放電燈、光源裝置、曝光裝置及曝光裝置的制造方法

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導(dǎo)航： X技術(shù)> 最新專利>電氣元件制品的制造及其應(yīng)用技術(shù)

專利名稱：放電燈、光源裝置、曝光裝置及曝光裝置的制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及放電燈、具備該放電燈的光源裝置、具備該光源裝置的曝光裝置以及該啄光裝置的制造方法。
背景技術(shù)：
在用于制造各種設(shè)備(微型設(shè)備、電子設(shè)備等)的光刻工序中，為了將形成于母版(或光掩模等)上的圖案向涂布有抗蝕劑的晶片(或玻璃平板等)上轉(zhuǎn)印，使用步進(jìn)機(jī)等一次性曝光型(靜止曝光型)的投影曝光裝置及掃描步進(jìn)裝置等掃描啄光型的投影曝光裝置等曝光裝置。在這些曝光裝置中，以往使用將水銀燈等放電燈與聚光鏡組合而構(gòu)成的曝光用的光源裝置，其放電燈被經(jīng)由給定的安裝機(jī)構(gòu)保持。
以往的放電燈的安裝機(jī)構(gòu)的一個例子是如下的機(jī)構(gòu)，即在放電燈的燈頭設(shè)置凸緣部及環(huán)狀的槽部，將片簧的開口部卡合在該槽部中，利用該片簧來將該凸緣部向支架推壓而固定(例如參照專利文獻(xiàn)1 )。該機(jī) 構(gòu)中，在放電燈的安裝或更換時(shí)，為將該片簧的夾鉗機(jī)構(gòu)松開以使該燈頭可以通過該片簧的開口部，需要使該片簧滑動。另外，以往的放電燈的安裝機(jī)構(gòu)的其他的例子是如下的機(jī)構(gòu)，即在放電燈的燈頭中設(shè)置定位銷等，將該燈頭以給定的旋轉(zhuǎn)角插入設(shè)于平板狀的安裝板上的圓形的開口部，通過將設(shè)于該開口部的螺旋開槽部用螺栓緊固，而將該燈頭固定(例如參照專利文獻(xiàn)2)。
另外，在具有放電燈的以往的光源裝置中，為減輕發(fā)熱的影響，也有具備冷卻機(jī)構(gòu)的類型。以往的冷卻機(jī)構(gòu)的一個例子是如下的機(jī)構(gòu)，即從放電燈的一方的燈頭的外面經(jīng)過燈泡部的外面向另一方的燈頭的外面供給冷卻了的空氣(例如參照專利文獻(xiàn)3)。作為以往的冷卻機(jī)構(gòu)的其他的例子，還已知有如下的機(jī)構(gòu)，即在放電燈的燈頭中設(shè)置環(huán)狀的槽部，經(jīng)由該槽部及給定的送風(fēng)管向燈泡供給冷卻了的空氣(例如參照專利文獻(xiàn)4)。
18專利文獻(xiàn)l:日本特開平10- 55713號公報(bào)
專利文獻(xiàn)2:日本特開2003- 45219號公報(bào)
專利文獻(xiàn)3:日本特開平9 -213129號公報(bào)
專利文獻(xiàn)4:曰本特開平11—283898號公報(bào)
以往的光源裝置的放電燈的安裝機(jī)構(gòu)，因?yàn)樵诜烹姛舻陌惭b或更換時(shí)，需要將片簧的夾鉗機(jī)構(gòu)松開而使該片簧滑動，或者需要松開安裝板的螺旋開槽部的夾鉗，所以就存在在放電燈的安裝等中需要花費(fèi)時(shí)間的問題。另外，以往的安裝機(jī)構(gòu)由于將設(shè)于片簧上的開口部的輪廓的一部分掛在燈頭的槽部中，或者將安裝板的螺旋開槽部緊固而固定放電燈的燈頭，因此就有難以將固定該燈頭的力設(shè)定在所需的范圍內(nèi)的問題。
另外，以往的光源裝置的放電燈的冷卻機(jī)構(gòu)，由于主要向放電燈的燈泡部吹送冷風(fēng)，因此就有對燈頭的冷卻作用小的問題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明鑒于上述情況，其第一目的在于，提供可以很容易并短時(shí)間內(nèi)進(jìn)行放電燈向安裝機(jī)構(gòu)上的安裝等的光源裝置。
另外，本發(fā)明的第二目的在于，提供可以用簡單的機(jī)構(gòu)有效地進(jìn)行放電燈的冷卻的光源裝置。
另外，本發(fā)明的目的還在于，提供可以應(yīng)用于這種光源裝置中的放電燈以及使用該光源裝置的曝光技術(shù)。
本發(fā)明的第一方式的光源裝置，具備具有形成發(fā)光部25的玻璃構(gòu)件和與該玻璃構(gòu)件連結(jié)的燈頭構(gòu)件26的放電燈1;具有經(jīng)由該燈頭構(gòu) 件保持該放電燈的保持構(gòu)件50、 52的保持裝置31，該放電燈所具備的該燈頭構(gòu)件具有抵接部26a,其與該保持構(gòu)件抵接而規(guī)定該發(fā)光部相對于該保持構(gòu)件的第一方向的位置；被推靠部26e 26h，其被施加將該抵接部沿著該第一方向向該保持構(gòu)件推壓的推壓力；嵌合部26b，其設(shè) 在該抵接部與該被推靠部之間，并與該保持構(gòu)件嵌合；槽部26d，其設(shè) 在該嵌合部中，在其與該保持構(gòu)件之間構(gòu)成從該抵接部附近直至該被推靠部的冷卻用介質(zhì)的流路，該保持裝置具有該保持構(gòu)件；對該被推靠部施加該推壓力的推靠構(gòu)件55A;切換機(jī)構(gòu)63,其切換利用該推靠構(gòu)件的將該抵接部向該保持構(gòu)件的推壓和該推壓的解除；介質(zhì)供給裝置71, 其將用于冷卻該燈頭構(gòu)件的介質(zhì)經(jīng)由該槽部向該流路供給。
另外，本發(fā)明的第二方式的光源裝置，具備具有形成發(fā)光部25 的玻璃構(gòu)件和與該玻璃構(gòu)件連結(jié)的燈頭構(gòu)件26的放電燈1;具有經(jīng)由該燈頭構(gòu)件保持該放電燈的保持構(gòu)件50、 52的保持裝置31，該放電燈所具備的該燈頭構(gòu)件具有抵接部26a，其與該保持構(gòu)件抵接而規(guī)定該發(fā) 光部相對于該保持構(gòu)件的第一方向的位置；被推靠部26e~26h,其被施加將該抵接部沿著該第一方向向該保持構(gòu)件推壓的推壓力；規(guī)定部 26bl，其設(shè)在該抵接部與該被推靠部之間，相對于該保持構(gòu)件規(guī)定該發(fā) 光部的與第一方向正交的方向的位置；冷卻部26b2，其設(shè)在該抵接部與被推靠部之間，在其與該保持構(gòu)件之間構(gòu)成從抵接部附近直至被推靠部的冷卻用介質(zhì)的流路，該保持裝置具有該保持構(gòu)件；對該被推靠部施加該推壓力的推靠構(gòu)件55A;切換機(jī)構(gòu)63，其切換利用該推靠構(gòu)件的將該抵接部向該保持構(gòu)件的推壓和該推壓的解除；介質(zhì)供給裝置71,其將用于冷卻該燈頭構(gòu)件的介質(zhì)向該流路供給。
此外，本發(fā)明的第一方式的放電燈是具備形成發(fā)光部的玻璃構(gòu)件 25和與該玻璃構(gòu)件連結(jié)的燈頭構(gòu)件26的放電燈1,該放電燈被經(jīng)由該燈頭構(gòu)件可拆裝地保持于與該放電燈分立地設(shè)置的保持構(gòu)件50、 52,該燈頭構(gòu)件具有抵接部26a，其與該保持構(gòu)件抵接而規(guī)定該發(fā)光部相對于該保持構(gòu)件的第一方向的位置；被推靠部26e 26h,其被施加將該抵接部沿著該第一方向向該保持構(gòu)件推壓的推壓力；嵌合部26b，其設(shè)在該抵接部與該被推靠部之間，并與該保持構(gòu)件嵌合；槽部26d,其設(shè)在該嵌合部中，在其與該保持構(gòu)件之間構(gòu)成從該抵接部附近直至該被推靠部的冷卻用介質(zhì)的流路。
另外，本發(fā)明的第二方式的放電燈是具備形成發(fā)光部的玻璃構(gòu)件 25、與該玻璃構(gòu)件連結(jié)的第一燈頭構(gòu)件26、以及在與該第一燈頭構(gòu)件不同的位置與該玻璃構(gòu)件連結(jié)的第二燈頭構(gòu)件28的放電燈l，該放電燈被經(jīng)由該第一燈頭構(gòu)件可拆裝地保持于與該放電燈分立地設(shè)置的保持構(gòu) 件50、 52，該第一燈頭構(gòu)件具有抵接部26a，其與該保持構(gòu)件抵接而規(guī)定該發(fā)光部相對于該保持構(gòu)件的第一方向的位置；嵌合部26b，其相對于該抵接部設(shè)于該玻璃構(gòu)件的沿著該第一方向的相反一側(cè)，與該保持構(gòu)件嵌合；槽部26d,其設(shè)在該嵌合部中，在其與該保持構(gòu)件之間構(gòu)成冷卻用介質(zhì)的流路，該第二燈頭構(gòu)件具備冷卻該第二燈頭構(gòu)件的冷卻用介質(zhì)所流通的流路28f。
另外，本發(fā)明的第三方式的放電燈是通過在相互分離的第一及第二電極之間放電而發(fā)光的放電燈1，具備與該第一電極連接的第一燈頭構(gòu) 件26和與該第二電極連接的第二燈頭構(gòu)件28，在該第一燈頭構(gòu)件中，形成有冷卻該第一燈頭構(gòu)件的冷卻介質(zhì)所流動的第一流路26d，在該第二燈頭構(gòu)件中，形成有冷卻該第二燈頭構(gòu)件的冷卻介質(zhì)所流動的第二流路28f。
另夕卜，本發(fā)明的第四方式的放電燈具備形成發(fā)光部的玻璃構(gòu)件25; 具有與該玻璃構(gòu)件的第一方向側(cè)連結(jié)而沿與該第一方向正交的第二方向延伸的抵接部26a;被施加沿著該第一方向的力的被推靠部26e ~ 26h、設(shè)于該抵接部與該被推靠部之間的嵌合部26b、設(shè)于該嵌合部中的槽部 26d的燈頭構(gòu)件26,該燈頭構(gòu)件可以保持在保持裝置31上，其利用施加在該被推靠部上的該第一方向的力與該抵接部抵接而規(guī)定該發(fā)光部的該第一方向的位置，并且通過與該嵌合部嵌合而規(guī)定與該第一方向正交的方向的位置，而且向形成于該保持構(gòu)件與該槽部之間的流路供給冷卻用介質(zhì)。
此外，本發(fā)明的第五方式的放電燈是具備形成發(fā)光部的玻璃構(gòu)件 25A和與該玻璃構(gòu)件連結(jié)的燈頭構(gòu)件26P的放電燈1P，該放電燈經(jīng)由該燈頭構(gòu)件可拆裝地保持于與該放電燈分立地設(shè)置的保持構(gòu)件50、 52, 該燈頭構(gòu)件具有抵接部26a，其與該保持構(gòu)件抵接而規(guī)定該發(fā)光部相對于該保持構(gòu)件的第一方向的位置；被推靠部26e~26h，其被施加將該抵接部沿著該第一方向向該保持構(gòu)件推壓的推壓力；嵌合部26b，其設(shè) 在該抵接部與該被推靠部之間，并與該保持構(gòu)件嵌合；以穿過該嵌合部的內(nèi)部的方式設(shè)于該抵接部附近與該被推靠部之間的成為冷卻用介質(zhì) 的流路的流體通路26Pd。
另外，本發(fā)明的第三方式的光源裝置是具備本發(fā)明的第五方式的放電燈；具有經(jīng)由該燈頭構(gòu)件保持該放電燈的該保持構(gòu)件的保持裝置31的光源裝置，該保持裝置具有對該被推靠部施加該推壓力的推靠構(gòu)件；介質(zhì)供給裝置71，其將用于冷卻該燈頭構(gòu)件的介質(zhì)向該流體通路供給。
另外，本發(fā)明的第六方式的放電燈是具備形成發(fā)光部的玻璃構(gòu)件 25、 25A;與該玻璃構(gòu)件連結(jié)的燈頭構(gòu)件26、 26P的放電燈，該燈頭構(gòu) 件沿著平行于第一方向的第一軸在遠(yuǎn)離玻璃構(gòu)件的方向依次具有抵接部26a，其具有包含以該第一軸為中心的具有第一半徑以上的半徑的圓盤形狀的形狀；嵌合部26b，其具有與以該第一軸為中心的具有小于該第一半徑的第二半徑的圓柱形狀外接的形狀；小直徑部26k，其具有包含以該第一軸為中心而具有小于該第二半徑的第三半徑的圓柱形狀的形狀；被推靠部26g、 26h，其具有包含以該第一軸為中心而具有小于該第一半徑且大于該第三半徑的第四半徑的圓盤形狀的形狀，并且在該嵌合部的外周或其附近，具有用于增大該嵌合部與空氣的接觸面積的立體結(jié)構(gòu)26d、 26Pd。
另外，本發(fā)明的第七方式的放電燈是具備具有發(fā)光部并沿第一方向延伸地形成的玻璃構(gòu)件25、 25A;在該玻璃構(gòu)件的該第一方向側(cè)的端部連結(jié)了一個端部的第一燈頭構(gòu)件26、 26P的放電燈，該第一燈頭構(gòu)件具備向與該第一方向正交的方向突出的突出部26a;第一軸部26b, 其設(shè)在該突出部與該第一燈頭構(gòu)件的另一個端部之間，在該正交方向上的外形形狀小于該突出部的外形形狀；第二軸部26k,其設(shè)在該突出部與該第一燈頭構(gòu)件的另一個端部之間，在該正交方向上的外形形狀小于該第一軸部；第三軸部26g、 26h,其設(shè)在該突出部與該第一燈頭構(gòu)件的另一個端部之間，在該正交方向上的外形形狀小于該突出部的外形形狀，并且大于該第二軸部；設(shè)于該第一軸部的外周面的至少一部分，可以與冷卻用介質(zhì)接觸的冷卻部26b2。
