專利名稱：熱壓接工具及熱壓接裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用于對(duì)電路基板進(jìn)行加熱加壓而壓接的熱壓接工具及使用該熱壓接工具的壓接裝置，所述電路基板例如經(jīng)由各向異性導(dǎo)電部件疊合在連接于液晶顯示面板上的電子部件上。
背景技術(shù)：
在液晶方式的顯示裝置的組裝工序中，例如如圖7A所示，首先通過(guò)外部引線接合器在液晶顯示面板200的外周的4邊中的規(guī)定的邊上，如圖7C所示那樣經(jīng)由錐狀的各向異性導(dǎo)電部件204安裝搭載有液晶驅(qū)動(dòng)用IC的帶式自動(dòng)接合(TABTape Automated Bonding)等的電子部件202，來(lái)制造帶電子部件的液晶顯示面板200。
接著，如圖7B所示那樣將電路基板203與帶電子部件的液晶顯示面板200的電子部件202的部分進(jìn)行電連接，來(lái)組裝液晶顯示面板200。上述電路基板203和電子部件202如圖7C所示，可以與電子部件202和液晶顯示面板200的連接同樣，使用各向異性導(dǎo)電部件204。
將電路基板203連接到預(yù)先連接在液晶顯示面板200上的電子部件202上，這種所謂的主壓接是通過(guò)熱壓接裝置進(jìn)行的。熱壓接裝置具有支撐工具，在該支撐工具的上端面上，以疊合的狀態(tài)載置上述電路基板203與上述電子部件202的壓接的部分。在上述支撐工具的上方，可沿上下方向驅(qū)動(dòng)地設(shè)有熱壓接工具。
在上述支撐工具與熱壓接工具上設(shè)有加熱器，通過(guò)向下降方向驅(qū)動(dòng)該熱壓接工具，將上述電路基板203與上述電子部件202的疊合部分加壓并加熱到150～200℃。由此，夾在上述電路基板203與上述電子部件202之間的各向異性導(dǎo)電部件204熔融而硬化，所以將上述電路基板203與電子部件壓接在一起。
上述熱壓接工具被分離為主體塊、和具有加熱器且在下表面?zhèn)仍O(shè)有工具部的加熱器塊，上述主體塊與加熱器塊的上表面?zhèn)韧ㄟ^(guò)由推壓螺栓和牽拉螺栓構(gòu)成的調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)進(jìn)行連結(jié)。
該調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)是一種借助于各推壓螺栓和牽拉螺栓，相對(duì)于上述主體塊分別部分地推拉上述加熱器塊在長(zhǎng)度方向的多個(gè)部位的機(jī)構(gòu)，由此，在將上述加熱器塊加熱到300～400℃而產(chǎn)生熱變形的狀態(tài)下，便能夠調(diào)節(jié)設(shè)在該加熱器塊的下表面?zhèn)鹊墓ぞ卟康钠教苟取?br> 如果上述工具部的平坦度不夠，則在使熱壓接工具下降而對(duì)電路基板203與電子部件202的疊合部分進(jìn)行加壓加熱時(shí)，不能對(duì)該疊合部分遍及整體而均勻地加壓加熱，所以有可能導(dǎo)致壓接不良。于是，在開始?jí)航幼鳂I(yè)之前，一般進(jìn)行通過(guò)上述調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)調(diào)節(jié)上述工具部的平坦度的操作。
以往，上述熱壓接工具的主體塊和加熱器塊都通過(guò)相同的金屬材料、例如具有耐熱性且熱膨脹系數(shù)(線膨脹系數(shù))較高的不銹鋼(SUS630等)來(lái)形成。
熱壓接工具的加熱器塊被加熱器加熱到300～400℃，相對(duì)于此，主體塊不被加熱器加熱，而僅通過(guò)來(lái)自加熱器塊的熱傳導(dǎo)進(jìn)行加熱。因此，主體塊的溫度上升比加熱器塊低，例如為100～150℃左右。
