技術(shù)編號(hào)：6888578
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及放電燈、具備該放電燈的光源裝置、具備該光源裝置的 曝光裝置以及該啄光裝置的制造方法。背景技術(shù)在用于制造各種設(shè)備(微型設(shè)備、電子設(shè)備等)的光刻工序中，為 了將形成于母版(或光掩模等)上的圖案向涂布有抗蝕劑的晶片(或玻 璃平板等)上轉(zhuǎn)印，使用步進(jìn)機(jī)等一次性曝光型(靜止曝光型)的投影 曝光裝置及掃描步進(jìn)裝置等掃描啄光型的投影曝光裝置等曝光裝置。在 這些曝光裝置中，以往使用將水銀燈等放電燈與聚光鏡組合而構(gòu)成的曝 光用的光源裝置，其放電燈被經(jīng)由給定的安裝機(jī)...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。