另外，本發(fā)明的第八方式的放電燈是具備形成發(fā)光部的玻璃構(gòu)件25 和與該玻璃構(gòu)件連結(jié)的燈頭構(gòu)件26的放電燈l，該放電燈經(jīng)由該燈頭構(gòu) 件在與該放電燈分立地設(shè)置的保持構(gòu)件50、 52上拆裝，該燈頭構(gòu)件具有抵接部26a,其與該保持構(gòu)件抵接而規(guī)定該發(fā)光部相對于該保持構(gòu) 件的第一方向的位置；被推靠部26e~26h，其被施加將該抵接部沿著該第一方向向該保持構(gòu)件推壓的推壓力；嵌合部26b，其設(shè)在該抵接部與該被推靠部之間，并與所述保持構(gòu)件嵌合；流路的冷卻部，其設(shè)在該抵
22接部與該被推靠部之間，在其與保持構(gòu)件之間構(gòu)成從該抵接部附近直至該被推靠部的冷卻用介質(zhì)。
另外，本發(fā)明的方式的曝光裝置是利用由光源裝置產(chǎn)生的曝光光在感光基板上將圖案啄光的膝光裝置，作為該光源裝置具備本發(fā)明的光源
裝置30。
另外，本發(fā)明的方式的曝光裝置的制造方法是以利用放電燈1的2 個電極間的放電產(chǎn)生的光在感光基板上將圖案曝光的啄光裝置的制造方法，具備在用于保持該放電燈的保持裝置31上，經(jīng)由與該放電燈的該2個電極中的一方對應(yīng)地設(shè)置的第一燈頭構(gòu)件26安裝該放電燈的步驟；在與該放電燈的另一方的電極對應(yīng)地設(shè)置的第二燈頭構(gòu)件28上連接用力電纜33B的步驟；將該安裝好的該放電燈的該第一燈頭構(gòu)件以安裝在該保持裝置上的狀態(tài)冷卻的步驟。
這里，以上的附加在本發(fā)明的給定元件上的帶括號符號對應(yīng)于表示本發(fā)明的一個實(shí)施方式的附圖中的構(gòu)件，然而各符號只不過是為了容易理解本發(fā)明而例示本發(fā)明的元件，并非將本發(fā)明限定于該實(shí)施方式的構(gòu) 成。
根據(jù)本發(fā)明的第一、第二或第三方式的光源裝置，可以很容易地在短時(shí)間內(nèi)進(jìn)行該放電燈相對于保持裝置的取下及安裝。另外，可以用簡單的機(jī)構(gòu)有效地進(jìn)行放電燈的冷卻。
另外，本發(fā)明的放電燈可以作為本發(fā)明的第一、第二或第三方式的光源裝置的放電燈使用。

圖l是表示本發(fā)明實(shí)施方式的一個例子的投影曝光裝置的概略構(gòu)成的圖。
圖2 (A)是將表示圖1中的放電燈1的一部分切開的圖，(B)是沿著圖2 (A)的BB線的剖面圖，(C)是表示圖2 (B)的其他的構(gòu)成例的圖。
圖3是將表示圖1中的安裝裝置31的一部分切開的圖。
23圖4是表示圖3的安裝裝置31的要部的俯視圖。
圖5是沿著圖3的AA線的剖面圖。
圖6是將沿著圖3的BB線的一部分省略的剖面圖。
圖7 (A)是從上方看到的圖3中的固定用臂55A的放大剖面圖，
(B) 是將該固定用臂55A放大表示的主視圖。
圖8是表示在圖3的安裝裝置31上安裝了圖2 (A)的放電燈1的狀態(tài)的將一部分切開的圖。
圖9是將圖8的放電燈1的燈頭部26及安裝裝置31的部分放大表示的將一部分切開的圖。
圖10 (A)是表示在圖3的安裝裝置31中利用切換用連桿機(jī)構(gòu)63 將移動構(gòu)件41降下的狀態(tài)的圖，(B)是表示利用切換用連桿機(jī)構(gòu)63 將移動構(gòu)件41上升的狀態(tài)的圖。
圖11 (A)、 (B)、 (C)及(D)分別是表示本發(fā)明的放電燈的其他的實(shí)施方式的將一部分切開的圖。
圖12 (A)、 (B)、 (C)及(D)分別是表示本發(fā)明的放電燈的其他的實(shí)施方式的將一部分切開的圖。
圖13 (A)、 (B)及(C)分別是表示本發(fā)明的放電燈的其他的實(shí) 施方式的圖。
圖14 (A)及(B)分別是表示本發(fā)明的放電燈的其他的實(shí)施方式的將一部分切開的圖。
圖15 (A)、 (B)、 (C)及(D)分別是表示本發(fā)明的放電燈的其他的實(shí)施方式的圖。
圖16 (A)是沿著圖15 (B)的AA線的剖面圖，(B)是沿著圖15
(C) 的BB線的剖面圖，(C)是沿著圖15 (D)的CC線的剖面圖。
圖17是表示圖15 (D)表示的放電燈的制造方法的一個例子的要
24部的立體圖。
圖18 (A)及(B)分別是表示本發(fā)明的放電燈的其他的實(shí)施方式的圖。
圖19是表示微型設(shè)備的制造工序的一個例子的流程圖。
附圖標(biāo)記說明1、 1A 1Q…放電燈，2…橢圓鏡，25、 25A…玻璃管，25a…燈泡部，25b…棒狀部，26、 26A 26Q…燈頭部，26a…凸緣部，26b…軸部，26d…槽部，26Pd…流路，26f…凹部，26h…固定部， 28…燈頭部，28b…槽部,29…固定板，30…曝光光源，31…安裝裝置， 32…絕緣板，33A、 33B…電力電纜，34…電源，36…底板，37A 37C… 引導(dǎo)構(gòu)件，41…移動構(gòu)件，42A 42C…連結(jié)構(gòu)件，44A 44C…壓縮螺旋彈簧，45…上板，46A、 46B…框架，47A、 47B、 47C…面板，48A、 48B…升降構(gòu)件，50…定位板，52…圓筒構(gòu)件，55A 55C…固定用臂， 63…切換用連桿機(jī)構(gòu)，64…旋轉(zhuǎn)桿部，65…可動棒，67A、 67B…連桿， 69A、 69B…滾筒，70A、 70B…銷，71…鼓風(fēng)裝置，73…配管。
具體實(shí)施例方式
下面，參照圖1~圖IO對本發(fā)明的優(yōu)選的實(shí)施方式的一個例子進(jìn)行說明。
圖1表示具備本例的曝光光源30 (光源裝置)的投影曝光裝置(曝光裝置)，在該圖1中，由弧放電型的7jc銀燈構(gòu)成的放電燈l，經(jīng)由安裝裝置31 (保持裝置)以絕緣狀態(tài)固定于固定板29。另外，放電燈l的陰極和陽極經(jīng)由具有撓曲性的電力電纜33A及33B與電源34連接，在未圖示的支架上固定有橢圓鏡2(聚光鏡)，以便將放電燈l的燈泡部包圍。放電燈l的燈泡部內(nèi)的發(fā)光部作為一個例子配置于橢圓鏡2的第一焦點(diǎn)附近。構(gòu)成曝光光源30，其包括放電燈l、橢圓鏡2、安裝裝置31、電力電纜33A、 33B以及電源34 (詳情后述)。
由放電燈1射出的光束被橢圓鏡2會聚在第二焦點(diǎn)附近后，穿過快門3的附近而成為發(fā)散光，射入光路折曲用的反射鏡4。利用快門驅(qū)動裝置3a進(jìn)行快門3的開閉，快門驅(qū)動裝置3a由未圖示的快門控制系統(tǒng) 控制。在本實(shí)施方式中，作為一個例子，后述的載臺控制系統(tǒng)15根據(jù)統(tǒng)一控制裝置整體的動作的主控制系統(tǒng)14的指令來控制快門驅(qū)動裝置 3a。
由反射鏡4反射的光束射入干涉濾光器5，利用干涉濾光器5僅僅選擇由給定的亮線(例如波長365nm的i線)構(gòu)成的曝光光IL。這里，作為曝光光IL除了 i線以外，也可以使用g線、h線或它們的混合光等或者水銀燈以外的燈的亮線等。該被選擇了的曝光光IL,射入復(fù)眼透鏡6(光學(xué)積分器)，在配置于復(fù)眼透鏡6的射出面上的可變孔徑光闌7 上形成多個二次光源。穿過了可變孔徑光闌7的曝光光IL，經(jīng)過第一中繼透鏡8射入母版遮簾(可變視場光闌)9。母版遮簾9的配置面實(shí) 質(zhì)上與母版R的圖案面共軛，通過經(jīng)由驅(qū)動裝置9a設(shè)定母版遮簾9的開口形狀，來規(guī)定母版R上的照明區(qū)域。另外，也可以如下構(gòu)成，即載臺控制系統(tǒng)15可以經(jīng)由驅(qū)動裝置9a將母版遮簾9開閉，從而在晶片 W的步進(jìn)時(shí)等不會將不需要的曝光光向晶片W上照射。
穿過了母版遮簾9的曝光光IL，經(jīng)由第二中繼透鏡10、反射曝光光IL的二向色鏡11以及聚光透鏡12將母版R的圖案面的圖案區(qū)域照明。構(gòu)成照明光學(xué)系統(tǒng)13，其包括快門3、反射鏡4、干涉濾光器5、復(fù)眼透鏡6、可變孔徑光闌7、中繼透鏡8、 10、母版遮簾9、二向色鏡 11及聚光透鏡12。來自曝光光源30的光束經(jīng)過照明光學(xué)系統(tǒng)13作為曝光光IL將母版R (掩模)照明，母版R的圖案區(qū)域內(nèi)的圖案經(jīng)由投影光學(xué)系統(tǒng)PL在涂布有光刻膠的晶片W(感光基板)的一個拍攝區(qū)域上以投影倍率P ( P例如為l/4、 1/5等)曝光。下面，通過與投影光學(xué) 系統(tǒng)PL的光軸AX平行地取Z軸，在垂直于Z軸的平面內(nèi)與圖l的紙面平行地取X軸，與圖1的紙面垂直地取Y軸，進(jìn)行說明。
此時(shí)，母版R被保持可以在母版基座(未圖示)上沿X方向、Y方向及繞Z軸的旋轉(zhuǎn)方向輕微移動的母版載臺RST上。母版載臺RST的位置由向固定于其上的移動鏡17R照射計(jì)測用激光束的激光干涉儀 18R高精度地計(jì)測，該計(jì)測值被提供給載臺控制系統(tǒng)15及主控制系統(tǒng) 14?；谠撚?jì)測值及來自主控制系統(tǒng)14的控制信息，載臺控制系統(tǒng)15 經(jīng)由包括線性電機(jī)等的驅(qū)動系統(tǒng)19R控制母版載臺RST的位置。
另一方面，晶片W經(jīng)由未圖示的晶片夾具保持在晶片載臺WST上，晶片載臺WST被可以在晶片基座(未圖示)上沿X方向及Y方向自由
26移動地放置。晶片載臺WST的位置，由向固定于其上的移動鏡17W照射計(jì)測用激光束的激光干涉儀18W高精度地計(jì)測，該計(jì)測值被提供給栽臺控制系統(tǒng)15及主控制系統(tǒng)14。基于該計(jì)測值及來自主控制系統(tǒng)14 的控制信息，載臺控制系統(tǒng)15經(jīng)由包括線性電機(jī)等的驅(qū)動系統(tǒng)19W控制晶片載臺WST (晶片W)的位置。
在晶片W的曝光時(shí)，以分步重復(fù)方式(step - and - repeat)反復(fù) 進(jìn)行利用晶片載臺WST將晶片W的各拍攝區(qū)域向投影光學(xué)系統(tǒng)PL 的曝光區(qū)內(nèi)移動的動作；將來自膝光光源30的光束經(jīng)過照明光學(xué)系統(tǒng) 13向母版R照射，將母版R的圖案經(jīng)過投影光學(xué)系統(tǒng)PL在晶片W上的該拍攝區(qū)域中曝光的動作。這樣，母版R的圖案的像就被轉(zhuǎn)印到晶片 W上的各拍攝區(qū)域。
這里，為了在該曝光之時(shí)預(yù)先進(jìn)行對準(zhǔn)，在母版R的上方，設(shè)置有用于檢測形成于母版R上的對準(zhǔn)標(biāo)記的位置的母版對準(zhǔn)顯微鏡20，在投影光學(xué)系統(tǒng)PL的側(cè)面，設(shè)置有用于檢測附設(shè)于晶片W上的各拍攝區(qū) 域中的對準(zhǔn)標(biāo)記的位置的對準(zhǔn)傳感器21。另外，在晶片載臺WST上的晶片W的附近，設(shè)置有形成了用于對準(zhǔn)傳感器21等的多個基準(zhǔn)標(biāo)記的基準(zhǔn)標(biāo)記構(gòu)件22。母版對準(zhǔn)顯微鏡20及對準(zhǔn)傳感器21的檢測信號被提供給對準(zhǔn)信號處理系統(tǒng)16，對準(zhǔn)信號處理系統(tǒng)16例如利用這些檢測信號的圖像處理求出受檢標(biāo)記的排列坐標(biāo)，將該排列坐標(biāo)的信息提供給主控制系統(tǒng)14。主控制系統(tǒng)14基于該排列坐標(biāo)的信息進(jìn)行母版R及晶片 W的對準(zhǔn)。
接下來，對構(gòu)成本例的投影曝光裝置的曝光光源30的放電燈1及安裝裝置31的構(gòu)成等進(jìn)行詳細(xì)說明。
圖2 ( A)是將表示圖1的曝光光源30中的放電燈1的一部分切開的圖，在該圖2(A)中，放電燈l具備由燈泡部25a及將其夾入地固定的大致對稱且為圓筒狀的2個棒狀部25b、 25c構(gòu)成的玻璃管25; 與一方的棒狀部25b的端部連結(jié)的燈頭部26;與朝向另一方的外側(cè)直徑步驟性地變小的棒狀部25c的端部連結(jié)的燈頭部28。在該燈泡部25a 內(nèi)相面對地固定有用于形成發(fā)光部的陽極EL1及陰極EL2，陰極EL2 及陽極EL1分別與燈頭部26及28連接，燈頭部26及28由電導(dǎo)率及熱導(dǎo)率良好的金屬形成。燈頭部26、玻璃管25及燈頭部28配置于穿過將玻璃管25的棒狀部25b、 25c的中心軸連結(jié)的發(fā)光部的中心的一條直線上。與連結(jié)該棒狀部25b、 25c的中心軸的直線平行的方向是放電燈1 的長度方向L。
燈頭部26及28基本上作為用于向陰極EL2及陽極EL1從圖1的電源34經(jīng)由電力電纜33A及33B供給電力的電力接收端子使用。此外，燈頭部26還作為用于保持玻璃管25 (放電燈1)的被保持部使用，在燈頭部26及28中都形成有流過用于將從玻璃管25傳導(dǎo)過來的熱冷卻的氣體的槽。
