專利名稱：一種可透光物體的在位檢測(cè)方法及檢測(cè)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及可透光物體的檢測(cè)領(lǐng)域，尤其是可透光物體制作過程中的在位檢測(cè)方法 及檢測(cè)裝置。
背景技術(shù)：
目前，在可透光物體的制作過程中，為保證產(chǎn)品具有較高的質(zhì)量，對(duì)制作過程的可 靠性和安全性要求很高。 一般這樣的產(chǎn)品都是通過現(xiàn)代化的機(jī)械加工來完成的，在加工 過程中需要對(duì)產(chǎn)品隨時(shí)進(jìn)行檢測(cè)和監(jiān)控，以保證其正常的傳輸和運(yùn)轉(zhuǎn)。其中，凡是能夠 讓光線穿過后產(chǎn)生光線強(qiáng)度變化的物體都可以稱之為可透光物體，如半導(dǎo)體晶片。在半 導(dǎo)體晶片的制作過程中，晶片需要從片艙傳遞到反應(yīng)腔室進(jìn)行工藝加工，加工完畢后， 再將晶片從反應(yīng)腔室傳遞回片艙，在這一過程中，由機(jī)械手負(fù)責(zé)對(duì)晶片進(jìn)行運(yùn)輸和搬 運(yùn)，同時(shí)還要利用傳感器來監(jiān)測(cè)和檢査晶片的位置情況，以保證晶片在傳輸過程中的穩(wěn) 定性和可靠性，現(xiàn)在普遍采用的檢測(cè)方法有以下兩種
1) 通過光電式鏡面反射傳感器來實(shí)現(xiàn)，具體來說就是利用被測(cè)半導(dǎo)體晶片對(duì)于發(fā)射 光線的遮擋來實(shí)現(xiàn)對(duì)其在位情況的判斷，如圖1所示。當(dāng)目標(biāo)位置沒有半導(dǎo)體晶片2時(shí)， 光電式鏡面反射傳感器3的反射光線不被遮擋，通過反射鏡4返回光電式鏡面反射傳感器 3;而當(dāng)有半導(dǎo)體晶片2存在時(shí)，發(fā)射光線被半導(dǎo)體晶片2遮擋，不能夠被反射回光電式鏡 面反射傳感器3。從而就能夠通過光電式鏡面反射傳感器3是否有光線返回來判斷是否有 半導(dǎo)體晶片存在。
2) 通過光電式對(duì)射傳感器實(shí)現(xiàn)的，具體來說是利用被測(cè)半導(dǎo)體晶片對(duì)于發(fā)射光線的 遮擋來實(shí)現(xiàn)對(duì)其在位情況的判斷，如圖2所示。當(dāng)目標(biāo)位置沒有半導(dǎo)體晶片2時(shí)，光電式 對(duì)射傳感器6的發(fā)射光線不被遮擋，通過發(fā)射光線可順利到達(dá)接收端5;而當(dāng)有半導(dǎo)體晶 片2存在時(shí)，發(fā)射光線被半導(dǎo)體晶片2遮擋，沒有光線到達(dá)接收端5。從而通過接收端5是 否有光線到達(dá)來判斷是否有半導(dǎo)體晶片存在。
其他的可透光物體的在位檢測(cè)方法，基本上都是通過以上兩種方案來實(shí)現(xiàn)的。以上 兩種方法雖然能夠檢測(cè)可透光物體的在位情況，但當(dāng)有多個(gè)可透光物體在與發(fā)射光線重 疊放置時(shí)，發(fā)射光線只是被一個(gè)可透光物體所遮擋，而其他的可透光物體則不能夠判斷 出有沒有遮擋光線，這樣就不能夠檢測(cè)出多個(gè)可透光物體的在位情況，而且以上方法只 能檢測(cè)可透光物體是否存在，當(dāng)可透光物體位置傾斜時(shí)，以上方法就不能檢測(cè)。

發(fā)明內(nèi)容
鑒于上述現(xiàn)有技術(shù)所存在的問題，本發(fā)明的目的在于提供一種能夠檢測(cè)一個(gè)或多個(gè) 可透光物體重疊放置時(shí)位置情況的方法和裝置。 本發(fā)明的目的是通過以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的 一種可透光物體的在位檢測(cè)方法，具體為