另一方面，主體塊與加熱器塊由具有相同熱膨脹系數(shù)的金屬材料制造。因此，由于溫度上升較高的加熱器塊與主體塊相比熱膨脹率(線膨脹率)較大，所以由于這兩者的熱膨脹率之差，在溫度上升時(shí)在加熱器塊中產(chǎn)生較大的熱應(yīng)力，從而在該熱應(yīng)力的作用下，在加熱器塊中產(chǎn)生的變形也增大。
如果在溫度上升時(shí)在加熱器塊中產(chǎn)生較大的變形，則會(huì)較大地?fù)p害設(shè)在加熱器塊上的工具部的平坦度，所以不僅在由調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)進(jìn)行的平坦度的調(diào)節(jié)中花費(fèi)較多的工夫，而且有時(shí)不能通過(guò)調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)充分地進(jìn)行調(diào)節(jié)，從而不能得到較高的平坦精度。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種熱壓接工具及使用該熱壓接工具的熱壓接裝置，其通過(guò)減小主體塊與加熱器塊的熱膨脹率之差，即使加熱器塊溫度上升，也能夠防止工具部的平坦度的降低。
即本發(fā)明提供一種熱壓接工具，其對(duì)兩個(gè)部件的疊合部分加壓加熱而進(jìn)行壓接，其特征在于，具備主體塊；以及加熱器塊，其下表面?zhèn)仍O(shè)有工具部，上表面?zhèn)冉?jīng)由調(diào)節(jié)所述工具部在長(zhǎng)度方向的平坦度的調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)安裝在所述主體塊上；所述加熱器塊與所述主體塊相比，由熱膨脹系數(shù)較低的材料來(lái)形成。
本發(fā)明提供一種熱壓接工具，其對(duì)兩個(gè)部件的疊合部分加壓加熱而進(jìn)行壓接，其特征在于，具備主體塊；以及加熱器塊，其下表面?zhèn)仍O(shè)有工具部，上表面?zhèn)冉?jīng)由調(diào)節(jié)所述工具部在長(zhǎng)度方向的平坦度的調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)安裝在所述主體塊上；所述加熱器塊與所述主體塊相比，由熱膨脹系數(shù)較低的材料來(lái)形成，并且所述工具部由比所述加熱器塊更硬的金屬材料與該加熱器塊分體地形成，并且以能夠?qū)?yīng)于相互的熱膨脹而沿長(zhǎng)度方向相對(duì)移動(dòng)的方式安裝在所述加熱器塊的下表面上。
本發(fā)明提供一種熱壓接裝置，其將經(jīng)由各向異性導(dǎo)電部件而疊合的第1部件和第2部件載置在支撐工具上，并對(duì)這些部件的疊合部分通過(guò)熱壓接工具加壓加熱而進(jìn)行壓接，其特征在于，所述熱壓接工具具備主體塊；以及加熱器塊，其下表面?zhèn)仍O(shè)有工具部，上表面?zhèn)冉?jīng)由調(diào)節(jié)所述工具部在長(zhǎng)度方向的平坦度的調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)安裝在所述主體塊上；所述加熱器塊與所述主體塊相比，由熱膨脹系數(shù)較低的材料來(lái)形成。


圖1是表示本發(fā)明的一實(shí)施方式的熱壓接裝置的概略結(jié)構(gòu)圖。
圖2是熱壓接工具的主視圖。
圖3是表示主體塊與工具安裝部件的連結(jié)構(gòu)造的一部分的放大剖視圖。
圖4是表示主體塊與加熱器塊的連結(jié)構(gòu)造的一部分的放大剖視圖。
圖5是表示本發(fā)明的另一實(shí)施方式的加熱器塊的側(cè)視圖。
圖6是表示工具部對(duì)上述加熱器塊的安裝構(gòu)造的放大剖視圖。
圖7A是表示在液晶面板上連接有電子部件的狀態(tài)的俯視圖。
圖7B是在連接于液晶面板上的電子部件上連接有電路基板的狀態(tài)的俯視圖。