即，在與陰極EL2連接的燈頭部26中，從棒狀部25b起向敞口端側(cè)依次形成棒狀部25b的外徑的2倍左右的外徑的環(huán)形的凸緣部26a(抵接部)；與棒狀部25b的外徑相比略大的外徑的圓柱狀的軸部26b (嵌合部(規(guī)定部))；與軸部26b相比外徑更小的圓柱狀的小直徑部26k; 與軸部26b相比略小的外徑或與軸部26b大致相同的外形的圓柱狀的固定部26h，在軸部26b與小直徑部26k的交界部形成有倒角部26e，在固定部26h的敞口端側(cè)也形成有倒角部26i。而且，圓柱狀的軸部26b 的外形也可以是與棒狀部25b的外形大致相同的外形。小直徑部26k是通過在軸部26b與固定部26h之間，在與放電燈1的長度方向L交叉的方向上設(shè)置凹部(段部)26f而形成的。在將放電燈l安裝在圖1的安裝裝置31上時(shí)，凸緣部26a抵接對應(yīng)的構(gòu)件，成為玻璃管25的發(fā)光部的長度方向L (第一方向)的定位的基準(zhǔn)，軸部26b與所對應(yīng)的構(gòu)件的開口嵌合，成為與該發(fā)光部的長度方向L正交的面內(nèi)的定位的基準(zhǔn)。另外，在固定部26h中，由凹部26f形成被推壓面26g。被推壓面26g是垂直于長度方向L的平面。在將放電燈1用圖1的安裝裝置31保持之時(shí)，安裝裝置31側(cè)的推靠機(jī)構(gòu)的一部分的構(gòu)件插入凹部26f側(cè)，利用該構(gòu)件對被推壓面26g沿著長度方向L施加朝向燈頭部26的敞口端側(cè) 的推壓力。所以，利用倒角部26e、凹部26f、被推壓面26g及固定部 26h,形成由該推靠機(jī)構(gòu)推靠的構(gòu)件。
圖2 (B)是沿著圖2(A)的放電燈1的BB線的剖面圖，如該圖2 (B)所示，在凸緣部26a中作為一個例子以卯。間隔形成2處開口 27A、 27B (定位部)。通過向該開口 27A、 27B中插入圖1的安裝裝置31側(cè) 的所對應(yīng)的2個銷70A、 70B (參照圖4)，就可以進(jìn)行繞著沿放電燈1
28的長度方向L的軸的定位。即，相對于安裝裝置31，確定以放電燈1 的長度方向?yàn)橹行牡男D(zhuǎn)角。另外，在放電燈l中有發(fā)光功率等不同的多個種類，隨著種類不同，開口 27A、 27B的個數(shù)及/或角度等不同。所以，該開口的個數(shù)為1個或多個。具體來說，在與圖2 (B)不同種類的放電燈的凸緣部26a中，如圖2(C)所示，例如以卯。間隔在3處形成開口 27A、 27B、 27C,在所對應(yīng)的安裝位置形成3個銷。這樣，就可以可靠地防止將規(guī)格不同的放電燈安裝在投影曝光裝置的曝光光源的安裝裝置中。
回到圖2 (A),在從軸部26b的外面的凸緣部26a的附近直到倒角部26e (凹部26f)的部分，繞著平行于長度方向L的軸以螺旋狀形成槽部26d。從后述的鼓風(fēng)裝置71 (參照圖9 )向槽部26d中流入用于冷卻槽部26d的氣體(冷卻用介質(zhì))，這樣，即使在玻璃管25中產(chǎn)生的熱向燈頭部26傳導(dǎo)，也可以將燈頭部26有效地冷卻，其結(jié)果是，也可以進(jìn)行玻璃管25的冷卻。另外，槽部26d與圖2 (B)的開口 27A、 27B 的位置關(guān)系被設(shè)定為在向開口 27A、 27B中插入了圖1的安裝裝置31 的對應(yīng)的銷的狀態(tài)下，可以從鼓風(fēng)裝置71 (參照圖9)向槽部26d有效地供給冷卻了的氣體。
在該陰極EL2側(cè)的燈頭部26中，在軸部26b與固定部26h之間形成有凹部26f。即，因?yàn)樵谳S部26b與固定部26h之間，，沒有與長度方向L正交的面的截面積小于軸部26b的小直徑部26k，因此可以^艮容易地插入圖1的安裝裝置31的推靠機(jī)構(gòu)的一部分。
在該情況下，最好軸部26b及小直徑部26k分別具有以平行于長度方向L的軸作為中心的圓形截面，該小直徑部26k的圓形截面的直徑為軸部26b的圃形截面的直徑的1/2以下(例如為1/3左右)。這樣，就可以將該推靠機(jī)構(gòu)的一部分4艮多地插入凹部26f中，可以將被推壓面26g 向燈頭部26的敞口端側(cè)以較大的力容易地推靠。
另外，因?yàn)椴鄄?6d穿過倒角部26e而與凹部26f連通，因此可以沿著長度方向L順利地流過冷卻用的氣體。在該情況下，由于槽部26d 在軸部26b的表面被以螺旋狀形成，因此可以利用該冷卻用的氣體將軸部26b (燈頭部26)的整體有效地冷卻。而且，也可以取代螺旋狀的槽部26d,如后所述，在軸部26b的表面基本上沿著長度方向L以直線狀設(shè)置多個槽部，在這些多個槽部中流過冷卻用的氣體。
另外，如果將包括玻璃管25及燈頭部26、 28的放電燈1整體的長度方向L的長度設(shè)為LT1，將利用安裝裝置31保持的燈頭部26的長度方向L的長度設(shè)為LT2，則最好長度LT2如下式所示為長度LT1的1/5 以上、1/4以下(作為一個例子為LT1的0.22倍左右)。
UT1/5^LT2^LT1/4…(1)
通過使長度LT2為式(1)的下限以上，就可以將放電燈l經(jīng)由燈頭部26以足夠的力穩(wěn)定地用圖1的安裝裝置31保持，并且可以提高燈頭部26的冷卻效果。另外，通過使長度LT2為式(1)的上限以下，就很容易將放電燈l整體的長度及重量壓縮在容許范圍內(nèi)。這里，另一方的自由端側(cè)的燈頭部28的長度方向L的長度LT3例如為長度LT1的 1/8以上、1/5以下(作為一個例子為長度LT1的0.15倍左右)。
另外，在燈頭部26的軸部26b的表面中圖1的安裝裝置31的對應(yīng) 的構(gòu)件與開口嵌合的(接觸的)部分的面積最好大于形成于軸部26b上的槽部26d的面積。這意味著，在圖2(A)中，長度方向L的軸部26b 的表面(凸部)的寬度Ml如下所示地大于槽部26d的寬度M2。這樣，就可以提高由在槽部26d中流過冷卻用的氣體所帶來的冷卻效果，并且可以提高對軸部26b的保持力。
M1>M2... (2)
更實(shí)用的是，最好在軸部26b的表面中所對應(yīng)的構(gòu)件的與開口嵌合的部分的面積大于槽部26d的面積的2倍(作為一個例子為3倍左右。)。這意味著下式成立。這樣，就可以進(jìn)一步提高對軸部26b的保持力，并且還可以獲得比較高的冷卻效果。
Ml>2 M2…(3)
另一方面，圖2(A)的與陽極EL1連接的燈頭部28，從棒狀部25c 側(cè)起向敞口端側(cè)依次具備比棒狀部25c的最大直徑略大的外徑的薄的環(huán)形部28h;具有與環(huán)形部28h大致相同的外徑或者具有小于環(huán)形部28h 的外徑的圓柱狀的軸部28c;將軸部28c的敞口端側(cè)的面隔著微小的空
30間28d地覆蓋，并且與軸部28c嵌合的圓筒狀的外軍部28b。另外，在圓筒狀的外罩部28b上，形成有其外徑為軸部28c的1/3左右的圓筒狀的端子部28a。在軸部28c的表面，從敞口端側(cè)到環(huán)形部28h繞著平行于長度方向L的軸以螺旋狀形成槽部28f。在環(huán)形部28h與軸部28c之間形成有凹部28g，軸部28c的槽28f與該凹部28g連通。
另外，在端子部28a的內(nèi)部，形成有將端子部28的外部與外罩部 28b的內(nèi)部也就是空間28d連通的流通孔28e。圓筒狀的外罩部28b由電導(dǎo)率及熱導(dǎo)率良好的金屬形成。
在燈頭部28的端子部28a上，連接有圖8所示的電力電纜33B。在該電力電纜33B中，除了與陽極EL1連接的電力線以外，還收納有用于穿過流通孔28e向槽部28f供給冷卻了的氣體(冷卻用介質(zhì))的配管。這樣，電力電纜33B由于除了電力以外還用于供給冷卻了的氣體，因此也可以稱作用力電纜，端子部28a也可以稱作用力接收端子。由于電力電纜33B及端子部28a分別用于電力及冷卻了的氣體的接收(供給)用途，因此可以將燈頭部28及電力電纜33B緊湊地形成。
在圖2 ( A)中，從電力電纜33B向端子部28a的流通孔28e中供給的冷卻用的氣體，在流過了由燈頭部28的軸部28c的表面的槽部28f 和外罩部28b形成的流路內(nèi)后，被從軸部28g與環(huán)形部28h之間的凹部 28g向外側(cè)排出。此時(shí)，因?yàn)椴鄄?8f (流路)為螺旋狀，所以可以將燈頭部28的整體有效地冷卻。而且，在燈頭部28中，也可以取代槽部 28f,在軸部28c的表面形成與長度方向L大致平行地設(shè)置的多個槽部，向這些槽部供給冷卻用的氣體。
這里，在假設(shè)僅向陰極EL2用的燈頭部26的槽部26d供給冷卻用的氣體，就可以充分地進(jìn)行燈頭部26及玻璃管25的冷卻的情況下，則不一定要在陽極EL1用的燈頭部28中形成流過冷卻用的氣體的流路。另外，在放電燈1中，也可以將與由安裝裝置31保持的燈頭部26連接的電極作為陽極，將與自由端側(cè)的燈頭部28連接的電極作為陰極。
接下來，圖3表示圖1的曝光光源30的安裝裝置31的構(gòu)成，圖4 是圖3的安裝裝置31的俯視圖，圖5是沿著圖3的AA線的剖面圖，圖6是沿著圖3的BB線的剖面圖。在圖3中，在近似正方形的平板狀的陶瓷制的絕緣板32的表面，在多個部位使用螺栓35將薄的平板狀的底板36固定。在該情況下，預(yù)先在底板36的表面的3個部位，將圓柱狀的引導(dǎo)構(gòu)件37A、 37B、 37C (參照圖5)利用從背面螺合的螺栓39A 固定于底板36上。因?yàn)樵诮^緣板32的表面形成有收納螺栓39A的凹部 32A,所以可以將底板36密合地固定在絕緣板32的表面。在底板36 的4個角形成用于穿過螺栓40的開口 36a，穿過該開口 36a將絕緣板 32在4個部位利用螺栓40 (參照圖5)固定于固定板29上。利用該構(gòu) 成，安裝裝置31被相對于固定板29以絕緣狀態(tài)固定。
另外，如圖5所示，在底板36的左側(cè)的2個部位的角上固定有截面形狀為L字形的框架46A、 46B,在底板36的右側(cè)的2個部位的角上向右側(cè)突出地固定有平板狀的面板47A、 47B,面板47A、 47B的右端部由平板狀的面板47C連結(jié)。在框架46A、 46B及面板47A、 47B上，如圖4所示固定有近似正方形的平板狀且在中央形成了大的圓形開口 45a (參照圖3)的上板45。在上板45上，還形成有用于穿過3處引導(dǎo) 構(gòu)件37A~37C的前端部的3個小的開口。
在圖3中，在上板45的上面將開口 45a覆蓋地利用螺栓51固定有環(huán)形的定位板50，在定位板50的底面，例如在4個部位利用螺栓53 固定有近似圓筒狀的圓筒構(gòu)件52的凸緣部。在定位板50的上面50a，放置有圖2(A)的放電燈1的燈頭部26的凸緣部26a,在定位板50 的中央的圓形開口 50b及與之相連的圓筒構(gòu)件52的內(nèi)面中，嵌合有該燈頭部26的軸部26b。所以，定位板50及圓筒構(gòu)件52成為用于一體化地保持放電燈1的燈頭部26的構(gòu)件。將沿著圓筒構(gòu)件52的中心軸的方向稱作放電燈1的移動方向D。
另外，將定位板50的開口 50b與其側(cè)面連通地形成通氣孔50c，在通氣孔50c上連結(jié)有用于從圖9的鼓風(fēng)裝置71供給冷卻了的氣體的撓曲性高的配管73的端子。另外，如圖4所示，在定位板50的上面50a，以與圖2(B)的放電燈1的凸緣部26a的開口 27A、 27B對應(yīng)的配置固定有銷70A、 70B。這樣，就可以將放電燈1的凸緣部26a總是以相同的角度位置放置在定位板50上。
在圖3中，定位板50、上板45及框架46A、 46B為了相互電導(dǎo)通，并且提高散熱效果，由電導(dǎo)率及熱導(dǎo)率良好的金屬形成，在框架46A上
32經(jīng)由螺栓55固定有電力電纜33A。通過使圖2 (A)的燈頭部26的凸緣部26a接觸定位板50地保持放電燈1，就可以經(jīng)由電力電纜33A、框架46A、上板45及定位板50向燈頭部26供給電力。同樣，圓筒構(gòu)件 52也由熱導(dǎo)率良好的金屬形成。
另外，在上板45上固定定位板50 (連結(jié)有圓筒構(gòu)件52)之時(shí)，預(yù) 先將圓筒構(gòu)件52包圍地將杯狀且在中央具有開口的移動構(gòu)件41以可以沿移動方向D移動的狀態(tài)配置。移動構(gòu)件41是從上板45側(cè)起向底板 36側(cè)依次將下述部件連結(jié)而形成的與圓筒構(gòu)件52鄰近地配置的環(huán)形部41a;相對于移動方向D來說底板36側(cè)向外側(cè)打開大約5°左右的具有圓錐的側(cè)面狀的內(nèi)面(錐面)的傾斜部41b;比傾斜部41b還向外側(cè) 打開40。左右的具有圓錐的側(cè)面狀的內(nèi)面(錐面)的收納部41c;比環(huán) 形部41a更大的環(huán)形且在3個部位形成了用于穿過引導(dǎo)構(gòu)件37A~37C (參照圖5)的開口的驅(qū)動部41d。如圖5所示，在環(huán)形部41a的上端，以將其與面板47A、 47B大致平行地夾持的方式，在2個部位固定有小的平板狀的升降構(gòu)件48A、 48B。
另外，在圖5中，在移動構(gòu)件41的驅(qū)動部41d上將以等角度間隔設(shè)置的3處開口覆蓋地利用螺栓43固定有連結(jié)構(gòu)件42A、 42B、 42C，在連結(jié)構(gòu)件42A ~ 42C的貫穿孔中分別插穿引導(dǎo)構(gòu)件37A ~ 37C.
