專(zhuān)利名稱(chēng)：法拉第杯的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種法拉第杯，且特別是涉 及一種可快速地更換部件的法拉第杯。
背景技術(shù)：
離子注入是一種用于在如半導(dǎo)體晶片等工件中注入能改變導(dǎo)電率的雜質(zhì)的標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)。在傳統(tǒng)的束線式離子注入機(jī)中，由離子源產(chǎn)生離子束并由萃取電極(extractionelectrode)自離子源中萃取離子束。當(dāng)離子束撞擊工件時(shí)，離子束中的離子會(huì)穿透工件表面而停止在工件表面下方，從而于工件中形成具有所需導(dǎo)電率的區(qū)域。在傳統(tǒng)離子注入機(jī)的運(yùn)作中，通常需要測(cè)量注入于工件中的累加離子劑量。法拉第杯即為一種用于測(cè)量注入于工件中的離子劑量的裝置。通過(guò)法拉第杯測(cè)量離子束電流，可經(jīng)由對(duì)離子束電流的計(jì)算而確定累加離子劑量。然而，由于目前的法拉第杯為一體化的結(jié)構(gòu)，所以當(dāng)法拉第杯上的石墨受到離子束的侵蝕而受損時(shí)，必須將整個(gè)法拉第杯進(jìn)行更換，其更換成本相當(dāng)高。此外，由于此一體化的法拉第杯的更換步驟繁瑣且不易安裝，容易產(chǎn)生真空泄露(vacuum leak)或漏水(water leak)的情況，因此需重復(fù)進(jìn)行多次安裝與測(cè)試，所花費(fèi)的更換時(shí)間相當(dāng)冗長(zhǎng)。

實(shí)用新型內(nèi)容有鑒于此，本實(shí)用新型的目的在于提供一種法拉第杯，其可快速地且局部地更換部件。為達(dá)上述目的，本實(shí)用新型提出一種法拉第杯，包括框體及石墨。框體具有容置空間。石墨可拆換地設(shè)置于容置空間中。依照本實(shí)用新型的一實(shí)施例所述，在上述的法拉第杯中，框體的材料例如是金屬。依照本實(shí)用新型的一實(shí)施例所述，在上述的法拉第杯中，石墨包括第一組件及第二組件。第一組件可拆換地設(shè)置于容置空間中，且在第一組件中具有凹槽。第二組件可拆換地設(shè)置于凹槽中。依照本實(shí)用新型的一實(shí)施例所述，在上述的法拉第杯中，凹槽的位置例如是對(duì)應(yīng)于帶電粒子束于石墨上的撞擊位置。依照本實(shí)用新型的一實(shí)施例所述，在上述的法拉第杯中，帶電粒子束例如是離子束。依照本實(shí)用新型的一實(shí)施例所述，在上述的法拉第杯中，第一組件的凹槽底部可具有通孔。依照本實(shí)用新型的一實(shí)施例所述，在上述的法拉第杯中，還包括第一結(jié)合裝置，用以結(jié)合第一組件與框體。依照本實(shí)用新型的一實(shí)施例所述，在上述的法拉第杯中，第一結(jié)合裝置例如是螺絲組。[0014]依照本實(shí)用新型的一實(shí)施例所述，在上述的法拉第杯中，還包括第二結(jié)合裝置，用
以結(jié)合第一組件與第二組件。依照本實(shí)用新型的一實(shí)施例所述，在上述的法拉第杯中，第二結(jié)合裝置例如是螺絲組。依照本實(shí)用新型的一實(shí)施例所述，在上述的法拉第杯中，法拉第杯例如是應(yīng)用于離子注入機(jī)臺(tái)?；谏鲜觯緦?shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)在于，在本實(shí)用新型所提出的法拉第杯中，由于石墨為可拆換的部件，所以可快速地更換法拉第杯的部件，進(jìn)而可縮短更換部件的時(shí)間。