圖7C是在連接于液晶面板上的電子部件上連接有電路基板的狀態(tài)的側(cè)視圖。
具體實(shí)施例方式
下面參照?qǐng)D1至圖5，就本發(fā)明的一實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。
圖1是本發(fā)明的熱壓接裝置的概略結(jié)構(gòu)圖，該熱壓接裝置具有立設(shè)在基座1上的平板狀的支撐工具2。在該支撐工具2的上方，沿著線性導(dǎo)軌4可上下移動(dòng)地設(shè)有熱壓接工具3。該熱壓接工具3能夠受該圖中用點(diǎn)劃線表示的Z驅(qū)動(dòng)源5如后述那樣沿著上述線性導(dǎo)軌4在上下方向上驅(qū)動(dòng)。另外，在支撐工具2的上部設(shè)有電熱加熱器(未圖示)，可以將該支撐工具2加熱到約50～100℃。
如圖2所示，上述熱壓接工具3具有方柱狀的主體塊6。該主體塊6由例如作為不銹鋼的SUS630(JIS標(biāo)準(zhǔn))等的具有耐熱性的金屬材料來(lái)形成。在該主體塊6的上表面上設(shè)有工具安裝部件7。該工具安裝部件7如圖1所示，側(cè)面形狀為倒L字狀，在水平的一邊的長(zhǎng)度方向兩端部及中央部的三處設(shè)有安裝部8，在上表面上設(shè)有連結(jié)部9。
再者，在比上述主體塊6的高度方向的中央更靠下側(cè)的位置，形成有沿長(zhǎng)度方向貫通的貫通孔28。從該貫通孔28的一端開口通過(guò)未圖示的送氣管供給冷卻氣體，并從另一端開口流出。
由此，在主體塊6被冷卻的同時(shí)，由于其冷卻的程度在高度方向下側(cè)比上側(cè)更大，所以即使如后述那樣從主體塊6的高度方向的下表面?zhèn)扔袩醾鲗?dǎo)，也能夠?qū)⑾卤砻鎮(zhèn)扰c上表面?zhèn)染S持為大致相同的溫度。也就是說(shuō)，能夠防止主體塊6在下表面?zhèn)扰c上表面?zhèn)犬a(chǎn)生溫度差而發(fā)生變形及翹曲。
如圖3所示，在各安裝部8的下端以L字狀設(shè)有舌片11，在該舌片11上沿著主體塊6的長(zhǎng)度方向形成有較長(zhǎng)的長(zhǎng)孔12。并且，通過(guò)從該長(zhǎng)孔12螺入到在上述主體塊6的上表面上開口而形成的螺孔10中的螺釘13，將上述舌片11經(jīng)由薄片狀的隔熱部件11a連結(jié)到主體塊6的上表面上。
也就是說(shuō)，由于工具安裝部件7經(jīng)由設(shè)在安裝部8上的舌片11的長(zhǎng)孔12安裝在主體塊6上，所以即使工具安裝部件7與主體塊6因熱而在膨脹率上產(chǎn)生了差異，上述螺釘13與上述長(zhǎng)孔12也會(huì)相對(duì)地移動(dòng)。因此，即使工具安裝部件7與主體塊6受不同的熱膨脹率之差而膨脹，也能夠防止在它們之間產(chǎn)生應(yīng)力，并通過(guò)該應(yīng)力而產(chǎn)生變形。
如圖1所示，在上述工具安裝部件7的垂直的另一邊的外表面上，沿著垂直方向設(shè)有在水平方向分離的一對(duì)承接部件14(僅圖示了1個(gè))。該承接部件14可移動(dòng)地卡合在設(shè)于從裝置主體15上垂直設(shè)置的導(dǎo)引部16上的上述線性導(dǎo)軌4上。
設(shè)在上述工具安裝部件7的上表面上的連結(jié)部9連結(jié)在使軸線垂直設(shè)置的缸等的上述Z驅(qū)動(dòng)源5的驅(qū)動(dòng)軸5a上。因此，上述熱壓接工具3能夠受Z驅(qū)動(dòng)源5沿Z方向、即上下方向驅(qū)動(dòng)。
如圖2所示，在上述主體塊6的下表面?zhèn)龋?jīng)由調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)21設(shè)有加熱器塊22。上述加熱器塊22由比上述主體塊6熱膨脹系數(shù)低的材料即低熱膨脹合金、例如Invar合金或Kovar合金等金屬材料形成。在該實(shí)施方式中由Kovar合金形成。
