專利名稱：壓電執(zhí)行器以及制造壓電執(zhí)行器的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種全活性(vollaktwe)壓電執(zhí)行器和一種制造全活性壓電執(zhí) 行器的方法。
背景技術(shù)：
壓電元件主要用于定位元件、超聲換能器、傳感器以及在噴墨打印機(jī)中使 用。壓電元件的功能基于壓電陶瓷材料—列如鉛-鋯酸鹽-鈦酸鹽1電場作用 產(chǎn)生的變形。如果將電壓施加在該壓電元件上，該壓電元件就會(huì)在垂直于所產(chǎn) 生的電場的方向上伸展(逆壓電效應(yīng))。
DE198 02 302A1公開了一禾中多層執(zhí)行器結(jié)構(gòu)。這種多層執(zhí)行器由若干壓 電陶瓷層以及用來產(chǎn)生電場的內(nèi)電極組成。由于許多壓電陶瓷層和內(nèi)電極相互 疊置在一起，因此也將這種執(zhí)行器稱^"堆"。
內(nèi)電極接觸兩個(gè)敷設(shè)在壓電堆夕卜側(cè)上的外電極，所述內(nèi)電極僅僅交替地接 觸兩個(gè)外電極的其中一個(gè)外電極。為了能夠做至噠一點(diǎn)，內(nèi)電極在其不應(yīng)接觸
相關(guān)外電極的區(qū)域內(nèi)并不延伸到壓電堆的外側(cè)。這些區(qū)域被稱作非活性區(qū)，因 為當(dāng)電壓施加在外電極上時(shí)，內(nèi)電極的電場并不完全貫穿非活性區(qū)中的壓電層， 因lt隨些壓電層也不會(huì)伸展，或者與壓電堆的其余區(qū)嫩目比伸展很少。這會(huì)在 壓電堆之內(nèi)導(dǎo)致?lián)p害壓電堆的機(jī)械應(yīng)力。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的任務(wù)在于，提供一種由壓電堆構(gòu)成的壓電執(zhí)行器以及制造由壓電 堆構(gòu)成的壓電執(zhí)行器的方法，在該壓電執(zhí)行器中可明顯減小壓電執(zhí)行器工作過 程中的機(jī)械應(yīng)力。
本發(fā)明的任務(wù)通過一種制造全活性壓電執(zhí)行器的方法解決，該方法具有下 述方法步驟
-提供全活性壓電堆，該壓電堆具有交替疊置的壓電層和一直貫通至壓電堆 外側(cè)的內(nèi)電極，所述內(nèi)電極分別具有難以或無法附著涂層的第一區(qū)域以及易于 附著涂層的第二區(qū)域，設(shè)置內(nèi)電極，使得內(nèi)電極以其第一區(qū)域交替接觸壓電執(zhí)行器的第一外電極和第二外電極，
-至少在對應(yīng)于壓電執(zhí)行器的外電極的區(qū)域內(nèi)用涂層完全涂覆全活性陶瓷壓電堆的外側(cè)，
-在緊鄰內(nèi)電極的第一區(qū)域的區(qū)域中去除涂層，并且
-將兩個(gè)外電極敷設(shè)到該涂層上，使得外電極接觸內(nèi)電極的第一區(qū)域，否則將該涂層布置在內(nèi)電極和外電極之間。
通過下述壓電執(zhí)行器也可解決本發(fā)明的任務(wù)，這種壓電執(zhí)行器具有第一和第二外電極、全活性壓電堆，所述壓電堆具有交替疊置的壓電層和一直貫通至壓電堆夕卜偵啲內(nèi)電極，這些內(nèi)電極分別具有難以或無法附著涂層的第一區(qū)域以及易于附著涂層的第二區(qū)域，且內(nèi)電極以其第一區(qū)域交替接觸第一外電極和第二外電極；并且具有布置在壓電堆外側(cè)的涂層，在該涂層上敷設(shè)有外電極，并且在外電極接觸內(nèi)電極的區(qū)域中去除該涂層，使得外電極接觸內(nèi)電極的第一區(qū)域，否則就將該涂層布置在內(nèi)電極和外電極之間。
用于本發(fā)明所述方法以及本發(fā)明所述壓電執(zhí)行器的是一種全活性壓電堆。全活性壓電堆的內(nèi)電極是貫穿的，也就是說內(nèi)電極延伸到壓電堆的，橫截面之外。M這種實(shí)施型式使得旨內(nèi)電極延伸至壓電堆的夕卜側(cè)，因llffi種壓電堆沒有非活性區(qū)。這樣就可在工作過程中減小壓電堆之內(nèi)的機(jī)械應(yīng)力。
