專(zhuān)利名稱(chēng)：：燃料電池用隔板、燃料電池用隔板的制造方法和燃料電池的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及燃料電池用隔板、燃料電池用隔板的制造方法和燃料電池。
背景技術(shù)：
：一般地，燃料電池具有電解質(zhì)膜、包含催化劑層和擴(kuò)散層的一對(duì)電極(陽(yáng)極和陰極)、和夾持電極的一對(duì)燃料電池用隔板(陽(yáng)極側(cè)隔板和陰極側(cè)隔板)。在燃料電池發(fā)電時(shí)，在向陽(yáng)極供給的陽(yáng)極氣體為氬氣、向陰極供給的陰極氣體為氧氣的情況下，在陽(yáng)極側(cè)，進(jìn)行變成氬離子和電子的反應(yīng)，氫離子從電解質(zhì)膜中通過(guò)到達(dá)陰極側(cè)，電子通過(guò)外部電路到達(dá)陰極側(cè)。另一方面，在陰極側(cè)，進(jìn)行氫離子、電子以及氧氣反應(yīng)而生成水的反應(yīng)，釋放出能量。作為上述燃料電池用隔板，可舉出以碳為基tl的燃料電池用隔板、以金屬為基板的燃料電池用隔板等。以金屬為M的燃料電池用隔板，與以碳為基板的燃料電池用隔板相比，在機(jī)械強(qiáng)度、成形性方面優(yōu)異。然而，如上述說(shuō)明的那樣，由于燃料電池在發(fā)電時(shí)生成水，因此與以碳為基板的燃料電池用隔板相比，以金屬為基板的燃料電池用隔板容易腐蝕。若以金屬為基板的燃料電池用隔板發(fā)生了腐蝕，則接觸電阻變高，有時(shí)招致燃料電池的性能降低。再者，在本說(shuō)明書(shū)中簡(jiǎn)單地記載為燃料電池用隔板的接觸電阻時(shí)，具有同種材料接觸電阻(燃料電池用隔板彼此的接觸電阻)和擴(kuò)散層接觸電阻(燃料電池用隔板與擴(kuò)散層的接觸電阻)兩種意思。例如，已知為了抑制金屬基板的腐蝕而對(duì)金屬基板施加了Au、Pt等貴金屬鍍層的燃料電池用隔板。然而，上述貴金屬價(jià)格高，在鍍覆等時(shí)貴金屬的使用量也多因而不實(shí)用。另外，通過(guò)在金屬基板上形成石墨層，能夠抑制金屬14l腐蝕，但在技術(shù)上難以形成石墨層。另外，例如，在國(guó)際公開(kāi)第01-006585號(hào)小冊(cè)子中，為了抑制金屬基板的腐蝕，曾提出了在金屬基板上被覆類(lèi)似金剛石的碳的燃料電池用隔板。另外，例如，在特開(kāi)2003-123781號(hào)公報(bào)中，為了抑制金屬基板的腐蝕，曾提出了在金屬基板上被覆含有金屬的類(lèi)似金剛石的碳的燃料電池用隔板。另外，例如，在特開(kāi)2002-151110號(hào)公報(bào)中，為了抑制金屬基板的腐蝕，并且抑制燃料電池用隔板的接觸電阻的增加，曾提出了在金屬基板上形成氧化物層，進(jìn)而在氧化物層的表面形成導(dǎo)電層的燃料電池用隔板。另外，例如，在特開(kāi)2000-164228號(hào)公報(bào)中，為了抑制金屬基板的腐蝕，并且抑制燃料電池用隔板的接觸電阻的增加，曾提出了在金屬基板表面上形成低電阻層、耐腐蝕性層的燃料電池用隔板。另外，例如，在特開(kāi)2001-283872號(hào)^iS^艮中，為了抑制燃料電池用隔板的接觸電阻的增加，曾提出了以島狀^于金屬基板上的碳粒子介由碳化鉻層結(jié)合在金屬基板上的燃料電池用隔板。然而，國(guó)際公開(kāi)第01-006585號(hào)小冊(cè)子中提出的燃料電池用隔板，例如，由于燃料電池的工作溫度(例如為70。C以上)、在發(fā)電時(shí)生成的水分、伴隨發(fā)電反應(yīng)的電位差等的燃料電池的發(fā)電環(huán)境，類(lèi)似金剛石的碳發(fā)生了腐蝕，燃料電池用隔板的接觸電阻增加。另外，特開(kāi)2003-123781號(hào)公報(bào)中提出的燃料電池用隔板，由于上迷燃料電池的發(fā)電環(huán)境，金屬隨類(lèi)似金剛石的碳一同腐蝕，變成金屬氧化物，燃料電池用隔板的接觸電阻更加增加。另外，特開(kāi)2002-151110號(hào)公報(bào)、特開(kāi)2000-164228號(hào)公報(bào)中提出的燃料電池用隔板，由于導(dǎo)電層、低電阻層，耐腐蝕性層均使用金屬材料，因此由于上述燃料電池的發(fā)電環(huán)境而導(dǎo)致導(dǎo)電層、低電阻層、耐腐蝕性層發(fā)生了腐蝕，燃料電池用隔板的接觸電阻增加。另外，特開(kāi)2001-283872號(hào)公報(bào)中提出的燃料電池用隔板，由于金屬基板全體被碳化鉻層和碳粒子覆蓋，因此由于上述燃料電池的發(fā)電環(huán)境，金屬基板發(fā)生了腐蝕，燃料電池用隔板的接觸電阻增加.
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的是提供即使是在燃料電池的工作溫度(例如為70'C以上)、在發(fā)電時(shí)生成的水分、伴隨發(fā)電反應(yīng)的電位差等的燃料電池的發(fā)電環(huán)境下，也能夠抑制金屬141的腐蝕，并且能夠抑制燃料電池用隔板的接觸電阻的增加的燃料電池用隔板、該燃料電池用隔板的制造方法以及具有該燃料電池用隔板的燃料電池。(1)本發(fā)明為一種燃料電池用隔板，其在金屬基板上具有被覆層，上述被覆層具有非晶碳(無(wú)定形碳；amorphouscarbon)層和導(dǎo)電部。(2)在上述(1)所述的燃料電池用隔板中，優(yōu)選上述導(dǎo)電部是由石墨粒子構(gòu)成的石墨部。(3)在上述(2)所述的燃料電池用隔板中，優(yōu)選上述石墨部以上述石墨部的至少一部分從上述非晶碳層表面露出的狀態(tài)配置。