支持載帶1W或1N的下表面，然后上述上模12的沖頭 12a給載帶1的上表面加壓，從該載帶1上沖裁下半導(dǎo)體芯片2和引線4。
通過上述模具裝置9的下模11與上模12之間被沖裁掉了半導(dǎo)體芯片2 的載帶1W或1N在第2引導(dǎo)輥34的引導(dǎo)下被巻繞到巻取巻軸35上。巻取 巻軸35被第3驅(qū)動源36驅(qū)動旋轉(zhuǎn)，巻繞沖裁掉了半導(dǎo)體芯片2的載帶1W 或1N。
上述載帶1W或1N的位于上述第2帶齒巻盤14與上述第2引導(dǎo)輥34 之間的部分向下彎曲成U字形而變松弛，在該部分上設(shè)置有第1松緊調(diào)節(jié) 輥37。
上述第1松緊調(diào)節(jié)輥37的高度位置——即載帶1W或1N的松弛量由 作為高度檢測器具的線性標尺38檢測。線性標尺38的檢測信號輸入上述 控制裝置28，與該控制裝置28中設(shè)定的基準值進行比較。
如果比較的結(jié)果為載帶1W或1N的松弛量比基準值大，則從控制裝置 28給第3驅(qū)動源36輸出驅(qū)動信號，驅(qū)動巻取巻軸35旋轉(zhuǎn)，巻繞上述載帶 1W或1N的松弛部分使第1松緊調(diào)節(jié)輥37上升到點劃線所示的位置。
從上述供給巻軸7與載帶1W或1N —起退繞出來的隔離帶6在第3 引導(dǎo)輥41和第4引導(dǎo)輥42的引導(dǎo)下與上述載帶1 一起被巻繞到上述巻取 巻軸35上。
上述隔離帶6的位于上述第3引導(dǎo)輥41與第4引導(dǎo)輥42之間的部分向下彎曲成U字形狀，在該彎曲部設(shè)置有第2松緊調(diào)節(jié)輥43。
上述隔離帶6的松弛量與上述載帶1的被第1松緊調(diào)節(jié)輥37調(diào)節(jié)后的 松弛量大致相同。即，與上述載帶1W或1N—起巻繞，使第2松緊調(diào)節(jié)輥 43上升到點劃線所示的位置。
由此，即使不用線性標尺38檢測隔離帶6的松弛量，當隔離帶6與載 帶1W或1N同時被巻繞到巻取巻軸35上時，隔離帶6既不會巻繞過緊也 不松弛。g卩，防止隔離帶6上作用過大的張力而破斷。
上述供給巻軸7被第4驅(qū)動源44驅(qū)動向退繞出巻繞到該供給巻軸7上 的載帶1W或1N和隔離帶6的方向旋轉(zhuǎn)。g卩，當上述第l、第2帶齒巻盤 13、 14被上述第1 、第2驅(qū)動源26、 27同步驅(qū)動而節(jié)距輸送載帶1W或1N 時,上述供給巻軸7被第4驅(qū)動源44與該輸送同步地驅(qū)動，退繞出載帶1W 或1N和隔離帶6。
上述模具裝置9采用圖4和圖5所示的結(jié)構(gòu)。gp，模具裝置9具有作 為可動支持體的支架51。在該支架51的背面，在寬度方向和上下方向上分 別設(shè)置有一對滑動體52 (圖5只表示了寬度方向的一對滑動體)。
各寬度方向上的一對滑動體52能夠移動地卡合在底座53的引導(dǎo)面54 上設(shè)置的一對導(dǎo)軌55 (圖中只表示了一條)。gp，上述支架51能夠沿上下 方向移動地設(shè)置。
在上述支架51的前面，沿上下方向隔開預(yù)定間隔地分開設(shè)置水平板狀 的第1支持部57和第2支持部58。在上述第1支持部57的上面設(shè)置有上 述下模11 。在上述第2支持部58的上面設(shè)置有作為第5驅(qū)動源的雙活塞桿 汽缸59。