如圖4所示，在上板45的上面以將包圍定位板50地配置的3處開口覆蓋的方式，使用螺栓39C固定有近似倒U字形的止動件38A、38B、 38C，在止動件38A 38C的中央分別使用螺栓39B固定圖5的引導(dǎo)構(gòu) 件37A ~ 37C的前端。另外，在止動件38A ~ 38C與連結(jié)構(gòu)件42A ~ 42C 之間，分別將引導(dǎo)構(gòu)件37A 37C覆蓋地安裝壓縮螺旋彈簧44A、 44B、 44C(參照圖5)。其結(jié)果是，在移動構(gòu)件41的驅(qū)動部41d上，始終經(jīng) 由3處的連結(jié)構(gòu)件42A ~ 42C利用壓縮螺旋彈簧44A ~ 44C沿著移動方向D向底板36側(cè)施加推壓力Fl。所以，只要在固定于移動構(gòu)件41的環(huán)形部41a上的升降構(gòu)件48A、 48B上，沒有利用后述的切換用連桿機(jī) 構(gòu)63施加朝向上板45側(cè)的驅(qū)動力，則移動構(gòu)件41就會沿著圓筒構(gòu)件 52向底板36側(cè)移動。
另外，在圖3中，在圓筒構(gòu)件52的側(cè)面的上板45與底板36的大致中間位置，以與引導(dǎo)構(gòu)件37A 37C相同的角度形成有3處矩形的窗
33部52a、 52b、 52c(參照圖5)。另外，在圓筒構(gòu)件52的下端部以與窗部52a 52c相同的角度形成3處凸部52d、 52e、 52f,在凸部52d 52f 上分別可以繞著軸56旋轉(zhuǎn)地固定有近似L字形的固定用臂55A、 55B、 55C (參照圖6)。對于固定用臂55A~55C，分別如用作為代表的螺旋彈簧62A所示那樣，始終賦予使之相對于圓筒構(gòu)件52來說向外側(cè)旋轉(zhuǎn) 的小的力矩。
圖7 (A)是圖3的固定用臂55A的俯視剖面圖，圖7 (B)是該固定用臂55A的主視圖，構(gòu)成固定用臂55A的構(gòu)架57的一端，可以繞著以軸56為中心的旋轉(zhuǎn)中心A旋轉(zhuǎn)，在構(gòu)架57的另一端，經(jīng)由旋轉(zhuǎn)軸 60固定有滾筒61，在構(gòu)架57的中間的彎曲部，經(jīng)由小型軸承58固定有滾筒59。所以，滾筒59及61分別可以旋轉(zhuǎn)，通過將固定用臂55A 繞著軸56逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)，就可以將滾筒61向固定對象面(本例中為圖2 (A)的放電燈1的燈頭部26的被推壓面26g)推靠。
在圖3的狀態(tài)下，移動構(gòu)件41處于沿著圓筒構(gòu)件52最靠近上板45 的位置，固定用臂55A 55C的彎曲部的滾筒59，被向移動構(gòu)件41的收納部41c推靠，滾筒61向圓筒構(gòu)件52的窗部52a ~ 52c的外側(cè)伸出。所以，圖2 ( A)的放電燈1的燈頭部26的軸部26b及固定部26h，就可以沿著定位板50的開口 50b及圓筒構(gòu)件52的內(nèi)面在移動方向D上自由地移動。
圖9表示從圖3的狀態(tài)開始將移動構(gòu)件41沿著圓筒構(gòu)件52降低至最靠近底板36的位置的狀態(tài)的一個例子，在該圖9中，固定用臂55A (其他的固定用臂55B、 55C也相同)的滾筒59與移動構(gòu)件41的傾斜部41b接觸而被向圓筒構(gòu)件52的內(nèi)側(cè)推靠。其結(jié)果是，對固定用臂55A 賦予繞著軸56的逆時(shí)針的力矩，圓筒用臂55A的另一端側(cè)的滾筒61 被穿過圓筒構(gòu)件52的窗部52a向內(nèi)側(cè)插入。在圖9的狀態(tài)下，在圓筒構(gòu)件52內(nèi)嵌合有放電燈l的燈頭部26的軸部26b及固定部26h，因此固定用臂55A的滾筒61被插入燈頭部26的凹部26f內(nèi)，繼而與作為固定部26h的上面的被推壓面26g接觸。在該狀態(tài)下，由于壓縮螺旋彈簧 44A、 44B等的推壓力經(jīng)由移動構(gòu)件41及固定用臂55A施加在被推壓面26g (燈頭部26)上，因此燈頭部26的凸緣部26a就被向安裝裝置 31的定位板50的上面50a推壓，燈頭部26以至放電燈1就被安裝裝置31穩(wěn)定地保持。所以，固定用臂55A~55C構(gòu)成對燈頭部26 (固定部 26h)賦予朝向底板36側(cè)的推壓力的構(gòu)件的一部分。
這里，對為了解除固定用臂55A 55C對燈頭部26 (固定部26h) 的推壓力，將移動構(gòu)件41的升降構(gòu)件48A、 48B向上板45側(cè)提起的切換用連桿機(jī)構(gòu)63的構(gòu)成進(jìn)行說明。
在圖3中，在面板47C的大致中央固定有由絕緣材料形成的旋轉(zhuǎn)桿部64，在面板47C的內(nèi)側(cè)的旋轉(zhuǎn)桿部64的前端連結(jié)有可以在與移動方向D正交的驅(qū)動方向E上移動的可動棒65,在可動棒65的前端固定有俯視近似U字形的分支構(gòu)件66。在本例中，作為一個例子，通過由操作者將旋轉(zhuǎn)桿部手動地旋轉(zhuǎn)，而與之連動地將可動棒65沿驅(qū)動方向D 移動。而且，移動可動棒65的機(jī)構(gòu)是任意的，例如也可以不使用旋轉(zhuǎn) 桿部64，而由操作者直接操作延長了的可動棒65。另外，驅(qū)動方向E 也可以不與移動方向D正交，例如也可以與移動方向D大致平行。
在圖5中，作為一個例子，支承旋轉(zhuǎn)桿部64的面板47A 47C都由絕緣材料形成。此外，在分支構(gòu)件66的2處前端部，連結(jié)有可以經(jīng)由軸66A、66B旋轉(zhuǎn)的細(xì)長的連桿構(gòu)件67A、67B的一端，在連桿構(gòu)件67A、 67B的另一端上，可以旋轉(zhuǎn)地連結(jié)有滾筒69A、 69B，滾筒68A、 69A 可以從底面?zhèn)扰c固定于移動構(gòu)件41的上端的環(huán)形部41a上的升降構(gòu)件 48A、 48B接觸。另外，在面板47A、 47B的上部，固定有可以經(jīng)由軸 68C、 68D旋轉(zhuǎn)的細(xì)長的連桿構(gòu)件68A、 68B的一端，連桿構(gòu)件68A、 68B的另一端經(jīng)由軸67C、 67D與連桿構(gòu)件67A、 67B的中間位置(連桿構(gòu)件的一個端部與另一個端部之間的位置)連結(jié)(參照圖3)。這樣，構(gòu)成切換用連桿機(jī)構(gòu)63，其包括旋轉(zhuǎn)桿部64、可動棒65、分支構(gòu)件66、連桿構(gòu)件67A、 67B、連桿構(gòu)件68A、 68B及滾筒69A、 69B。
這里，為了可靠地防止移動構(gòu)件41與切換用連桿機(jī)構(gòu)63的連桿機(jī) 構(gòu)的機(jī)械的干擾，也可以如圖5所示，削掉移動構(gòu)件41的收納部41c 及驅(qū)動部41d的由虛線包圍的2處端部147A及147B。
圖10 (A)及(B)相當(dāng)于在圖3中顯示了切換用連桿機(jī)構(gòu)63的近前側(cè)的連桿構(gòu)件67B、 68B等的圖，并且表示在安裝裝置31上保持有放電燈1的燈頭部26的狀態(tài)，如圖10(A)所示，在操作旋轉(zhuǎn)桿部64而將可動棒65沿著驅(qū)動方向E移動到右端部的狀態(tài)下，連桿構(gòu)件67B (圖5的連桿構(gòu)件67A也相同)基本上就與可動棒65平行，移動構(gòu)件 41沿著移動方向D降低至最下端。其結(jié)果是，圖3的固定用臂55A的滾筒61將燈頭部26的固定部26h向下方推靠，燈頭部26被穩(wěn)定地保持。
與之不同，如圖10 (B)所示，在操作旋轉(zhuǎn)桿部64而對可動棒65 賦予推靠力F3沿著驅(qū)動方向E移動到左端部的狀態(tài)下，利用連桿構(gòu)件 68B的旋轉(zhuǎn)，連桿構(gòu)件67B的前端部的滾筒69B (圖5的滾筒69A也相同)上升，由此使得升降構(gòu)件48B及移動構(gòu)件41上升。其結(jié)果是，如圖3所示，利用螺旋彈簧62A將固定用臂55A向外側(cè)旋轉(zhuǎn)至接觸到收納部41c，由于滾筒61向圓筒構(gòu)件52的窗部52之外伸出，因此可以將燈頭部26的固定部26h從圓筒構(gòu)件52中抽拉，而將放電燈l從安裝裝置31上取下。
通過像這樣使用圖5的切換用連桿機(jī)構(gòu)63,就可以很容易地切換放電燈1的燈頭部26在安裝裝置31上的固定和解除。這里，除了切換用連桿機(jī)構(gòu)63以外，還可以使用使圖3的移動構(gòu)件41沿著移動方向D上升的任意的機(jī)構(gòu)。例如，也可以使用如下的機(jī)構(gòu)，即在圖5的連桿構(gòu) 件68A、 68B的前端部直接固定滾筒69A、 69B，通過由操作者旋轉(zhuǎn)連桿構(gòu)件68A、 68B, 4吏移動構(gòu)件41的升降構(gòu)件48A、 48B上升。
這樣，本例的安裝裝置31包括圖3~圖6所示的由絕緣板32、底板36、上板45、框架46A、 46B及面板47A ~ 47C構(gòu)成的框架機(jī)構(gòu)；由定位板50及圓筒構(gòu)件52構(gòu)成的保持放電燈1的燈頭部26的構(gòu)件；用于對燈頭部26的固定部26h賦予推壓力的固定用臂55A ~ 55C;包含移動構(gòu)件41、引導(dǎo)構(gòu)件37A 37C、連結(jié)構(gòu)件42A 42C、螺旋彈簧62A 等及壓縮螺旋彈簧44A 44C (彈性構(gòu)件)而對固定用臂55A 55C賦予推靠力的機(jī)構(gòu)；用于解除該機(jī)構(gòu)對固定用臂55A 55C的推靠力的切換用連桿機(jī)構(gòu)63;圖8的燈頭部28側(cè)的電力電纜33B;向電力電纜33B 供給冷卻了的氣體的氣體供給裝置(未圖示)；圖3的配管73;向配管 73供給冷卻了的氣體的圖9的鼓風(fēng)裝置71。
在圖9中，鼓風(fēng)裝置71具備進(jìn)行從取入口 72取入的氣體(例如空氣)的除塵的過濾器部71a;將由過濾器部71a供給的氣體冷卻的冷卻部71b;將由冷卻部71b供給的氣體向配管73側(cè)以給定流量供給的鼓風(fēng)部71c。這里，例如也可以在圓筒構(gòu)件52的外面設(shè)置溫度傳感器，基于該溫度傳感器的計(jì)測結(jié)果來控制冷卻部71b的設(shè)定溫度。
接下來，參照圖8~圖10對將本例的圖2 (A)的放電燈1在圖3 的安裝裝置31上拆裝之時(shí)的動作的一個例子進(jìn)行說明。
圖8是表示將放電燈1安裝于安裝裝置31上的狀態(tài)的圖，圖9是表示圖8中的放電燈1的燈頭部26及安裝裝置31的放大圖，圖10(A) 及(B )是與圖3對應(yīng)地表示切換用連桿機(jī)構(gòu)63的動作的圖。
首先，在安裝裝置31上安裝放電燈l之時(shí)，如圖10 (B)所示(該步驟中尚未在安裝裝置31上安裝燈頭部26。)，操作者操作切換用連桿機(jī)構(gòu)63，利用推靠力F3向滾筒69B推起，經(jīng)由升降構(gòu)件48B使移動構(gòu) 件41向上板45側(cè)上升，將固定用臂55A(圖6的其他的固定用臂55B、 55C也相同)的前端部(圖3的滾筒61)從圓筒構(gòu)件52的窗部52中抽拉。在該狀態(tài)下，向定位板50的開口及圓筒構(gòu)件52的內(nèi)面中嵌合圖2 (A)的放電燈1的燈頭部26的固定部26h及軸部26b。此時(shí)，如圖2 (A)所示，由于在燈頭部26中形成有抵接部26i及26e，因此可以將固定部26h及軸部26b順暢地插入定位板50的開口及圓筒構(gòu)件52的內(nèi) 面。
然后，如圖10 ( A)所示，當(dāng)操作者操作切換用連桿機(jī)構(gòu)63而將滾筒69B降下時(shí)，即利用壓縮螺旋彈簧44A(及圖5的壓縮螺旋彈簧44B、 44C )的推壓力Fl將移動構(gòu)件41向底板36側(cè)推靠。此時(shí)，如圖3所示，固定用臂55A的滾筒59從移動構(gòu)件41的收納部41c向傾斜部41b 移動，利用推壓力Fl對固定用臂55A作用以軸56為中心的逆時(shí)針的力矩。而且，如圖8所示，固定用臂55A的滾筒61穿過圓筒構(gòu)件52 的窗部52a插入燈頭部26的凹部26f側(cè)，繼而滾筒61將燈頭部26的被推壓面26g向底板36側(cè)推靠。在該狀態(tài)下，沿著圃筒構(gòu)件52的內(nèi)面的燈頭部26的移動方向D與放電燈1的長度方向一致。這樣，在燈頭部26的凸緣部26a密合在定位板50的上面50a,燈頭部26的軸部26b 嵌合在定位板50的開口 50b及圓筒構(gòu)件52的內(nèi)面中的狀態(tài)下，放電燈 1就被安裝裝置31穩(wěn)定地保持。
37圖8中，還在另一方的燈頭部28的端子部28a上連結(jié)有撓曲性高的電力電纜33B。從電力電纜33B向端子部28a供給電力，并且經(jīng)由電力電纜33B內(nèi)的配管向燈頭部28的槽部28f與外革部28b之間的流路供給冷卻了的氣體。所供給的氣體經(jīng)由形成于軸部28c與環(huán)形部28h之間的凹部28g排出，將燈頭部28有效地冷卻。
另外，向由安裝裝置31保持的燈頭部26，經(jīng)由電力電纜33A、框架46A、上板45及定位板50供給電力，在玻璃管25內(nèi)進(jìn)行發(fā)光。另外，如將圖8的要部放大了的圖9所示，從鼓風(fēng)裝置71經(jīng)由配管73向定位板50的通氣孔50c供給冷卻了的氣體。所供給的氣體如箭頭74A、 74B、 74C所示，經(jīng)過通氣孔50c、燈頭部26的槽部26d與圓筒構(gòu)件52 之間的流路及凹部26f，向圓筒構(gòu)件52的窗部52a(及其他的2處窗部) 向外排出。這樣，就可以將燈頭部26及玻璃管25有效地冷卻。
接下來，例如在為更換放電燈1而從圖8的安裝裝置31上將放電燈l取下的情況下，如圖IO(B)所示，操作者操作切換用連桿機(jī)構(gòu)63, 經(jīng)由滾筒69B及升降構(gòu)件48B使移動構(gòu)件41向上板45側(cè)上升，將固定用臂55A的前端部(圖3的滾筒61)向圓筒構(gòu)件52的窗部52a之外伸出。之后，操作者通過從定位板50及圓筒構(gòu)件52中抽拉燈頭部26, 就可以很容易地將放電燈1從安裝裝置31上取下。
這樣根據(jù)具備本例的放電燈i及安裝裝置31的曝光光源30，僅通過利用切換用連桿機(jī)構(gòu)63，解除固定用臂55A 55C對放電燈1的燈頭部26的固定部26h的推壓，就可以很容易地在短時(shí)間內(nèi)進(jìn)行放電燈1 相對于安裝裝置31的取下及安裝。另外，僅通過利用切換用連桿機(jī)構(gòu) 63，開始該固定用臂55A~55C對固定部26h的朝向燈頭部26的移動方向D (等于放電燈1的長度方向L)的推壓，放電燈l就被壓縮螺旋彈簧44A~44C的推靠力以確定了的大致一定的推壓力向定位板50推壓而固定。所以，通過調(diào)整該壓縮螺旋彈簧44A 44C的彈簧常數(shù)等，就可以很容易地將在安裝裝置31上固定放電燈1之時(shí)的推壓力設(shè)定在目標(biāo)范圍內(nèi)。