(4)在上述(3)所述的燃料電池用隔板中，優(yōu)選上述石墨部以島狀分散配置。(5)在上述(4)所述的燃料電池用隔板中，優(yōu)選上述石墨部之中的粒徑不到lnm的石墨部，在每ljim2的上迷非晶碳層中存在12.6個(gè)以上。(6)在上迷(4)所述的燃料電池用隔板中，優(yōu)選上迷石墨部之中的粒徑為ljim以上且不到3pm的石墨部，在每lfu^的上述非晶碳層中存在1.8個(gè)以上。(7)在上述(4)所述的燃料電池用隔板中，優(yōu)選上述石墨部之中的粒徑為3pm以上的石墨部，在每lfim2的上述非晶碳層中存在0.1個(gè)以上。(8)在上述(2)~(7)的任一項(xiàng)所迷的燃料電池用隔板中，優(yōu)選上述非晶碳層的膜厚為30nm10jim的范圍。(9)在上述(2)~(8)的任一項(xiàng)所迷的燃料電池用隔板中，優(yōu)選上述被覆層的腐蝕電流值是1.5jiA/cm2以下。(10)在上述(2)~(9)的任一項(xiàng)所述的燃料電池用隔板中，優(yōu)選上述金屬a的材質(zhì)是鈥，在上述金屬基板與上述凈皮覆層之間配置以鈦純度比上述金屬基板的鈦純度高的鈦為材質(zhì)的鈦層。(11)根據(jù)上述(10)所述的燃料電池用隔板，其特征在于，上述鈥層的膜厚為25nm10jim的范圍。(12)另外，本發(fā)明為一種燃料電池，其具備在金屬基板上具有被覆層的燃料電池用隔板，上述被覆層具有非晶碳層和導(dǎo)電部。(13)另外，本發(fā)明的燃料電池用隔板的制造方法，具有釆用物理蒸鍍法或化學(xué)蒸鍍法在金屬1^L上形成非晶碳層的非晶碳層形成工序；和采用與上述物理蒸鍍法或上述化學(xué)蒸鍍法相同或不同的方法在上述非晶碳層中形成導(dǎo)電部的導(dǎo)電部形成工序。(14)在上述(13)所述的燃料電池用隔板的制造方法中，優(yōu)選上述非晶碳層形成工序和上述導(dǎo)電部形成工序的物理蒸鍍法是無(wú)過(guò)濾電弧離子鍍法，在采用上述無(wú)過(guò)濾電弧離子鍍法形成上述非晶碳層的同時(shí)，形成作為上述導(dǎo)電部的石墨部。(15)在上迷(14)所述的燃料電池用隔板的制造方法中，優(yōu)選在形成上述非晶碳層和上述石墨部時(shí)，對(duì)上述金屬^施加的偏壓(偏電壓；biasvoltage)為150V~1000V的范圍。(16)在上述(15)所述的燃料電池用隔板的制造方法中，優(yōu)選在形成上述非晶碳層和上述石墨部時(shí)，對(duì)上述金屬基板施加的偏壓為150V~250V的范圍。(17)另外，本發(fā)明的燃料電池用隔板采用上述(13)~(16)的任一項(xiàng)所述的燃料電池用隔板的制造方法得到。根據(jù)本發(fā)明，能夠提供燃料電池用隔板和具有該燃料電池用隔板的燃料電池，其中，通過(guò)使金屬基板上的被覆層為非晶碳層和導(dǎo)電部，即使是在上述燃料電池的發(fā)電環(huán)境下，也能夠抑制金屬基板的腐蝕，并且能夠抑制燃料電池用隔板的接觸電阻的增加。7另外，根據(jù)本發(fā)明，能夠提供燃料電池用隔板的制造方法，其中，通過(guò)具有采用物理蒸鍍法或化學(xué)蒸鍍法在金屬基板上形成非晶碳層的非晶碳層形成工序、和采用與上述物理蒸鍍法或上述化學(xué)蒸鍍法相同或不同的方法在上述非晶碳層中形成導(dǎo)電部的導(dǎo)電部形成工序，即使是在上述燃料電池的發(fā)電環(huán)境下，也能夠抑制金屬M(fèi)的腐蝕，并且能夠抑制燃料電池用隔板的接觸電阻的增加。圖1是表示本發(fā)明的實(shí)施方式涉及的燃料電池的一例構(gòu)成的模式剖面圖。圖2是表示本實(shí)施方式涉及的燃料電池用隔板的一例構(gòu)成的模式剖面圖。圖3A是圖2所示的燃料電池用隔板的局部放大模式剖面圖。圖3B是圖2所示的燃料電池用隔板的局部放大模式剖面圖。圖3C是圖2所示的燃料電池用隔板的局部放大模式剖面圖。圖3D是圖2所示的燃料電池用隔板的局部放大才莫式剖面圖。圖4是表示本實(shí)施方式涉及的燃料電池用隔板的擴(kuò)散層接觸電阻與非晶碳層的膜厚的關(guān)系的圖。圖5是表示本發(fā)明的另一實(shí)施方式涉及的燃料電池的一例構(gòu)成的模式剖面圖。圖6是表示本發(fā)明的另一實(shí)施方式涉及的燃料電池用隔板的一例構(gòu)成的模式剖面圖。圖7是表示能夠采用無(wú)過(guò)濾電弧離子鍍法形成非晶碳層和石墨部的無(wú)過(guò)濾電弧離子鍍裝置的一例構(gòu)成的模式圖。圖8是表示實(shí)施例1~8的接觸電阻(同種材料接觸電阻+擴(kuò)散層接觸電阻)和腐蝕電流值的結(jié)果的圖。圖9A是實(shí)施例2的掃描電鏡照片。圖9B是實(shí)施例8的掃描電鏡照片。模擬試驗(yàn)前后的同種材料接觸電阻的圖。圖11是表示實(shí)施例2和比較例1、3的電池環(huán)境模擬試驗(yàn)前后的擴(kuò)散層接觸電阻的圖。圖12是表示實(shí)施例9和比較例4、5的電池環(huán)境模擬試驗(yàn)前后的同種材料接觸電阻的圖。圖13是表示實(shí)施例9和比較例4、5的電池環(huán)境模擬試驗(yàn)前后的擴(kuò)散層接觸電阻的圖。具體實(shí)施例方式以下對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。圖1是表示本發(fā)明的實(shí)施方式涉及的燃料電池的一例構(gòu)成的模式剖面圖。如圖1所示，燃料電池1是具有電解質(zhì)膜10、陽(yáng)極12、陰極14和燃料電池用隔板16的燃料電池。電解質(zhì)膜10例如是全氟磺酸系的離子交換樹(shù)脂膜等。陽(yáng)極12、陰極14由使用碳紙(復(fù)寫(xiě)紙；carbonpaper)等的擴(kuò)散層、和在碳等的載體上擔(dān)載有貴金屬催化劑的片狀的催化劑層構(gòu)成，擴(kuò)散層配置在燃料電池用隔板16側(cè)，催化劑層配置在電解質(zhì)膜10側(cè)。