A、 檢測(cè)入射光線穿過可透光物體所在的目標(biāo)位置后的光線強(qiáng)度的變化值；
B、 根據(jù)所述的光線強(qiáng)度的變化值判斷可透光物體在目標(biāo)位置的位置狀態(tài)。 所述的步驟A具體包括
Al、檢測(cè)入射光線穿過可透光物體所在的目標(biāo)位置后的光線強(qiáng)度，再與入射光線的 初始光線強(qiáng)度比較，得出所述光線強(qiáng)度的變化值；或者，
A2、在沒有向目標(biāo)位置放置可透光物體前，檢測(cè)入射光線穿過可透光物體所在的目
標(biāo)位置后的光線強(qiáng)度H;在向目標(biāo)位置放置可透光物體后檢測(cè)入射光線穿過可透光物體所
在的目標(biāo)位置后的光線強(qiáng)度h，得到二者的差值H—h，則H—h為所述光線強(qiáng)度的變化值。 所述的入射光線可以是可見光或非可見光。
所述的步驟B具體包括
Bl、比較所述光線強(qiáng)度的變化值與入射光線穿過在目標(biāo)位置的可透光物體之后應(yīng)有 的光線強(qiáng)度變化預(yù)定值；若所述光線強(qiáng)度的變化值與光線強(qiáng)度變化預(yù)定值相同，則確認(rèn) 可透光物體的位置狀態(tài)正常；否則，確認(rèn)可透光物體的位置狀態(tài)不正常。
所述的步驟B1進(jìn)一步包括
Bll、如所述光線強(qiáng)度的變化值為零，則確認(rèn)可透光物體未處于目標(biāo)位置。
在所述步驟B之前還包括
設(shè)定光線強(qiáng)度變化預(yù)定值，對(duì)入射光線穿過在目標(biāo)位置的可透光物體之后應(yīng)有的光 線強(qiáng)度變化值進(jìn)行預(yù)先設(shè)定。
本發(fā)明還提供一種能夠?qū)崿F(xiàn)上述可透光物體檢測(cè)方法的檢測(cè)裝置，具體為 一種可透光物體的在位檢測(cè)裝置，包括
光線發(fā)射單元，用于發(fā)出入射光線，射向當(dāng)前可透光物體所在的目標(biāo)位置；
光線接收處理單元，用于將檢測(cè)到的光線強(qiáng)度值進(jìn)行處理后，判斷可透光物體在目 標(biāo)位置的位置狀態(tài)。
所述的光線接收處理單元具體包括
光線接收檢測(cè)單元，用于接收穿過可透光物體所在的目標(biāo)位置后的入射光線，并檢 測(cè)所接收光線的光線強(qiáng)度；
數(shù)據(jù)處理單元，根據(jù)所述的光線強(qiáng)度的變化值判斷可透光物體在目標(biāo)位置的位置狀 態(tài)，并在位置狀態(tài)不正常時(shí)發(fā)出報(bào)警指令。
上述在位檢測(cè)裝置還包括
參數(shù)設(shè)定單元，用于對(duì)入射光線穿過在目標(biāo)位置的可透光物體之后應(yīng)有的光線強(qiáng)度 變化預(yù)定值進(jìn)行設(shè)定；和/或，
報(bào)警裝置，在收到數(shù)據(jù)處理單元的報(bào)警指令時(shí)，產(chǎn)生報(bào)警。 其中，所述的光線發(fā)射單元與光線接收檢測(cè)單元是光纖式對(duì)射傳感器。 由上述本發(fā)明提供的技術(shù)方案可以看出，本發(fā)明中的入射光線由于能夠穿透可透光 物體，則就可以檢測(cè)入射光線穿過可透光物體所在的目標(biāo)位置后的光線強(qiáng)度的變化值， 然后通過比較所述的光線強(qiáng)度的變化值與預(yù)先設(shè)定的光線強(qiáng)度變化值，來判斷可透光物 體在目標(biāo)位置的位置狀態(tài)，并且能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)多個(gè)可透光物體位置情況的檢測(cè)，從而保證 可透光物體在傳輸過程中更加的可靠和安全。


