專利名稱：晶片定向缺口信息獲取電路的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體工藝設(shè)備，特別涉及一種獲取晶片V形定向缺口信息的電路。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體集成電路制造技術(shù)中，隨著半導(dǎo)體集成電路技術(shù)的發(fā)展，集成度越來越高，電路規(guī)模越來越大，電路中單元器件尺寸越來越小，對各半導(dǎo)體工藝設(shè)備提出了更高的要求。任何晶體都是有方向性的，晶片上的缺口即代表了晶體的方向，注入方向和角度的正確與否直接關(guān)系到器件的性能和成品率，因而能夠正確找到晶片的定向缺口是離子注入不可缺少的技術(shù)?，F(xiàn)有技術(shù)是由控制器對缺口信號突變進(jìn)行判斷，但在實際工作過程中經(jīng)常出現(xiàn)檢測不到晶片缺口，因晶片無法定向而使離子注入無法進(jìn)行下去。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是克服現(xiàn)有技術(shù)中存在的缺陷，以期提供一種便于對缺口信號突變有效地進(jìn)行識別的缺口信息獲取電路，其定向精度高、定向檢測率極佳，為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明晶片定向缺口信息獲取電路與光電元件連接，包括微分電路和放大器電路，微分電路包括電容器和第一放大器及其外圍元件，放大器電路包括第二放大器及其外圍元件。
所述的微分電路的輸出信號端連接放大器電路的輸入信號端。
所述的微分電路的輸入信號端連接光電元件的輸出信號端，放大器電路的輸出信號端連接控制器。
所述的微分電路主要包括電容器、兩個電阻和第一放大器，電容器的一端與光電元件連接，另一端連接到第一放大器的陰極，兩個電阻并聯(lián)配置，其兩端分別連接電容器的兩側(cè)和公共端接地。
所述的放大器電路主要包括電阻和第二放大器，第一放大器的輸出端經(jīng)電阻連接到第二放大器陰極，第二放大器輸出端連接控制器。
所述的光電元件的輸出信號傳輸?shù)饺笨谛盘柅@取電路的輸入信號端，該信號由電容和第一放大器構(gòu)成的微分電路將缺口的信號轉(zhuǎn)化成為窄脈沖信號，又增加一級放大器使缺口的窄脈沖信號成為脈沖信號，其信號幅度達(dá)到下一級計算機(jī)控制要求。
與現(xiàn)有技術(shù)相比，由于本發(fā)明晶片定向缺口信息獲取電路中設(shè)計了微分電路，使原來的缺口信號轉(zhuǎn)化成為窄脈沖信號，又經(jīng)過放大器電路的放大，將信號幅度增加到控制器容易識別的程度，缺口定向檢測率極高。該電路簡單可靠，檢測速度快，精度高。
下面結(jié)合附圖和較佳實施例對本發(fā)明的優(yōu)點和其它特點作進(jìn)一步描述。


圖1是本發(fā)明晶片定向缺口信息獲取電路的基本原理圖；圖2是圖1所示晶片定向缺口信息獲取回路的電路圖；圖3是用于檢測晶片定向缺口信息的晶片定向臺示意圖；圖4是現(xiàn)有技術(shù)缺口檢測光電元件輸出信號圖；圖5是本發(fā)明缺口信號獲取電路第一級輸出信號圖；圖6是本發(fā)明缺口信號獲取電路第二級輸出信號圖。
具體實施例方式
圖1是本發(fā)明晶片定向缺口信息獲取電路的基本原理圖，包括微分電路和放大器電路，微分電路主要包括電容器C、電阻R1和R2和第一放大器N1A，電容器C的一端與光電元件2(參見圖3)連接，另一端連接到第一放大器N1A的陰極，電阻R1和R2并聯(lián)配置，其兩端分別連接電容器C的兩側(cè)和公共端接地。放大器電路主要包括電阻R和第二放大器N1B，第一放大器N1A的輸出端通過電阻R連接到第二放大器N1B陰極，第二放大器N1B輸出端連接控制器(圖中未示出)。在本發(fā)明晶片定向缺口信息獲取電路中，從光電元件2傳輸來的輸入信號經(jīng)微分電路輸出的信號稱為第一級輸出信號，該第一級輸出信號又經(jīng)放大器電路輸出的信號稱為第二級輸出信號。
圖2表示圖1所示晶片定向缺口信息獲取回路的一個實例電路圖，由電容器C1、電感L1、電阻R1及R2、第一放大器N1A及其外圍元件等構(gòu)成一個微分電路，其中電感L1分別連接光電元件2的輸出端和電容器C1，其主要作用是消除高頻干擾信號，電容器C1是微分電容，電感L1和電阻R1構(gòu)成輸入信號高頻濾波，R3是第一放大器N1A的反饋電阻。第一放大器N1A的輸出電壓為U1＝R3*C1*dUC1/dt 式中dUC1/dt∝dUi/dt式中Ui即為圖4所示現(xiàn)有技術(shù)的缺口檢測光電傳感器的輸出信號電壓。