此外，由于本實(shí)用新型所提出的法拉第杯的部件可局部地進(jìn)行更換，因此具有方便更換的特性。另外，相比較于傳統(tǒng)一體化的法拉第杯，本實(shí)用新型所提出的法拉第杯可單獨(dú)對(duì)需要更換的部件進(jìn)行更換，而無(wú)須將整個(gè)法拉第杯進(jìn)行更換，因此可節(jié)省更換成本。為讓本實(shí)用新型的上述和其他目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能更明顯易懂，下文特舉實(shí)施例，并配合所附附圖，作詳細(xì)說(shuō)明如下。

圖I為本實(shí)用新型的一實(shí)施例的法拉第杯的組合圖；圖2為本發(fā)明的一實(shí)施例的法拉第杯的立體分解圖；圖3為本發(fā)明的一實(shí)施例的法拉第杯的側(cè)視分解圖。主要元件符號(hào)說(shuō)明 100 :法拉第杯102 :框體104 :石墨106 :容置空間108 :第一組件110:第二組件112:凹槽114:通孔116:第一結(jié)合裝置116a:螺絲116b、116c、118b、118c :螺孔118:第二結(jié)合裝置118a:螺絲
具體實(shí)施方式
圖I所繪示為本實(shí)用新型的一實(shí)施例的法拉第杯的組合圖。圖2所繪示為本發(fā)明的一實(shí)施例的法拉第杯的立體分解圖。圖3所繪示為本發(fā)明的一實(shí)施例的法拉第杯的側(cè)視分解圖。請(qǐng)同時(shí)參照?qǐng)DI至圖3，法拉第杯100包括框體102及石墨104。法拉第杯100例如是應(yīng)用于離子注入機(jī)臺(tái)，如高電流離子注入機(jī)臺(tái)。[0038]框體102具有容置空間106，其中容置空間106可用以容置石墨104?？蝮w102的材料例如是鋁等金屬。石墨104可拆換地設(shè)置于容置空間106中，因此可快速地且局部地進(jìn)行更換。石墨104可包括第一組件108及第二組件110。第一組件108可拆換地設(shè)置于容置空間106中，且在第一組件108中具有凹槽112。第二組件110可拆換地設(shè)置于凹槽112中。凹槽112的位置例如是對(duì)應(yīng)于帶電粒子束于石墨104上的撞擊位置，其中帶電粒子束例如是離子束。由于帶電粒子束于石墨104上的撞擊位置為石墨104受損較嚴(yán)重的部分，通過(guò)第二組件110可拆換地設(shè)置于凹槽112中，所以能夠單獨(dú)地對(duì)于受損較嚴(yán)重的第二組件110進(jìn)行更換，無(wú)需更換整個(gè)石墨104，因此可降低部件的更換成本。此外，第一組件108的凹槽 112底部可具有通孔114。當(dāng)?shù)谝唤M件108具有通孔114時(shí)，可利用如頂針等針狀物穿過(guò)通孔114，而將第二組件110頂出凹槽112。值得注意的是，雖然在此實(shí)施例中，石墨104是以包括第一組件108及第二組件110為例進(jìn)行說(shuō)明，然而本實(shí)用新型并不以此為限，只要石墨104為可拆換地部件即可達(dá)到快速地且局部地更換部件的效果。在其他實(shí)施例中，石墨104也可為單一可拆換的部件。法拉第杯100還可選擇性地包括第一結(jié)合裝置116及第二結(jié)合裝置118中的至少一者。第一結(jié)合裝置116用以結(jié)合第一組件108與框體102。第二結(jié)合裝置118用以結(jié)合第一組件108與第二組件110。第一結(jié)合裝置116例如是由螺絲116a所組成的螺絲組。第二結(jié)合裝置118例如是由螺絲118a所組成的螺絲組。此外，對(duì)應(yīng)于螺絲116a的固定位置，第一組件108中例如是具有螺孔116b，而框體102例如是具有螺孔116c。