也就是說(shuō)，形成主體塊6的SUS630的熱膨脹系數(shù)是12×10-6/℃，形成加熱器塊22的Kovar合金的熱膨脹系數(shù)是4.5×10-6/℃。
另外，作為形成加熱器塊22的金屬材料，也可以是低熱膨脹合金以外的材料、例如低熱膨脹超耐熱合金(商品名HRA929)或碳等，前者的熱膨脹系數(shù)是5×10-6/℃，后者的熱膨脹系數(shù)是1×10-6/℃。
上述調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)21由沿上述主體塊6與加熱器塊22的長(zhǎng)度方向以規(guī)定間隔交替地設(shè)置的多個(gè)推壓螺栓23和牽拉螺栓24構(gòu)成。
也就是說(shuō)，如圖4所示，上述推壓螺栓23螺合在沿主體塊6的厚度方向貫通而形成的螺孔25中，使從該主體塊6的下表面突出的下端面抵接在上述加熱器塊22的上表面上。上述牽拉螺栓24插通在沿上述主體塊6的厚度方向貫通、并且沿著主體塊6的長(zhǎng)度方向較長(zhǎng)地形成的插通孔26中，使從該插通孔26突出的前端部螺合到在上述加熱器塊22的上表面上開口而形成的螺孔27中。
因此，如果使上述推壓螺栓23向螺入的方向旋轉(zhuǎn)，則能夠推壓加熱器塊22的對(duì)應(yīng)于推壓螺栓23的部分，如果使上述牽拉螺栓24向返回的方向旋轉(zhuǎn)，則能夠牽拉加熱器塊22的對(duì)應(yīng)于牽拉螺栓24的部分。也就是說(shuō)，通過(guò)分別使推壓螺栓23和牽拉螺栓24旋轉(zhuǎn)，能夠推壓或牽拉加熱器塊22的對(duì)應(yīng)于各螺栓23、24的部分。
上述推壓螺栓23螺合在主體塊6的螺孔25中，但其前端抵接在加熱器塊22的上表面上，牽拉螺栓24使前端部螺合在加熱器塊22的螺孔27中，但相對(duì)于主體塊6插通在沿著其長(zhǎng)度方向較長(zhǎng)的插通孔26中。
因此，即使在主體塊6與加熱器塊22的熱膨脹率上存在差異，由于它們相對(duì)于長(zhǎng)度方向能夠相對(duì)地移動(dòng)，所以也不易在主體塊6或加熱器塊22上產(chǎn)生熱變形或翹曲。
在上述加熱器塊22的下表面上，遍及長(zhǎng)度方向大致全長(zhǎng)而一體形成有截面形狀為T字狀的工具部29。此外，在加熱器塊22上沿長(zhǎng)度方向以規(guī)定間隔設(shè)有沿寬度方向貫通的多個(gè)電熱加熱器31。加熱器塊22被上述電熱加熱器31加熱到300～400℃。
再者，在上述加熱器塊22的兩側(cè)面上沿著長(zhǎng)度方向設(shè)有熱管32。該熱管32在上述加熱器塊22受上述電熱加熱器31加熱時(shí)將其熱沿加熱器塊22的長(zhǎng)度方向均勻地傳遞。由此，受上述電熱加熱器31加熱的上述加熱器塊22在長(zhǎng)度方向的溫度分布變得大致均勻。
根據(jù)使用這樣構(gòu)成的熱壓接工具3的熱壓接裝置，在將圖7A～圖7C所示的電路基板203和電子部件202疊合在支撐工具2上而決定供給位置后，使Z驅(qū)動(dòng)源5動(dòng)作而使上述熱壓接工具3下降。由此，電路基板203與電子部件202的疊合部分被支撐工具2與熱壓接工具3的工具部29加壓加熱。
如果對(duì)電路基板203與電子部件202的疊合部分加壓加熱，則夾在這些疊合部分中的各向異性導(dǎo)電部件204熔融而硬化，所以能夠?qū)⑸鲜鲭娐坊?03與電子部件202固接。
上述熱壓接工具3由設(shè)在加熱器塊22上的電熱加熱器31加熱到300～400℃。相對(duì)于此，經(jīng)由調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)21連結(jié)在上述加熱器塊22上的主體塊6由于僅通過(guò)推壓螺栓23和牽拉螺栓24傳遞加熱器塊22的熱，所以溫度只上升到100～150℃左右。