圖l所示為現(xiàn)有技術(shù)中光電式鏡面反射傳感器檢測(cè)示意圖； 圖2所示為現(xiàn)有技術(shù)中光電式對(duì)射傳感器檢測(cè)示意圖3所示為本發(fā)明在位檢測(cè)方法的檢測(cè)流程圖。
圖4所示為本發(fā)明在位檢測(cè)方法的檢測(cè)示意圖5所示為本發(fā)明在位檢測(cè)方法的另一檢測(cè)示意圖6所示為本發(fā)明在位檢測(cè)裝置示意圖。
具體實(shí)施例方式
本發(fā)明提供了一種能夠檢測(cè)一個(gè)或多個(gè)可透光物體的在位情況的方法和裝置。
其核心是檢測(cè)入射光線穿過可透光物體所在的目標(biāo)位置后的光線強(qiáng)度的變化值， 然后通過比較所述的光線強(qiáng)度的變化值與預(yù)先設(shè)定的光線強(qiáng)度變化值，來判斷可透光物
體在目標(biāo)位置的位置狀態(tài)。
為更加清楚地描述本發(fā)明，下面結(jié)合本發(fā)明附圖對(duì)其具體實(shí)施方式
作詳細(xì)說明。如 圖3所示，其具體檢測(cè)流程為
步驟11:先通過機(jī)械手或其他的傳送裝置將被測(cè)可透光物體送入目標(biāo)位置；
其中，可以將一個(gè)或多個(gè)被測(cè)可透光物體送入目標(biāo)位置；
步驟12:讓入射光線射入該目標(biāo)位置，并穿過被測(cè)可透光物體；
其中，所述的入射光線可以是可見光或非可見光，如紅外線、X光射線等，并且入射 光線在穿過可透光物體后能夠被檢測(cè)出來；而所說的可透光物體是指，凡是能夠讓入射 光線穿過后產(chǎn)生光線強(qiáng)度變化的物體，如半透明物體，或半導(dǎo)體制品等。
步驟13:對(duì)接收到的入射光線的光線強(qiáng)度進(jìn)行檢測(cè)，所得檢測(cè)值與入射光線穿過被 測(cè)可透光物體之前光線強(qiáng)度值的差值，就是所述的光線強(qiáng)度的變化值，將所述的光線強(qiáng) 度的變化值與入射光線應(yīng)有的光線強(qiáng)度變化預(yù)定值進(jìn)行比較，若所述光線強(qiáng)度的變化值 與應(yīng)有的光線強(qiáng)度變化預(yù)定值相同，則執(zhí)行步驟131;否則，執(zhí)行步驟132。
其中，在根據(jù)步驟13進(jìn)行判斷之前，需要對(duì)入射光線穿過在目標(biāo)位置的可透光物休 之后應(yīng)有的光線強(qiáng)度變化值進(jìn)行預(yù)先設(shè)定，具體方法為
首先檢測(cè)初始入射光線的光線強(qiáng)度值為H，當(dāng)有一個(gè)被測(cè)可透光物體位于目標(biāo)位置， 且保證位置狀態(tài)正常時(shí)，記錄一次入射光線穿過被測(cè)可透光物體后的光線強(qiáng)度值H1，將ll —Hl作為第一個(gè)預(yù)先設(shè)定的光線強(qiáng)度變化值；同理，當(dāng)有兩個(gè)被測(cè)可透光物體位于目標(biāo) 位置，且保證位置狀態(tài)正常時(shí)，再次記錄下入射光線穿過被測(cè)可透光物體后的光線強(qiáng)度
值H2，再將H—H2作為第二個(gè)預(yù)先設(shè)定的光線強(qiáng)度變化值；依次類推，當(dāng)有n (n>l)個(gè)被 測(cè)可透光物體位于目標(biāo)位置，且保證位置狀態(tài)正常時(shí)，記錄下入射光線穿過n個(gè)被測(cè)可透 光物體后的光線強(qiáng)度值Hn，將H — Hn作為第n個(gè)預(yù)先設(shè)定的光線強(qiáng)度變化值。其中，被測(cè) 可透光物體的形狀和規(guī)格可以是任意變化的，只要保證在檢測(cè)前對(duì)其位置狀態(tài)正常時(shí)的 光線強(qiáng)度變化值進(jìn)行了預(yù)先設(shè)定。