如圖1所示，本實(shí)施方式涉及的燃料電池1，具有以?shī)A著電解質(zhì)膜10而分別對(duì)置的方式在電解質(zhì)膜10的一個(gè)表面形成了陽(yáng)極12、在另一個(gè)表面形成了陰極14的膜-電極組件18;和夾持膜-電極組件18的兩外側(cè)的一對(duì)燃料電池用隔板16。在燃料電池用隔板16上形成有向陽(yáng)極12或陰極14供給反應(yīng)氣體的反應(yīng)氣體流路20。圖2是表示本實(shí)施方式涉及的燃料電池用隔板的一例構(gòu)成的模式剖面圖。如圖2所示，燃料電池用隔板16具有形成有反應(yīng)氣體流路20的金屬基板22和在金屬基板22上所形成的被覆層24。在本實(shí)施方式中，以被覆層24形成于反應(yīng)氣體流路20側(cè)(與圖1所示的陽(yáng)極12或陰極14相對(duì)的側(cè))的金屬基板22上的情況為例，但不限于此。例如，可以是被覆層24形成于反應(yīng)氣體流路20的相反側(cè)(與和圖1所示的陽(yáng)極12或陰極14相對(duì)的側(cè)相反的側(cè))的金屬基板22上的情況，也可以是形成于反應(yīng)氣體流路20以及與反應(yīng)氣體流路20相反的側(cè)的金屬基板22上的情況。接著，對(duì)被覆層24的構(gòu)成的概要進(jìn)行說(shuō)明。圖3(A)~(D)是圖2所示的燃料電池用隔板的局部放大模式剖面圖。如圖3(A)~(D)所示，被覆層24是具有非晶碳層26和導(dǎo)電部28(或28a28c)的層。非晶碳層26主要是用于抑制金屬基板22腐蝕的層。另外，導(dǎo)電部28主要是用于抑制燃料電池用隔板的接觸電阻增加的。在此，圖3(A)是表示導(dǎo)電部28分散配置在非晶碳層26中以及非晶碳層26層上的狀態(tài)的圖，圖3(B)~(D)是表示導(dǎo)電部28配置在非晶碳層26上的狀態(tài)的圖。本實(shí)施方式的導(dǎo)電部，優(yōu)選以下述狀態(tài)之中的至少任一種狀態(tài)配置，所述狀態(tài)為導(dǎo)電部的一部分從非晶碳層表面露出的狀態(tài)(例如，圖3(A)所示的導(dǎo)電部28a);導(dǎo)電部的全體從非晶碳層表面露出的狀態(tài)(圖3(A)所示的導(dǎo)電部28b、圖3(B)~(D)所示的導(dǎo)電部28);導(dǎo)電部的全體埋沒(méi)于非晶碳層內(nèi)部的狀態(tài)(圖3(A)所示的導(dǎo)電部28c)。若以上述的任一狀態(tài)配置導(dǎo)電部，則導(dǎo)電部的形態(tài)，可以是如圖3(A)、(B)所示的島狀的形態(tài)，也可以是如圖3(C)所示的梳形狀的形態(tài)，還可以是如圖3(D)所示的層狀的形態(tài)等等，并沒(méi)有特別的限制。然而，從被覆層容易形成的觀點(diǎn)等考慮，優(yōu)選導(dǎo)電部的形態(tài)是島狀。本實(shí)施方式的導(dǎo)電部是由導(dǎo)電材料構(gòu)成的導(dǎo)電部，例如，是由Au、Pt、Ag、Ru、Ir等貴金屬構(gòu)成的導(dǎo)電部、由石墨粒子構(gòu)成的導(dǎo)電部(石墨部)、由碳納米角或碳納米管構(gòu)成的導(dǎo)電部等。從耐腐蝕性、導(dǎo)電性等的觀點(diǎn)考慮，優(yōu)選是由上述貴金屬或石墨粒子構(gòu)成的導(dǎo)電部(石墨部)，從制造成本的觀點(diǎn)考慮，更優(yōu)選是由石墨粒子構(gòu)成的導(dǎo)電部(石墨部)。另外，作為圖3(A)所示的導(dǎo)電部28a28c，從容易形成導(dǎo)電部等的觀點(diǎn)考慮，優(yōu)選是由石墨粒子構(gòu)成的導(dǎo)電部(石墨部)。作為圖3(B)所示的導(dǎo)電部28,從容易形成導(dǎo)電部等的觀點(diǎn)考慮，優(yōu)選是由Au、Pt、Ag、Ru、Ir等貴金屬構(gòu)成的導(dǎo)電部。作為圖3(C)、(D)所示的導(dǎo)電部28，從容易形成導(dǎo)電部等的觀點(diǎn)考慮，優(yōu)選是由碳納米角或碳納米管構(gòu)成的導(dǎo)電部。非晶碳層26,是以石墨(固體)為原料，采用公知的、賊射法、過(guò)濾電弧離子鍍法、后述的無(wú)過(guò)濾電孤離子鍍法形成的由非晶碳構(gòu)成的非晶碳層?；蛘?，也可以以烴系化合物(液體、氣體)為原料，采用公知的等離子CVD法、離子化蒸鍍法形成非晶碳層26。另外，也可以代替非晶碳層26，是以Au、Pt、Ag、Ru、Ir等貴金屬為原料，采用公知的濺射法、等離子CVD法、離子化蒸鍍法、過(guò)濾電弧離子鍍法等形成的由上述貴金屬構(gòu)成的層。由于在被覆層24上形成有導(dǎo)電部28，因此即使在燃料電池1的發(fā)電環(huán)境下，構(gòu)成被覆層24的非晶碳層26發(fā)生腐蝕(損傷)，也能夠抑制燃料電池用隔板16的接觸電阻的增加。另外，作為凈皮覆層24的構(gòu)成而優(yōu)選的是如圖3(A)所示的非晶碳層26與導(dǎo)電部28a~28c的構(gòu)成，導(dǎo)電部28a28c是由石墨粒子構(gòu)成的導(dǎo)電部(石墨部)。上述構(gòu)成中，由于非晶碳層26和導(dǎo)電部28a28c都是碳材料，因此非晶碳層與導(dǎo)電部的界面強(qiáng)度大。所以，導(dǎo)電部難以從非晶碳層剝離，能夠抑制由導(dǎo)電部的剝離引起的接觸電阻的增加。以下，以圖3(A)所示的具有非晶碳層26和由石墨粒子構(gòu)成的導(dǎo)電部28a~28c的凈皮覆層24為例進(jìn)行說(shuō)明。