在加熱器塊22與主體塊6中產(chǎn)生了250～300℃的溫度差。因此，因該溫度差而在熱膨脹率上產(chǎn)生差異，通過(guò)該差異在加熱器塊22中產(chǎn)生變形。如果在加熱器塊22中產(chǎn)生變形，則設(shè)在其下表面上的工具部29也變形，所以因該變形而使工具部29的下表面的平坦度降低。
如果工具部29的平坦度降低，則不能通過(guò)工具部29和支撐工具2對(duì)上述電路基板203與電子部件202的疊合部分的全長(zhǎng)均勻地加壓加熱，有可能導(dǎo)致壓接不良。
但是，該實(shí)施方式的熱壓接工具3將加熱器塊22用比主體塊6熱膨脹系數(shù)低的材料形成。具體而言，將主體塊6用SUS630形成，將加熱器塊22用作為低熱膨脹合金的Kovar合金形成。Kovar合金與SUS630相比，熱膨脹系數(shù)約為三分之一。
因此，相對(duì)于加熱器塊22溫度上升到300～400℃，主體塊6的溫度上升為約三分之一的100～150℃，所以即使在它們之間產(chǎn)生約250～300℃的溫度差，也能夠使上述加熱器塊22與主體塊6的熱膨脹率大致相同。
如果上述加熱器塊22與主體塊6的熱膨脹率大致相同，則即使它們通過(guò)調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)21的推壓螺栓23和牽拉螺栓24連結(jié)，也不會(huì)在加熱器塊22及主體塊6中產(chǎn)生變形，所以在設(shè)于加熱器塊22的下表面上的工具部29中也幾乎不產(chǎn)生變形。
因此，在開始?jí)航幼鳂I(yè)之前，如果使用例如感壓紙調(diào)節(jié)上述工具部29的平坦度，則然后幾乎沒有如以往那樣因加熱器塊22與主體塊6的溫度差而在加熱器塊22上產(chǎn)生變形的情況。
其結(jié)果是，不僅能夠高精度地維持上述工具部29的平坦度，而且即使假設(shè)發(fā)生了熱變形，由于該變形很小，所以也能夠通過(guò)調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)21簡(jiǎn)單地進(jìn)行調(diào)節(jié)作業(yè)。
而且在連結(jié)上述加熱器塊22與主體塊6的調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)21中，推壓螺栓23使前端壓接在加熱器塊22的上表面上，牽拉螺栓24插通在沿著主體塊6的長(zhǎng)度方向較長(zhǎng)地形成的插通孔26中。
因此，調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)21雖然將主體塊6與加熱器塊22連結(jié)，但由于能夠使它們相對(duì)地移動(dòng)，所以由此也不易在主體塊6及加熱器塊22中產(chǎn)生熱變形。
再者，由于在比主體塊6的高度方向的中央更靠下側(cè)的位置，形成有沿長(zhǎng)度方向貫通的貫通孔28，使冷卻氣體流到該貫通孔28中，所以容易傳遞來(lái)自加熱器塊22的熱而將主體塊6的下表面?zhèn)壤鋮s。因此，能夠減小加熱器塊22的上表面?zhèn)扰c下表面?zhèn)鹊臏囟炔?，由此也能夠防止在主體塊6上產(chǎn)生熱變形或翹曲。
另外，在上述貫通孔28中強(qiáng)制地使冷卻氣體流過(guò)，但即使不強(qiáng)制地使冷卻氣體流過(guò)而僅形成貫通孔28，也能夠通過(guò)在貫通孔28中流通的外界氣體使主體塊6的下表面?zhèn)鹊臏囟壬仙壬媳砻鎮(zhèn)鹊汀?br> 上述加熱器塊22受沿長(zhǎng)度方向以規(guī)定間隔設(shè)置的多個(gè)電熱加熱器31加熱。因此，在加熱器塊22的電熱加熱器31之間的部分及長(zhǎng)度方向的兩端處與其它部分產(chǎn)生溫度不均勻，有可能因該不均勻而產(chǎn)生變形。