例如通過交替疊置至少兩個(gè)子堆的方式制造所提供的壓電堆，且每一個(gè)子堆均具有壓電層和布置在壓電層上的內(nèi)電極。在此，尤其是例如通過用絲網(wǎng)印刷法將金屬漿料印刷所謂的綠色陶瓷膜，來制3t^f提供的壓電堆。所臉屬槳料具有例如AgPd或Cu顆粒、翻訴B其它添加劑。然后典型地將具有該漿料的大約300 600張綠色陶瓷膜相互疊置在一起，再經(jīng)過壓制加工成所謂的綠塊。從尺寸例如約為36mm x 105mm x 105mm的綠塊中可以分割成大約100個(gè)尺寸約為36mmx9mmx9mm的全活性壓電堆。經(jīng)過去除結(jié)合(Entbindem)和燒結(jié)之后，這些綠色陶瓷膜就會(huì)形成壓電層，漿料則形成內(nèi)電豐及。
在使用全活性壓電堆時(shí)的難點(diǎn)在于要使得內(nèi)電極與外電極可靠地交替接觸，因?yàn)樗袃?nèi)電極均延伸至壓電堆的外側(cè)，且每隔一個(gè)內(nèi)電極去除涂層的工藝很復(fù)雜，且成本非常高。
按照本發(fā)明所述，至少在對應(yīng)于外電極的區(qū)域內(nèi)完全涂覆外側(cè)。該涂層尤其可以比較薄，例如在0.1 5^im范圍內(nèi)。為了使內(nèi)電極可靠地交替接觸兩個(gè)外電極，涂層按照本發(fā)明在特定區(qū)域內(nèi)并不附著或者至少附著性較差。這些區(qū)域就是隨后應(yīng)被接觸的內(nèi)電極的第一區(qū)域。
相反在內(nèi)電極的第二區(qū)域中則涂層附著性很好。這樣就能比較容易去除內(nèi)
電極第一區(qū)域的涂層，或者該涂層自行錄u落。此外還可以吹刷、氧化或者沖洗剝落的涂層的殘留物。
通過優(yōu)選的讓相關(guān)區(qū)域內(nèi)的涂層自行剝落，使得在該相關(guān)區(qū)域內(nèi)導(dǎo)電的內(nèi)電極從涂層附著性較差或者無附著性的材料中暴露出來，然后可以與外電極接觸。
例如ilil涂覆一種金屬漿料，例如采用絲網(wǎng)印刷法敷設(shè)外電極。
也可考慮釆用其它方法。從而也可以將外電極敷設(shè)到涂層上，方法^3131氣相沉積過程獲得導(dǎo)電的外金屬膜，其中與大量制造微電子器件的方式一樣，將覆蓋的掩膜用于壓電堆的不應(yīng)設(shè)置外金屬膜的區(qū)域。
本發(fā)明所述方法的這種變型方案的特征在于能夠以低廉成本可靠制造本發(fā)明所述的壓電執(zhí)行器。
如果按照本發(fā)明所述方法或者本發(fā)明所述的壓電執(zhí)行器的一種實(shí)施型式，將兩個(gè)外電極布置在壓電堆的兩個(gè)相對的外側(cè)上，就能以簡單方式制造本發(fā)明所述的壓電執(zhí)行器，方法是將交替疊置的內(nèi)電極的第一區(qū)域和第二區(qū)域分別相對旋轉(zhuǎn)匿。
涂層例如具有無定形結(jié)構(gòu)，并且尤其是DLC層。所謂的DLC層("Diamond-like carixm"，類金剛石碳)是基于碳的層，例如可利用PVD或CVD法將該層沉積到壓電堆的外側(cè)。DLC層存在具有在納米范圍內(nèi)的有序狀態(tài)的無定形結(jié)構(gòu)，也稱作a-C ("amorphous carbon"，無定，)層。DLC層除了含有碳以外，還可以含有氫，由此也稱作a-C:H ("amorphous carbon hydrogen",無定形碳?xì)?層。
DLC層是層厚小于10 nm、通常大約在0.1 jam禾n 5 Mm之間的薄層。為了形成該無定形結(jié)構(gòu)，例如將實(shí)施為DLC層的涂層置于較高的冷卻速率之下，并且用高能粒子進(jìn)行轟擊。fflil粒子ffl 產(chǎn)生內(nèi)部壓應(yīng)力，并且以這種方^生DLC層因此而得名的由sp3雜化碳-碳鍵組成的幾剛石鍵成分。此外，sp3雜化碳-碳鍵還可能以各種不同的形式出現(xiàn)，例如一種無定形sp3雜化碳-碳矩陣中不同大小的環(huán)狀或鏈狀結(jié)構(gòu)。如果DLC層還含有氫，則該涂層也具有