由于入射光線在穿過被測(cè)可透光物體后的光線強(qiáng)度是逐漸減弱的，所以光線強(qiáng)度值 的大小是H> Hl> H2……〉Hn。同時(shí)由于入射光線在穿過位置傾斜的可透光物體時(shí)所消 耗的光線強(qiáng)度，要比位置狀態(tài)正常時(shí)所消耗的光線強(qiáng)度要大，而且所消耗的光線強(qiáng)度值 是根據(jù)可透光物體的傾斜程度成不規(guī)則變化的，所以當(dāng)入射光線穿過有位置傾斜的可透 光物體時(shí)，檢測(cè)到的光線強(qiáng)度值就會(huì)比位置狀態(tài)正常時(shí)的光線強(qiáng)度值要小，且其穿過前 后的差值是不規(guī)則變化的。
同時(shí)如遇到很多被測(cè)可透光物體重疊設(shè)置的情況時(shí)，透射后的光線過弱，已經(jīng)超出 了接收單元接收光線強(qiáng)度的能力，如小于某一特定值時(shí)，可以增強(qiáng)入射光線的光線強(qiáng)度 以滿足實(shí)際需求。
另外，將所述光線強(qiáng)度變化值與預(yù)先設(shè)定的光線強(qiáng)度變化值進(jìn)行比較的具體方法 為假設(shè)初始光線強(qiáng)度檢測(cè)值為H，則當(dāng)只有一個(gè)被測(cè)可透光物體位于目標(biāo)位置時(shí)，檢測(cè) 入射光線穿過可透光物體所在的目標(biāo)位置后的光線強(qiáng)度為hl，貝UH — hl就是入射光線穿過 被測(cè)可透光物體之后的光線強(qiáng)度變化值，這時(shí)將此光線強(qiáng)度變化值H — hl與預(yù)先設(shè)定的光 線強(qiáng)度變化值H —Hl進(jìn)行比較；當(dāng)兩個(gè)被測(cè)可透光物體位于目標(biāo)位置時(shí)，檢測(cè)入射光線穿 過可透光物體所在的目標(biāo)位置后的光線強(qiáng)度為h2，貝ljH — h2就是入射光線穿過被測(cè)可透光 物體之后的光線強(qiáng)度變化值，這時(shí)將此光線強(qiáng)度變化值H —h2與預(yù)先設(shè)定的光線強(qiáng)度變化 值H—H2進(jìn)行比較；當(dāng)有n (n>l)個(gè)被測(cè)可透光物體位于檢測(cè)區(qū)時(shí)，檢測(cè)入射光線穿過可 透光物體所在的目標(biāo)位置后的光線強(qiáng)度為hn，貝ljH—hn就是入射光線穿過被測(cè)可透光物體 之后的光線強(qiáng)度變化值，這時(shí)將此光線強(qiáng)度變化值H — hn與預(yù)先設(shè)定的光線強(qiáng)度變化值H —Hn進(jìn)行比較。若相同，則執(zhí)行步驟131;否則，則執(zhí)行步驟132。
其中，由于檢測(cè)過程中可能存在主觀或客觀因素的影響，使得檢測(cè)值存在一定的TH 負(fù)誤差，則只要是在合理范圍內(nèi)的誤差變化，都可以認(rèn)為光線強(qiáng)度變化值與預(yù)先設(shè)定的 光線強(qiáng)度變化值是相同的。
步驟131:確認(rèn)可透光物體的位置狀態(tài)正常；
步驟132:確認(rèn)可透光物體的位置狀態(tài)不正常；
其中，若在比較過程中，存在光線強(qiáng)度變化值為零的情況，則可判斷入射光線并沒 有穿過被測(cè)可透光物體，從而確認(rèn)被測(cè)可透光物體未處于目標(biāo)位置上。
同時(shí)，若想進(jìn)一步得出被測(cè)可透光物體位置狀態(tài)不正常是屬于不在位置還是位置傾
斜，則繼續(xù)執(zhí)行步驟133;
步驟133:將光線強(qiáng)度變化值與入射光線穿過被測(cè)可透光物體之前的預(yù)定光線強(qiáng)度變 化值逐一進(jìn)行比較，若與其中一個(gè)值相同，則執(zhí)行步驟1331;若與其中每一個(gè)值均不相