本實(shí)施方式涉及的燃料電池用隔板，如圖3(A)所示，具有金屬M(fèi)22、和被覆層24，所述被覆層24具有非晶碳層26和由石墨粒子構(gòu)成的導(dǎo)電部28a28c(以下有時(shí)稱(chēng)為石墨部28a~28c)。本實(shí)施方式的石墨部，優(yōu)選以下述狀態(tài)之中的至少任一種狀態(tài)配置，所述狀態(tài)是石墨部的一部分從非晶碳層表面露出的狀態(tài)(例如，圖3(A)所示的導(dǎo)電部28a);石墨部的全體從非晶碳層表面露出的狀態(tài)(圖3(A)所示的導(dǎo)電部28b);石墨部的全體埋沒(méi)到非晶碳層內(nèi)部的狀態(tài)(圖3(A)所示的導(dǎo)電部28C)。從確保被覆層的高導(dǎo)電性的觀點(diǎn)考慮，優(yōu)選是至少石墨部的一部分從非晶碳層表面露出的狀態(tài)。另外，從防止石墨部脫落的觀點(diǎn)考慮，優(yōu)選成為石墨部保持在非晶碳層中的構(gòu)成，即，以石墨部的一部分從非晶碳層表面露出的狀態(tài)以;SJ5墨部的全體埋沒(méi)到非晶碳層內(nèi)部的狀態(tài)配置石墨部。另外，從容易形成被覆層的觀點(diǎn)等考慮，優(yōu)選石墨部ii的形態(tài)是島狀。石墨部28a~28c由石墨粒子構(gòu)成，是結(jié)晶性比非晶碳層26的結(jié)晶性高的石墨部。結(jié)晶性的評(píng)價(jià)，在拉曼光語(yǔ)分析中，通過(guò)算出處在1540cm-1~1560cm"的范圍的峰的峰強(qiáng)度(G)、與處在1370cm"1390cm"的范圍的峰的峰強(qiáng)度(D)的強(qiáng)度比(D/G)來(lái)進(jìn)行。強(qiáng)度比(D/G)越小，表示結(jié)晶性越高。拉曼光鐠可采用公知的方法進(jìn)行測(cè)定。具體地講，通過(guò)對(duì)試樣照射波長(zhǎng)514.5nm的氬激光，對(duì)來(lái)自試樣的散射光中的與照射光構(gòu)成90度的角度的光進(jìn)行光i普測(cè)定而可進(jìn)行測(cè)定。測(cè)定裝置可舉出JobinYvon公司的激光拉曼光語(yǔ)測(cè)定裝置RAMANORS-320,優(yōu)選石墨部28a~28c之中的粒徑不到lpm的石墨部在lpm2的非晶碳層(26)中存在12.6個(gè)以上。粒徑不到ljrni的石墨部的個(gè)數(shù)比上述值少時(shí)，有時(shí)燃料電池用隔板的接觸電阻變高。粒徑不到ljim的石墨部的個(gè)數(shù)，通過(guò)掃描電鏡拍攝非晶碳層表面，由得到的照片中的非晶碳層的面積(例如50jim2)，通過(guò)目視對(duì)粒徑不到ljim的石墨部進(jìn)行計(jì)數(shù)而可求得。另外，更優(yōu)選石墨部28a28c之中的粒徑為ljim以上且不到3pm的石墨部在ljm^的非晶碳層(26)中存在L8個(gè)以上。此外，更優(yōu)選石墨部28a~28c之中的粒徑為3fim以上的石墨部在ljim2的非晶碳層(26)中存在0.1個(gè)以上。粒徑為lfim以上且不到3jim、以及粒徑為3pm以上的石墨部的個(gè)數(shù)比上述它們的值少時(shí)，有時(shí)燃料電池用隔板的接觸電阻變高。石墨部的個(gè)數(shù)可采用與上述同樣的方法進(jìn)行測(cè)定。非晶碳層26由在碳原子的鍵中具有非晶狀的結(jié)合狀態(tài)的非晶碳(也稱(chēng)為類(lèi)似金剛石的碳)構(gòu)成。另外，從電阻的觀點(diǎn)考慮，在形成非晶碳層26時(shí)含有的氫含有濃度優(yōu)選為不到1%。此外，從提高非晶碳層26的導(dǎo)電性的觀點(diǎn)考慮，也可以使非晶碳層26中含有金屬，但在燃料電池的發(fā)電環(huán)境下，有時(shí)含有的金屬發(fā)生腐蝕。因此，本實(shí)施方式優(yōu)選不使非晶碳層26含有金屬。非晶碳層26的膜厚優(yōu)選是30nm~10nm的范圍。圖4是表示本實(shí)施-與非晶'圖。如圖4所示，非晶碳層的膜厚比30nm薄時(shí)，擴(kuò)散層接觸電阻增加。這是因?yàn)楫?dāng)形成比30nm薄的非晶碳層時(shí)，未成為膜而成為島狀的非晶碳的緣故。另外，比10nm厚時(shí)，作為燃料電池用隔板不實(shí)用。被覆層24的腐蝕電流值，優(yōu)選為3.0jiA/cm2以下，更優(yōu)選是1.5nA/cm2以下。祐覆層24的腐蝕電流值比3.0nA/cn^高時(shí)，有時(shí)在燃料電池的發(fā)電環(huán)境下，容易引起被覆層24的破壞。作為本實(shí)施方式中使用的金屬基板22的材質(zhì)，優(yōu)選是耐腐蝕性?xún)?yōu)異的材質(zhì)，例如，可以使用不銹鋼、銅以及銅合金、鋁以及鋁合金、鈦以及鈥合金之中的任一種或其復(fù)合材料等。從防止金屬離子溶出的觀點(diǎn)考慮，優(yōu)選使用鈦?zhàn)鳛榻饘倩?。圖5是表示本發(fā)明的另一實(shí)施方式涉及的燃料電池的一例構(gòu)成的模式剖面圖。如圖5所示，燃料電池2是具有電解質(zhì)膜30、陽(yáng)極32、陰極34和燃料電池用隔板36的燃料電池。電解質(zhì)膜30是全氟磺酸系的離子交換樹(shù)脂膜等。陽(yáng)極32、陰極34由使用了碳紙的擴(kuò)散層、和在碳等載體上擔(dān)載了貴金屬催化劑的片狀的催化劑層構(gòu)成，擴(kuò)散層配置在燃料電池用隔板36側(cè)，催化劑層配置在電解質(zhì)膜30側(cè)。