專利名稱：切削裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種對(duì)半導(dǎo)體晶片等被加工物進(jìn)行切削加工的切削裝置，特別是涉及在覆蓋切削機(jī)構(gòu)的周圍的箱體具有開閉罩的切削裝置。
背景技術(shù)：
對(duì)半導(dǎo)體晶片等被加工物進(jìn)行切削加工的切削裝置具有包含安裝于主軸的切削刀片的切削機(jī)構(gòu)和吸附保持被加工物的卡盤臺(tái)，相對(duì)保持于卡盤臺(tái)的被加工物使高速回轉(zhuǎn)的切削刀片切入而進(jìn)行切削。
在這樣的切削裝置的切削加工中，存在包含切屑的切削水和破損的切削刀片的破片等飛散到周圍的可能性。為了防止該切削水和刀片破損片的飛散，在上述卡盤臺(tái)和切削機(jī)構(gòu)的周圍設(shè)置開閉式的安全罩(以下稱開閉罩)(例如參照日本特開平10-116802號(hào)公報(bào))。
該開閉罩例如分別設(shè)在切削裝置的正面?zhèn)群蛡?cè)面?zhèn)?。正面?zhèn)鹊拈_閉罩在交換切削刀片時(shí)開閉。另一方面，側(cè)面?zhèn)鹊拈_閉罩為了清掃散亂到卡盤臺(tái)周圍的切屑及切削水而開閉。例如，在卡盤臺(tái)與其移動(dòng)機(jī)構(gòu)的兩側(cè)下部配置回收切屑等的切屑回收機(jī)構(gòu)(所謂的水盒等)時(shí)，為了清掃該切屑回收機(jī)構(gòu)，對(duì)側(cè)面?zhèn)鹊拈_閉罩進(jìn)行開閉。
這樣的開閉罩特別是側(cè)面?zhèn)鹊拈_閉罩在現(xiàn)有技術(shù)中由于其開閉頻度少的原因，大多相對(duì)切削裝置本體由螺釘固定進(jìn)行固定。
然而，如上述現(xiàn)有的切削裝置那樣，雖說開閉頻度較少，但如開閉罩由螺釘固定，則開閉罩的開閉作業(yè)非常費(fèi)事。為此，對(duì)可簡(jiǎn)單地開閉、方便性高的開閉罩存在需求。

發(fā)明內(nèi)容
因此，本發(fā)明就是鑒于上述問題而作出的，其目的在于提供一種新型的、經(jīng)過改良的切削裝置，該切削裝置可簡(jiǎn)單地對(duì)開閉罩進(jìn)行開閉，可提高方便性。
為了解決上述問題，本發(fā)明的切削裝置具有箱體、保持機(jī)構(gòu)、切削機(jī)構(gòu)、箱體開口部、開閉罩、開閉罩安裝機(jī)構(gòu)、及鎖定機(jī)構(gòu)；該保持機(jī)構(gòu)設(shè)于箱體內(nèi)，保持被加工物；該切削機(jī)構(gòu)設(shè)在箱體內(nèi)，對(duì)被加工物進(jìn)行切削；該箱體開口部設(shè)在與保持機(jī)構(gòu)和/或切削機(jī)構(gòu)對(duì)應(yīng)的位置；該開閉罩對(duì)箱體開口部進(jìn)行開放/關(guān)閉；該開閉罩安裝機(jī)構(gòu)具有支承構(gòu)件，該支承構(gòu)件安裝于箱體開口部的下側(cè)，卡止從上方插入的開閉罩的下端部，可拆卸地支承開閉罩；該鎖定機(jī)構(gòu)對(duì)關(guān)閉箱體開口部的狀態(tài)的開閉罩進(jìn)行鎖定。
按照該構(gòu)成，由鎖定機(jī)構(gòu)相對(duì)箱體開口部對(duì)開閉罩進(jìn)行鎖定和鎖定解除，即可簡(jiǎn)單地進(jìn)行開閉罩的開閉，同時(shí)，可拆卸打開的開閉罩，實(shí)施內(nèi)部裝置的清掃作業(yè)和維修作業(yè)。因此，切削裝置的操作者的方便性提高。
另外，為了解決上述問題，按照本發(fā)明的另一觀點(diǎn)的切削裝置具有箱體、保持機(jī)構(gòu)、切削機(jī)構(gòu)、箱體開口部、開閉罩、開閉罩安裝機(jī)構(gòu)、及鎖定機(jī)構(gòu)；該保持機(jī)構(gòu)設(shè)于箱體內(nèi)，保持被加工物；該切削機(jī)構(gòu)設(shè)在箱體內(nèi)，對(duì)被加工物進(jìn)行切削；該箱體開口部設(shè)在與保持機(jī)構(gòu)和/或切削機(jī)構(gòu)對(duì)應(yīng)的位置；該開閉罩對(duì)箱體開口部進(jìn)行開放/關(guān)閉；該開閉罩安裝機(jī)構(gòu)支承開閉罩；該鎖定機(jī)構(gòu)對(duì)關(guān)閉箱體開口部的狀態(tài)的開閉罩進(jìn)行鎖定；開閉罩安裝機(jī)構(gòu)在上述開閉罩不由上述鎖定機(jī)構(gòu)鎖定的場(chǎng)合，可自動(dòng)地打開上述開閉罩。
按照該構(gòu)成，由鎖定機(jī)構(gòu)相對(duì)箱體開口部對(duì)開閉罩進(jìn)行鎖定和鎖定解除，即可簡(jiǎn)單地進(jìn)行開閉罩的開閉。另外，當(dāng)開閉罩關(guān)閉到途中而使得鎖定機(jī)構(gòu)的鎖定不完全時(shí)，可自動(dòng)地使開閉罩大幅地打開。為此，操作者可在視覺上認(rèn)識(shí)到開閉罩未關(guān)閉這一情況。因此，切削裝置的操作者的方便性提高。
另外，上述開閉罩安裝機(jī)構(gòu)通過卡止開閉罩的下端部可拆卸地支承開閉罩，在未由鎖定機(jī)構(gòu)對(duì)上述開閉罩進(jìn)行鎖定的場(chǎng)合，以開閉罩的下端部的中心使上述開閉罩回轉(zhuǎn)，將開閉罩打開。這樣，可拆卸打開的開閉罩，實(shí)現(xiàn)內(nèi)部裝置的清掃作業(yè)和維修作業(yè)。在開閉罩關(guān)閉到途中而未鎖定的場(chǎng)合，以開閉罩的下端部為中心使開閉罩朝從箱體開口部離開的方向回轉(zhuǎn)，使開閉罩自動(dòng)地大幅打開。