Sp2/Sp3雜化碳-氫成分，這些成分在大于一定的氫含量之后就會(huì)形成密度較小的
較軟的DLC層。
DLC層的一個(gè)優(yōu)點(diǎn)在于由于含有類金剛石sp3雜化碳-M， DLC層具有比較高的耐磨性。
短程有序范圍內(nèi)含有較少或者甚至沒有sp2雜化碳-碳-碳團(tuán)族的無定形層具有較高的絕緣電阻。這類DLC層屬于陶瓷或玻璃材料。由于該涂層一方面應(yīng)將內(nèi)電極與外電極電隔離，因此必須適當(dāng)選擇DLC層的結(jié)構(gòu)。尤其可以M拉曼光譜分析法(適用于大量生產(chǎn)的非破壞性檢查方法)檢查DLC層。
基于碳的層肖,良好附著在碳化物形成劑(KarbKlbildner)上，因?yàn)檫@種層與碳之間有很高的親合性。因此按照本發(fā)明所述方法或者本發(fā)明所述壓電執(zhí)行器的一種變形方式，內(nèi)電極在其第二區(qū)域中具有一種實(shí)施為碳化物形成齊啲材料。適合作為碳化物形成齊啲元素例如有鈦和硅，這些元素通常也用作在難以涂層的襯底上的附著劑。
一隨化物形成劑的材料較難或者甚至無法進(jìn)行涂層。例如使用PE-CVD直流放電法無法牢固地對銅襯底涂層。因此內(nèi)電極可以在其第一區(qū)域內(nèi)是基于銅的內(nèi)電極。
按照本發(fā)明所述方法的一種實(shí)施型式，通過為壓電層涂覆至少兩種不同電極漿料來制造內(nèi)電極，第一種電極漿料對應(yīng)于第一區(qū)域，并且提供^或者沒有涂層附著性，第二種電極漿料則對應(yīng)于第二區(qū)域，且提供良好的涂層附著性。
本發(fā)明所述的方法能夠以成本低廉的方式，用全活性壓電堆來制造壓電執(zhí)行器。由于將全活性壓電堆用于本發(fā)明所述的壓電執(zhí)行器，與具有常規(guī)的、存在非活性區(qū)的壓電堆的常規(guī)壓電執(zhí)行器相比，本發(fā)明所述壓電執(zhí)行器在工作過程中所產(chǎn)生的機(jī)械應(yīng)力較小。由此給出本發(fā)明所述壓電執(zhí)行器^ffl壽命明顯更長的，^{牛。


在附圖中示例性示出本發(fā)明的一種實(shí)施例。相關(guān)附圖如下圖1 全活性壓電堆的透視側(cè)視圖，圖2 制造壓電堆及對其進(jìn)行進(jìn)一步加工的流程圖，圖3 壓電堆內(nèi)電極的俯視圖，圖4 壓電堆的側(cè)剖面，圖5、 6制造壓電堆時(shí)的中間步驟，圖7 具有涂層的壓電堆的部分側(cè)剖面，圖8 具有涂層的壓電堆經(jīng)過處理后的部分側(cè)剖面，圖9 具有附加外電極的全活性壓電堆，以及圖10 具有外電極的壓電堆的部州則剖面。
具體實(shí)施例方式
圖1示出在所示實(shí)施例中實(shí)施為立方體形狀的全活性壓電堆1，應(yīng)當(dāng)將該壓電堆1進(jìn)一步加工成圖9所示的壓電執(zhí)行器90;圖2示出制造壓電堆1以^t其進(jìn)一步加工的流程圖。
壓電堆1具有多個(gè)壓電層2，在這些壓電層之間分別布置有內(nèi)電極3、 4。內(nèi)電極3、 4實(shí)施為貫通型式，并且一直延伸到壓電堆1的外側(cè)。圖3所示為內(nèi)電極3的俯視圖，圖4所示為壓電堆1的側(cè)剖面。內(nèi)電極4的構(gòu)造與內(nèi)電極3基本上一樣，但在本實(shí)施例中相對于內(nèi)電極3旋轉(zhuǎn)了 180°。
在本實(shí)施例中，每一個(gè)內(nèi)電極3、 4分別具有第一和第二區(qū)域31、 32，所述第一區(qū)域31由一種被所描述的涂層較差附著或者根本不能附著的材料構(gòu)成，第二區(qū)域32則具有一種被該涂層附著較好的材料。