另外，當(dāng)從圖9的鼓風(fēng)裝置71向燈頭部26的槽部26d供給冷卻用的氣體時(shí)，由于該氣體沿著燈頭部26的表面流向固定部26h側(cè)，因此就可以用筒單的機(jī)構(gòu)有效地進(jìn)行放電燈1的冷卻。另外，如圖9所示，本例的安裝裝置31由于具有移動構(gòu)件41和固定用臂55A~55C,所述移動構(gòu)件41具有相對于移動方向D帶有傾斜的內(nèi)面(錐面)的傾斜部41b，因作用壓縮螺旋彈簧44A 44C的彈力而沿著移動方向D移動，所述固定用臂55A~ 55C與傾斜部41b的內(nèi)面抵接而將移動構(gòu)件41的移動方向D的移動變換為朝向燈頭部26的凹部 26f的插入方向的移動，將前端的滾筒61插入凹部26f,利用固定用臂 55A來推靠被推壓面26g,因此就可以很容易地對燈頭部26賦予移動方向D的推壓力。
這里，作為對移動構(gòu)件41賦予推壓力Fl的構(gòu)件，除了壓縮螺旋彈簧44A 44C以外，也可以使用拉伸螺旋彈簧或片簧等。另外，由于固定用臂55A 55C在燈頭部26的周圍以等角度間隔配置有多個(這里為3個)，因此就可以將燈頭部26以均勻的力保持在安裝裝置31上。而且，例如也可以僅用一個固定用臂55A來固定燈頭部26。
另外，在圖8中，在本例的燈頭部28側(cè)的電力電纜33B中，并列地收納有電力供給用的電纜和供給冷卻了的氣體的配管。但是，作為該電力電纜33B，也可以使用由傳導(dǎo)電力和冷卻用氣體的導(dǎo)體形成的具有柔軟性的管狀電纜。這樣，就可以將電力電纜33B的構(gòu)成簡化。
接下來，對將具備了上述的圖8及圖9所示的放電燈1及安裝裝置 31的曝光光源作為圖1的投影曝光裝置的曝光光源30使用時(shí)的制造方法或使用方法(工作方法)的一個例子進(jìn)行說明。
該制造方法的一個例子是用利用圖1的放電燈1的兩個電極之間的放電產(chǎn)生的光在晶片W上將母版R的圖案的像曝光的投影曝光裝置的制造方法，并且包括在用于保持放電燈1的圖8所示的安裝裝置31 上，經(jīng)由放電燈1的一方的燈頭部26安裝放電燈1的步驟S1;在放電燈1的另一方的燈頭部28的端子部28a上連接電力電纜33B (用力電纜)的步驟S2;在將如此安裝的放電燈l的燈頭部26安裝在安裝裝置 31上的狀態(tài)下將其冷卻的步驟S3。這樣，就可以將放電燈1有效地冷卻。
在該情況下，該步驟Sl可以還包括向安裝裝置31的定位板50 的開口 50b及圓筒構(gòu)件52的內(nèi)面插入燈頭部26的一部分(軸部26b及固定部26h)的步驟S11;對插入安裝裝置31的燈頭部26施加用于本奧吃放電燈1的推壓力(保持力)的步驟S12;在安裝裝置31的圓筒構(gòu)件52與燈頭部26的槽部26d之間形成冷卻用氣體的流路的步驟S13。
另外，該步驟S3可以包括從圖9的鼓風(fēng)裝置71向在該步驟S13中形成的流路供給冷卻用氣體的步驟31。通過像這樣在幾乎密閉了的流路中流過冷卻用氣體，就可以將燈頭部26更為有效地冷卻。
另外，也可以還包括將連接有電力電纜33B的燈頭部28利用經(jīng)由電力電纜33B供給的冷卻用液體來冷卻的步驟S4。這樣，燈頭部28也被冷卻，進(jìn)而也可以將放電燈1的玻璃管25有效地冷卻。
接下來，參照圖11 ~圖18對本發(fā)明的放電燈的實(shí)施方式的其他的各種例子進(jìn)行說明。以下所說明的各種放電燈也可以分別容易地在圖3 及圖4的安裝裝置31上拆裝，并且可以根據(jù)需要將進(jìn)行固定的力很容易地設(shè)定在所需的范圍內(nèi)。此外，將這些放電燈安裝在安裝裝置31上而構(gòu)成的光源可以作為圖1的曝光裝置的曝光光源30使用。另外，圖 11 (A) ~ (D)、圖12 (A) ~ (D)、圖13 (A) ~ ( C )、圖14 (A )、
(B) 及圖15(A)、 (B)所示的放電燈1A 10都在形成于其一方的燈頭部的軸部的表面的槽部(或其表面本身)與所對應(yīng)的圖3的安裝裝置 31的圓筒構(gòu)件52之間的流路中流過冷卻用介質(zhì)(氣體或液體)，圖15
(C) 、 (D)所示的放電燈1P、 1Q在以穿過其一方的燈頭部的軸部的內(nèi)部的方式設(shè)于凸緣部附近與固定部(被推靠部)之間的流路路中流過冷卻用介質(zhì)，圖18 (A)、 (B)所示的放電燈1AA、 1AB在其一方的燈頭部中分為作為嵌合部發(fā)揮作用的部分、冷卻用介質(zhì)所接觸的部分。以下，在圖11~圖18中，對與圖2(A)及圖2(B)對應(yīng)的部分^f吏用相同或類似的符號，將其詳細(xì)的說明省略或簡化。
首先，圖11 (A)的放電燈1A按照將包含在內(nèi)部形成發(fā)光部的燈泡部25a的玻璃管25A在長度方向上夾入的方式，將分別連接有用于形成該發(fā)光部的陰極及陽極(未圖示)的燈頭部26A及28固定而構(gòu)成，一方的燈頭部26A由圖3 (A)的安裝裝置31固定。而且，該玻璃管 25A的棒狀部25Ab、 25Ac的階梯形狀與圖2(A)的放電燈1的玻璃管25的棒狀部25b、 25c略微不同，而所發(fā)出的照明光的波長及功率大致相同。另外，圖11(A)的放電燈1A的燈頭部26A在如下方面與圖2(A) 的燈頭部26不同，即形成于其軸部26b (嵌合部)中的槽部26Ad被以與圖2 (A)的燈頭部26的槽部26d相反繞向的螺旋狀(例如螺紋用的槽狀)形成；在其軸部26b的前端形成有與凹部26f大致相同的截面形狀的圓柱狀的前端部26j。槽部26Ad的凸緣部26a (抵接部)側(cè)的起點(diǎn)與開口 27B的位置關(guān)系被設(shè)定為，在將燈頭部26A安裝在圖3的安裝裝置31上時(shí)，從圖9的鼓風(fēng)裝置71向圖3的定位板50的通氣孔50c 供給的冷卻了的氣體(冷卻用介質(zhì))流入槽部26Ad的起點(diǎn)。這樣，就可以將燈頭部26A以至放電燈1A有效地冷卻。
其次，圖11 (B)的放電燈1B在如下的方面與圖11 (A)的放電燈 1A不同，即將玻璃管25A用燈頭部26B及28夾入地構(gòu)成，在燈頭部26B的軸部26b的凸緣部26a的附近形成環(huán)狀的缺口部26c (槽部)，槽部26Ad與該缺口部26c連通。其結(jié)果是，在將放電燈1B的燈頭部 26B安裝在圖3的安裝裝置31上的情況下，與槽部26Ad的起點(diǎn)和開口 27B的位置關(guān)系無關(guān)，從圖9的鼓風(fēng)裝置71向圖3的定位板50的通氣孔50c供給的冷卻了的氣體經(jīng)由缺口部26c流入槽部26Ad。這樣，槽部26Ad的加工就會變得容易。
此外，圖11 (C)的放電燈1C在如下的方面與圖11 ( A)的放電燈1A不同，即在其燈頭部26C的軸部26b的凸緣部26a的附近形成環(huán)狀的缺口部26Cc，以將該缺口部26Cc與凹部26f (段部)連通的方式，在軸部26b的表面，平行于玻璃板25A的長度方向L地形成多個槽部26Cd。其結(jié)果是，在將放電燈1C的燈頭部26C安裝在圖3的安裝裝置31上的情況下，從圖9的鼓風(fēng)裝置71向圖3的定位板50的通氣孔50c供給的冷卻了的氣體(冷卻用介質(zhì))就會經(jīng)由缺口部26Cc及槽部26Cd流向凹部26f側(cè)。這樣，就可以將放電燈1C有效地冷卻。
此外，圖11 (D)的放電燈1D在如下的方面與圖11 ( A)的放電燈1A不同，即在其燈頭部26D的凸緣部26Da中設(shè)有槽部Dl，在軸部26b的表面沿著長度方向L，形成以與長度方向L平行的軸為中心的多個環(huán)狀的缺口部26Dk，在這些缺口部26Dk之間的軸部26b交互地例如以相差180。的間隔形成槽部D2。其結(jié)果是，在將放電燈1D的燈頭部26D安裝在圖3的安裝裝置31上的情況下，從圖9的鼓風(fēng)裝置71
41向圖3的定位板50的通氣孔50c供給的冷卻了的氣體經(jīng)由槽部Dl、缺口部26Dk及槽部D2流過軸部26b的表面，并且從槽部Dl向玻璃管 25A側(cè)排出。這樣，就可以將燈頭部26D及玻璃管25A以至放電燈1D 有效地冷卻。
此外，圖12 (A)的放電燈1E在如下的方面與圖11 (A)的放電燈1A不同，即在其燈頭部26E的軸部26b的表面沿著長度方向L形成以平行于長度方向L的軸為中心的多個環(huán)狀的缺口部26Ek (橫槽)，這些缺口部26Ek之間的軸部26b作為多個散熱用的散熱片發(fā)揮作用。其結(jié)果是，在將放電燈1E的燈頭部26E安裝在圖3的安裝裝置31上的情況下，從圖9的鼓風(fēng)裝置71向圖3的定位板50的通氣孔50c供給的冷卻了的氣體經(jīng)由缺口部26Ek流過軸部26b的表面，可以將放電燈 1E有效地冷卻。
此外，圖12 (B)的放電燈1F在如下的方面與圖11 (A)的放電燈 1A不同，即在其燈頭部26F的軸部26b的表面沿著長度方向L形成以平行于長度方向L的軸為中心的多個環(huán)狀的缺口部26Fk，在這些缺口部26Fk之間的軸部26b的90°間隔的4個部位分別形成槽部Gl、 G2、 G3 (第四個槽部未圖示)。在將放電燈1F的燈頭部26F安裝在圖 3的安裝裝置31上的情況下，從圖9的鼓風(fēng)裝置71向圖3的定位板50 的通氣孔50c供給的冷卻了的氣體經(jīng)由缺口部26Fk及槽部Fl等向凹部 26f側(cè)流過軸部26b的表面，可以將放電燈1F有效地冷卻。
此外，圖12 (C)的放電燈1G在如下的方面與圖11 ( A)的放電燈1A不同，即在其燈頭部26G的軸部26b的凸緣部26a的附近形成缺口部26c,按照與該缺口部26c連通的方式，在軸部26b的表面交叉地形成旋轉(zhuǎn)方向不同的2個螺旋狀的槽部26d及26Gd。
另一方面，圖12 (D)的放電燈1H在如下的方面與圖11 (A)的放電燈1A不同，即在其燈頭部26H的軸部26b的凸緣部26a的附近形成缺口部26c，按照與該缺口部26c連通的方式，在軸部26b的表面以多條螺紋(本例中為2條螺紋)狀形成螺旋狀的多個平行的槽部26Hd。由于這些放電燈1G (或1H)沿著2個槽部26d、 26Gd (或多個槽部 26Hd)流過冷卻了的氣體，因此冷卻效果特別優(yōu)良。此外，圖13 (A)的放電燈ll在如下的方面與圖11 (A)的放電燈 1A不同，即其燈頭部261的軸部26b的前端部的被圖3的固定用臂 55A等推靠的部分當(dāng)中的被推壓面26Ig相對于與玻璃管25A的長度方向垂直的平面來說平緩地傾斜；與被推壓面26Ig —起夾入固定部26h 的倒角部26Ii與被推壓面26Ig幾乎對稱地平緩地傾斜。在將該放電燈 II的燈頭部26I安裝在圖3的安裝裝置31上后，會有可以提高來自固定用臂55A等的對被推壓面26Ig的推靠力的情況。該情況下，可以更為穩(wěn)定地保持放電燈II。
另一方面，圖13 (B)的放電燈1J在如下的方面與圖11 ( A)的放電燈1A不同，即其燈頭部26J的被推壓面26Jg沿與圖13 (A)的被推壓面26Ig相反的方向傾斜，固定部26h為碗型。在利用圖3的固定用臂55A等的支承方法等，將該放電燈1J的燈頭部26J安裝在圖3的安裝裝置31上后，會有可以提高來自固定用臂55A等的對被推壓面 26Jg的推靠力的情況。該情況下，也可以更為穩(wěn)定地保持放電燈1J。
另外，圖13 (C)的放電燈lK在其燈頭部26K的固定部26Kh的形狀很小的方面與圖11 (A)的放電燈1A不同。這樣，就會有可以將圖3的安裝裝置31的構(gòu)成小型化的情況。
此外，圖14 ( A)的放電燈1L在如下的方面與圖11 (B)的放電燈1B不同，即在其燈頭部26L的軸部26b的凸緣部26a的附近形成缺口部26c，按照與該缺口部26c連通的方式，在軸部26b的表面交叉地形成旋轉(zhuǎn)方向不同的2個多條螺紋(例如2條螺紋等)的螺旋狀的多個槽部26Ld及26Hd。
另一方面，圖14 (B)的放電燈1M在如下的方面與圖11 (B)的放電燈1B不同，即在其燈頭部26M的軸部26b的凸緣部26a的附近形成缺口部26c，按照與該缺口部26c連通的方式，在軸部26b的表面交叉地形成多條螺紋(例如2條螺紋等)狀的螺旋狀的多個平行的槽部 26Ld、多條螺紋(例如3條螺紋)狀且長間距的螺旋狀的多個平行的槽部26Md。根據(jù)這些放電燈1L及1M，由于冷卻用介質(zhì)流動的槽部增加，因此冷卻效果特別優(yōu)良。
此外，圖15 ( A)的放電燈1N在如下的方面與圖11 (B)的放電
43燈1B不同，即在其燈頭部26N的軸部26b的前端部的被圖3的固定用臂55A等推靠的部分，設(shè)有3處固定部26hl、 26h2、 26h3。在將該放電燈1N的燈頭部26N安裝在圖3的安裝裝置31上后，由于圖6的3 處固定用臂55A~55C分別將固定部26hl 26h3沿長度方向推靠，因此放電燈1N就被穩(wěn)定地保持在安裝裝置31上。該情況下，與圖11 ( B ) 的放電燈1B等相比，可以將燈頭部26N輕質(zhì)化。
另一方面，圖15 (B)的放電燈IO在如下的方面與圖11 (A)的放電燈1A不同，即其燈頭部260的軸部26b的表面除了矩形的多個凸部26n以外被^1為凹部26m。如作為沿著圖15 (B)的AA線的剖面圖的圖16 (A)所示，燈頭部260的軸部26b的凸部26n之間成為槽部，其結(jié)果是，在將放電燈IO的燈頭部260安裝在圖3的安裝裝置31 上的情況下，從圖9的鼓風(fēng)裝置71向圖3的定位板50的通氣孔50c供給的冷卻了的氣體流過該軸部26b的凸部26n之間的槽部，將放電燈 IO有效地冷卻。該情況下，可以通過減少凸部26n的個數(shù)來減小流通阻力，更適于增多了所供給的氣體的流量的情況。
此外，圖15 (C)的放電燈1P在如下的方面與圖11 (B)的放電燈 1B不同，即在其燈頭部26P的軸部26b的凸緣部26a的附近(本例中為與凸緣部26a相接的位置)形成環(huán)狀的缺口部26Pc (槽部)，如下所示地具備(本例中為形成)由多個貫穿孔形成的流體通路26Pd,即，與該缺口部26Pc連通，穿過軸部26b的內(nèi)部，并且從凸緣部26a (缺口部26Pc)延至凹部26f。各流體通路26Pd分別具有與缺口部26Pc連通的開口P1、與凹部26f (倒角部26e)連通的開口 P2。如作為沿著圖 15 (C)的BB線的剖面圖的圖16 (B)所示，在燈頭部26P的軸部26b 中，多條流體通路26Pd基本上配置于相同的圓周上。其結(jié)果是，當(dāng)將放電燈1P的燈頭部26P安裝于圖3的安裝裝置31上時(shí)，由于從圖9 的鼓風(fēng)裝置71向圖3的定位板50的通氣孔50c供給的冷卻了的氣體就會經(jīng)由缺口部26Pc及多條流體通路26Pd向凹部26f側(cè)流過軸部26b的內(nèi)部，因此可以將放電燈1P有效地冷卻。