另外，上述開閉罩安裝機(jī)構(gòu)也可具有彈性構(gòu)件和支承構(gòu)件；該彈性構(gòu)件安裝于箱體開口部的至少左右兩側(cè)；該支承構(gòu)件安裝于箱體開口部的下側(cè)，卡止從上方插入的開閉罩的下端部，可拆卸地支承開閉罩；在開閉罩未由鎖定機(jī)構(gòu)鎖定的場(chǎng)合，由彈性構(gòu)件朝打開的方向推壓開閉罩。這樣，可由支承構(gòu)件這樣較簡(jiǎn)單的構(gòu)成支承開閉罩，并將其安裝于箱體開口部。另外，在鎖定機(jī)構(gòu)的鎖定不完全的場(chǎng)合，可由彈性構(gòu)件這樣簡(jiǎn)單的構(gòu)成從內(nèi)側(cè)推壓開閉罩使其回轉(zhuǎn)，將其大幅地打開。另外，由彈性構(gòu)件的下端部和支承構(gòu)件夾持開閉罩的下端部，所以，開閉罩安裝機(jī)構(gòu)可穩(wěn)定地支承安裝的開閉罩。
另外，也可覆蓋上述支承構(gòu)件地安裝彈性構(gòu)件?；蛘?，也可由彈性構(gòu)件構(gòu)成上述支承構(gòu)件自身。
另外，上述鎖定機(jī)構(gòu)也可具有鎖緊部和開關(guān)部；該鎖緊部安裝于開閉罩，當(dāng)插入到設(shè)于箱體的接合孔時(shí)，與接合孔接合；該開關(guān)部解除鎖緊部與接合孔的接合。這樣，當(dāng)操作者推壓開閉罩而成為完全關(guān)閉的狀態(tài)時(shí)，鎖定機(jī)構(gòu)的鎖緊部插入到箱體的接合孔進(jìn)行接合，所以，可在關(guān)閉箱體開口部的狀態(tài)下將開閉罩鎖定。另一方面，當(dāng)要將關(guān)閉的開閉罩打開時(shí)，按下鎖定機(jī)構(gòu)的開關(guān)部即可。這樣，解除鎖緊部與接合孔的接合，解除開閉罩的鎖定，所以，開閉罩打開。這樣，操作者可由一次操作對(duì)開閉罩進(jìn)行開閉，所以，很方便。
如以上說明的那樣按照本發(fā)明，操作者可簡(jiǎn)單地對(duì)開閉罩進(jìn)行開閉，所以，進(jìn)行各種作業(yè)時(shí)的方便性提高。


圖1為示出本發(fā)明第一實(shí)施形式的切割裝置的整體透視圖。
圖2為示出該實(shí)施形式的切割裝置的切削區(qū)域周邊的構(gòu)成的平面圖。
圖3為示出該實(shí)施形式的切削單元的透視圖。
圖4A和4B分別為示出該實(shí)施形式的開閉罩和其安裝機(jī)構(gòu)的構(gòu)成的透視圖和側(cè)面圖。
圖5為示出該實(shí)施形式的鎖定機(jī)構(gòu)和接合孔的構(gòu)成的橫斷面圖。
圖6A和6B為分別示出該實(shí)施形式的開閉罩安全關(guān)閉的狀態(tài)和在途中關(guān)閉的狀態(tài)的側(cè)面圖。
具體實(shí)施例方式
下面，參照附圖詳細(xì)說明本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施形式。在本說明書和附圖中，對(duì)實(shí)質(zhì)上具有相同功能構(gòu)成的構(gòu)成要素賦予相同符號(hào)，省略重復(fù)說明。
(第一實(shí)施形式)首先，根據(jù)圖1和圖2說明作為本發(fā)明第一實(shí)施形式的切削裝置的一例構(gòu)成的切割裝置10的整體構(gòu)成。圖1為示出本實(shí)施形式的切割裝置10的整體透視圖。圖2為示出本實(shí)施形式的切割裝置10的切削區(qū)域周邊的構(gòu)成的平面圖，剖切地示出箱體12。
如圖1和圖2所示那樣，切割裝置10例如主要具有箱體12，對(duì)半導(dǎo)體晶片W等被加工物進(jìn)行切削加工的切削單元20，保持上述被加工物的卡盤臺(tái)30，使切削單元20與卡盤臺(tái)30相對(duì)移動(dòng)的移動(dòng)機(jī)構(gòu)32、34，回收由切削加工產(chǎn)生的切屑和切削水的切屑回收機(jī)構(gòu)36，設(shè)于箱體12的箱體開口部40、42，分別安裝于這些箱體開口部40、42的開閉罩50、60。
箱體12為由例如金屬等形成的、例如具有大體長(zhǎng)方形的箱。在該箱體12內(nèi)配置以下說明的那樣的切削單元20、卡盤臺(tái)30、移動(dòng)機(jī)構(gòu)等各種裝置。
切削單元20構(gòu)成為本實(shí)施形式的切削機(jī)構(gòu)，對(duì)半導(dǎo)體晶片W等被加工物進(jìn)行切削。具體地說，該切削單元20具有安裝于主軸24的切削刀片22，一邊使該切削刀片22高速回轉(zhuǎn)一邊向半導(dǎo)體晶片W切入，從而切削半導(dǎo)體晶片W。關(guān)于該切削單元20的詳細(xì)構(gòu)成在后面說明。
卡盤臺(tái)30構(gòu)成為本實(shí)施形式的保持機(jī)構(gòu)，吸附保持和固定半導(dǎo)體晶片W等被加工物。該卡盤臺(tái)30例如在其上面具有真空卡盤機(jī)構(gòu)，能夠?qū)缤ㄟ^晶片臺(tái)(圖中未示出)支承于構(gòu)架(圖中未示出)的狀態(tài)的半導(dǎo)體晶片W通過真空吸附進(jìn)行保持。