在本實(shí)施例中，全活性壓電堆1的制造方法如下
首先在圖5所示的例如橫截面積為105mm x 105mm的所謂綠色陶瓷膜50上例如采用絲網(wǎng)印刷法呈條形地先后涂麟一種和第二種漿料51、 52 ，并且中間插入一道干燥步驟，這些即圖2所示流程圖的步驟A，從而產(chǎn)生子綠土央53。
在本實(shí)施例中，第一種漿料51具有銅顆粒，第二種漿料52除了具有導(dǎo)電顆粒"^f列如銅顆粒^之外，還具有碳化物形成劑，例如微觀精細(xì)分布粒子或者亞f[H精細(xì)分布前體(Vorstufen)形式的鈦或者硅。此外，漿料51、 52被敷設(shè)在綠色陶瓷膜50上，使得用第一種漿料51封閉其中的一面，用第二種漿料52封閉與該面相對的一面。由漿料51、 52在壓電堆1的制造過程中形成內(nèi)電極3、 4，其中第一種漿料51對應(yīng)于內(nèi)電極3、 4的第一區(qū)域31，第二種漿料52對應(yīng)于內(nèi)電極3、 4的第二區(qū)域32。
然后將多1^^列如300 600 ^^女設(shè)有漿料51、 52的陶瓷膜50 (子綠塊53)相互疊置在一起并進(jìn)行壓制，由此形成圖6中僅部分表示的綠塊60，即流程圖的步驟B。圖6中部分表示的綠塊60具有兩個(gè)上下疊置的子綠土央53,在本實(shí)施例中各個(gè)子綠塊53相對于下一個(gè)子綠塊53分別交替旋轉(zhuǎn)了180。。
接著從綠塊60中分割出多個(gè)全活性綠堆，通過去除結(jié)合和燒結(jié)由這些綠堆形成全活性壓電堆1，也就是綠膜50形成壓電層2，鄉(xiāng)突料51、 52形成內(nèi)電極3、 4，即流程圖的步驟C。
因此，這樣形成的壓電堆1在兩個(gè)相對的夕卜側(cè)5、 6上分別具有交替的內(nèi)電極3、 4，其中內(nèi)電極31、 32的附著性,或沒有附著性的第一區(qū)域31以及附著性良好的第二區(qū)域32交替地鄰接外側(cè)。
接著至少在外側(cè)5、 6的區(qū)域中將圖7所示的完整涂層70涂覆在壓電堆1上，在下一道下面還將描述的制造步驟中將外電極涂覆在該涂層70上，即流程圖的步驟D。
在本實(shí)施例中，涂層70是無定形層或者納米晶體層或結(jié)晶層，或尤其是基于碳的薄層，例如M51 PB"CVD直流等離子體分解法用前體C2H2或者CH4產(chǎn)生并且厚度尤其為0.1 5 Mm的DLC層。
3!31用具有碳化物形成劑的漿料52形成內(nèi)電極3、 4的第二區(qū)域32，使徵余層70良好附著在外側(cè)5、 6的對應(yīng)于內(nèi)電極3、 4的第二區(qū)域32的區(qū)域之中。而在外側(cè)5、 6的對應(yīng)于內(nèi)電極3、 4的第一區(qū)域31的區(qū)域中，涂層70的附著性較差或者根本沒有附著性，從而使得這些區(qū)域中的涂層70剝落，即流程圖的步驟E?？梢源邓ⅰ_洗或氧化剝落的涂層70的殘留物，或者吹刷或沖洗方法可以有助于更好的剝落。由此就會(huì)形成圖8中以部分側(cè)視圖所示的具有經(jīng)過處理的涂層80的壓電堆1， 一方面電極3、 4在兩個(gè)夕卜側(cè)5、 6中每一個(gè)外側(cè)的涂層80區(qū)域中交替暴露出內(nèi)電極3， 4或者內(nèi)電極被涂層80交WS蓋，另一方面對特定的一個(gè)內(nèi)電極3、 4來說，該內(nèi)電極在外側(cè)5、 6之一的涂層80區(qū)域中暴露出來，并且在相對的外側(cè)5、 6上被涂層80所覆蓋。
接著例如采用絲網(wǎng)印刷法給涂層80很好地涂覆一種導(dǎo)電漿料，該導(dǎo)電漿料是外電極10、 11 ，即流程圖的步驟F。由于存在涂層80，外電極10、 11僅僅接觸每第二個(gè)內(nèi)電極3、 4，而且是在因?yàn)楦街圆疃コ送繉?0的第一區(qū)域31中進(jìn)行接觸。由此形成圖9和圖10所示的壓電執(zhí)行器90，該壓電執(zhí)行器90具有壓電 堆1以及涂覆在壓電堆外側(cè)5、 6上的涂層80，其中所述涂層80 應(yīng)于內(nèi) 電極3、 4的第一區(qū)域31的區(qū)域中沒有附著性，使得敷設(shè)在涂層80上的外電 極10、 11交替地接角蟲內(nèi)電極3、 4。