在上述雙活塞桿汽缸59的活塞桿60的下端設(shè)置上述上模12，在上端 設(shè)置側(cè)面形狀呈3字形狀的轉(zhuǎn)換機構(gòu)61。樞軸支承在桿62 —端上的輥63 能夠轉(zhuǎn)動地卡合到該轉(zhuǎn)換機構(gòu)61中。上述桿62的另一端安裝在支軸64的 一端上，所述支軸64能夠轉(zhuǎn)動地支持在上述支架51的上部的、寬度方向 的一端上。
另外，雖然圖中沒有表示，也可以在桿62的一端形成長孔，在活塞桿 60的上端設(shè)置能夠滑動地卡合在上述長孔中的銷釘，將上述桿的一端能夠 轉(zhuǎn)動并且能夠移動地連接在活塞桿60上，將桿62的一端與活塞桿60的上下運動而連動地連接在活塞桿60上端的結(jié)構(gòu)并不被限定。
如圖5所示，上述支軸64貫穿上述支架51，用一對軸承64a能夠轉(zhuǎn)動 地設(shè)置。在上述支軸64的從上述支架51的背面?zhèn)韧怀龅牧硪欢松翔偳队?凸輪65。上述凸輪65的外周面與上述底座53的上端面上、安裝在支持構(gòu) 件66上的凸輪從動件67相抵接。上述凸輪65和上述凸輪從動件67構(gòu)成 凸輪機構(gòu)68。
上述雙活塞桿汽缸59為例如由空氣壓力驅(qū)動的汽缸，往該雙活塞桿汽 缸59內(nèi)供給或排出壓縮空氣用圖中沒有表示的控制閥進行，該控制閥由上 述控制裝置28控制驅(qū)動。g卩，雙活塞桿汽缸59由上述控制裝置28控制驅(qū) 動。
當向下降方向驅(qū)動上述雙活塞桿汽缸59的活塞桿60時，活塞桿60下 端設(shè)置的上模12連動下降。與此同時，桿62通過卡合在活塞桿60上端的 轉(zhuǎn)換機構(gòu)61中的輥63向圖4箭頭所示順時針方向旋轉(zhuǎn)。
當上述桿62向順時針方向旋轉(zhuǎn)時，支軸64及安裝在該支軸64上的凸 輪65與該旋轉(zhuǎn)連動。圖7 (A)表示凸輪65的形狀，圖7 (B)表示凸輪 65的凸輪曲線。圖10 (A) 圖10 (C)表示與凸輪65的旋轉(zhuǎn)連動的下模 11和上模12的動作。
圖7 (A)中A點為活塞桿60向下降方向驅(qū)動之前的初始狀態(tài)下凸輪 65與凸輪從動件67的接觸點，如圖10 (A)所示，在該初始狀態(tài)下，下模 11的上表面位于比載帶1W或1N的水平張設(shè)在一對帶齒巻盤13、 14之間 部分的下表面僅低尺寸h的下方。
當從初始狀態(tài)開始向下降方向驅(qū)動雙活塞桿汽缸59的活塞桿60使桿 62沿順時針方向旋轉(zhuǎn)，凸輪65與該桿62—起旋轉(zhuǎn)時，凸輪65與凸輪從動 件67接觸的點從A點移行到B點。由此，支架51上升與A點與B點的 高度差相等的量。
凸輪65的A點與B點的高度差設(shè)定為與初始狀態(tài)下載帶1W或IN的 下表面和下模ll的上表面之間的尺寸相等的尺寸h。由此，該期間的旋轉(zhuǎn) 如圖10 (B)所示使下模11的上表面與載帶1W或IN的下表面接觸，載 帶1W或IN被支持在水平狀態(tài)。
另外，在初始狀態(tài)下上模12的沖頭12a的下端面與載帶 或IN的上表面之間的間隔被設(shè)定為，像圖10 (A)所示那樣比下模ll的上表面與 載帶lW或lN的下表面之間的高度h大很多的尺寸H。因此，當下模ll 的上表面與載帶1W或IN的下表面接觸時，上模12的沖頭12a離開載帶 1W或1N的上表面。