另外，移動(dòng)機(jī)構(gòu)例如圖2所示那樣由切削單元移動(dòng)機(jī)構(gòu)32和卡盤臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)34構(gòu)成。其中，切削單元移動(dòng)機(jī)構(gòu)32使切削單元20朝與切削方向直交的水平方向(Y軸方向)移動(dòng)，可將切削刀片22的刀尖與半導(dǎo)體晶片W的各切削線對(duì)齊位置。另外，該切削單元移動(dòng)機(jī)構(gòu)34也可使切削單元20朝垂直方向(Z軸方向)移動(dòng)，調(diào)整切削刀片22相對(duì)半導(dǎo)體晶片W的切入深度。另一方面，卡盤臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)34可使卡盤臺(tái)30和由其保持的半導(dǎo)體晶片W朝切削方向(X軸方向)移動(dòng)。
該構(gòu)成的切割裝置10一邊使高速回轉(zhuǎn)的切削刀片22向半導(dǎo)體晶片W切入一邊使切削單元20和卡盤臺(tái)30朝切削方向(X軸方向)相對(duì)移動(dòng)，反復(fù)進(jìn)行多條切削線的切削，從而可對(duì)半導(dǎo)體晶片W進(jìn)行切割加工，分割成多個(gè)半導(dǎo)體芯片。
另外，切屑回收機(jī)構(gòu)36例如由大體匚字形的水盒構(gòu)成。該切屑回收機(jī)構(gòu)36分別設(shè)在卡盤臺(tái)30和使該卡盤臺(tái)30往復(fù)移動(dòng)的卡盤臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)34的兩側(cè)的下部。該切屑回收機(jī)構(gòu)36將由切削加工產(chǎn)生的切屑(包含半導(dǎo)體晶片W的端材和細(xì)切屑等)和切削水回收到其內(nèi)部。
另外，在箱體12例如將2個(gè)箱體開口部40、42設(shè)在與上述切削單元20和卡盤臺(tái)30對(duì)應(yīng)的位置。其中，設(shè)在切割裝置10的側(cè)面?zhèn)鹊南潴w開口部40(以下稱側(cè)面開口部40)例如用于操作者從切割裝置10的側(cè)面?zhèn)葘⑹植迦氲较潴w12內(nèi)部，清掃上述切屑回收機(jī)構(gòu)36等。另一方面，設(shè)于切割裝置10的正面(前面)側(cè)的箱體開口部42(以下稱正面開口部42)例如用于操作者從切割裝置10的正面?zhèn)葘⑹植迦氲较潴w12內(nèi)部，交換上述切削單元20的切削刀片22。另外，操作者也可從該側(cè)面開口部40和正面開口部42插入手，對(duì)內(nèi)部的切削單元20、卡盤臺(tái)30、移動(dòng)機(jī)構(gòu)32、34等進(jìn)行各種的維修作業(yè)。
在該側(cè)面開口部40、正面開口部42分別設(shè)置開閉罩50、60。該開閉罩50、60例如為操作者可用手動(dòng)進(jìn)行開閉的安全罩。這些開閉罩50、60由操作者可看到裝置內(nèi)部狀態(tài)那樣透明而且具有可承受飛散物的撞擊的較高強(qiáng)度的材料(例如氯乙烯、聚碳酸酯等)形成。
其中，安裝于側(cè)面開口部40的開閉罩50為本實(shí)施形式的特征構(gòu)成要素，例如由1片大體矩形的平板構(gòu)成，以平開門的方式進(jìn)行開閉。該開閉罩50相對(duì)側(cè)面開口部40可拆卸地安裝。另一方面，安裝于正面開口部42的開閉罩60例如由2片大體矩形的平板構(gòu)成，以雙槽推拉門的方式進(jìn)行開閉。操作者打開該開閉罩50、60，可進(jìn)行上述清掃作業(yè)、刀片交換作業(yè)、維修作業(yè)等。安裝于側(cè)面開口部40的開閉罩50的詳細(xì)內(nèi)容在后面說明。
下面，根據(jù)圖3說明本實(shí)施形式的切削單元20的構(gòu)成和從該切削單元20飛散的刀片破損片、切削水等的狀態(tài)。圖3為示出本實(shí)施形式的切削單元20的透視圖。
如圖3所示那樣，切削單元20例如主要具有刷子21、切削刀片22、主軸24、主軸殼26、切削水供給噴嘴28、輪罩29。
切削刀片22例如為環(huán)形的極薄的切削砂輪(所謂墊圈刀片)。該切削刀片22例如在由刷子21從兩側(cè)夾持的狀態(tài)下安裝于主軸24。另外，主軸24例如為用于將電動(dòng)機(jī)(圖中未示出)等的回轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)力傳遞到切削刀片22的回轉(zhuǎn)軸，例如按30,000rpm使安裝的切削刀片22高速回轉(zhuǎn)。另外，主軸殼26覆蓋該主軸24地設(shè)置，由內(nèi)部具有的空氣軸承機(jī)構(gòu)等可高速回轉(zhuǎn)地支承該主軸24。另外，切削水供給噴嘴28作為將切削水供給到加工點(diǎn)附近的切削水供給機(jī)構(gòu)構(gòu)成。該切削水供給噴嘴28例如可裝拆地設(shè)在切削刀片22下部側(cè)的兩側(cè)，朝切削刀片22和加工點(diǎn)噴射切削水進(jìn)行冷卻。在圖3中，僅圖示出配置于切削刀片22的一側(cè)(前面?zhèn)?的切削水供給噴嘴28，但實(shí)際上在切削刀片22的另一側(cè)(背面?zhèn)?也配置有同樣構(gòu)成的切削水供給噴嘴。另外，輪罩29覆蓋切削刀片22的外周地設(shè)置，可在某種程度上防止切削水和切屑等的飛散。
該構(gòu)成的切削單元20如圖3所示那樣，由主軸24的回轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)力使切削刀片22高速回轉(zhuǎn)，使該切削刀片22向半導(dǎo)體晶片W切入，從而對(duì)半導(dǎo)體晶片W的加工面進(jìn)行切削加工，沿切削線(狹縫)形成極薄的切槽(切縫)。