但是，在上述加熱器塊22上沿著長(zhǎng)度方向設(shè)有熱管32，使加熱器塊22的長(zhǎng)度方向的溫度均勻化。因此，即使是加熱器塊22受多個(gè)電熱加熱器31加熱的結(jié)構(gòu)，也不會(huì)在長(zhǎng)度方向上產(chǎn)生溫度差、并因該溫度差而產(chǎn)生變形。
因此，由此也能夠抑制在設(shè)于加熱器塊22的下表面上的工具部29中產(chǎn)生變形，而且能夠?qū)㈦娐坊?03與電子部件202的疊合部分一邊均勻地加熱一邊加壓。
在上述主體塊6的上表面上設(shè)有工具安裝部件7。因此，在該主體塊6與工具安裝部件7之間也會(huì)產(chǎn)生溫度差，有時(shí)會(huì)因該溫度差而在主體塊6中產(chǎn)生變形，受到該變形影響而在加熱器塊22中產(chǎn)生變形。
但是，上述工具安裝部件7在設(shè)于安裝部8的下端上的舌片11上形成有長(zhǎng)孔12，經(jīng)由該長(zhǎng)孔12通過(guò)螺釘13連結(jié)在上述主體塊6上。也就是說(shuō)，上述安裝部8的舌片11通過(guò)螺釘13可相對(duì)移動(dòng)地連結(jié)在上述主體塊6上。
因此，接近于加熱器塊22的主體塊6上升到比工具安裝部件7高的溫度，即使主體塊6與工具安裝部件7在熱膨脹率上產(chǎn)生差異，由于對(duì)應(yīng)于該差異，上述主體塊6相對(duì)于上述舌片11相對(duì)地移動(dòng)，所以也不會(huì)在它們之間產(chǎn)生變形而使主體塊6變形。
在上述一實(shí)施方式中，在加熱器塊22的下表面上一體地形成有工具部29。加熱器塊22由比主體塊6熱膨脹系數(shù)低的低熱膨脹合金即Kovar合金形成。由Kovar合金與加熱器塊22一體形成的工具部29的硬度有比形成主體塊6的SUS630低的情況。因此，工具部29有可能較快地?fù)p傷。
在這樣的情況下，如圖5和圖6所示那樣將加熱器塊22的下端面做成平坦面，在其上采用比加熱器塊22硬的金屬材料、例如與主體塊6相同的金屬材料即SUS630設(shè)置截面形狀形成為T字狀的工具部29A。
也就是說(shuō)，通過(guò)L字狀的推壓部件34來(lái)保持設(shè)于加熱器塊22的下表面上的工具部29A的兩側(cè)部，將螺釘36插通到形成于該推壓部件34上的通孔35中，將該螺釘36螺合到上述加熱器塊22的下表面的形成開口的螺孔37中。
由上述推壓部件34保持兩側(cè)部的工具部29A相對(duì)于上述加熱器塊22可拆裝且相對(duì)于長(zhǎng)度方向可相對(duì)地移動(dòng)。因此，即使工具部29A與加熱器塊22分別溫度上升，且它們以不同的熱膨脹系數(shù)膨脹，工具部29A也能夠在加熱器塊22的下表面上，相對(duì)于該加熱器塊22的長(zhǎng)度方向一邊相對(duì)地移動(dòng)一邊膨脹。
因此，由于即使工具部29A與加熱器塊22以不同的熱膨脹系數(shù)膨脹，在它們之間也幾乎不產(chǎn)生應(yīng)力，所以能夠防止工具部29A變形而使其下表面的平坦度降低。
也就是說(shuō)，即使在將加熱器塊22與工具部29A用熱膨脹系數(shù)不同的材料分體地形成的情況下，也能夠防止由于在溫度上升時(shí)這些加熱器塊22與工具部29A的熱膨脹系數(shù)的差異而產(chǎn)生的變形。
另外，在該實(shí)施方式中，也可以做成在加熱器塊22的側(cè)面上遍及長(zhǎng)度方向全長(zhǎng)而設(shè)有熱管32等、工具29A以外的部分與上述一實(shí)施方式相同的結(jié)構(gòu)。
再者，雖然舉出了通過(guò)不銹鋼形成主體塊的例子，但主體塊也可以通過(guò)不銹鋼以外的鐵類金屬等其它材料形成。
此外，在上述實(shí)施方式中對(duì)將電路基板與電子部件主壓接的情況進(jìn)行了說(shuō)明，但本發(fā)明并不限于外部引線接合器的主壓接，也可以應(yīng)用在各向異性導(dǎo)電粘接薄膜(ACF)的粘貼及其它所有壓接作業(yè)中。