由輸入電阻R4和第二放大器N1B及其外圍元件等構(gòu)成典型的放大器電路，電阻R5是第二放大器N1B的反饋電阻，電阻R6是第二放大器N1B的輸出電阻。
圖3是晶片定向臺工作示意圖，在晶片定向臺6的上側(cè)方設(shè)有一個發(fā)光光源1，在與光源1相對應(yīng)的下方設(shè)有光電元件2，光電元件2輸出信號的大小與照射到其上的光強成正比。晶片4置于定向臺6上并隨其一起轉(zhuǎn)動，當(dāng)晶片定向缺口3旋轉(zhuǎn)到光源1和光電元件2之間位置時，光電元件2接收到的光信號最強，圖4是現(xiàn)有技術(shù)缺口檢測光電元件輸出信號圖，光電元件2接收到缺口3處的光信號發(fā)生了突變5，此時光電元件2輸出信號的變化率dV/dt最大，但是，這時發(fā)生的光信號突變是微小的缺口變化信號，不易識別，如圖4所示。
圖5和圖6分別是本發(fā)明缺口信號獲取電路第一級和第二級輸出信號圖。光電元件2輸出的信號傳輸?shù)奖景l(fā)明缺口信號獲取電路的輸入信號端，該信號由電容C1和第一放大器N1A構(gòu)成的微分電路將缺口3的信號轉(zhuǎn)化成為窄脈沖信號5’，即第一級輸出信號，如圖5所示。由于信號幅度較小，因此增加一級放大器(即第二放大器N1B)使缺口3窄脈沖信號5’成為脈沖信號5”，即第二級輸出信號，如圖6所示，脈沖信號5”的幅度達(dá)到了下一級計算機(jī)控制要求，很容易識別。
在實際使用中，可以將兩個圖2所示的電路集成在印制板上，這樣，能夠同時為左、右兩個定向臺提供晶片定向缺口脈沖信號。
本發(fā)明的特定實施例已給出了詳細(xì)的電路工作原理圖和主要電路結(jié)構(gòu)。對本領(lǐng)域一般技術(shù)人員而言，在不背離本發(fā)明的工作原理和應(yīng)用前提下對它所做的任何顯而易見的改動，都不會超出本申請說明書描述和所附權(quán)利要求限定的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求
1.一種晶片定向缺口信息獲取電路，與光電元件連接，其特征在于，它包括微分電路和放大器電路，所述微分電路包括電容器和第一放大器及其外圍元件，所述放大器電路包括第二放大器及其外圍元件。
2.如權(quán)利要求1所述的晶片定向缺口信息獲取電路，其特征在于，所述的微分電路的輸出信號端連接放大器電路的輸入信號端。
3.如權(quán)利要求2所述的晶片定向缺口信息獲取電路，其特征在于，所述的微分電路的輸入信號端連接光電元件的輸出信號端，放大器電路的輸出信號端連接控制器。
4.如權(quán)利要求3所述的晶片定向缺口信息獲取電路，其特征在于，所述的微分電路主要包括電容器、兩個電阻和第一放大器，電容器的一端與光電元件連接，另一端連接到第一放大器的陰極，兩個電阻并聯(lián)配置，其兩端分別連接電容器的兩側(cè)和公共端接地。
5.如權(quán)利要求3所述的晶片定向缺口信息獲取電路，其特征在于，所述的放大器電路主要包括電阻和第二放大器，第一放大器的輸出端經(jīng)電阻連接到第二放大器陰極，第二放大器輸出端連接控制器。
6.如權(quán)利要求1或3所述的晶片定向缺口信息獲取電路，其特征在于，所述的光電元件的輸出信號傳輸?shù)饺笨谛盘柅@取電路的輸入信號端，該信號由微分電路將缺口的信號轉(zhuǎn)化成為窄脈沖信號，又經(jīng)過放大器電路的放大，將窄脈沖信號的幅度增加到控制器容易識別的程度，
全文摘要
本發(fā)明公開了一種晶片定向缺口信息獲取電路，其與光電元件連接，包括微分電路和放大器電路，微分電路包括電容器和第一放大器及其外圍元件，放大器電路包括第二放大器及其外圍元件。微分電路的輸入信號端連接光電元件的輸出信號端，其輸出信號端連接放大器電路的輸入信號端，放大器電路的輸出信號端連接控制器。由于本發(fā)明晶片定向缺口信息獲取電路中設(shè)計了微分電路，使原來的缺口信號轉(zhuǎn)化成為窄脈沖信號，又經(jīng)過放大器電路的放大，將信號幅度增加到控制器容易識別的程度，缺口定向檢測率極高。該電路簡單可靠，檢測速度快，精度高。
文檔編號H01L21/66GK1851889SQ200610072968
公開日2006年10月25日 申請日期2006年4月7日 優(yōu)先權(quán)日2006年4月7日
發(fā)明者孫雪平, 伍三忠, 郭健輝, 田小海 申請人:北京中科信電子裝備有限公司