在這樣的切削單元20的切削加工中，例如由高速回轉(zhuǎn)的切削單元20的回轉(zhuǎn)力等使刀片破損片、包含切屑的切削水等以高速飛散到切削刀片22的周圍。該刀片破損片和切削水的飛散可在某種程度上由上述輪罩29阻止。
然而，在輪罩29例如為了維修等方便而在一部分存在間隙A(圖3中由虛線圍住的部分)。為此，刀片破損片222、切削水224等透過過該輪罩29的間隙A高速地飛散到輪罩29的外部。在本實(shí)施形式的切割裝置10中，例如，配置該間隙A的方向?yàn)榍懈钛b置10的側(cè)面方向(X軸負(fù)方向)。為此，穿過間隙A的刀片破損片222、切削水224從切削單元20朝開閉罩50飛散，撞擊到開閉罩50。
因此，在切削加工中，如開閉罩50未完全關(guān)閉，則不僅包含切屑的切削水224從側(cè)面開口部40飛散，污染切割裝置10周邊，而且存在刀片破損片222從側(cè)面開口部40飛出傷及操作者的危險(xiǎn)性。另外，在開閉罩50內(nèi)配置有存在使操作者負(fù)傷(手、指等的切斷、夾入)的危險(xiǎn)性的裝置(例如具有高速回轉(zhuǎn)的切削刀片22的切削單元20和移動(dòng)機(jī)構(gòu)32、34等)。因此，為了確保操作者的安全，同時(shí)防止裝置周邊的污染，必須在開閉罩50安全關(guān)閉的狀態(tài)下進(jìn)行切削加工。
在以上說明的例子中，在切削單元20設(shè)置有輪罩29，刀片破損片222、切削水224等從該輪罩29的間隙A飛散，撞擊到開閉罩50，但刀片破損片222等的飛散狀態(tài)不限于該例。例如，在不將輪罩29設(shè)于切削單元20的場(chǎng)合，更多的刀片破損片222、切削水224等從加工點(diǎn)附近撞擊到開閉罩50。另外，在設(shè)置與上述圖3的例子不同的形狀的輪罩29的場(chǎng)合，刀片破損片222、切削水224等通過上述間隙A以外的部位撞擊到開閉罩50。另外，飛散的刀片破損片222、切削水224等不僅可能直接到達(dá)開閉罩50，而且也可能撞擊到卡盤臺(tái)30、卡盤臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)34、開閉罩60等產(chǎn)生反射，到達(dá)開閉罩50。
下面，根據(jù)圖4A和4B說明作為本實(shí)施形式的特征的開閉罩50和其安裝機(jī)構(gòu)。圖4A和圖4B為示出本實(shí)施形式的開閉罩50及其安裝機(jī)構(gòu)的構(gòu)成的透視圖和側(cè)面圖。在圖4B中，為了方便說明，由圖4A的B-B′線縱斷面示出箱體12。
如圖4A所示那樣，設(shè)于箱體12側(cè)面的側(cè)面開口部40例如為以水平方向(Y軸方向)為長(zhǎng)邊的矩形(長(zhǎng)方形)的開口。覆蓋該側(cè)面開口部40地安裝開閉罩50。該開閉罩50例如為具有大體矩形的平板狀的安全罩。該開閉罩50如上述那樣由透明、具有能承受刀片破損片222等撞擊時(shí)的沖擊的程度的強(qiáng)度的材料(例如氯乙烯、聚碳酸酯等)形成。該開閉罩50的形狀和大小相應(yīng)于側(cè)面開口部40的形狀和大小設(shè)定。具體地說，開閉罩50的寬度(Y軸方向)和長(zhǎng)度(Z軸方向)分別比側(cè)面開口部40的寬度和長(zhǎng)度稍大地設(shè)定。該開閉罩50可相對(duì)側(cè)面開口部40開閉地安裝，可開放/關(guān)閉側(cè)面開口部40。
在側(cè)面開口部40的周圍(4邊)例如設(shè)置第一彈性構(gòu)件51、支承構(gòu)件52、安裝于支承構(gòu)件52的第二彈性構(gòu)件53。其中第一和第二彈性構(gòu)件51、53例如由橡膠、合成樹脂等彈性材料形成，另外，支承構(gòu)件52例如由不銹鋼等金屬形成。第一彈性構(gòu)件51相對(duì)側(cè)面開口部40周圍的箱體12由粘接劑等固定。另外，支承構(gòu)件52例如為大體L字形(鉤形)斷面的突起部，與側(cè)面開口部40下側(cè)的箱體12一體形成。另外，第二彈性構(gòu)件53例如相對(duì)該支承構(gòu)件52的例如前端部52a由粘接劑等固定，覆蓋支承構(gòu)件52的前端部成為大體U字形斷面。
該第一彈性構(gòu)件51、支承構(gòu)件52、及第二彈性構(gòu)件53構(gòu)成為用于將開閉罩50安裝于側(cè)面開口部40的開閉罩安裝機(jī)構(gòu)，可拆卸地支承上述開閉罩50。以下分別詳細(xì)說明第一彈性構(gòu)件51、支承構(gòu)件52、及第二彈性構(gòu)件53。第一彈性構(gòu)件51構(gòu)成為本實(shí)施形式的“安裝于箱體開口部的至少左右兩側(cè)的彈性構(gòu)件”。
第一彈性構(gòu)件51例如形成為沿除側(cè)面開口部40下邊的3邊(上邊、左邊、右邊)的那樣的“大體匚字形”。該第一彈性構(gòu)件51圍住側(cè)面開口部40的周圍(除下邊外)地安裝。具體地說，第一彈性構(gòu)件51在側(cè)面開口部40的左側(cè)、上部側(cè)、右側(cè)的箱體12沿側(cè)面開口部40的左邊、上邊、右邊配置。為此，當(dāng)將開閉罩50關(guān)閉時(shí)，第一彈性構(gòu)件51與開閉罩50的3邊(上邊、左邊、右邊)緊密接觸。因此，第一彈性構(gòu)件51密閉箱體12與開閉罩50的間隙，可防止切削水等從該間隙漏出到外部。另外，第一彈性構(gòu)件51也可作為將開閉罩50關(guān)閉時(shí)的緩沖材料起作用。