另一方面，圖15 (D)的放電燈1Q在如下的方面與圖11 (B)的放電燈1B不同，即在其燈頭部26Q的軸部26b的凸緣部26a的附近的內(nèi)部形成環(huán)狀的缺口部為形成)流體通路26Qd，即，與該缺口部26Rc連通而穿過軸部26b 的內(nèi)部，并且從凸緣部26a附近延至凹部26f,成螺旋狀。流體通路26Qd 的一端(經(jīng)由缺口部26Rc)與設(shè)于凸緣部26a的附近的軸部26b的表面的開口 Ql連通，流體通路26Qd的另一端與設(shè)于凹部26f (倒角部 26e)的開口 Q2連通。如作為沿著圖15 (D)的CC線的剖面圖的圖 16(C)所示，流體通路26Qd環(huán)繞燈頭部26Q的軸部26b的內(nèi)部。其結(jié)果是，當(dāng)將放電燈1Q的燈頭部26Q安裝于圖3的安裝裝置31上時(shí)，由于從圖9的鼓風(fēng)裝置71向圖3的定位板50的通氣孔50c供給的冷卻了的氣體就會經(jīng)由開口 Ql、軸部26b的內(nèi)部的流體通路26Qd以及開口Q2流向凹部26f側(cè)，因此可以將放電燈1P有效地冷卻。
這里，在制造圖15 (D)的放電燈1Q的燈頭部26Q的情況下，作為一個例子，可以如圖17所示，向具備了在外側(cè)面形成了缺口部26Rc 及螺旋狀的流體通路26Qd的軸部26Rb、截面形狀被該軸部略小的固定部26Rh的棒狀的主燈頭部26R的外面，嵌合了圓筒狀且在上端附近形成了開口 Q1的副燈頭部26S后，例如作為一個例子將燈頭部26R及 26S焊接。而且，作為固定方法，也可以采用螺紋緊固或粘接。
這里，流體通路26Qd也可以不是形成于燈頭部26Q的外側(cè)面，而是形成于副燈頭部26S的內(nèi)側(cè)面。
此外，圖18 (A)的具有燈頭部26AA的放電燈1AA相對于圖11 (A)的放電燈1A的軸部26b來說，在如下方面不同，即與長度方向正交的方向的截面形狀具備相互不同的2個部分。即，如圖18(A) 所示，在放電燈1AA的燈頭部26AA上，與圖11 ( A)的軸部26b相比，形成有長度方向的長度較短的作為嵌合部的軸部分26bl、在直到其下部的小直徑部26k之前與軸部26bl相比直徑(與長度方向正交的方向的外形形狀)較小的圓柱狀的棒部26b2。
長度方向的棒部26b2的長度與軸部分26bl的長度相比較長，另夕卜，棒部26b2的表面積與軸部分26b的表面積相比較大。
與此同時(shí)，將通氣孔50c配置為與棒部26b2中的軸部分26bl的附近相面對，以便在將燈頭部26AA安裝在圖3的安裝裝置31上后，從圖9的鼓風(fēng)裝置71向圖3的定位板50的通氣孔50c供給的冷卻了的氣
45體(冷卻用介質(zhì))流向作為冷卻部發(fā)揮作用的棒部26b2的表面。此外，由通氣孔50c供給的氣體從棒部26b2的軸部分26bl側(cè)朝向小直徑部 26k流動。在將本實(shí)施方式的放電燈1AA安裝在安裝裝置31上的情況下，只要預(yù)先將通氣孔50c的位置調(diào)整為與棒部26b2面對即可。而且，本實(shí)施方式中，雖然由通氣孔50c供給的氣體不會直接接觸軸部分 26bl,然而可以經(jīng)由棒部26b2將軸部分26bl冷卻。其他的構(gòu)成與圖
11 (A)的放電燈IA相同。
其結(jié)果是，在將放電燈1AA的燈頭部26AA安裝在圖3的安裝裝置 31上后，利用短的軸部分26bl進(jìn)行放電燈1AA的定位，并且從圖9 的鼓風(fēng)裝置71向圖3的定位板50的通氣孔50c供給的冷卻了的氣體(冷卻用介質(zhì))被向燈頭部26AA的棒部26b2的表面鼓風(fēng)。這樣，就可以將燈頭部26AA以至放電燈IAA有效地冷卻。
這里，也可以如圖18(B)的放電燈1AB的燈頭部26AB中所示，在軸部26b的下方的棒部26b2的表面形成螺旋狀的槽部26Ad。這樣，由于棒部26b2的與氣體的接觸面積變大，因此對燈頭部26AB的冷卻效果變大。
在圖18(A)的燈頭部26AA中，也可以將棒部26b2的直徑與小直徑部26f的直徑形成相同。
另外，在棒部26b2的表面，當(dāng)然可以應(yīng)用圖11(A) ~ (D)、圖
12 (A) ~ (D)、圖14 ( A)、 (B)、圖15 ( A )、 (B)的形成于軸部26b 上的立體結(jié)構(gòu)。
圖18 (A)、 (B)的放電燈1AA、 1AB中，即使在與安裝裝置31 的圓筒構(gòu)件52嵌合的部分(軸部分26bl)中未形成槽，也可以利用向棒部26b2的表面鼓風(fēng)的氣體，有效地進(jìn)行冷卻。
此外，圖2、圖11~圖16及圖18的放電燈1及放電燈1A 1Q是具備形成發(fā)光部的玻璃管25(或25A )、與該玻璃管連結(jié)的燈頭部26(或 26A 26Q)的放電燈，可以說其燈頭部在沿著平行于長度方向L(第一方向)的第一軸遠(yuǎn)離該玻璃管的方向上，依次具有包含以該第一軸為中心的具有第一半徑(設(shè)為Rl)以上的半徑的圓盤形狀的形狀的凸緣部26a (或26Da);具有與以該第一軸為中心的具有小于該半徑Rl 的第二半徑(設(shè)為R2)的圓柱形狀外接的形狀的軸部26b。另外，也可以說這些放電燈具有具有包含以該第一軸為中心而具有小于該半徑 R2的第三半徑(設(shè)為R3)的圓柱形狀的形狀的小直徑部26k;具有包含以該第一軸為中心而具有小于該半徑Rl并且大于該半徑R3的第四半徑(設(shè)為R4)的圓盤形狀的形狀的成為推靠對象的部分(包括被推壓面26g ( 26Ig等)及固定部26h ( 26hl ~ 26h3等)的部分)，并且在該軸部26b的外周或其附近，具有作為用于增大該軸部26b與空氣(氣氛氣體)的接觸面積的立體結(jié)構(gòu)的槽部26d等(或流體通路26Pd、 26Qd 等)。
在該情況下，通過從圖9的鼓風(fēng)裝置71經(jīng)由圖3的定位板50的通氣孔50c向該立體的結(jié)構(gòu)的周圍或內(nèi)部供給冷卻了的氣體(或液體)，就可以將該軸部26b以至放電燈有效地冷卻。
在該情況下，所謂凸緣部26a等及成為推靠對象的部分具有包含圓盤形狀的形狀是指，它們的外面的至少一部分與圓盤形狀內(nèi)接，并且在它們的內(nèi)部形成貫穿孔(包括螺紋孔)或開設(shè)的坑等。另外，所謂該軸部26b與該圓柱形狀外接是指，軸部26b的形狀是相對于該圓柱形狀來說不沿其半徑方向伸出的形狀，并且軸部26b的外形端(外側(cè)面)在多個部位與該圓柱形狀的側(cè)面相接。另外，所謂該立體的結(jié)構(gòu)使該軸部26b 與空氣的接觸面積增大是指，使該軸部26b的與空氣的接觸面積大于該具有半徑R2的圓柱形狀的側(cè)面。該情況下，在該立體的結(jié)構(gòu)為設(shè)于該軸部26b內(nèi)的流體通路26Pd、26Qd時(shí)，所謂該立體的結(jié)構(gòu)使該軸部26b 與空氣的接觸面積增大是指，使該軸部26b的側(cè)面的面積與該流體通路 26Pd、 26Qd的內(nèi)面的面積的和大于該具有半徑R2的圓柱形狀的側(cè)面的面積。
另外，在該立體的結(jié)構(gòu)為像圖2 (A)的螺旋狀的槽部26d、圖11 (C)的縱向的槽部26Cd、圖15(B)的多個凸部26n那樣的設(shè)于軸部 26b的外周的凹凸形狀的情況下，其加工就很容易。
另外，在立體的結(jié)構(gòu)為像圖15(C)、 (D)的流體通路26Pd、 26Qd 那樣的設(shè)于軸部26b的內(nèi)部的流體通路的情況下，就可以增大放電燈 1P、 1Q的燈頭部26P、 26Q的軸部26b與圖3的安裝裝置31的圓筒構(gòu)件52的接觸面積，更為穩(wěn)定地保持燈頭部26P、 26Q,并且也可以有效地進(jìn)行放電燈1P、 1Q的冷卻。
另外，在如圖15 (C)、 (D)所示，在軸部26b的凸緣部26a的近旁的外側(cè)面及軸部26b的小直徑部26k側(cè)的端部的附近，分別形成了與流體通路26Pd、 26Qd連通的開口 Pl、 Ql以及開口 P2及Q2的情況下，就可以將從凸緣部26a直到凹部26f的軸部26b的幾乎整體有效地冷卻。
這里，上述的立體的結(jié)構(gòu)可以說是在放電燈安裝于安裝裝置31上時(shí)冷卻用的介質(zhì)(例如氣體)所接觸的冷卻部。該冷卻部不限于立體的結(jié)構(gòu)，也包含如下的結(jié)構(gòu)，即，如圖18(A)的棒部26b2那樣，以比作為嵌合部的軸部分26bl的直徑更小的直徑形成，并且具有平緩的表面。
另外，圖2、圖11~圖16及圖18的放電燈1及放電燈1A 1Q 是具備沿長邊方向延伸地形成的玻璃管25 (或25A)、在該玻璃管的長度方向側(cè)的端部連結(jié)了一個端部的燈頭部26(或26A 26Q)的放電燈。另外可以說，設(shè)于燈頭部的凸緣部26a在與長度方向正交的方向上突出地形成。另外，可以說嵌合部26b設(shè)于凸緣部26a與燈頭部26的敞口端(由于將與玻璃管連結(jié)的端部稱作一個端部，因此這里也可以稱作另一個端部)之間，在與長度方向正交的方向的外形形狀具有比凸緣部26a 的外形形狀更小的形狀。而且，本實(shí)施方式中，在與長度方向正交的方向上，凸緣部的外形形狀為圓形，另外，嵌合部26b的外形形狀也為圓形。
另外，可以說小直徑部26k設(shè)于凸緣部26a與燈頭部26的敞口端之間，與長度方向正交的方向上的外形形狀具有小于嵌合部26b的形狀。另外，可以說固定部26h設(shè)于凸緣部26a與燈頭部26的敞口端之間，與長度方向正交的方向上的外形形狀具有比凸緣部26a的外形形狀小并且比小直徑部26k大的形狀。另外，上述的實(shí)施方式的投影曝光裝置可以通過將由曝光光源、多個透鏡等構(gòu)成的照明光學(xué)系統(tǒng)及投影光學(xué) 系統(tǒng)裝入曝光裝置主體并進(jìn)行光學(xué)調(diào)整，將由多個機(jī)械部件構(gòu)成的母版載臺或晶片載臺安裝在曝光裝置主體上而連接配線或配管，繼而進(jìn)行綜合調(diào)整(電氣調(diào)整、動作確認(rèn)等)來制造。而且，該投影曝光裝置的制造最好在溫度及潔凈度等受到控制的無塵室中進(jìn)行。
根據(jù)本實(shí)施方式，只要利用安裝裝置(保持裝置)31的切換用連桿機(jī)構(gòu)(切換機(jī)構(gòu))63，解除該固定用臂(推靠構(gòu)件)對該放電燈的固定部(被推靠部)26h的推壓，就可以很容易地在短時(shí)間內(nèi)進(jìn)行該放電燈相對于該安裝裝置31的取下及安裝。另外，只要利用該切換用連桿機(jī)構(gòu)63,開始該固定用臂對該固定部26h的朝向該第一方向的推壓，就可以很容易地將該放電燈以所需的范圍內(nèi)的大致一定的推壓力固定于該安裝裝置31上。另外，當(dāng)從該氣體供給裝置供給介質(zhì)時(shí)，由于該介質(zhì)沿著該燈頭構(gòu)件的表面流向該固定部26h側(cè)，因此可以用簡單的機(jī) 構(gòu)有效地進(jìn)行放電燈的冷卻。
這里，在使用上述的實(shí)施方式的曝光裝置制造半導(dǎo)體設(shè)備等微型設(shè)備的情況下，如圖19所示，經(jīng)過進(jìn)行微型設(shè)備的功能性能設(shè)計(jì) 的步驟201;制作基于該設(shè)計(jì)步驟的掩模(母版)的步驟202;制造作為設(shè)備的基材的基板的步驟203;包括利用所述的實(shí)施方式的投影曝光裝置(曝光裝置)將掩模(母版)的圖案在基板上曝光的工序、將曝光了的基板顯影的工序、顯影了的基板的加熱(老化)及蝕刻工序等的基板處理步驟204;設(shè)備組裝步驟(包括拋光工序、接合工序、封裝工序等加工過程)205;以及檢查步驟206等來制造微型設(shè)備。
這里，本發(fā)明的光源裝置除了上述的分步重復(fù)方式的投影曝光裝置(步進(jìn)機(jī)等)以外，還可以適用于分步掃描方式的掃描曝光型的投影曝光裝置(掃描步進(jìn)裝置等)的曝光光源中。另外，本發(fā)明的光源裝置還可以適用于國際公開第99/49504號小冊子、國際7>開第2004/019128 號小冊子等中所公開的液浸型曝光裝置的曝光光源中。另外，本發(fā)明的光源裝置還可以適用于不使用投影光學(xué)系統(tǒng)的近接(proximity )方式或接觸方式的曝光裝置的光源裝置或曝光裝置以外的機(jī)器的光源中。
這里，上述的實(shí)施方式中，雖然使用了形成有轉(zhuǎn)印用的圖案的母版(掩模)，然而也可以取代該母版，例如像美國專利第6， 778, 257 號說明書中所公開的那樣，使用基于應(yīng)當(dāng)曝光圖案的電子數(shù)據(jù)形成透過圖案或反射圖案的電子掩模。
另外，本發(fā)明并不限于半導(dǎo)體設(shè)備制造用的曝光裝置，還可以適用
49于在包括液晶顯示元件或等離子體顯示器等顯示器的制造中所用的將
設(shè)備圖案向玻璃平板上轉(zhuǎn)印的曝光裝置；將薄膜磁頭的制造中所用的設(shè) 備圖案向陶瓷晶片上轉(zhuǎn)印的曝光裝置；以及在拍攝元件(CCD等)、有機(jī)EL、微型機(jī)器、MEMS ( Microelectromechanical Systems )及DNA 芯片等的制造中所用的曝光裝置等中。另外，不僅是半導(dǎo)體元件等微型設(shè)備，為了制造在光曝光裝置及EUV曝光裝置等中使用的掩模，也可以將本發(fā)明應(yīng)用于向玻璃基板或硅晶片等轉(zhuǎn)印電路圖案的曝光裝置中。
另外，例如也可以將圖13 (A)、 (B)、 (C)的固定部26h的被推壓面的形狀應(yīng)用于其他的各放電燈中。
如此所述，本發(fā)明并不限定于上述的實(shí)施方式，可以在不脫離本發(fā) 明的主旨的范圍中取得各種的構(gòu)成。另外，包括說明書、技術(shù)方案的范圍、附圖及摘要在內(nèi)的2006年9月1日提出的日本國申請2006 -237252、 2007年1月15日提出的日本國申請2007 - 006462及2007年 5月11日提出的日本國申請2007- 127451的所有的公開內(nèi)容全都被原樣地引用而加入本申請中。
工業(yè)上可利用性
根據(jù)本發(fā)明的光源裝置，可以很容易地在短時(shí)間內(nèi)進(jìn)行放電燈相對于保持裝置(安裝機(jī)構(gòu))的安裝等。另外，由于可以用簡單的機(jī)構(gòu)有效地進(jìn)行放電燈的冷卻，因此適用于曝光裝置的曝光光源等中。
權(quán)利要求
1. 一種放電燈，其具備形成發(fā)光部的玻璃構(gòu)件和與該玻璃構(gòu)件連結(jié)的燈頭構(gòu)件，其特征在于，所述放電燈經(jīng)由所述燈頭構(gòu)件可拆裝地保持于與該放電燈分立地設(shè)置的保持構(gòu)件，所述燈頭構(gòu)件具有抵接部，其與所述保持構(gòu)件抵接而規(guī)定所述發(fā)光部相對于所述保持構(gòu)件的在第一方向的位置；被推靠部，其被施加將所述抵接部沿著所述第一方向向所述保持構(gòu)件推壓的推壓力；嵌合部，其設(shè)在所述抵接部與所述被推靠部之間，并與所述保持構(gòu)件嵌合；槽部，其設(shè)在所述嵌合部中，并在其與所述保持構(gòu)件之間構(gòu)成從所述抵接部附近直至所述被推靠部的冷卻用介質(zhì)的流路。
2. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的放電燈，其特征在于，所述被推靠部包含設(shè)于所述燈頭構(gòu)件的敞口端附近的凹部。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的放電燈，其特征在于，所述槽部與所述凹部連通。
4. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的放電燈，其特征在于，所述被推靠部包含設(shè)于所述燈頭構(gòu)件的敞口端附近的段部。
5. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的放電燈，其特征在于，所述段部包含具有比與所述第一方向正交的面中的所述嵌合部的截面積小的截面積的小直徑部。
6. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的放電燈，其特征在于，所述嵌合部和所述小直徑部均具有以與所述第一方向平行的軸為中心的圓形截面，所述小直徑部的直徑為所述嵌合部的直徑的1/2以下。
7. 根據(jù)權(quán)利要求4至6中任意一項(xiàng)所述的放電燈，其特征在于，所述槽部與所述段部連通。
8. 根據(jù)權(quán)利要求1至7中任意一項(xiàng)所述的放電燈，其特征在于，所述嵌合部規(guī)定與所述第一方向正交的方向上的所述發(fā)光部相對于所述保持構(gòu)件的位置。
9. 根據(jù)權(quán)利要求1至8中任意一項(xiàng)所述的放電燈，其特征在于，所述玻璃構(gòu)件具有與所述燈頭構(gòu)件連結(jié)的棒狀部，所述嵌合部的粗細(xì)與所述棒狀部的粗細(xì)大致相同。
10. 根據(jù)權(quán)利要求1至9中任意一項(xiàng)所述的放電燈，其特征在于，所述槽部被環(huán)繞沿著所述第一方向的軸以螺旋狀形成。
11. 根據(jù)權(quán)利要求1至10中任意一項(xiàng)所述的放電燈，其特征在于，在所述放電燈的所述抵接部形成至少一個定位部。
12. 根據(jù)權(quán)利要求ll所述的放電燈；其特征在于，所述定位部被設(shè) 于與所述嵌合部中的所述槽部的形成位置對應(yīng)的位置。
13. 根據(jù)權(quán)利要求1至12中任意一項(xiàng)所述的放電燈，其特征在于，所述燈頭部的所述第一方向的長度為所述放電燈的全長的1/5以上且 1/4以下。
14. 根據(jù)權(quán)利要求1至13中任意一項(xiàng)所述的放電燈，其特征在于，所述嵌合部與所述保持構(gòu)件嵌合的部分的面積，大于設(shè)在所述嵌合部中的所述槽部的面積。
15. 根據(jù)權(quán)利要求14所述的放電燈，其特征在于，所述嵌合部與所述保持構(gòu)件嵌合的部分的面積，大于設(shè)在所述嵌合部中的所述槽部的面積的2倍。
16. 根據(jù)權(quán)利要求1至15中任意一項(xiàng)所述的放電燈，其特征在于，所述放電燈具有在與所述燈頭構(gòu)件不同的位置與所述玻璃構(gòu)件連結(jié)的第二燈頭構(gòu)件，其中，所述第二燈頭構(gòu)件在內(nèi)部設(shè)置冷卻用介質(zhì)所流通的流路。
17. 根據(jù)權(quán)利要求16所述的放電燈，其特征在于，設(shè)在所述第二燈頭構(gòu)件中的所述流路，被環(huán)繞沿著所述第一方向的軸以螺旋狀形成。
18. 根據(jù)權(quán)利要求16或17所述的放電燈，其特征在于，所述燈頭構(gòu)件與所述第二燈頭構(gòu)件是用于接收點(diǎn)亮所述放電燈用的電力的供給的與各個不同極性對應(yīng)的電力接收部，所述第二燈頭構(gòu)件具備不僅供給點(diǎn)亮所述放電燈用的電力而且被供給所述冷卻用介質(zhì)的用力接收端子。
19. 根據(jù)權(quán)利要求16至18中任意一項(xiàng)所述的放電燈，其特征在于，所述第二燈頭構(gòu)件被相對于所述燈頭構(gòu)件夾隔所述玻璃構(gòu)件而設(shè)于沿著所述第一方向的相反一側(cè)。
20. —種放電燈，其具備形成發(fā)光部的玻璃構(gòu)件；與該玻璃構(gòu)件連結(jié)的第一燈頭構(gòu)件；以及在與所述第一燈頭構(gòu)件不同的位置與所述玻璃構(gòu)件連結(jié)的第二燈頭構(gòu)件，其特征在于，所述放電燈經(jīng)由所述第一燈頭構(gòu)件可拆裝地保持于與該放電燈分立地設(shè)置的保持構(gòu)件，所述第一燈頭構(gòu)件具有抵接部，其與所述保持構(gòu)件抵接而規(guī)定所述發(fā)光部相對于所述保持構(gòu)件的在第一方向的位置；嵌合部，其相對于所述抵接部處于所述玻璃構(gòu)件的沿著所述第一方向的相反一側(cè)，并與所述保持構(gòu)件嵌合；槽部，其設(shè)在所述嵌合部中，在其與所述保持構(gòu)件之間構(gòu)成冷卻用介質(zhì)的流路，所述第二燈頭構(gòu)件具備冷卻所述第二燈頭構(gòu)件的冷卻用介質(zhì)所流通的流路。
21. 根據(jù)權(quán)利要求20所述的放電燈，其特征在于，所述嵌合部規(guī)定與所述第一方向正交的方向上的所述發(fā)光部相對于所述保持構(gòu)件的位置。
22. 根據(jù)權(quán)利要求20或21所述的放電燈，其特征在于，所述玻璃構(gòu)件具有與所述第一燈頭構(gòu)件連結(jié)的棒狀部，所述嵌合部的粗細(xì)與所述棒狀部的粗細(xì)大致相同。
23. 根據(jù)權(quán)利要求20至22中任意一項(xiàng)所述的放電燈，其特征在于，所述槽部被環(huán)繞沿著所述第一方向的軸以螺旋狀形成。
24. 根據(jù)權(quán)利要求20至23中任意一項(xiàng)所述的放電燈，其特征在于，在所述放電燈的所述抵接部形成至少一個定位部。
25. 根據(jù)權(quán)利要求24所述的放電燈，其特征在于，所述定位部被設(shè) 于與所述嵌合部中的所述槽部的形成位置對應(yīng)的位置。
26. 根據(jù)權(quán)利要求20至25中任意一項(xiàng)所述的放電燈，其特征在于，所述第一燈頭部的所述第一方向的長度為所述放電燈的全長的1/5以上且1/4以下。
27. 根據(jù)權(quán)利要求20至26中任意一項(xiàng)所述的放電燈，其特征在于，所述嵌合部與所述保持構(gòu)件嵌合的部分的面積，大于設(shè)在所述嵌合部中的所述槽部的面積。
28. 根據(jù)權(quán)利要求27所述的放電燈，其特征在于，所述嵌合部與所述保持構(gòu)件嵌合的部分的面積，大于設(shè)在所述嵌合部中的所述槽部的面積的2倍。
29. 根據(jù)權(quán)利要求20至28中任意一項(xiàng)所述的放電燈，其特征在于，所述第二燈頭構(gòu)件具備冷卻用介質(zhì)所流通的流路。
30. 根據(jù)權(quán)利要求29所述的放電燈，其特征在于，所述第一燈頭構(gòu) 件、所述發(fā)光部及所述第二燈頭構(gòu)件被沿著所述第一方向配置，設(shè)在所述第二燈頭構(gòu)件中的所述流路，被環(huán)繞沿著所述第一方向的軸以螺旋狀形成。
31. 根據(jù)權(quán)利要求20至30中任意一項(xiàng)所述的放電燈，其特征在于，所述第一燈頭構(gòu)件與所述第二燈頭構(gòu)件是用于接收點(diǎn)亮所述放電燈用的電力的供給的與各個不同極性對應(yīng)的電力接收端子，所述第二燈頭構(gòu)件具備不僅供給點(diǎn)亮所述放電燈用的電力而且被供給所述冷卻用介質(zhì)的用力接收端子。
32. —種放電燈，其通過在相互分離的第一及第二電極間放電來發(fā) 光，其特征在于，所述放電燈具備與所述第一電極連接的第一燈頭構(gòu)件和與所述第二電極連接的第二燈頭構(gòu)件，在所述第一燈頭構(gòu)件中，形成有冷卻所述第一燈頭構(gòu)件的冷卻介質(zhì) 所流動的第一流路，在所述第二燈頭構(gòu)件中，形成有冷卻所述第二燈頭構(gòu)件的冷卻介質(zhì)所流動的第二流路。
33. 根據(jù)權(quán)利要求32所述的放電燈，其特征在于，所述第一燈頭構(gòu) 件、所述第一電極、所述第二電極及所述第二燈頭構(gòu)件配置于相同的一個軸上，所述第一流路與所述第二流路被以環(huán)繞所述一個軸的螺旋狀形成。
34. 根據(jù)權(quán)利要求32或33所述的放電燈，其特征在于，所述第二燈頭構(gòu)件具備供給冷卻所述第二燈頭構(gòu)件的冷卻介質(zhì)、放電用的電力的用力接收端子。
35. —種光源裝置，其具備具有形成發(fā)光部的玻璃構(gòu)件和與該玻璃構(gòu)件連結(jié)的燈頭構(gòu)件的放電燈；具有經(jīng)由所述燈頭構(gòu)件保持所述放電燈的保持構(gòu)件的保持裝置，其特征在于，所述放電燈所具備的所述燈頭構(gòu)件具有抵接部，其與所述保持構(gòu)件抵接而規(guī)定所述發(fā)光部相對于所述保持構(gòu)件的在第一方向的位置；被推靠部，其被施加將所述抵接部沿著所述第一方向向所述保持構(gòu) 件推壓的推壓力；嵌合部，其設(shè)在所述抵接部與所述被推靠部之間，并與所述保持構(gòu) 件嵌合；槽部，其設(shè)在所述嵌合部中，在其與所述保持構(gòu)件之間構(gòu)成從所述抵接部附近直至所述被推靠部的冷卻用介質(zhì)的流路，所述保持裝置具有所述保持構(gòu)件；對所述被推靠部施加所述推壓力的推靠構(gòu)件；切換機(jī)構(gòu)，其切換利用所述推靠構(gòu)件的將所述抵接部向所述保持構(gòu) 件的推壓和該推壓的解除；介質(zhì)供給裝置，其將用于冷卻所述燈頭構(gòu)件的所述冷卻用介質(zhì)經(jīng)由所述槽部向所述流路供給。
36. 根據(jù)權(quán)利要求35所述的光源裝置，其特征在于，所述放電燈的所述被推靠部具有段部，在利用所述推靠構(gòu)件將所述抵接部向所述保持構(gòu)件推壓之時(shí)，所述推靠構(gòu)件的至少一部分插入所述段部。
37. 根據(jù)權(quán)利要求35或36所述的光源裝置，其特征在于，設(shè)在所述燈頭部中的所述槽部，被以環(huán)繞沿著所述第一方向的軸的螺旋狀形成。
38. 根據(jù)權(quán)利要求35至37中任意一項(xiàng)所述的光源裝置，其特征在于，在所述放電燈的所述抵接部形成至少一個定位部，在所述保持裝置的所述保持構(gòu)件形成與所述定位部卡合的至少一個凸部。
39. 根據(jù)權(quán)利要求35至37中任意一項(xiàng)所述的光源裝置，其特征在于，在所述放電燈的所述抵接部形成至少一個定位部，在所述保持裝置的所述保持構(gòu)件形成與所述定位部卡合的至少一個凸部，所述定位部與所述凸部在將所述放電燈安裝在所述保持裝置上的狀態(tài)下在所述介質(zhì)供給裝置與所述槽部連通的位置卡合。
40. 根據(jù)權(quán)利要求36所述的光源裝置，其特征在于，所述保持裝置具有彈性構(gòu)件；移動件，其具有相對于所述第一方向傾斜的錐面，因有所述彈性構(gòu) 件的彈力作用而沿著所述第一方向移動；臂構(gòu)件，其與所述錐面抵接而將所述移動件的所述第一方向的移動變換為朝向所述段部的插入方向的移動，并作為至少一部分被插入所述段部的所述推靠構(gòu)件。
41. 根據(jù)權(quán)利要求40所述的光源裝置，其特征在于，所述移動件包含將所述放電燈的所述燈頭構(gòu)件的至少一部分包圍地配置的圓筒狀的構(gòu)件，所述臂構(gòu)件被環(huán)繞所述燈頭構(gòu)件以大致等角度間隔配置多個。
42. 根據(jù)權(quán)利要求40或41所述的光源裝置，其特征在于，所述保持裝置的所述切換機(jī)構(gòu)具有可旋轉(zhuǎn)地配置的桿構(gòu)件；連桿機(jī)構(gòu)，其與所述桿構(gòu)件的旋轉(zhuǎn)角對應(yīng)地將所述移動件沿所述第一方向移動。
43. 根據(jù)權(quán)利要求35至42中任意一項(xiàng)所述的光源裝置，其特征在于，所述放電燈具有在與所述燈頭構(gòu)件不同的位置與所述玻璃構(gòu)件連結(jié) 的第二燈頭構(gòu)件，在所述第二燈頭構(gòu)件的內(nèi)部設(shè)置冷卻用介質(zhì)所流通的流路。
44. 根據(jù)權(quán)利要求43所述的光源裝置，其特征在于，所述燈頭構(gòu)件、所述發(fā)光部及所述第二燈頭構(gòu)件被沿著所述第一方向配置，所述第二燈頭構(gòu)件具有以環(huán)繞沿著所述第一方向的軸的螺旋狀形成的流路。
45. 根據(jù)權(quán)利要求43或44所述的光源裝置，其特征在于，所述第二燈頭構(gòu)件具備供給所述冷卻用介質(zhì)和點(diǎn)亮所述放電燈用的電力的用力接收端子。
46. 根據(jù)權(quán)利要求43至45中任意一項(xiàng)所述的光源裝置，其特征在于，具備可與所述用力接收端子卡合的用力供給端子；向所述用力供給端子導(dǎo)入電力和冷卻用介質(zhì)的由導(dǎo)體形成的具有柔軟性的管狀電纜。
47. —種放電燈，其特征在于，所述放電燈具備形成發(fā)光部的玻璃構(gòu)件；燈頭構(gòu)件，其具有與該玻璃構(gòu)件的第一方向側(cè)連結(jié)并沿與所述第一方向正交的第二方向延伸的抵接部；被施加沿著所述第一方向的力的被推靠部；設(shè)在所述抵接部與所述被推靠部之間的嵌合部；設(shè)在所述嵌合部中的槽部，其中，所述燈頭構(gòu)件可保持在如下的保持裝置上，其利用對所述被推靠部施加的所述第一方向的力與所述抵接部抵接而規(guī)定所述發(fā)光部的所述第一方向的位置，并且通過與所述嵌合部嵌合而規(guī)定與所述第一方向正交的方向的位置，而且向形成于所述保持構(gòu)件與所述槽部之間的流路供給冷卻用介質(zhì)。
48. 根據(jù)權(quán)利要求47所述的放電燈，其特征在于，所述燈頭構(gòu)件的所述被推靠部具有段部，用于對所述燈頭構(gòu)件作用所述第一方向的力的推靠構(gòu)件的至少一部分插入所述段部。
49. 根據(jù)權(quán)利要求47或48所述的放電燈，其特征在于，所述槽部被以環(huán)繞沿著所述第一方向的軸的螺旋狀形成。
50. 根據(jù)權(quán)利要求47至49中任意一項(xiàng)所述的放電燈，其特征在于，所述抵接部具有與形成在所述保持構(gòu)件上的至少一個凸部卡合的至少一個定位部。
51. 根據(jù)權(quán)利要求50所述的放電燈，其特征在于，所述定位部的位置被與所述保持裝置供給所述冷卻用介質(zhì)的位置對應(yīng)地設(shè)定。
52. 根據(jù)權(quán)利要求47至51中任意一項(xiàng)所述的放電燈，其特征在于，所述放電燈具有設(shè)于與設(shè)置所述燈頭構(gòu)件的位置不同的位置的第二燈頭構(gòu)件，在所述第二燈頭構(gòu)件的內(nèi)部設(shè)置冷卻用介質(zhì)所流通的流路。