同，則執(zhí)行步驟1332;
其中，將光線強(qiáng)度變化值與入射光線穿過被測(cè)可透光物體之前的預(yù)定光線強(qiáng)度變化
值，逐一進(jìn)行比較的具體方法為當(dāng)只有一個(gè)被測(cè)可透光物體位于目標(biāo)位置時(shí)，入射光
線穿過被測(cè)可透光物體之前的光線強(qiáng)度變化值是一個(gè)特殊值o,此時(shí)就將光線強(qiáng)度變化值 H — hl與0進(jìn)行比較，若值相同，則這種情況就是如上所述的光線強(qiáng)度變化值為零的情
況，就可確認(rèn)被測(cè)可透光物體未處于目標(biāo)位置上；若值不同，則可確認(rèn)被測(cè)可透光物體 位置傾斜；當(dāng)有兩個(gè)被測(cè)可透光物體位于檢測(cè)區(qū)時(shí)，就將光線強(qiáng)度變化值H —h2與0、 H — Hl逐一進(jìn)行比較；依此類推，如有n (riM)個(gè)被測(cè)可透光物體位于檢測(cè)區(qū)時(shí)，就將光線 強(qiáng)度變化值H — hn與O、 H — H1、 H — H2……H — Hn^逐一進(jìn)行比較。若光線強(qiáng)度變化值與其 中一個(gè)值相同，則執(zhí)行步驟1331;若與其中每一個(gè)值均不相同，則執(zhí)行步驟1332。
步驟1331:得出被測(cè)可透光物體至少有一個(gè)不在位的結(jié)論；
步驟1332:得出被測(cè)可透光物體至少有一個(gè)位置傾斜的結(jié)論。
本發(fā)明還提供了一種能夠?qū)崿F(xiàn)上述可透光物體檢測(cè)方法的檢測(cè)裝置，下面結(jié)合具體
的實(shí)例，對(duì)本發(fā)明所提供的檢測(cè)裝置作進(jìn)一步說明
如圖4和5所示，此時(shí)有4個(gè)被測(cè)可透光物體9送入目標(biāo)位置來進(jìn)行檢測(cè)，光線發(fā)射單 元8能夠發(fā)射出可以穿透被測(cè)可透光物體9的光線，假設(shè)其發(fā)出的入射光線的光線強(qiáng)度值 為H，光線接收處理單元7包括光線接收檢測(cè)單元和數(shù)據(jù)處理單元。
如圖6所示，其中，光線接收檢測(cè)單元用于接收穿過可透光物體所在的目標(biāo)位置后的 入射光線，并檢測(cè)所接收光線的光線強(qiáng)度；數(shù)據(jù)處理單元根據(jù)所述的光線強(qiáng)度的變化值 判斷可透光物體在目標(biāo)位置的位置狀態(tài)，并在位置狀態(tài)不正常時(shí)發(fā)出報(bào)警指令。其中的 光線發(fā)射單元8與光線接收檢測(cè)單元可以是由光纖式對(duì)射傳感器構(gòu)成的。
上述的檢測(cè)裝置還包括
參數(shù)設(shè)定單元，用于對(duì)入射光線穿過在目標(biāo)位置的可透光物體之后應(yīng)有的光線強(qiáng)度
變化預(yù)定值進(jìn)行設(shè)定；報(bào)警裝置，在收到數(shù)據(jù)處理單元的報(bào)警指令時(shí)，產(chǎn)生報(bào)警。
在檢測(cè)之前，先在參數(shù)設(shè)定單元內(nèi)，對(duì)入射光線分別穿過4個(gè)被測(cè)可透光物體9后的 光線強(qiáng)度變化值進(jìn)行預(yù)先設(shè)定，預(yù)先設(shè)定的方法如前所述，可得出其預(yù)定變化值依次是H 一H1、 H—H2、 H—H3、 H—H4。