繼續(xù)向下降的方向驅(qū)動上述雙活塞桿汽缸59的活塞桿60。由此，凸輪 65的曲面C與凸輪從動件67接觸。該曲面C與凸輪65的旋轉(zhuǎn)中心的距離 被設(shè)定為一定。由此，在凸輪65的曲面C與凸輪從動件67抵接的期間， 支架51的高度維持在一定。B卩，設(shè)置在支架51上的下模11被維持在上表 面與載帶1W或1N的下表面接觸的高度。
在凸輪65的曲面C與凸輪從動件67接觸并旋轉(zhuǎn)期間，向下降的方向 驅(qū)動雙活塞桿汽缸59的活塞桿60。由此，像圖10 (C)所示那樣，上模 12繼續(xù)下降，設(shè)置在該上模12上的沖頭12a從載帶1W或1N上沖裁半導(dǎo) 體芯片2。
從載帶1W或1N上沖裁下來的半導(dǎo)體芯片2經(jīng)過支架51的第1支持 部57上與上述沖裁孔lla相對形成的排出孔57a (圖5所示)從下模11的 沖裁孔lla中排出，用圖中沒有表示的載具盛裝，提供給安裝裝置。
當上模12下降從載帶1W或1N上沖裁下半導(dǎo)體芯片2時，向活塞桿 60的下降方向的驅(qū)動停止，驅(qū)動方向變換成上升的方向。由此，桿62向與 圖4箭頭所示順時針方向相反的方向旋轉(zhuǎn)，凸輪65和桿62向與不久前相 反的方向旋轉(zhuǎn)。
由此，凸輪從動件67與凸輪65的抵接從曲面C向B點移行。期間雖 然上模12像圖10 (B)所示那樣上升、離開載帶1W或1N的上表面，但 下模11的上表面被維持在與載帶1W或1N的下表面接觸的狀態(tài)。
當活塞桿60的上升使凸輪65繼續(xù)旋轉(zhuǎn)，與凸輪從動件67的接觸從B 點移行到A點時，如圖IO (A)所示那樣，支架51下降，回到下模ll離 開載帶1W或1N下表面的初始狀態(tài)。此時，雙活塞桿汽缸59的活塞桿60 停止驅(qū)動。并且， 一對帶齒巻盤13、 14被同步驅(qū)動旋轉(zhuǎn)，節(jié)距輸送載帶1W 或1N，由此，完成一個沖裁循環(huán)。
如果采用這種結(jié)構(gòu)的沖裁裝置，用一對支持輥17水平地支持載帶1W 或1N的位于第1帶齒巻盤13與第2帶齒巻盤14之間的部分，節(jié)距輸送載
13帶1W或1N。
并且，當從載帶1W或1N的被水平支持的部分沖裁半導(dǎo)體芯片2時， 通過向下降方向驅(qū)動模具裝置9的雙活塞桿汽缸59的活塞桿60，在用下模 11支持載帶1W或1N的下表面后，用上模12沖裁上述半導(dǎo)體芯片2。艮P， 不用往上推載帶1W或1N或者不會使載帶1W或1N向下松弛，能夠從上 述載帶1W或1N的被水平保持的部分沖裁下半導(dǎo)體芯片2。
因此，在沖裁半導(dǎo)體芯片2時，作用在載帶1W或1N上的張力不會變 動，因此不會產(chǎn)生因張力變動而引起的錯位。由此，能夠防止被向上升方 向驅(qū)動的下模11上設(shè)置的定位銷lib鉤掛在載帶1W或IN的卡合孔la、 不能順利并且精確地進行半導(dǎo)體芯片2的沖裁的情況。
而且，由于作用在載帶1W或1N上的張力不變動，因此載帶1W或 1N不會向上下方向振動。因此，在節(jié)距輸送載帶1W或1N后，不用等待 載帶1W或1N的振動靜止，就能夠使下模11上升、使上模12下降，精確 地從載帶1W或1N上沖裁半導(dǎo)體芯片2，所以能夠縮短生產(chǎn)節(jié)拍時間，能 夠達到提高生產(chǎn)效率的目的。