53. 根據(jù)權(quán)利要求52所述的放電燈，其特征在于，所述燈頭構(gòu)件、所述發(fā)光部及所述第二燈頭構(gòu)件被沿著所述第一方向配置，所述第二燈頭構(gòu)件具有以環(huán)繞沿著所述第一方向的軸的螺旋狀形成的所述流路。
54. 根據(jù)權(quán)利要求52或53所述的放電燈，其特征在于，所述第二燈頭構(gòu)件具備被供給所述冷卻用介質(zhì)和點(diǎn)亮所述放電燈用的電力的用力接收端子。
55. —種曝光裝置，其利用由光源裝置產(chǎn)生的曝光光在感光基板上將圖案曝光，其特征在于，所述曝光裝置使用權(quán)利要求35至46中任意一項(xiàng)所述的光源裝置作為所述光源裝置。
56. —種曝光裝置的制造方法，其用利用放電燈的2個電極間的放電產(chǎn)生的光在感光基板上將圖案曝光，其特征在于，所述曝光裝置的制造方法包括在用于保持所述放電燈的保持裝置上，經(jīng)由與所述放電燈的所述2 個電極中的一方對應(yīng)地設(shè)置的第一燈頭構(gòu)件安裝所迷放電燈的步驟；在與所述放電燈的另一方的電極對應(yīng)地設(shè)置的第二燈頭構(gòu)件上連接用力電纜的步驟；在將所述安裝好的所述放電燈的所述第一燈頭構(gòu)件安裝在所述保持裝置上的狀態(tài)下冷卻的步驟。
57. 根據(jù)權(quán)利要求56所述的曝光裝置的制造方法，其特征在于，安裝所述放電燈的步驟包括向設(shè)于所述保持裝置的開口部中插入所述第一燈頭部的一部分的步驟；對插入到所述保持裝置的所述第一燈頭部施加用于保持所述放電燈的保持力的步驟；在所述保持裝置與所述第一燈頭構(gòu)件之間形成冷卻用介質(zhì)的流路的步驟，所述冷卻的步驟包括向所述流路供給冷卻用介質(zhì)的步驟。
58. 根據(jù)權(quán)利要求56或57所述的曝光裝置的制造方法，其特征在于，包括利用經(jīng)由所述用力電纜供給的冷卻用介質(zhì)，冷卻連接有所述用力電纜的所述第二燈頭構(gòu)件的步驟。
59. —種放電燈，其具備形成發(fā)光部的玻璃構(gòu)件和與該玻璃構(gòu)件連結(jié)的燈頭構(gòu)件，其特征在于，所述放電燈經(jīng)由所述燈頭構(gòu)件可拆裝地保持于與該放電燈分立地設(shè)置的保持構(gòu)件，所述燈頭構(gòu)件具有抵接部，其與所述保持構(gòu)件抵接而規(guī)定所述發(fā)光部相對于所述保持構(gòu)件的在第一方向的位置；被推靠部，其被施加將所述抵接部沿著所述第一方向向所述保持構(gòu) 件推壓的推壓力；嵌合部，其設(shè)在所述抵接部與所述被推靠部之間，并與所述保持構(gòu) 件嵌合；流體通路，其以穿過所述嵌合部的內(nèi)部的方式設(shè)于所述抵接部附近與所述被推靠部之間形成冷卻用介質(zhì)的流路。
60. 根據(jù)權(quán)利要求59所述的放電燈，其特征在于，在所述嵌合部的所述抵接部附近的外側(cè)面形成槽部，在所述槽部中具備與所述流體通路連通的開口。
61. 根據(jù)權(quán)利要求59所述的放電燈，其特征在于，在所述嵌合部的所述抵接部的附近的外側(cè)面具備與所述流體通路連通的開口。
62. 根據(jù)權(quán)利要求59至61中任意一項(xiàng)所述的放電燈，其特征在于，所述嵌合部以下述方式構(gòu)成，即使圓筒狀的第二構(gòu)件嵌合，以覆蓋在々k/fthl面ds f 6fr;3fc',:右>fck ;雖,故AA楚一她肚
63. —種光源裝置，其具備權(quán)利要求59至62中任意一項(xiàng)所述的放電燈；具有經(jīng)由所述燈頭構(gòu)件保持所述放電燈的保持構(gòu)件的保持裝置，其特征在于，所述保持裝置具有對所述被推靠部施加所述推壓力的推靠構(gòu)件；將用于冷卻所述燈頭構(gòu)件的介質(zhì)向所述流體通路供給的介質(zhì)供給裝置。
64. —種放電燈，其具備形成發(fā)光部的玻璃構(gòu)件和與該玻璃構(gòu)件連結(jié)的燈頭構(gòu)件，其特征在于，所述燈頭構(gòu)件沿著平行于第一方向的第一軸在遠(yuǎn)離玻璃構(gòu)件的方向依次具有抵接部，其具有包含以所述第一軸為中心的具有第一半徑以上的半徑的圓盤形狀的形狀；嵌合部，其具有與以所述第一軸為中心的具有小于所述第一半徑的第二半徑的圓柱形狀外接的形狀；小直徑部，其具有包含以所述第一軸為中心而具有小于所述第二半徑的第三半徑的圓柱形狀的形狀；被推靠部，其具有包含以所述第一軸為中心而具有小于所述第一半徑且大于所述第三半徑的第四半徑的圓盤形狀的形狀，并且在所述嵌合部的外周或其附近，具有用于增大所述嵌合部與空氣的接觸面積的立體結(jié)構(gòu)。
65. 根據(jù)權(quán)利要求64所述的放電燈，其特征在于，所述立體結(jié)構(gòu)是設(shè)于所述嵌合部的外周的凹凸形狀。
66. 根據(jù)權(quán)利要求64所述的放電燈，其特征在于，所述立體結(jié)構(gòu)是設(shè)于所述嵌合部的內(nèi)部的流體通路。
67. 根據(jù)權(quán)利要求66所述的放電燈，其特征在于，在所述嵌合部的所述抵接部的附近的外側(cè)面及所述嵌合部的所述小直徑部側(cè)端部的附近，形成有與所述流體通路連通的開口。
68. —種放電燈，其具備具有發(fā)光部并沿第一方向延伸地形成的玻璃構(gòu)件；在所述玻璃構(gòu)件的所述第一方向側(cè)的端部連結(jié)一個端部的第一燈頭構(gòu)件，其特征在于，所述第一燈頭構(gòu)件具備在與所述第一方向正交的方向突出的突出部；第一軸部，其設(shè)于所述突出部與所述第一燈頭構(gòu)件的另一個端部之間，在所述正交方向上的外形形狀小于所述突出部的外形形狀；第二軸部，其設(shè)于所述突出部與所述第一燈頭構(gòu)件的另一個端部之間，在所述正交方向上的外形形狀小于所述第一軸部；第三軸部，其設(shè)于所述突出部與所述第一燈頭構(gòu)件的另一個端部之間，在所述正交方向上的外形形狀小于所述突出部的外形形狀，并且大于所述第二軸部；冷卻部，其設(shè)于所述第一軸部的外周面的至少一部分，可與冷卻用介質(zhì)接觸。
69. 根據(jù)權(quán)利要求68所述的放電燈，其特征在于，所述第一軸部以沿所述第一方向延伸的圓柱形狀形成。
70. 根據(jù)權(quán)利要求68所述的放電燈，其特征在于，所述第一軸部具有所述正交方向上的外形形狀相互不同的2個部分。
71. 根據(jù)權(quán)利要求70所述的放電燈，其特征在于，所述第一軸部具有第一部分；具有所述正交方向上的外形形狀小于所述第一部分的形狀的第二部分。
72. 根據(jù)權(quán)利要求70所述的放電燈，其特征在于，所述第一軸部具有所述正交方向上的外形形狀被以圓形形成的第一部分；具備所述冷卻部的第二部分。
73. 根據(jù)權(quán)利要求72所述的放電燈，其特征在于，所述第一燈頭構(gòu) 件從所述一個端部起向所述另一個端部依次具備所述突出部、所述第一軸部的所述第一部分、所述第一軸部的所述第二部分、所述第二軸部及所述第三軸部。
74. 根據(jù)權(quán)利要求68至73中任意一項(xiàng)所述的放電燈，其特征在于，所述第三軸部在所述正交方向上的外形形狀與所述第一軸部相同或者小于所述第一軸部。
75. 根據(jù)權(quán)利要求68至74中任意一項(xiàng)所述的放電燈，其特征在于，所述第三軸部具有在所述正交方向突出的多個凸部。
76. 根據(jù)權(quán)利要求68至74中任意一項(xiàng)所述的放電燈，其特征在于，所述第三軸部具有形成于所述玻璃構(gòu)件側(cè)的表面。
77. 根據(jù)權(quán)利要求76所述的放電燈，其特征在于，所述表面是與所述第一方向正交的平面。
78. 根據(jù)權(quán)利要求76所述的放電燈，其特征在于，所述表面是相對于與所述第一方向正交的平面傾斜的面。
79. 根據(jù)權(quán)利要求68至78中任意一項(xiàng)所述的放電燈，其特征在于，所述冷卻部具有從所述第一燈頭構(gòu)件的所述一個端部側(cè)朝向所述另一個端部側(cè)的槽部。
80. 根據(jù)權(quán)利要求79所述的放電燈，其特征在于，所述槽部被環(huán)繞沿著所述第一方向的軸以螺旋狀形成。
81. 根據(jù)權(quán)利要求79所述的放電燈，其特征在于，所述槽部被沿著所述第一方向形成。
82. 根據(jù)權(quán)利要求68至78中任意一項(xiàng)所述的放電燈，其特征在于，所述冷卻部具有設(shè)于所述第一軸部的外周面的至少一部分的凹凸形狀。
83. 根據(jù)權(quán)利要求68至82中任意一項(xiàng)所述的放電燈，其特征在于，所述突出部被以環(huán)形形成。
84. 根據(jù)權(quán)利要求68至82中任意一項(xiàng)所述的放電燈，其特征在于，所述突出部具有在所述第一方向延伸的多個開口。
85. 根據(jù)權(quán)利要求68至82中任意一項(xiàng)所述的放電燈，其特征在于，所述突出部具有在所述第一方向延伸的多個槽。
86. 根據(jù)權(quán)利要求68至85中任意一項(xiàng)所述的放電燈，其特征在于，具備相對于所述第一燈頭構(gòu)件夾隔所述玻璃構(gòu)件而設(shè)于沿著所述第一方向的相反一側(cè)的第二燈頭構(gòu)件，所述第二燈頭構(gòu)件具有沿著所述第一方向形成的槽部。
87. 根據(jù)權(quán)利要求86所述的放電燈，其特征在于，具備相對于所述第一燈頭構(gòu)件夾隔所述玻璃構(gòu)件而設(shè)于沿著所述第一方向的相反一側(cè) 的第二燈頭構(gòu)件，所述第二燈頭構(gòu)件具有環(huán)繞沿著所述第一方向的軸形成的螺旋狀的槽部。
88. 根據(jù)權(quán)利要求86或87所述的放電燈，其特征在于，所述第二燈頭構(gòu)件具備覆蓋所述槽部的外罩。
89. —種放電燈，其具備形成發(fā)光部的玻璃構(gòu)件和與該玻璃構(gòu)件連結(jié)的燈頭構(gòu)件，其特征在于，所述放電燈經(jīng)由所述燈頭構(gòu)件可在與該放電燈分立地設(shè)置的保持構(gòu)件上拆裝，所述燈頭構(gòu)件具有抵接部，其與所述保持構(gòu)件抵接而規(guī)定所述發(fā)光部相對于所述保持構(gòu)件的在第一方向的位置；被推靠部，其被施加將所述抵接部沿著該第一方向向所述保持構(gòu)件推壓的推壓力；嵌合部，其設(shè)在所述抵接部與所述被推靠部之間，與所述保持構(gòu)件嵌合；冷卻部，其設(shè)在所述抵接部與所述被推靠部之間，在其與所述保持構(gòu)件之間構(gòu)成從所述抵接部附近直至所述被推靠部的冷卻用介質(zhì)的流路。
90. 根據(jù)權(quán)利要求89所述的放電燈，其特征在于，所述冷卻部具有環(huán)繞沿著所述第一方向的軸以螺旋狀形成的槽部。
91. 根據(jù)權(quán)利要求89或90所述的放電燈，其特征在于，所述放電燈具有在與所述燈頭構(gòu)件不同的位置與所述玻璃構(gòu)件連結(jié)的第二燈頭構(gòu)件，所述第二燈頭構(gòu)件在內(nèi)部設(shè)置冷卻用介質(zhì)所流通的流路。
92. 根據(jù)權(quán)利要求91所述的放電燈，其特征在于，設(shè)于所述第二燈頭構(gòu)件的所述流路，被環(huán)繞沿著所述第一方向的軸以螺旋狀形成。
93. —種放電燈，其具備形成發(fā)光部的玻璃構(gòu)件；與該玻璃構(gòu)件連結(jié)的第一燈頭構(gòu)件；以及在與所述第一燈頭構(gòu)件不同的位置與所述玻璃構(gòu)件連結(jié)的第二燈頭構(gòu)件，其特征在于，所述放電燈經(jīng)由所述第一燈頭構(gòu)件可在與該放電燈分立地設(shè)置的保持構(gòu)件上拆裝，所述第一燈頭構(gòu)件具備抵接部，其與所述保持構(gòu)件抵接而規(guī)定所述發(fā)光部相對于所述保持構(gòu)件的在第一方向的位置；嵌合部，其相對于所述抵接部處于所述玻璃構(gòu)件的沿著所述第一方向的相反一側(cè)，并與所述保持構(gòu)件嵌合；在其與所述保持構(gòu)件之間構(gòu)成的冷卻用介質(zhì)的流路，所述第二燈頭構(gòu)件具備冷卻所述第二燈頭構(gòu)件的冷卻用介質(zhì)所流通的流路。
94. 根據(jù)權(quán)利要求93所述的放電燈，其特征在于，設(shè)于所述第一燈頭構(gòu)件的所述流路，被環(huán)繞沿著所述第一方向的軸以螺旋狀形成。
95. 根據(jù)權(quán)利要求93或94所述的放電燈，其特征在于，設(shè)于所述第二燈頭構(gòu)件的所述流路，被環(huán)繞沿著所述第一方向的軸以螺旋狀形成。
96. —種光源裝置，其具備具有形成發(fā)光部的玻璃構(gòu)件和與該玻璃構(gòu)件連結(jié)的燈頭構(gòu)件的放電燈；具有經(jīng)由所述燈頭構(gòu)件保持所述放電燈的保持構(gòu)件的保持裝置，其特征在于，所述放電燈所具備的所述燈頭構(gòu)件具有抵接部，其與所述保持構(gòu)件抵接而規(guī)定所述發(fā)光部相對于所述保持構(gòu)件的在第一方向的位置；被推靠部，其被施加將所述抵接部沿著所述第一方向向所述保持構(gòu) 件推壓的推壓力；規(guī)定部，其設(shè)在所述抵接部與所述被推靠部之間，相對于所述保持構(gòu)件規(guī)定所述發(fā)光部的與第一方向正交的方向的位置；冷卻部，其設(shè)在所述抵接部與所述推靠部之間，并在其與所述保持構(gòu)件之間構(gòu)成從所述抵接部附近直至所述被推靠部的冷卻用介質(zhì)的流路，所述保持裝置具有所述保持構(gòu)件；對所述被推靠部施加所述推壓力的推靠構(gòu)件；切換機(jī)構(gòu)，其切換利用所述推靠構(gòu)件的將所述抵接部向所述保持構(gòu) 件的推壓和該推壓的解除；介質(zhì)供給裝置，其將用于冷卻所述燈頭構(gòu)件的所述冷卻用介質(zhì)向所述流路供給。
全文摘要
本發(fā)明提供一種能夠容易且短時(shí)間內(nèi)進(jìn)行放電燈相對于安裝機(jī)構(gòu)的安裝等的光源裝置。本發(fā)明的光源裝置，具備具有形成發(fā)光部的玻璃管(25)和與其連結(jié)的燈頭部(26)的放電燈(1)；經(jīng)由燈頭部(26)保持放電燈(1)的安裝裝置(31)，其中，燈頭部(26)具有與安裝裝置(31)的定位板(50)抵接的凸緣部(26a)；被施加將凸緣部(26a)向定位板(50)推壓的推壓力的固定部(26h)，安裝裝置(31)具有利用壓縮螺旋彈簧(44A)推靠固定部(26h)的固定用臂(55A)。
文檔編號H01R33/22GK101512712SQ20078003226
公開日2009年8月19日申請日期2007年8月30日優(yōu)先權(quán)日2006年9月1日
發(fā)明者小山元夫, 白數(shù)廣, 菊池孝幸, 青木保夫申請人:株式會社尼康

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