如圖5所示，本實(shí)施方式涉及的燃料電池2，具有以?shī)A著電解質(zhì)膜30而分別對(duì)置的方式在電解質(zhì)膜30的一個(gè)表面形成陽(yáng)極32、在其另一個(gè)表面形成陰極34的膜-電極組件38、和將膜-電極組件38的兩外側(cè)夾持的一對(duì)燃料電池用隔板36。在燃料電池用隔板36上形成有向陽(yáng)極32或陰極34供給反應(yīng)氣體的反應(yīng)氣體流路40。圖6是表示本發(fā)明的另一實(shí)施方式涉及的燃料電池用隔板的一例構(gòu)成的模式剖面圖。如圖6所示，燃料電池用隔板36具有形成有反應(yīng)氣體流路40的金屬基板42、和在金屬基板42上形成的中間層44和被覆層46。在本實(shí)施方式中，以中間層44和被覆層46形成于反應(yīng)氣體流路40側(cè)(與圖5所示的陽(yáng)極32或陰極34相對(duì)的側(cè))的金屬J4！42上的情況為例，但并不限于此。例如，可以是中間層44和被覆層46形成于反應(yīng)氣體流路40的相反側(cè)(和與圖5所示的陽(yáng)極32或陰極34相對(duì)的側(cè)相反的側(cè))的金屬40側(cè)的金屬基板42上以及反應(yīng)氣體流路40的相反側(cè)的金屬基板42上的情況。作為本實(shí)施方式中使用的金屬基板42的材質(zhì)，優(yōu)選是耐腐蝕性?xún)?yōu)異的材質(zhì)，例如，可以使用不銹鋼、銅和銅合金、鋁和鋁合金、鈦和鈥合金之中的任一種或其復(fù)合材料等。從金屬基板的耐腐蝕性的觀點(diǎn)考慮，優(yōu)選使用鈦?zhàn)鳛榻饘倩?2。另外，優(yōu)選在金屬基板42與被覆層46之間配置純度比金屬基板42的鈥純度高的鈥層(中間層44)。通過(guò)成為這樣的構(gòu)成，能夠抑制被覆層46的剝離。并且，能夠抑制純度高的金屬的使用量，從制造成本的觀點(diǎn)考慮也優(yōu)選。鈦層采用賊射法等形成。另外，鈦層(中間層44)的膜厚，優(yōu)選是25nm10fim的范圍。由于在技術(shù)上難以均勻地形成沒(méi)有缺陷的比25nm薄的鈦層，因此存在生成以殘留在金屬基板42上的氧化鈦為核的氧化物層而使燃料電池用隔板的接觸電阻增加的情況、被覆層46容易從金屬基板42上剝離的情況。當(dāng)比10pm厚時(shí)，作為燃料電池用隔板不實(shí)用。在本實(shí)施方式中，將鈦層作為中間層44，但若金屬基板改變的話則并不限于此，中間層44只要是由構(gòu)成金屬基板的元素構(gòu)成，并與C(碳)的密著性良好即可。以下對(duì)本實(shí)施方式涉及的燃料電池用隔板的制造方法進(jìn)行說(shuō)明。本實(shí)施方式涉及的燃料電池用隔板的制造方法，是具有下述工序的制造方法，所述工序?yàn)椴捎梦锢碚翦兎ɑ蚧瘜W(xué)蒸鍍法在金屬基板上形成非晶碳層的非晶碳層形成工序；和采用與上述物理蒸鍍法或上述化學(xué)蒸法相同或不同的方法在非晶碳層中形成導(dǎo)電部的導(dǎo)電部形成工序。<非晶碳層形成工序>在非晶碳層形成工序中，采用物理蒸鍍法或化學(xué)蒸鍍法在金屬基板上形成非晶碳層。具體地講，可通過(guò)以石墨(固體)為原料，采用公知的賊射法、過(guò)濾電弧離子鍍法或后述的無(wú)過(guò)濾電弧離子鍍法等來(lái)形成非晶碳層。或者，也可以以烴系化合物(液體、氣體)為原料，采用公知的等離子CVD法、離子化蒸鍍法來(lái)形成非晶碳層。<導(dǎo)電部形成工序>在導(dǎo)電部形成工序中，釆用物理蒸鍍法或化學(xué)蒸鍍法在金屬基板上形成導(dǎo)電部。具體地講，通過(guò)以Au、Pt、Ag、Co等貴金屬、石墨(固體)等碳材料為原料，采用公知的噴墨法、濺射法、電弧離子鍍法、等離子CVD法、離子化蒸鍍法或后述的無(wú)過(guò)濾電弧離子鍍法等來(lái)形成導(dǎo)電部。在形成圖3(A)所示的導(dǎo)電部28a~28c的情況下，例如，可通過(guò)以石墨(固體)等碳材料為原料，釆用后述的無(wú)過(guò)濾電弧離子鍍法等來(lái)形成石墨部。在形成圖3(B)所示的導(dǎo)電部28的情況下，例如，可通過(guò)以Au、Pt、Ag等貴金屬為原料，釆用公知的噴墨法、氣相合成法、鍍覆法等來(lái)形成由貴金屬構(gòu)成的導(dǎo)電部。在形成圖3(D)所示的導(dǎo)電部28的情況下，可通過(guò)以甲烷氣、乙烷氣等烴氣體為原料，采用/>知的等離子CVD法等來(lái)形成導(dǎo)電部。在形成圖3(C)所示的導(dǎo)電部28的情況下，以甲烷氣、乙烷氣等烴氣體為原料，采用公知的等離子CVD法等形成導(dǎo)電部后，通過(guò)反應(yīng)性離子蝕刻以梳形狀來(lái)形成。作為形成非晶碳層以及導(dǎo)電部的物理蒸鍍法，在上述列舉的方法之中，優(yōu)選采用無(wú)過(guò)濾電弧離子鍍法。通過(guò)采用該方法，能夠在形成非晶碳層的同時(shí)，形成作為導(dǎo)電部的石墨部，能夠簡(jiǎn)化制造方法。另外，通過(guò)采用該方法，能夠形成圖3(A)所示的非晶碳層26和石墨部28a28c。圖7是表示能夠采用無(wú)過(guò)濾電弧離子鍍法形成非晶碳層和石墨部的無(wú)過(guò)濾電弧離子鍍裝置的一例構(gòu)成的模式圖。如圖7所示，無(wú)過(guò)濾電弧離子鍍裝置3具有由真空排氣泵(沒(méi)有圖示)排氣成為真空的真空容器48、保持作為被處理物的金屬基板50的安裝用夾具52、構(gòu)成陰極的靶54、陽(yáng)極56、連接于靶54與陽(yáng)極56之間的電弧電源58、和對(duì)金屬基板50施加偏壓的偏壓電源60。為了在金屬基板50上形成非晶碳層和石墨部，首先，起動(dòng)電弧電源58，在陽(yáng)極56與靶54之間發(fā)生電弧放電。通過(guò)該電弧放電，耙54局部地熔化，在蒸發(fā)的同時(shí)進(jìn)行離子化。