在從載帶1W或1N上沖裁下半導(dǎo)體芯片2，使上模12上升、使下模 ll下降后，當節(jié)距輸送載帶1W或1N時，同步驅(qū)動第1帶齒巻盤13和第 2帶齒巻盤14旋轉(zhuǎn)。
例如，在載帶為寬幅載帶1W的情況下，像圖8所示那樣使第1帶齒 巻盤13的粗徑部15a上設(shè)置的第1齒16a嚙合到寬幅載帶1W的卡合孔la 的靠載帶1W進給方向的上游一側(cè)U的一端，使第2帶齒巻盤14的第1 齒16a嚙合到寬幅載帶1W的卡合孔la的靠載帶1W進給方向的下游一側(cè) D的另一端地設(shè)置第l、第2帶齒巻盤13、 14的旋轉(zhuǎn)角度。并且以該旋轉(zhuǎn) 角度同步驅(qū)動第l、第2帶齒巻盤13、 14旋轉(zhuǎn)。
因此，由于在一對帶齒巻盤13、 14之間總是在張力一定的狀態(tài)下節(jié)距 輸送寬幅載帶1W，由此能夠提高沖裁精度或者防止產(chǎn)生振動，能夠達到縮 短生產(chǎn)節(jié)拍時間的目的。
另外，在用窄幅載帶1N取代寬幅載帶1W的情況下也同樣。
第1帶齒巻盤13和第2帶齒巻盤14像圖6所示那樣使用具有粗徑部 15a和細徑部15c的二級齒帶齒巻盤。設(shè)置在一對粗徑部15a上的第1齒16a的外徑與設(shè)置在一對細徑部15c上的第2齒16b的外徑不同。因此，如 果利用粗徑部15a的第1齒16a，則能夠節(jié)距輸送寬幅載帶1W;如果利用 細徑部15c的第2齒16b，則能夠節(jié)距輸送窄幅載帶1N。
艮口，通過在第l、第2帶齒巻盤13、 14上使用二級齒帶齒巻盤，不用 改變帶齒巻盤，就能夠與寬度尺寸不同的2種載帶1W、 1N相對應(yīng)。
第1、第2帶齒巻盤13、 14的設(shè)置了第1齒16a的粗徑部15a的外徑 尺寸與設(shè)置了第2齒16b的細徑部15c的外徑尺寸不同。因此，如果改變 載帶的品種，則就像圖9 (A)中點劃線所示那樣載帶1W或1N~—本實 施形態(tài)為窄幅載帶1N在一對帶齒巻盤13、 14之間不是水平地支持著。
但是，在第l、第2帶齒巻盤13、 14之間以相同的高度沿水平方向隔 開預(yù)定的間隔設(shè)置有一對支持輥17。
因此，即使第1帶齒巻盤13的設(shè)置了與窄幅載帶1N的卡合孔la卡合 的第2齒16的細徑部15c的下端與第2帶齒巻盤14的細徑部15c上端的 高度不同，窄幅載帶1N的位于一對帶齒巻盤13、 14之間的部分也像圖9 (B)所示那樣被一對支持輥17水平地支持著。
艮P，在能夠水平地支持寬幅載帶1W地設(shè)定第1、第2帶齒巻盤13、 14的高度的情況下，即使品種從寬幅載帶1W變成窄幅載帶1N，也能夠用 一對支持輥17水平地支持該窄幅載帶1N的位于第1、第2帶齒巻盤13、 14之間的部分。
由此，不用每次改變載帶品種時就改用不同直徑的第1、第2帶齒巻盤 13、 14或者調(diào)整高度等以便能夠水平地支持品種改變后的載帶，所以能夠 迅速并且穩(wěn)固地改變載帶的品種。
將上述下模11和上模12設(shè)置在支架51的第1支持部57和第2支持 部58上。因此，當使模具裝置9上下運動時，下模11和上模12—體地上 下運動，這些下模11和上模12的位置不會錯開，所以能夠精確地從載帶 1W或1N上沖裁半導(dǎo)體芯片2。
上述下模11和上模12的上下方向的驅(qū)動用一個驅(qū)動源——即雙活塞 桿汽缸59進行。因此，能夠簡化上下驅(qū)動下模11和上模12的結(jié)構(gòu)，因此 能夠降低整個裝置的成本。