雖然第一彈性構(gòu)件51如上述那樣一體形成大體匚字形時(shí)切削水的漏出防止效果高，但不限于該例，例如也可由3個(gè)大體直線狀(桿狀)的彈性構(gòu)件分開形成，分別將該大體直線狀的彈性構(gòu)件安裝于側(cè)面開口部40的上部側(cè)、左側(cè)、右側(cè)。另外，也可不一定非要在側(cè)面開口部40的上部側(cè)安裝第一彈性構(gòu)件51，也可僅在側(cè)面開口部40的左右兩側(cè)安裝第一彈性構(gòu)件51。另外，第一彈性構(gòu)件51形成為沿側(cè)面開口部40的4邊(上邊、下邊、左邊、右邊)的那樣的“大體口字形”，圍住側(cè)面開口部40的全周圍地配置。
另外，支承構(gòu)件52為從箱體12面例如突起成鉤狀的部分，例如使長(zhǎng)度方向(Y軸方向)的長(zhǎng)度比側(cè)面開口部40下邊稍長(zhǎng)。該支承構(gòu)件52如圖4A所示那樣在側(cè)面開口部40的下部側(cè)沿側(cè)面開口部40的下邊大體水平地設(shè)置。該支承構(gòu)件52的左右兩端分別位于側(cè)面開口部40的左邊、右邊的外側(cè)。另外，該支承構(gòu)件52例如圖4B所示那樣由從箱體12面水平伸出的水平部52b和從該水平部52b的端部朝垂直方向上方延伸的垂直部52a構(gòu)成。另外，覆蓋該支承構(gòu)件52的前端部(垂直部52a)地安裝上述第二彈性構(gòu)件53。
該支承構(gòu)件52如圖4B所示那樣，可從上方插入開閉罩50的下端部50a地配置。具體地說，支承構(gòu)件52為配置于側(cè)面開口部40下側(cè)的軌狀的構(gòu)件，在支承構(gòu)件52的垂直部52a與箱體12之間產(chǎn)生預(yù)定的間隙。為此，在該間隙可插入開閉罩50的下端部50a。支承構(gòu)件52通過卡止這樣插入的開閉罩50的下端部50a，從而能夠可拆卸地支承開閉罩50。另外，具有彈性力和高摩擦系數(shù)的第二彈性構(gòu)件53包覆這樣卡止開閉罩50的支承構(gòu)件52的垂直部52a。為此，第二彈性構(gòu)件53作為緩沖材料起作用，可防止開閉罩50受傷，同時(shí)，第二彈性構(gòu)件53成為防滑構(gòu)件，可防止開閉罩50的落下。
另外，該支承構(gòu)件52的兩端部位于形成為上述“大體匚字形”的第一彈性構(gòu)件50的兩端部(側(cè)面開口部40的左邊側(cè)的下端部51b和右邊側(cè)的下端部51b)的外側(cè)(X軸負(fù)方向)地配置。更為詳細(xì)地說，支承構(gòu)件52的垂直部52a的左右兩端覆蓋到上述第一彈性構(gòu)件51的下端部51a的外側(cè)地調(diào)整第一彈性構(gòu)件51和支承構(gòu)件52的配置。這樣，插入到支承構(gòu)件52的開閉罩50的下端部50a由第二彈性構(gòu)件53和第一彈性構(gòu)件51的下端部51a夾持。為此，可更穩(wěn)定地支承插入到支承構(gòu)件52的開閉罩50，防止落下。
通過由包括這樣的構(gòu)成的第一彈性構(gòu)件51、支承構(gòu)件52、及第二彈性構(gòu)件53的開閉罩安裝機(jī)構(gòu)將開閉罩50安裝于側(cè)面開口部40，從而在開閉罩50未由后述的鎖定機(jī)構(gòu)70鎖定的狀態(tài)下，開閉罩50的上部側(cè)成為打開的狀態(tài)。即，開閉罩50以其下端部50a為中心，朝從側(cè)面開口部40離開的方向回轉(zhuǎn)，成為相對(duì)側(cè)面開口部40朝前面?zhèn)?X軸方向負(fù)方向)傾斜預(yù)定角度的狀態(tài)。操作者從支承構(gòu)件52拉拔這樣打開的狀態(tài)的開閉罩50，可簡(jiǎn)單地拆卸。通過這樣拆卸開閉罩50，操作者可從側(cè)面開口部40插入手，容易地進(jìn)行水盒36的清掃作業(yè)等。
另外，在開閉罩50的例如上端部安裝鎖定機(jī)構(gòu)70。該鎖定機(jī)構(gòu)70通過與設(shè)于側(cè)面開口部40的例如上部側(cè)(例如側(cè)面開口部40的上邊的中央部分近旁)的接合孔72接合，從而相對(duì)箱體12固定開閉罩50的上端部，可不打開地鎖定。該鎖定機(jī)構(gòu)70例如可由具有按鈕解除功能的鎖緊裝置構(gòu)成，具體地說，例如可使用(“推壓鎖緊構(gòu)件”C-1213；塔基亙(タキグン)公司制)。
下面，根據(jù)圖5詳細(xì)說明本實(shí)施形式的鎖定機(jī)構(gòu)70。圖5為示出本實(shí)施形式的鎖定機(jī)構(gòu)70和接合孔72的構(gòu)成的橫斷面圖。
如圖5所示那樣，鎖定機(jī)構(gòu)70例如具有鎖緊部70a和開關(guān)部70c。鎖緊部70a突設(shè)于開閉罩50的側(cè)面開口部40側(cè)，可與接合孔72接合。具體地說，在鎖緊部70a的一側(cè)可出沒地設(shè)置接合突起70b，該接合突起70b與設(shè)于接合孔72內(nèi)的側(cè)面的卡止孔72a接合地構(gòu)成。
另外，開關(guān)部70c突設(shè)于側(cè)面開口部40相反側(cè)，與上述鎖緊部70a連接。該開關(guān)部70c例如為鎖定解除用的按鈕，通過由操作者按下，從而解除鎖緊部70a與接合孔72的接合。