離子化了的物質(zhì)(是靶蒸發(fā)并離子化而成的物質(zhì)，以下稱(chēng)為離子化蒸發(fā)物質(zhì))通過(guò)由偏壓電源60對(duì)金屬基板5015施加偏壓而被加速，涂覆在金屬基板50上而形成非晶碳層。在形成上述的非晶碳層時(shí)，無(wú)過(guò)濾電弧離子鍍法以及公知的過(guò)濾電弧離子鍍法也同樣。當(dāng)采用無(wú)過(guò)濾電弧離子鍍法以及過(guò)濾電弧離子鍍法時(shí)，在靶蒸發(fā)并離子化時(shí)，發(fā)生熔融粒子(小液滴)。若該熔融粒子附著在金屬基板50上就不能夠形成均勻的非晶碳層。因此，當(dāng)采用公知的過(guò)濾電弧離子鍍法時(shí)，在金屬基板50與靶54之間具有不使熔融粒子通過(guò)的過(guò)濾器(遮蔽板)。本實(shí)施方式中使用的無(wú)過(guò)濾電弧離子鍍法，不使用上述過(guò)濾器而使離子化蒸發(fā)物質(zhì)和熔融粒子涂覆在金屬M(fèi)50上。本實(shí)施方式中使用的靶54是碳材料。并且，由靶54(碳材料)生成的熔融粒子是結(jié)晶性高的石墨。因此，通過(guò)采用無(wú)過(guò)濾電弧離子鍍法，在由離子化蒸發(fā)物質(zhì)形成非晶碳層的同時(shí)，通過(guò)熔融粒子附著在金屬基板50上而形成石墨部。對(duì)金屬基板50施加的偏壓，從制造接觸電阻低的燃料電池用隔板的觀點(diǎn)考慮，優(yōu)選是150V~1000V的范圍。對(duì)金屬基板50施加的偏壓低于150V時(shí)，有時(shí)不能得到能夠作為燃料電池用隔板使用的水平的接觸電阻(例如，10mft.cm2)，當(dāng)比1000V高時(shí)，對(duì)金屬基板50增大負(fù)荷有時(shí)成為破損的原因。另外，從制造接觸電阻低、腐蝕電流值低的燃料電池隔板的觀點(diǎn)考慮，對(duì)金屬基板50施加的偏壓更優(yōu)選是150V~250V的范圍或700V~IOOOV的范圍。進(jìn)而，從燃料電池用隔板制造時(shí)的消耗電力等的觀點(diǎn)考慮，更優(yōu)選為150V250V的范圍。實(shí)施例以下通過(guò)實(shí)施例更詳細(xì)地說(shuō)明本發(fā)明，但本發(fā)明只要不改變其要旨，則并不受以下的實(shí)施例任何限制。<燃料電池用隔板的制作>實(shí)施例1~8使用如圖7所示的無(wú)過(guò)濾電弧離子鍍裝置3，形成如圖3(A)所示的被覆層。具體地講，使用碳材料作為耙54,在其與陽(yáng)極56之間進(jìn)行電弧放電，對(duì)作為金屬基板50的鈦板施加50V偏壓，在鈦板上形成具有非晶碳層和作為導(dǎo)電部的石墨部的被覆層。將該例子作為實(shí)施例1。另外，實(shí)施例2~8是代替實(shí)施例1的偏壓施加偏壓150V、施加偏壓200V、施加偏壓250V、施加偏壓500V、施加偏壓750V、施加偏壓IOOOV、未施加偏壓的例子。比較例1~3采用濺射法，使用碳材料作為靶，在鈦板上形成了非晶碳層的例子作為比較例1。另外，采用過(guò)濾電弧離子鍍法，使用碳材料作為靶，在其與陽(yáng)極之間進(jìn)行電弧放電，形成了非晶碳層的例子作為比較例2。另外，在鈦板上進(jìn)行了鍍Au的例子作為比較例3。<接觸電阻的測(cè)定>分別準(zhǔn)備2塊裁切成設(shè)定尺寸(2cmx2cm)的各實(shí)施例，將各實(shí)施例之中形成有被覆層的面和面重疊，使用銅板夾持它們的兩外側(cè)，施加lMPa栽荷，采用一般所使用的交流四端子法(電流1A)，測(cè)定上述各實(shí)施例彼此的接觸電阻(同種材料接觸電阻)。另外，準(zhǔn)備裁切成設(shè)定尺寸(2cmx2cm)的各實(shí)施例和碳紙(擴(kuò)散層)，將各實(shí)施例之中的形成有被覆層的面與擴(kuò)散層(碳紙)重疊，使用銅板夾持它們的兩外側(cè)，施加lMPa的載荷，采用一般所使用的交流四端子法(電流1A),測(cè)定上述各實(shí)施例與擴(kuò)散層的接觸電阻(擴(kuò)散層接觸電阻)。另外，上述各比較例也采用同樣的方法測(cè)定。<腐蝕電流值的測(cè)定>使對(duì)電極(Pt板(4cmx4cm))、參照電極(Pt板(4cmx4cm))和作用電極(各實(shí)施例(4cmx4cm))浸漬在作為電解液的80。C的硫酸水溶液(pH4)300ml中，使用標(biāo)準(zhǔn)伏安測(cè)量計(jì)(北斗電工林式會(huì)社制，SV-100),保持電位設(shè)為1000mV(vs,SHE)，測(cè)定時(shí)間設(shè)為50小時(shí)，測(cè)定上述各實(shí)施例的腐蝕電流值。另外，上述各比較例也采用同樣的方法測(cè)定。圖8是表示實(shí)施例1~8的接觸電阻(同種材料接觸電阻+擴(kuò)散層接觸電阻)和腐蝕電流值的結(jié)果的圖。在此，為了容易說(shuō)明，圖8的橫坐標(biāo)用在形成實(shí)施例1~8的被覆層時(shí)對(duì)鈦板施加的偏壓表示。如圖8所示，實(shí)施例1~8的同種材料接觸電阻+擴(kuò)散層接觸電阻的值，顯示出比作為燃料電池用隔板實(shí)用的水平(例如，lOmQ.cm2以下M氐的值(尤其是偏壓為150V~1000V的范圍(實(shí)施例2~7)。另外，如圖8所示，實(shí)施例18的腐蝕電流值為2.5nA/ci^以下，顯示出比作為燃料電池用隔板實(shí)用的水平(例如，3fim/cm2以下)低的值。尤其是當(dāng)偏壓為150V~200V(實(shí)施例2、3)或?yàn)?50V~1000V(實(shí)施例6、7)的范圍時(shí)，腐蝕電流值為l.SjiA/cm2以下，并且接觸電阻為10mQ.cn^以下。