專利名稱：測束法拉第裝置的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種半導體器件制造裝置，特別涉及一種半導體器件制造裝置中的測束法拉第裝置。
背景技術：
現(xiàn)有半導體集成電路制造技術中，隨著集成度越來越高和電路規(guī)模越來越大，要求電路中單元器件尺寸越來越小，于是對半導體器件制造設備提出了更高的要求。離子注入機作為半導體離子摻雜工藝線的關鍵設備，其離子源的優(yōu)劣直接關系到半導體器件的質量好壞。因此，作為離子注入機中離子源束流指標檢測的法拉第裝置，是一個既關鍵又必不可少的部件。
在以往的測束法拉第裝置中大都采用金屬焊件，因此在入口處要設置抑制電極，但還會產(chǎn)生未被抑制的二次電子；同時由于法拉第裝置直接收束流和特殊的高溫使用環(huán)境，使得金屬筒外部要設計水套作為冷卻；法拉第杯的底板由于采用了焊接方式的固定連接，也給維修帶來極大不便。
實用新型內容本實用新型克服現(xiàn)有技術的缺點，提供了一種結構簡單，維護方便，測量準確的測束法拉第裝置。
本實用新型技術方案如下法拉第筒采用石墨制成并被設計成倒錐形；法拉第杯底板采用方便更換的活動連接方式；在氣缸體與氣缸軸接觸的部位設置絕緣并起支撐作用的氣孔環(huán)和密封圈；在氣缸軸的尾部設置保證運行平穩(wěn)的移動導向桿。
采用本實用新型，無需設置抑制電極，可以有效防止金屬粒子和二次電子污染；由于采用耐高溫的石墨材料，因而無需在法拉第杯外部焊接冷卻水套；法拉第杯底板采用活動連接方式，可方便更換法拉第杯底板，操作簡單，使維護大大簡化。


圖1為本實用新型的結構圖。
圖中1-法拉第杯底板；2-法拉第筒；3-氣缸軸；4-氣孔環(huán)；5-密封圈；6-氣缸活塞；7-氣缸體；8-氣缸密封蓋；9-進出水接頭；10-移動導向桿；11-進出氣接頭具體實施方式
以下結合附圖對本實用新型的結構和工作原理做進一步說明如附圖1所示，所述的法拉第筒2和可更換的法拉第杯底板1組成法拉第杯，法拉第筒2與法拉第杯底板1可采用螺栓等活動連接方式。
法拉第筒2連接到氣缸軸3的一端，氣缸軸3可帶動法拉第筒2移動。
氣缸軸3穿過氣缸體7，借助于進出水接頭9可以冷卻氣缸軸3。氣缸軸3另一端連接有移動導向桿10，移動導向桿10可保證氣缸軸3平穩(wěn)移動。
氣孔環(huán)4由高分子材料制成，支撐氣缸軸3并起絕緣作用，以保證有效的測量。
氣缸活塞6由高分子材料制作，絕緣并壓縮氣缸體7內氣體使氣缸軸3移動。
本實用新型在檢測離子源束流指標時，利用氣缸體7的作用，使法拉第杯位于離子源束流通道的中心位置。該位置可通過氣缸活塞6的運動行程來調節(jié)。在進行注片時，利用氣缸體7的作用，法拉第杯移開離子源束流通道位置，使離子源束流完全通過并順利到靶。法拉第筒2設計成倒錐形，同時深度按入口尺寸的一定比例設計，可有效抑制二次電子，以保證測量的準確性。法拉第筒2為石墨材料，離子源束流不接觸金屬材料，可有效降低金屬粒子污染。
權利要求1.一種測束法拉第裝置，其包括法拉第杯，氣缸軸，氣缸體，氣缸活塞，氣缸密封蓋，進出氣接頭，進出水接頭，其特征在于法拉第筒(2)為倒錐形，法拉第筒(2)底部帶有活動法拉第杯底板(1)；法拉第筒(2)連接在氣缸軸(3)上，氣缸軸(3)穿過氣缸體(7)，氣缸軸(3)的另一端連接有移動導向桿(10)；在氣缸體(7)與氣缸軸(3)接觸部位有氣孔環(huán)(4)和密封圈(5)；氣缸軸(3)尾部連接有移動導向桿(10)。
專利摘要本實用新型公開了一種測束法拉第裝置，屬于半導體器件制造領域。所述的測束法拉第裝置包括法拉第杯，氣缸軸，氣缸體，氣缸活塞，氣缸密封蓋，進出氣接頭，進出水接頭，其中法拉第筒(2)采用石墨制成并被設計成倒錐形，法拉第筒(2)底部帶有活動法拉第杯底板(1)，法拉第筒(2)連接在氣缸軸(3)上，氣缸軸(3)穿過氣缸體(7)，氣缸軸(3)的另一端連接有移動導向桿(10)，在氣缸體(7)與氣缸軸(3)接觸部位有氣孔環(huán)(4)和密封圈(5)，氣缸軸(3)尾部連接有移動導向桿(10)。
文檔編號H01L21/66GK2796082SQ200520011269
公開日2006年7月12日 申請日期2005年3月31日 優(yōu)先權日2005年3月31日
發(fā)明者郭建輝 申請人:北京中科信電子裝備有限公司