對(duì)應(yīng)于螺絲118a的固定位置，第一組件108中例如是具有螺孔118b，而第二組件110例如是具有螺孔118c。在此實(shí)施例中，雖然第一結(jié)合裝置116與第二結(jié)合裝置118分別是以螺絲組為例進(jìn)行說(shuō)明，但是本實(shí)用新型并不以此為限。此外，雖然在此實(shí)施例中螺絲116a與螺絲118a的數(shù)量是以四顆為例進(jìn)行說(shuō)明，然而只要螺絲116a與螺絲118a的數(shù)量分別為一顆以上即可具有結(jié)合的效果，而屬于本實(shí)用新型所要保護(hù)的范圍?；谏鲜鰧?shí)施例可知，在法拉第杯100中，當(dāng)要更換石墨104時(shí)，由于石墨104為可拆換的部件，所以可快速地更換法拉第杯100的部件，進(jìn)而可縮短更換部件的時(shí)間。此夕卜，由于法拉第杯100的部件可局部地進(jìn)行更換，可降地更換部件時(shí)的復(fù)雜性，因此具有方便更換的特性。另外，相較于傳統(tǒng)一體化的法拉第杯，上述實(shí)施例所提出的法拉第杯100可單獨(dú)對(duì)需要更換的部件進(jìn)行更換，而無(wú)須將整個(gè)法拉第杯100進(jìn)行更換，因此可節(jié)省更換成本。綜上所述，上述實(shí)施例至少具有下列優(yōu)點(diǎn)I.通過(guò)上述實(shí)施例的法拉第杯可縮短更換部件的時(shí)間。2.上述實(shí)施例的法拉第杯具有方便更換的特性。3.通過(guò)上述實(shí)施例的法拉第杯可節(jié)省更換成本。
權(quán)利要求1.一種法拉第杯，其特征在于，包括 框體，具有一容置空間；以及 石墨，可拆換地設(shè)置于該容置空間中。
2.如權(quán)利要求I所述的法拉第杯，其特征在于，該框體的材料包括金屬。
3.如權(quán)利要求I所述的法拉第杯，其特征在于，該石墨包括 第一組件，可拆換地設(shè)置于該容置空間中，且在該第一組件中具有凹槽；以及 第二組件，可拆換地設(shè)置于該凹槽中。
4.如權(quán)利要求3所述的法拉第杯，其特征在于，該凹槽的位置對(duì)應(yīng)于一帶電粒子束于該石墨上的撞擊位置。
5.如權(quán)利要求4所述的法拉第杯，其特征在于，該帶電粒子束包括離子束。
6.如權(quán)利要求3所述的法拉第杯，其特征在于，該第一組件的該凹槽底部具有通孔。
7.如權(quán)利要求3所述的法拉第杯，其特征在于，該法拉第杯還包括第一結(jié)合裝置，用以結(jié)合該第一組件與該框體。
8.如權(quán)利要求7所述的法拉第杯，其特征在于，該第一結(jié)合裝置包括螺絲組。
9.如權(quán)利要求3所述的法拉第杯，其特征在于，該法拉第杯還包括第二結(jié)合裝置，用以結(jié)合該第一組件與該第二組件。
10.如權(quán)利要求9所述的法拉第杯，其特征在于，該第二結(jié)合裝置包括螺絲組。
11.如權(quán)利要求I所述的法拉第杯，其特征在于，該法拉第杯應(yīng)用于離子注入機(jī)臺(tái)。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)一種法拉第杯，其包括框體及石墨?？蝮w具有容置空間。石墨可拆換地設(shè)置于容置空間中。上述法拉第杯可快速地且局部地更換部件。
文檔編號(hào)H01J37/244GK202363408SQ20112045694
公開(kāi)日2012年8月1日 申請(qǐng)日期2011年11月17日 優(yōu)先權(quán)日2011年10月27日
發(fā)明者莊錦賢, 張?jiān)? 彭圣修, 施介文, 蔡濟(jì)全, 陳平陽(yáng) 申請(qǐng)人:力晶科技股份有限公司