另外，從燃料電池用隔板制造時(shí)的消耗電力的觀點(diǎn)考慮，相比于施加750V1000V(實(shí)施例6、7)的范圍的偏壓，優(yōu)選施加偏壓為150V~200V(實(shí)施例2、3)的范圍的偏壓。因此，從低接觸電阻、低腐蝕電流值和低消耗電力等方面考慮，最優(yōu)選在偏壓150V-200V的范圍施加的實(shí)施例2、3。<石墨部的個(gè)數(shù)測(cè)定>利用掃描電鏡對(duì)實(shí)施例2、8拍攝照片，圖9(A)是實(shí)施例2的掃描電鏡照片，圖9(B)是實(shí)施例8的掃描電鏡照片。另外，實(shí)施例3也利用掃描電鏡拍攝了照片(沒(méi)有圖示)。由上迷得到的照片中的非晶碳層的面積(50fimx50nm)通過(guò)目碎見(jiàn)求出粒徑不到1^加、粒徑為ljim以上且不到3nm、粒徑為3jim以上的石墨部的個(gè)數(shù)，將換算成每lpm2的個(gè)數(shù)的結(jié)果歸納于表l。<table>tableseeoriginaldocumentpage18</column></row><table>由上述表可知，隨著偏壓從OV(實(shí)施例IO)增高為150V(實(shí)施例2)、250V(實(shí)施例3),石墨部的個(gè)數(shù)增加。并且，如上述中說(shuō)明的那樣，當(dāng)偏壓為150V~1000V的范圍(實(shí)施例2~7)時(shí)，相比于未施加偏壓(實(shí)施例10)、偏壓50V(實(shí)施例1)，同種材料接觸電阻為低的值(10mft'cm2以下)(參照?qǐng)D8))。因此，在降低燃料電池用隔板的接觸電阻方面，粒徑不到lnm的石墨部的個(gè)數(shù)優(yōu)選為12.6個(gè)/nm2,另外，粒徑為lpm以上且不到3nm的石墨部的個(gè)數(shù)優(yōu)選為1.8個(gè)/jim2,此外，粒徑為3fim以上的石墨部的個(gè)數(shù)優(yōu)選為0.1個(gè)/pm2。圖10是表示實(shí)施例2和比較例1~3的電池環(huán)境模擬試驗(yàn)前后的同種材料接觸電阻的圖。如圖10所示，比較例l、2只有非晶碳層(沒(méi)有形成石墨部)，因此比較例1、2的電池環(huán)境模擬試驗(yàn)后的同種材料接觸電阻分別比電池環(huán)境模擬試驗(yàn)前的同種材料接觸電阻增加了1.0mQ.cn^以上。另一方面，由于實(shí)施例2具有石墨部，因此實(shí)施例2的電池環(huán)境模擬試驗(yàn)后的同種材料接觸電阻值只比電池環(huán)境模擬試驗(yàn)前的同種材料接觸電阻增加了0.2mn.cm2。這是與鍍覆了非常難以腐蝕的Au的比較例3同等的值(比較例3在試'驗(yàn)前后有O.lmil'cm2的變化)。圖11是表示實(shí)施例2和比較例1、3的電池環(huán)境模擬試驗(yàn)前后的擴(kuò)散層接觸電阻的圖。如圖11所示，比較例1的電池環(huán)境模擬試驗(yàn)后的擴(kuò)散層接觸電阻值比電池環(huán)境模擬試驗(yàn)前的擴(kuò)散層接觸電阻增加了5.0mft.cm2。另一方面，實(shí)施例2的電池環(huán)境模擬試驗(yàn)后的擴(kuò)散層接觸電阻只比電池環(huán)境模擬試驗(yàn)前的擴(kuò)散層接觸電阻增加了0.5mft.cm2。這是與鍍覆了非常難以腐蝕的Au的比較例3同等的值(比較例3在試驗(yàn)前后有O.linil.cm2的變化)。這樣，在被覆層中具有石墨部的上述實(shí)施例，即使是在燃料電池的發(fā)電環(huán)境下也能夠抑制燃料電池的接觸電阻的增加。實(shí)施例9使用如圖7所示的無(wú)過(guò)濾電弧離子鍍裝置3，如以下那樣形成了被覆層，使用碳材料作為靶54，在其與陽(yáng)極56之間進(jìn)行電弧放電，對(duì)作為金屬基板50的鈥的多孔體施加150V偏壓，在鈦的多孔體上形成了具有非晶碳層和石墨部的被覆層。將該例子作為實(shí)施例9。19比較例4、5另外，采用過(guò)濾電弧離子鍍法，使用碳作為靶，在其與陽(yáng)極之間進(jìn)行電弧放電，在鈦的多孔體上形成了非晶碳層的例子作為比較例4。對(duì)鈦的多孔體進(jìn)行了鍍Au的例子作為比較例5。圖12是表示實(shí)施例9和比較例4、5的電池環(huán)境模擬試驗(yàn)前后的同種材料接觸電阻的圖。如圖12所示，比較例4的電池環(huán)境模擬試驗(yàn)后的同種材料接觸電阻比電池環(huán)境模擬試驗(yàn)前的同種材料接觸電阻增加了6.0mft.cm2。另一方面，實(shí)施例9的電池環(huán)境^f莫擬試驗(yàn)后的同種材料接觸電阻值只比電池環(huán)境模擬試驗(yàn)前的同種材料接觸電阻增加了0.2mll.cm2。這是與鍍覆了Au的比較例5同等的值(比較例5在試驗(yàn)前后有O.lmft.cm2的變化)。圖13是表示實(shí)施例9和比較例4、5的電池環(huán)境才莫擬試驗(yàn)前后的擴(kuò)散層接觸電阻的圖。如圖13所示，比較例4的電池環(huán)境模擬試驗(yàn)后的同種材料接觸電阻比電池環(huán)境模擬試驗(yàn)前的同種材料接觸電阻增加了14.5mft.cm2。另一方面，實(shí)施例9的電池環(huán)境模擬試驗(yàn)后的同種材料接觸電阻只比電池環(huán)境模擬試驗(yàn)前的同種材料接觸電阻增加了0.2mft.cm2。這是與比較例5同等的值(比較例5在試驗(yàn)前后有O.lmft.cm2的變化)。這樣，不僅在金屬基板上，在多孔體上形成了具有石墨部的被覆層的上述實(shí)施例，在燃料電池的發(fā)電環(huán)境下也能夠抑制燃料電池隔板的接觸電阻的增加。