該構(gòu)成的鎖定機(jī)構(gòu)70可容易而且適當(dāng)?shù)貙?duì)開閉罩50進(jìn)行鎖定/鎖定解除。詳細(xì)地說，為了關(guān)閉開閉罩50，當(dāng)由操作者將朝開閉罩50關(guān)閉的方向按下時(shí)，鎖緊部70a插入到接合孔72內(nèi)。此時(shí)，接合突起70b與接合孔72的入口部分接觸，一旦埋沒到鎖緊部70a本體內(nèi)后，當(dāng)?shù)竭_(dá)卡止孔72a的位置時(shí)突出，與該卡止孔72a配合。該接合突起70b與卡止孔72a的配合狀態(tài)在推壓開關(guān)部70c之前維持。這樣，接合孔72與鎖緊部70a較好地接合，所以，開閉罩50的上端部相對(duì)箱體12固定，在開閉罩50關(guān)閉的狀態(tài)下鎖定。
另一方面，當(dāng)打開這樣鎖定的開閉罩50時(shí)，操作者推壓鎖定機(jī)構(gòu)70的開關(guān)部70c即可。當(dāng)推壓開關(guān)部70c時(shí)，接合突起70b埋沒到鎖緊部70a內(nèi)，所以，解除接合孔72與鎖緊部70a的接合。結(jié)果，解除由鎖定機(jī)構(gòu)70進(jìn)行的開閉罩50的上端部的固定，所以，開閉罩50打開。
通過采用本實(shí)施形式的鎖定機(jī)構(gòu)70，當(dāng)操作者關(guān)閉開閉罩50時(shí)，相對(duì)側(cè)面開口部40推壓開閉罩50即可簡(jiǎn)單地鎖定，另外，當(dāng)打開開閉罩50時(shí)，推壓開關(guān)部70c即可由一次操作解除鎖定，打開開閉罩50。因此，與過去的那樣的由螺釘固定的開閉罩相比，可大幅度地使開閉罩50的開閉作業(yè)迅速化、簡(jiǎn)化，操作者的方便性提高。
可是，如這樣可簡(jiǎn)單開閉地構(gòu)成開閉罩50的安裝機(jī)構(gòu)，當(dāng)操作者關(guān)閉開閉罩50時(shí)，不能緊緊地關(guān)閉開閉罩50，所以，可能產(chǎn)生鎖定機(jī)構(gòu)70不能鎖定開閉罩50的場(chǎng)合。當(dāng)開閉罩50在未完全關(guān)閉的狀態(tài)下進(jìn)行切削加工時(shí)，如上述那樣，存在刀片破損片222飛散到裝置外等引起重大事故的危險(xiǎn)。
因此，在切削加工中，從確實(shí)地保護(hù)操作者不受飛散的刀片破損片222的傷害的安全性觀點(diǎn)和防止飛散的切削水224等導(dǎo)致裝置周邊污染的觀點(diǎn)出發(fā)，需要在完全關(guān)閉開閉罩50的狀態(tài)下進(jìn)行切削加工。因此，在開閉罩50未完全關(guān)閉的場(chǎng)合，需要讓操作者認(rèn)識(shí)到這一點(diǎn)。
因此，本實(shí)施形式的開閉罩50的安裝機(jī)構(gòu)在開閉罩50關(guān)閉到途中、鎖定不完全的場(chǎng)合，自動(dòng)打開開閉罩50地構(gòu)成。為此，可使操作者了解到開閉罩50未完全關(guān)閉這一情況。
在這里，根據(jù)圖6A和6B詳細(xì)說明自動(dòng)地打開該開閉罩50的動(dòng)作。圖6A和6B為分別示出本實(shí)施形式的開閉罩50完全關(guān)閉的狀態(tài)和關(guān)閉到途中的狀態(tài)的側(cè)面圖。但是，在圖6中，為了方便說明，關(guān)于箱體12，用圖4A的B-B′線的縱斷面示出。
當(dāng)操作者緊壓開閉罩50使鎖定機(jī)構(gòu)70的鎖緊部70a充分地插入到接合孔72內(nèi)時(shí)，如圖6A所示那樣，成為開閉罩50被完全關(guān)閉的狀態(tài)。在這樣完全關(guān)閉開閉罩50的狀態(tài)下，通過鎖緊部70a與接合孔72接合，鎖定機(jī)構(gòu)70完全鎖定開閉罩50的上端部。另外，開閉罩50的下端部50a由第一彈性構(gòu)件51的下端部51a和第二彈性構(gòu)件53夾持固定。在這樣由鎖定機(jī)構(gòu)70鎖定開閉罩50的狀態(tài)下，在由操作者解除鎖定之前，開閉罩50不會(huì)打開。另外，在該狀態(tài)下，由于開閉罩50與上述第一彈性構(gòu)件51和第二彈性構(gòu)件53緊密接觸，所以，可防止由切削加工產(chǎn)生的切屑、切削水224等漏出到裝置外部。
另一方面，如圖6B的虛線所示那樣，在操作者未充分地推壓開閉罩50、開閉罩50關(guān)閉到途中的狀態(tài)下，鎖緊部70a未充分地插入到接合孔72內(nèi)，所以，鎖緊部70a與接合孔72不接合。為此，不由鎖定機(jī)構(gòu)70進(jìn)行開閉罩50的鎖定，開閉罩50成為稍打開的狀態(tài)。
在這樣將開閉罩50關(guān)閉到途中而未鎖定的場(chǎng)合，第一彈性構(gòu)件51由其彈性力朝打開開閉罩50的方向推壓，從而將開閉罩50自動(dòng)地大幅地打開。更為詳細(xì)地說，如上述那樣，開閉罩50的下端部50a插入到處于支承構(gòu)件52的垂直部52a的內(nèi)側(cè)的第二彈性構(gòu)件53與第一彈性構(gòu)件51的下端部51a之間。為此，第一彈性構(gòu)件51的下端部51a稍傾斜，由開閉罩50的下端部50a使其彈性收縮，在與開閉罩50接觸期間，時(shí)常作用朝打開開閉罩50的下端部50a的方向推壓的力。
由該第一彈性構(gòu)件51的推壓力使關(guān)閉到途中的開閉罩50以其下端部50a為中心朝從側(cè)面開口部40離開的方向回轉(zhuǎn)。另外，這樣受到推壓而回轉(zhuǎn)的開閉罩50由自重進(jìn)一步朝打開方向回轉(zhuǎn)。結(jié)果，如圖6B的實(shí)線所示那樣，大幅地打開到預(yù)定的角度。該角度例如相應(yīng)于開閉罩50的重量和厚度、寬度、第一和第二彈性構(gòu)件51、53的剛性、彈性模量等決定。即，開閉罩50大幅地打開到第一彈性構(gòu)件51的推壓力和自重與通過第二彈性構(gòu)件53的由支承構(gòu)件52產(chǎn)生的支承力平衡的預(yù)定角度。這樣，大幅地打開的開閉罩50的下端部50a接觸于由摩擦系數(shù)大的橡膠等形成的第一和第二彈性構(gòu)件51、53，所以，開閉罩50不會(huì)從支承構(gòu)件52脫開落下。