而且，由于下模11和上模12用上述雙活塞桿汽缸59連動地一體上下驅(qū)動，因此不僅不需要調(diào)整下模11與上模12的相對移動，而且只要進行 一次上下運動的調(diào)整以后就不需要調(diào)整，因此能夠簡化調(diào)整作業(yè)。
由于上述下模ll的上升驅(qū)動利用凸輪65進行，因此用凸輪65通過支 架51穩(wěn)固地支持下模11不會向下位移。所以，當從載帶1W或1N上沖裁 半導(dǎo)體芯片2時，即使受到來自用雙活塞桿汽缸59的活塞桿60向下降方 向驅(qū)動的上模12的擠壓力，也不會向下位移，由此也能夠提高從載帶1W 或1N上沖裁半導(dǎo)體芯片2的精度。
雖然上述實施形態(tài)說明了將第1、第2帶齒巻盤設(shè)定在能夠水平地支持 寬幅載帶的高度位置時的情況，但也可以設(shè)定在水平地支持窄幅載帶而不 是寬幅載帶的高度位置，還可以設(shè)定在水平地支持寬幅載帶的高度與支持 窄幅載帶的高度之間的高度位置。
總之，只要在一對帶齒巻盤之間以相同的高度沿水平方向隔開預(yù)定的 間隔分開配置一對支持輥，不管一對帶齒巻盤是什么高度或者載帶是什么 品種，都能夠水平地支持該載帶的位于一對帶齒巻盤之間的部分。
雖然上述實施形態(tài)采用了用一個雙活塞桿汽缸沿上下方向驅(qū)動下模和 上模的結(jié)構(gòu)，但也可以采用分別用不同的驅(qū)動源沿上下方向驅(qū)動下模和上 模的結(jié)構(gòu)。
工業(yè)利用性
如果采用本發(fā)明，由于使下模上升來支持帶狀部件的下表面，然后用 上模從帶狀部件上沖裁電子部件，因此不用使帶狀部件上下運動就能夠進 行電子部件的沖裁。
因此，在沖裁電子部件時不會發(fā)生作用于帶狀部件上的張力變動或者 產(chǎn)生振動的情況，所以不僅不會招致帶狀部件上產(chǎn)生位置偏移而降低沖裁 精度，而且不用等待振動靜止就可以，因此能夠縮短生產(chǎn)節(jié)拍時間。
權(quán)利要求
1.一種電子部件沖裁裝置，沖裁出安裝在帶狀部件上的電子部件，其特征在于，具有卷繞了上述帶狀部件的供給卷軸、卷取卷繞在該供給卷軸上的上述帶狀部件的卷取卷軸、以及從上述帶狀部件的被水平地支持在上述供給卷軸與上述卷取卷軸之間的部分沖裁出上述電子部件的模具裝置；上述模具裝置包括下模和上模，所述下模能夠沿上下方向被驅(qū)動地設(shè)置，通過被向上升方向驅(qū)動來支持上述帶狀部件的水平部分的下表面；所述上模在該下模的上方與下模相對，能夠沿上下方向被驅(qū)動地設(shè)置，通過被向下降方向驅(qū)動來從上述帶狀部件的被上述下模支持著下表面的部分沖裁出上述電子部件。
2. 如權(quán)利要求l所述的電子部件沖裁裝置，其特征在于， 上述模具裝置具有可動支持體，具有沿上下方向分開設(shè)置的第1支持部和第2支持部，能夠沿上下方向移動地設(shè)置；上述下模，設(shè)置在上述 第1支持部的上面；雙活塞桿汽缸，具有活塞桿，使軸線沿上述上下方向 地設(shè)置在上述第2支持部上；上述上模，與上述下模相對地設(shè)置在該雙活 塞桿汽缸的活塞桿的下端；桿， 一端能夠轉(zhuǎn)動地設(shè)置在上述活塞桿的上端， 另一端樞軸支承在上述可動支持體上，通過驅(qū)動上述活塞桿而以上述另一 端為支點轉(zhuǎn)動；以及具有凸輪和凸輪從動件的凸輪機構(gòu)，所述凸輪與上述 桿的另一端的轉(zhuǎn)動相連動而轉(zhuǎn)動，所述凸輪從動件與該凸輪的外周面相抵 接而轉(zhuǎn)動，根據(jù)上述凸輪的形狀而使上述可動支持體上下運動；當向下降方向驅(qū)動上述活塞桿時，上述凸輪向上升方向驅(qū)動上述可動 支持體，使上述可動支持體上升到上述下模的上表面支持上述載帶的下表 面的高度位置；上述活塞桿向下降方向驅(qū)動上述上模，用上述上模從下表面被上述下 模支持著的上述帶狀部件上沖裁出電子部件。