權(quán)利要求
1.一種用于制造壓電執(zhí)行器的方法，包括下列方法步驟-提供全活性壓電堆(1)，該全活性壓電堆具有交替疊置的壓電層(2)和一直貫通到壓電堆(1)的外側(cè)(5，6)的內(nèi)電極(3，4)，所述內(nèi)電極分別具有難以或者無法附著涂層(70)的第一區(qū)域(31)和易于附著涂層(80)的第二區(qū)域(32)，設(shè)置所述內(nèi)電極(3，4)，使得壓電執(zhí)行器(9)的第一外電極(10)和第二外電極(11)交替接觸內(nèi)電極(3，4)的第一區(qū)域(31)，-至少在對應(yīng)于壓電執(zhí)行器(9)的外電極(10，11)的區(qū)域中用所述涂層(70)完全涂覆全活性壓電堆(1)的外側(cè)(5，6)，-在緊鄰內(nèi)電極(3，4)的第一區(qū)域(31)的區(qū)域中去除該涂層(70)，并且-將兩個(gè)外電極(10，11)敷設(shè)到涂層(80)上，使得外電極(10，11)接觸內(nèi)電極(3，4)的第一區(qū)域(31)，否則將涂層(80)布置在內(nèi)電極(3，4)和外電極(10，11)之間。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，ilil交Wfi置至少兩個(gè)子堆的方式來制造所提供的壓電堆(1)，每一個(gè)子堆均具有壓電層(2)和布置在壓電層上的內(nèi)電極(3， 4)。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的方法，其特征在于，吹刷、氧化和/或沖洗從壓電堆(1)去除的涂層(70)的涂層殘留物。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1 3中任一項(xiàng)所述的方法，其特征在于，交替疊置的內(nèi)電極(3， 4)的第一和第二區(qū)域(31， 32)分別相對旋轉(zhuǎn)180。。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1 4中任一項(xiàng)所述的方法，其特征在于，內(nèi)電極(3，4)在其第二區(qū)域(32)中具有實(shí)施為碳化物形成齊啲材料。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1 5中任一項(xiàng)所述的方法，其特征在于，通過使用至少兩種不同的電極漿料(51， 52)涂覆壓電層(2)來制造內(nèi)電極(3， 4)，第一種電極漿料(51)對應(yīng)于第一區(qū)域(31)并且提供對凃?qū)?70)的較差附著性或者不能附著于涂層(70)，第二種電極漿料(52)則對應(yīng)于第二區(qū)域(32)并且提供對凃?qū)?70， 80)的良好附著性。
7. 根據(jù)禾又利要求1 6中任一項(xiàng)所述的方法，其特征在于，內(nèi)電極(3，4)具有銅。
8. 根據(jù)權(quán)利要求1 7中任一項(xiàng)所述的方法，其特征在于，涂層(70，80)具有無定形結(jié)構(gòu)，并且尤其是DLC層或者基于碳的層。
9. 根據(jù)權(quán)利要求1 8中任一項(xiàng)所述的方法，其特征在于，夕卜電極(10，11)布置在壓電堆(1)的兩個(gè)相對的夕卜側(cè)(5， 6)上。