這樣，按照本實(shí)施形式的開閉罩安裝機(jī)構(gòu)，在開閉罩50關(guān)閉到途中而不完全鎖定的場(chǎng)合，開閉罩50不在關(guān)閉到途中的位置停留，而是自動(dòng)地打開。為此，操作者看到大幅地打開的開閉罩50，可視覺地認(rèn)識(shí)到開閉罩50未完全關(guān)閉這一狀態(tài)。這樣使開閉罩50自動(dòng)打開的機(jī)構(gòu)由上述那樣的較簡(jiǎn)單、廉價(jià)構(gòu)造的第一彈性構(gòu)件51、支承構(gòu)件52、及第二彈性構(gòu)件53實(shí)現(xiàn)，不特別需要另外的傳感器、開閉驅(qū)動(dòng)裝置等。為此，在裝置成本方面有益。
以上，詳細(xì)說明了本實(shí)施形式的切割裝置10，特別是開閉罩50的安裝機(jī)構(gòu)。在本實(shí)施形式的切割裝置10中，可由開閉罩50相對(duì)側(cè)面開口部40的安裝機(jī)構(gòu)代替由現(xiàn)有的螺釘固定實(shí)現(xiàn)的安裝機(jī)構(gòu)，改良為可由一次操作開閉且可拆卸開閉罩50的安裝機(jī)構(gòu)。為此，操作者在進(jìn)行清掃作業(yè)等時(shí)，可簡(jiǎn)單地進(jìn)行開閉罩50的開閉，同時(shí)，可拆卸開閉罩50，所以，非常方便。
另外，在操作者將開閉罩50關(guān)閉到途中而未完全由鎖定機(jī)構(gòu)70鎖定開閉罩50的場(chǎng)合，開閉罩50自動(dòng)地大幅地打開。為此，操作者可通過視覺容易地把握開閉罩50未關(guān)閉這一情況，所以，在開始切削加工之前，可再次確實(shí)地關(guān)閉開閉罩50。因此，可防止在開閉罩50未關(guān)閉的狀態(tài)下實(shí)施切削加工，所以，可確保操作者的安全性，另外，可防止切削水等的飛散等導(dǎo)致的裝置周邊污染。
以上參照

了本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施形式，但當(dāng)然本發(fā)明不限于該例。很明顯，如為本領(lǐng)域的技術(shù)人員，則在記載于權(quán)利要求的范圍中可想到各種變更例或修正例，它們當(dāng)然也屬于本發(fā)明的技術(shù)范圍。
例如，在上述實(shí)施形式中，說明了對(duì)設(shè)于切削裝置10本體的側(cè)面的箱體開口部(側(cè)面開口部40)適用開閉罩50和其安裝機(jī)構(gòu)(第一彈性構(gòu)件51、支承構(gòu)件52、及第二彈性構(gòu)件53)的例子，但本發(fā)明不限于該例。例如，上述那樣的開閉罩50和其安裝機(jī)構(gòu)可用于開放/關(guān)閉設(shè)于切割裝置10本體的正面的正面部開口部42、或設(shè)于切割裝置10本體的其它側(cè)面或背面等的箱體開口部(圖中未示出)等任意的箱體開口部。
另外，在上述實(shí)施形式中，說明了箱體開口部40和開閉罩50都具有橫向伸長(zhǎng)的大體長(zhǎng)方形的例子，但本發(fā)明不限于該例。箱體開口部40也可為三角形、正方形、梯形、平行四邊形、五邊形或其以上的多邊形、大體圓形、橢圓形、大體半圓形等任意的形狀。另外，開閉罩50例如如為下邊大體水平的直線狀，則也可為三角形、正方形、梯形、平行四邊形、五邊形或其以上的多邊形、大體半圓形等任意的形狀。另外，箱體開口部40的形狀和開閉罩50的形狀也可為相互不同的形狀。
另外，第一彈性構(gòu)件51至少在箱體開口部40的左右兩側(cè)下部設(shè)于可推壓開閉罩50的位置即可，不一定非要圍住箱體開口部40的左邊、上邊、右邊全部地設(shè)置，例如，也可不在與該上邊對(duì)應(yīng)的位置設(shè)置第一彈性構(gòu)件51。
另外，支承構(gòu)件52如可拆卸地支承開閉罩50，則也可不沿箱體開口部40的下邊的整體延伸設(shè)置，而是僅在該下邊的一部分配置。
另外，在上述實(shí)施形式中，第二彈性構(gòu)件53覆蓋支承構(gòu)件52的前端部(垂直部52a)地安裝，但本發(fā)明不限于該例。例如，第二彈性構(gòu)件53可覆蓋支承構(gòu)件52整體(垂直部52a和水平部52b)地安裝，也可僅覆蓋支承構(gòu)件52的內(nèi)側(cè)地設(shè)置。
另外，在上述實(shí)施形式中，開閉罩安裝機(jī)構(gòu)由第一彈性構(gòu)件51、支承構(gòu)件52、第二彈性構(gòu)件53構(gòu)成，但本發(fā)明不限于該例。例如，如相對(duì)箱體開口部40可拆卸地安裝開閉罩50，則開閉罩安裝機(jī)構(gòu)只要至少具有支承構(gòu)件52即可。另外，開閉罩安裝機(jī)構(gòu)也可不包含第二彈性構(gòu)件53，即，第二彈性構(gòu)件53可不安裝于支承構(gòu)件52。