3. 如權(quán)利要求1或2所述的電子部件沖裁裝置，其特征在于，上述模具裝置的下模的到與上述帶狀部件的下表面接觸的行程被設(shè)定為比上述上模的到與上述帶狀部件的上表面接觸的行程小；上述下模在與上述帶狀部件的下表面接觸的位置停止上升，上述上模 在上述下模的上升停止后從上述帶狀部件上沖裁出上述電子部件。
4. 如權(quán)利要求l所述的電子部件沖裁裝置，其特征在于，在上述模具 裝置的沿上述帶狀部件的進給方向的上游一側(cè)和下游一側(cè)設(shè)置了一對帶齒 巻盤；在上述帶狀部件的寬度方向的兩端、沿長度方向隔開預(yù)定的間隔形 成有多個與上述帶齒巻盤上形成的齒卡合的卡合孔；上述帶狀部件在上述一對帶齒巻盤之間被水平地支持著，這對帶齒巻 盤被設(shè)定成給上述帶狀部件的位于上述一對帶齒巻盤之間的部分施加不產(chǎn) 生松弛的張力的旋轉(zhuǎn)角度；上述一對帶齒巻盤以被設(shè)定的旋轉(zhuǎn)角度被同步地旋轉(zhuǎn)驅(qū)動。
5. 如權(quán)利要求l所述的電子部件沖裁裝置，其特征在于，上述一對帶 齒巻盤為形成了輸送寬度尺寸不同的帶狀部件的粗徑部和細徑部的二級齒 帶齒巻盤；在上述一對帶齒巻盤之間，沿水平方向隔開預(yù)定的間隔而分開設(shè)置一 對高度相同的支持輥；無論上述帶狀部件被上述粗徑部或上述細徑部中的哪一個輸送，上述一 對支持輥都水平地支持該帶狀部件的位于上述一對帶齒巻盤之間的部分。
6. —種電子部件沖裁方法，沖裁安裝在帶狀部件上的電子部件，其特 征在于，具有以下工序?qū)喞@在供給巻軸上的帶狀部件巻繞到巻取巻軸 上，并且水平地支持該帶狀部件的位于上述供給巻軸與上述巻取巻軸之間 的部分的工序；以及當用模具裝置的上模和下模從上述帶狀部件的上述被水平地支持著的 部分上沖裁上述電子部件時，向上升方向驅(qū)動上述下模來支持上述帶狀部 件的下表面，然后用上述上模從上述帶狀部件上沖裁出上述電子部件的工 序。
全文摘要
本發(fā)明的電子部件沖裁裝置具有卷繞了載帶(1)的供給卷軸(7)，卷取被卷繞在供給卷軸上的載帶的卷取卷軸(35)，從載帶的被水平支持在供給卷軸與卷取卷軸之間的部分上沖裁安裝在載帶上的半導(dǎo)體芯片的模具裝置(9)；模具裝置由下模(11)和上模(12)構(gòu)成，所述下模(11)能夠沿上下方向驅(qū)動地設(shè)置、通過向上升方向被驅(qū)動來支持載帶的水平部分的下表面，所述上模(12)在下模的上方與下模相對、能夠沿上下方向驅(qū)動地設(shè)置、通過向下降方向被驅(qū)動對載帶的被下模支持著下表面的部分的上表面加壓、從載帶上沖裁出半導(dǎo)體芯片。
文檔編號H01L21/60GK101632162SQ20088000774
公開日2010年1月20日 申請日期2008年1月22日 優(yōu)先權(quán)日2007年3月9日
發(fā)明者南浜悅郎, 廣瀨圭剛 申請人:芝浦機械電子株式會社