然后，讓4個(gè)被測(cè)可透光物體9通過機(jī)械手進(jìn)入到目標(biāo)位置，光線發(fā)射單元8發(fā)出光線 強(qiáng)度值為H的入射光線穿過被測(cè)可透光物體9，此時(shí)光線接收處理單元7中的光線接收檢測(cè) 單元檢測(cè)到光線強(qiáng)度值h4。光線接收檢測(cè)單元將此光線強(qiáng)度值h4傳遞給光線接收處理單 元7中的數(shù)據(jù)處理單元，數(shù)據(jù)處理單元收到此光線強(qiáng)度值h4后，得出其與光線初始強(qiáng)度ll 的差值H — h4，此即為所述的光強(qiáng)變化值，然后將H — h4與H — H4進(jìn)行比較，若值相同，則 可得出4個(gè)被測(cè)可透光物體位置狀態(tài)正常的結(jié)論，傳輸過程是正常的；若值不同，則可得 出4個(gè)被測(cè)可透光物體9位置狀態(tài)不正常的結(jié)論，傳輸過程是不正常的。
同時(shí)，若想進(jìn)一步判斷4個(gè)被測(cè)可透光物體9位置狀態(tài)不正常的情況是屬于不在位置
還是屬于位置傾斜，可在數(shù)據(jù)處理單元中繼續(xù)進(jìn)行如下的操作將光線強(qiáng)度變化值H —h4 與0、 H — H1、 H — H2、 H —H3逐一進(jìn)行比較，如H — h4與其中一個(gè)值相同，則可得出4個(gè)被 測(cè)可透光物體9中至少有一個(gè)不在位的結(jié)論；如H—h4與其中每一個(gè)值均不同，則可得出4 個(gè)被測(cè)可透光物體9中至少有一個(gè)位置傾斜的結(jié)論。
數(shù)據(jù)處理單元將根據(jù)上述的比較結(jié)果進(jìn)行后繼的操作，如發(fā)出停止檢測(cè)指令或報(bào)警 指令。而報(bào)警裝置在收到處理單元的報(bào)警操作指令后會(huì)發(fā)出報(bào)警信號(hào)，如發(fā)出閃爍的紅 光或黃光，以告知此時(shí)傳輸過程不正常。
通過利用以上的檢測(cè)方法和檢測(cè)裝置，不但能夠判斷單個(gè)被測(cè)可透光物體的位置狀 態(tài)，并且能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)多個(gè)可透光物體在位情況的檢測(cè)，以及判斷可透光物體是否有位置 傾斜的情況，從而保證可透光物體在傳輸過程中更加的可靠和安全。
以上所述，僅為本發(fā)明較佳的具體實(shí)施方式
，但本發(fā)明的保護(hù)范圍并不局限于此， 任何熟悉本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員在本發(fā)明揭露的技術(shù)范圍內(nèi)，可輕易想到的變化或替 換，都應(yīng)涵蓋在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。因此，本發(fā)明的保護(hù)范圍應(yīng)該以權(quán)利要求的保 護(hù)范圍為準(zhǔn)。
權(quán)利要求
1、一種可透光物體的在位檢測(cè)方法，其特征在于A、檢測(cè)入射光線穿過可透光物體所在的目標(biāo)位置后的光線強(qiáng)度的變化值；B、根據(jù)所述的光線強(qiáng)度的變化值判斷可透光物體在目標(biāo)位置的位置狀態(tài)。
2、 如權(quán)利要求l所述的可透光物體的在位檢測(cè)方法，其特征在于，所述的步驟A具體包括Al、檢測(cè)入射光線穿過可透光物體所在的目標(biāo)位置后的光線強(qiáng)度，再與入射光線的初始光線強(qiáng)度比較，得出所述光線強(qiáng)度的變化值；或者，A2、在沒有向目標(biāo)位置放置可透光物體前，檢測(cè)入射光線穿過可透光物體所在的目 標(biāo)位置后的光線強(qiáng)度H;在向目標(biāo)位置放置可透光物體后檢測(cè)入射光線穿過可透光物體所 在的目標(biāo)位置后的光線強(qiáng)度h,得到二者的差值H —h,貝UH — h為所述光線強(qiáng)度的變化值。