根據(jù)本發(fā)明，減小了加熱器塊與主體塊的熱膨脹率之差。因此，在加熱器塊溫度上升時(shí)，能夠防止在該加熱器塊中產(chǎn)生較大的變形，所以能夠防止設(shè)在加熱器塊上的工具部的平坦度受到損害。
權(quán)利要求
1.一種熱壓接工具，其對(duì)兩個(gè)部件的疊合部分加壓加熱而進(jìn)行壓接，其特征在于，具備主體塊；以及加熱器塊，其下表面?zhèn)仍O(shè)有工具部，上表面?zhèn)冉?jīng)由調(diào)節(jié)所述工具部在長(zhǎng)度方向的平坦度的調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)安裝在所述主體塊上；所述加熱器塊與所述主體塊相比，由熱膨脹系數(shù)較低的材料來(lái)形成。
2.如權(quán)利要求1所述的熱壓接工具，其特征在于在所述主體塊的上表面上，以能夠?qū)?yīng)于所述主體塊在長(zhǎng)度方向的膨脹而相對(duì)移動(dòng)的方式連結(jié)有工具安裝部件。
3.如權(quán)利要求1所述的熱壓接工具，其特征在于在所述加熱器塊中，沿著長(zhǎng)度方向以規(guī)定間隔設(shè)有沿著寬度方向的多個(gè)加熱器，并且設(shè)有使這些加熱器所產(chǎn)生的長(zhǎng)度方向的溫度分布均勻化的熱管。
4.如權(quán)利要求1所述的熱壓接工具，其特征在于所述主體塊的材料是不銹鋼，所述加熱器塊的材料是低熱膨脹合金。
5.一種熱壓接工具，其對(duì)兩個(gè)部件的疊合部分加壓加熱而進(jìn)行壓接，其特征在于，具備主體塊；以及加熱器塊，其下表面?zhèn)仍O(shè)有工具部，上表面?zhèn)冉?jīng)由調(diào)節(jié)所述工具部在長(zhǎng)度方向的平坦度的調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)安裝在所述主體塊上；所述加熱器塊與所述主體塊相比，由熱膨脹系數(shù)較低的材料來(lái)形成，并且所述工具部由比所述加熱器塊更硬的金屬材料與該加熱器塊分體地形成，并且以能夠?qū)?yīng)于相互的熱膨脹而沿長(zhǎng)度方向相對(duì)移動(dòng)的方式安裝在所述加熱器塊的下表面上。
6.如權(quán)利要求1或2所述的熱壓接工具，其特征在于在所述主體塊上設(shè)有沿長(zhǎng)度方向貫通的貫通孔。
7.如權(quán)利要求6所述的熱壓接工具，其特征在于所述貫通孔設(shè)在比所述主體塊的高度方向的中央更靠下側(cè)的位置。
8.如權(quán)利要求1或2所述的熱壓接工具，其特征在于所述加熱器塊與所述主體塊以能夠?qū)?yīng)于長(zhǎng)度方向的膨脹而相對(duì)移動(dòng)的方式進(jìn)行連結(jié)。
9.一種熱壓接裝置，其將經(jīng)由各向異性導(dǎo)電部件而疊合的第1部件和第2部件載置在支撐工具上，并對(duì)這些部件的疊合部分通過(guò)熱壓接工具加壓加熱而進(jìn)行壓接，其特征在于所述熱壓接工具具有權(quán)利要求1所述的結(jié)構(gòu)。
全文摘要
熱壓接工具(3)具備主體塊(6)；以及加熱器塊(22)，其下表面?zhèn)仍O(shè)有工具部(29)，上表面?zhèn)冉?jīng)由調(diào)節(jié)工具部在長(zhǎng)度方向的平坦度的調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)(21)安裝在主體塊上；加熱器塊與主體塊相比，由熱膨脹系數(shù)較低的材料來(lái)形成。
文檔編號(hào)H01L21/603GK101076886SQ20058004246
公開日2007年11月21日 申請(qǐng)日期2005年9月13日 優(yōu)先權(quán)日2004年12月16日
發(fā)明者岡澤光弘 申請(qǐng)人:芝浦機(jī)械電子株式會(huì)社