10. —種壓電執(zhí)行器，具有-第一和第二外電極(10， 11)，-全活性壓電堆(1)，具有交替疊置的壓電層(2)和一直貫通到壓電堆(1)的外側(cè)(5， 6)的內(nèi)電極(3， 4)，所述內(nèi)電極分別具有難以或者無法附著涂層(70)的第一區(qū)域(31)和易于附著涂層(80)的第二區(qū)域(32)，所述內(nèi)電極(3， 4)以其第一區(qū)域(31)交替接觸第一和第二外電極(10， 11)。陽布置在壓電堆(1)的外側(cè)(5， 6)上的涂層(80)，在該涂層(80)上敷設(shè)外電極(10， 11)，并且在外電極(10， 11)接觸內(nèi)電極(3， 4)的區(qū)域中去除該涂層(80)，使得外電極(10， 11)接觸內(nèi)電極(3， 4)的第一區(qū)域(31) ，否則將涂層(80)布置在內(nèi)電極(3， 4)和外電極(10， 11)之間。
11. 根據(jù)權(quán)利要求10所述的壓電執(zhí)行器，其特征在于，交替疊置的內(nèi)電極(3， 4)的第一和第二區(qū)域(31， 32)分別相對旋轉(zhuǎn)180°。
12. 根據(jù)權(quán)利要求10或11所述的壓電執(zhí)行器，其特征在于，內(nèi)電極(3，4)在其第二區(qū)域(32)中具有實(shí)施為碳化物形成齊啲材料。
13. 根據(jù)權(quán)利要求10 12中任一項(xiàng)所述的壓電執(zhí)行器，其特征在于，內(nèi)電極(3， 4)實(shí)施為涂覆在壓電層(2)上的至少兩種不同的電極槳料(51， 52)，第一種電極漿料(51)對應(yīng)于第一區(qū)域(31)并且提供對凃?qū)?70)的較差附著性或者不能附著于該涂層(70)，第二種電極漿料(52)則對應(yīng)于第二區(qū)域(32) 并且提供Xt凃?qū)?70， 80)的良好附著性。
14. 根據(jù)權(quán)利要求10 13中任一項(xiàng)所述的壓電執(zhí)行器，其特征在于，內(nèi)電極(3， 4)具有銅。
15. 根據(jù)權(quán)利要求10 14中任一項(xiàng)所述的壓電執(zhí)行器，其特征在于，涂層(70， 80)是薄層或者厚層，并17或者具有無定形的、納米晶體的或者晶體的結(jié)構(gòu)，并_@7或者尤其是一種無定形的、納米晶體的DLC層或者基于碳的層。
16. 根據(jù)權(quán)利要求10 15中任一項(xiàng)所述的壓電執(zhí)行器，其特征在于，外電極(10， 11)布置在壓電堆(1)的兩個(gè)相對的外側(cè)(5， 6)上。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種全活性壓電執(zhí)行器(90)和一種制造全活性壓電執(zhí)行器(90)的方法。首先提供全活性壓電堆(1)，具有交替疊置的壓電層(2)和一直貫通到壓電堆(1)外側(cè)(5，6)的內(nèi)電極，所述內(nèi)電極分別具有難以或者無法附著涂層的第一區(qū)域(31)和易于附著涂層的第二區(qū)域(32)。設(shè)置內(nèi)電極，使得壓電執(zhí)行器(90)的第一外電極(10)和第二外電極(11)交替接觸內(nèi)電極的第一區(qū)域(31)。至少在對應(yīng)于壓電執(zhí)行器(9)的外電極(10，11)的區(qū)域中用涂層涂覆全活性壓電堆(1)的外側(cè)(5，6)。接著在緊鄰內(nèi)電極(3，4)的第一區(qū)域(31)的區(qū)域中去除該涂層(70)，并且將兩個(gè)外電極(10，11)敷設(shè)到剩余的涂層(80)上，使得外電極(10，11)接觸內(nèi)電極的第一區(qū)域(31)，否則將涂層(80)布置在內(nèi)電極和外電極(10，11)之間。
文檔編號H01L41/293GK101647131SQ200880005535
公開日2010年2月10日 申請日期2008年2月19日 優(yōu)先權(quán)日2007年2月20日
發(fā)明者A·多納-賴塞爾 申請人:歐陸汽車有限責(zé)任公司