3、 如權(quán)利要求1或2所述的可透光物體的在位檢測(cè)方法，其特征在于，所述的入射光 線可以是可見光或非可見光。
4、 如權(quán)利要求l所述的可透光物體的在位檢測(cè)方法，其特征在于，所述的步驟B具體 包括Bl、比較所述光線強(qiáng)度的變化值與入射光線穿過在目標(biāo)位置的可透光物體之后應(yīng)有 的光線強(qiáng)度變化預(yù)定值；若所述光線強(qiáng)度的變化值與光線強(qiáng)度變化預(yù)定值相同，則確認(rèn) 可透光物體的位置狀態(tài)正常；否則，確認(rèn)可透光物體的位置狀態(tài)不正常。
5、 如權(quán)利要求4所述的可透光物體的在位檢測(cè)方法，其特征在于，所述的步驟B1進(jìn) 一步包括Bll、如所述光線強(qiáng)度的變化值為零，則確認(rèn)可透光物體未處于目標(biāo)位置。
6、 如權(quán)利要求l所述的可透光物體的在位檢測(cè)方法，其特征在于，所述步驟B之前還 包括設(shè)定光線強(qiáng)度變化預(yù)定值，對(duì)入射光線穿過在目標(biāo)位置的可透光物體之后應(yīng)有的光 線強(qiáng)度變化值進(jìn)行預(yù)先設(shè)定。
7、 一種可透光物體的在位檢測(cè)裝置，其特征在于，包括 光線發(fā)射單元，用于發(fā)出入射光線，射向當(dāng)前可透光物體所在的目標(biāo)位置； 光線接收處理單元，用于將檢測(cè)到的光線強(qiáng)度值進(jìn)行處理后，判斷可透光物體在目標(biāo)位置的位置狀態(tài)。
8、 如權(quán)利要求7所述的在位檢測(cè)裝置，其特征在于，所述的光線接收處理單元具體 包括光線接收檢測(cè)單元，用于接收穿過可透光物體所在的目標(biāo)位置后的入射光線，并檢 測(cè)所接收光線的光線強(qiáng)度；數(shù)據(jù)處理單元，根據(jù)所述的光線強(qiáng)度的變化值判斷可透光物體在目標(biāo)位置的位置狀 態(tài)，并在位置狀態(tài)不正常時(shí)發(fā)出報(bào)警指令。
9、 如權(quán)利要求7所述的在位檢測(cè)裝置，其特征在于，還包括參數(shù)設(shè)定單元，用于對(duì)入射光線穿過在目標(biāo)位置的可透光物體之后應(yīng)有的光線強(qiáng)度變化預(yù)定值進(jìn)行設(shè)定；和/或，報(bào)警裝置，在收到數(shù)據(jù)處理單元的報(bào)警指令時(shí)，產(chǎn)生報(bào)警。
10、 如權(quán)利要求8所述的在位檢測(cè)裝置，其特征在于，所述的光線發(fā)射單元與光線接收檢測(cè)單元是光纖式對(duì)射傳感器。
全文摘要
本發(fā)明提供了一種可透光物體的在位檢測(cè)方法及檢測(cè)裝置，具體是通過檢測(cè)入射光線穿過被測(cè)可透光物體后的光線強(qiáng)度變化值，并將其和預(yù)先設(shè)定好的光線強(qiáng)度變化值進(jìn)行比較，從而來判斷被測(cè)可透光物體的位置狀態(tài)。通過本方法的實(shí)施能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)多個(gè)可透光物體位置狀態(tài)的檢測(cè)，從而保證可透光物體在傳輸過程中更加的可靠和安全。
文檔編號(hào)H01L21/66GK101202237SQ20061016505
公開日2008年6月18日 申請(qǐng)日期2006年12月12日 優(yōu)先權(quán)日2006年12月12日
發(fā)明者張之山 申請(qǐng)人:北京北方微電子基地設(shè)備工藝研究中心有限責(zé)任公司