實(shí)施例10~13采用濺射法，4吏用鈥作為乾，在鈦基板上形成了鈥層(膜厚2.5nm)。接著，使用如圖7所示的無(wú)過(guò)濾電孤離子鍍裝置3，如以下那樣形成了被覆層。使用碳材料作為靶54,在其與陽(yáng)極56之間進(jìn)行電弧放電，對(duì)作為金屬基板50的鈥板施加250V偏壓，在鈦層上形成了具有非晶碳層和石墨部的被覆層。將該例子作為實(shí)施例IO。另外，實(shí)施例11~13,除了使鈥層的膜厚分別為7.5nm、25nm、50nm以外，與實(shí)施例10同樣。<被覆層的剝離試驗(yàn)>分別準(zhǔn)備1000個(gè)實(shí)施例10~13，將玻璃紙帶貼在其上后，剝離玻璃紙帶，通過(guò)目視來(lái)觀察被覆層的狀態(tài)。實(shí)施例IO、ll觀察到被覆層的剝離，但實(shí)施例12、13未發(fā)現(xiàn)被覆層的剝離。因此，在能夠形成密著性高的被覆層方面，優(yōu)選鈦層的膜厚為25nm以上的實(shí)施例12、13。如以上所述，通過(guò)在金屬基板上形成的被覆層是非晶碳層和石墨部，能夠得到即使在燃料電池的發(fā)電環(huán)境下也能夠抑制金屬基板的腐蝕，并且另外，通過(guò)使用鈦?zhàn)鳛闃?gòu)成金屬基板的材料，并在金屬基板與被覆層之間配置鈦層，能夠得到提高了被覆層的密著性的燃料電池用隔板。尤其是，使鈦層的膜厚為25nm以上是有效的。另外，通過(guò)采用無(wú)過(guò)濾電弧離子鍍法，采用簡(jiǎn)易的制造工序就能夠形成非晶層和石墨部。產(chǎn)業(yè)上的利用可能性本發(fā)明的燃料電池，只要是^f吏用燃料電池的用途，則對(duì)任何的用途都有效，例如，能夠應(yīng)用于便攜式電話、攜帶用個(gè)人電腦等的便攜式設(shè)備用小型電源、汽車(chē)用電源、定置用電源等。本發(fā)明中表示數(shù)值范圍的"以上"和"以下"均包括本數(shù)。權(quán)利要求1、一種燃料電池用隔板，是在金屬基板上具有被覆層的燃料電池用隔板，其特征在于，所述被覆層具有非晶碳層和導(dǎo)電部。2、根據(jù)權(quán)利要求l所述的燃料電池用隔板，其特征在于，所述導(dǎo)電部是由石墨粒子構(gòu)成的石墨部3、根據(jù)權(quán)利要求2所述的燃料電池用隔板，其特征在于，所述石墨部以所述石墨部的至少一部分從所述非晶碳層表面露出的狀態(tài)配置。4、根據(jù)權(quán)利要求3所述的燃料電池用隔板，其特征在于，所述石墨部以島狀分散配置。5、根據(jù)權(quán)利要求4所述的燃料電池用隔板，其特征在于，所述石墨部之中的粒徑不到lnm的石墨部，在每1^11112的所述非晶碳層中存在12.6個(gè)以上。6、根據(jù)權(quán)利要求4所述的燃料電池用隔板，其特征在于，所述石墨部之中的粒徑為lnm以上且不到3pm的石墨部，在每1^1加2的所述非晶碳層中存在1.8個(gè)以上。7、根據(jù)權(quán)利要求4所述的燃料電池用隔板，其特征在于，所述石墨部之中的粒徑為3jim以上的石墨部，在每ljim"的所述非晶碳層中存在0.1個(gè)以上。8、根據(jù)權(quán)利要求2所述的燃料電池用隔板，其特征在于，所述非晶碳層的膜厚為30nm10nm的范圍。9、根據(jù)權(quán)利要求2所述的燃料電池用隔板，其特征在于，所述被覆層的腐蝕電流值為1.5jiA/cm2以下。10、根據(jù)權(quán)利要求2所述的燃料電池用隔板，其特征在于，所述金屬基板的材質(zhì)是鈦，在所述金屬基板與所述被覆層之間配置以鈦純度比所述金屬基板的鈦純度高的鈦為材質(zhì)的鈦層。11、根據(jù)權(quán)利要求10所述的燃料電池用隔板，其特征在于，所迷鈥層的膜厚為25nm~lOpm的范圍。12、一種燃料電池，是具備在金屬基板上具有被覆層的燃料電池用隔板的燃料電池，其特征在于，所述被覆層具有非晶碳層和導(dǎo)電部。13、一種燃料電池用隔板的制造方法，其特征在于，具有采用物理蒸鍍法或化學(xué)蒸鍍法在金屬基板上形成非晶碳層的非晶碳層形成工序；和層中形成導(dǎo)電部的導(dǎo)電部形成工序。14、根據(jù)權(quán)利要求13所述的燃料電池用隔板的制造方法，其特征在于，所述非晶碳層形成工序和所述導(dǎo)電部形成工序的物理蒸鍍法是無(wú)過(guò)濾電弧離子鍍法，在采用所迷無(wú)過(guò)濾電弧離子鍍法形成所述非晶碳層的同時(shí)，形成作為所述導(dǎo)電部的石墨部。15、根據(jù)權(quán)利要求14所述的燃料電池用隔板的制造方法，其特征在于，在形成所述非晶碳層和所述石墨部時(shí)，對(duì)所述金屬基板施加的偏壓為150V1000V的范圍。16、根據(jù)權(quán)利要求15所述的燃料電池用隔板的制造方法，其特征在于，在形成所述非晶碳層和所述石墨部時(shí)，對(duì)所述金屬J4l施加的偏壓為150V~250V的范圍。17、一種燃料電池用隔板，其是采用權(quán)利要求13所述的燃料電池用隔板的制造方法得到的。全文摘要一種燃料電池用隔板，其在金屬基板(22)上具有被覆層(24)，被覆層24具有非晶碳層(26)和導(dǎo)電部(28)。另外，優(yōu)選導(dǎo)電部(28)由石墨粒子構(gòu)成，并在其至少一部分從非晶碳層(26)表面露出的狀態(tài)下以島狀分散配置。文檔編號(hào)H01M8/02GK101617428SQ200880005638公開(kāi)日2009年12月30日申請(qǐng)日期2008年2月12日優(yōu)先權(quán)日2007年2月22日發(fā)明者佐藤貴康,大林英范申請(qǐng)人:豐田自動(dòng)車(chē)株式會(huì)社