另外，在上述實(shí)施形式中，鎖定機(jī)構(gòu)70安裝于開閉罩50的上端部，將開閉罩50的上端部固定于箱體開口部40的上部的箱體12地構(gòu)成，但本發(fā)明不限于該例。例如，鎖定機(jī)構(gòu)70也可設(shè)于開閉罩50的側(cè)端部(例如左邊或右邊的中央部等)。在該場(chǎng)合，在與鎖定機(jī)構(gòu)70對(duì)應(yīng)的位置設(shè)置接合孔72。另外，鎖定機(jī)構(gòu)70也可設(shè)置多個(gè)。另外，鎖定機(jī)構(gòu)70也可不由具有上述按鈕解除功能的鎖緊裝置(推壓鎖緊構(gòu)件)構(gòu)成，只要可卡止開閉罩50的一端部地鎖定，則例如也可由鎖桿式、鉤式、擋塊式的鎖定機(jī)構(gòu)等任意的鎖定機(jī)構(gòu)構(gòu)成。
另外，在上述實(shí)施形式中，支承構(gòu)件52由通過金屬材料形成的鉤形的構(gòu)件構(gòu)成，但本發(fā)明不限于該例。例如也可由通過橡膠等彈性材料形成的彈性構(gòu)件構(gòu)成支承構(gòu)件52。
本發(fā)明可適用于切削裝置的開閉罩，特別是可適用于能夠簡(jiǎn)單地開閉、在切削加工時(shí)需要確實(shí)地關(guān)閉的開閉罩。
權(quán)利要求
1.一種切削裝置，其特征在于，具有箱體、保持機(jī)構(gòu)、切削機(jī)構(gòu)、箱體開口部、開閉罩、開閉罩安裝機(jī)構(gòu)、及鎖定機(jī)構(gòu)；所述保持機(jī)構(gòu)設(shè)于所述箱體內(nèi)，保持被加工物；所述切削機(jī)構(gòu)設(shè)在所述箱體內(nèi)，對(duì)所述被加工物進(jìn)行切削；所述箱體開口部設(shè)在與所述保持機(jī)構(gòu)和/或所述切削機(jī)構(gòu)對(duì)應(yīng)的位置；所述開閉罩對(duì)所述箱體開口部進(jìn)行開放/關(guān)閉；所述開閉罩安裝機(jī)構(gòu)具有支承構(gòu)件，所述支承構(gòu)件安裝于所述箱體開口部的下側(cè)，卡止從上方插入的所述開閉罩的下端部，可拆卸地支承所述開閉罩；所述鎖定機(jī)構(gòu)對(duì)關(guān)閉所述箱體開口部的狀態(tài)的所述開閉罩進(jìn)行鎖定。
2.一種切削裝置，其特征在于，具有箱體、保持機(jī)構(gòu)、切削機(jī)構(gòu)、箱體開口部、開閉罩、開閉罩安裝機(jī)構(gòu)、及鎖定機(jī)構(gòu)；所述保持機(jī)構(gòu)設(shè)于所述箱體內(nèi)，保持被加工物；所述切削機(jī)構(gòu)設(shè)在所述箱體內(nèi)，對(duì)所述被加工物進(jìn)行切削；所述箱體開口部設(shè)在與所述保持機(jī)構(gòu)和/或所述切削機(jī)構(gòu)對(duì)應(yīng)的位置；所述開閉罩對(duì)所述箱體開口部進(jìn)行開放/關(guān)閉；所述開閉罩安裝機(jī)構(gòu)支承所述開閉罩；所述鎖定機(jī)構(gòu)對(duì)關(guān)閉所述箱體開口部的狀態(tài)的所述開閉罩進(jìn)行鎖定；所述開閉罩安裝機(jī)構(gòu)，在所述開閉罩未由所述鎖定機(jī)構(gòu)鎖定時(shí)可自動(dòng)地打開所述開閉罩。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的切削裝置，其特征在于所述開閉罩安裝機(jī)構(gòu)通過卡止所述開閉罩的下端部而可拆卸地支承所述開閉罩，在未由所述鎖定機(jī)構(gòu)對(duì)所述開閉罩進(jìn)行鎖定時(shí)，以所述開閉罩的下端部為中心使所述開閉罩回轉(zhuǎn)，將所述開閉罩打開。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的切削裝置，其特征在于所述開閉罩安裝機(jī)構(gòu)具有彈性構(gòu)件和支承構(gòu)件；所述彈性構(gòu)件安裝于所述箱體開口部的至少左右兩側(cè)；所述支承構(gòu)件安裝于所述箱體開口部的下側(cè)，卡止從上方插入的所述開閉罩的下端部，可拆卸地支承所述開閉罩；在所述開閉罩未由所述鎖定機(jī)構(gòu)鎖定時(shí)，由所述彈性構(gòu)件朝打開的方向推壓所述開閉罩。
5.根據(jù)權(quán)利要求1～4中任何一項(xiàng)所述的切削裝置，其特征在于所述鎖定機(jī)構(gòu)具有鎖緊部和開關(guān)部；所述鎖緊部安裝于所述開閉罩，當(dāng)插入到設(shè)于所述箱體的接合孔時(shí)，與所述接合孔接合；所述開關(guān)部解除所述鎖緊部與所述接合孔的接合。
全文摘要
本發(fā)明提供一種可簡(jiǎn)單地對(duì)開閉罩進(jìn)行開閉、方便性提高的切削裝置。該切削裝置具有箱體(12)、保持機(jī)構(gòu)、切削機(jī)構(gòu)、箱體開口部(40)、開閉罩(50)、第二彈性構(gòu)件(53)、及鎖定機(jī)構(gòu)(70)；該保持機(jī)構(gòu)和該切削機(jī)構(gòu)設(shè)在箱體(12)內(nèi)；該箱體開口部(40)設(shè)在與保持機(jī)構(gòu)和/或切削機(jī)構(gòu)對(duì)應(yīng)的位置；該開閉罩(50)對(duì)箱體開口部(40)進(jìn)行開放/關(guān)閉；該第二彈性構(gòu)件(53)安裝于箱體開口部(40)的下側(cè)，卡止從上方插入的開閉罩(50)的下端部，可拆卸地支承開閉罩(50)；該鎖定機(jī)構(gòu)(70)對(duì)關(guān)閉箱體開口部(40)的狀態(tài)的開閉罩(50)進(jìn)行鎖定。按照該構(gòu)成，可簡(jiǎn)單地進(jìn)行開閉罩(50)的開閉，同時(shí)，可在維修作業(yè)時(shí)拆卸開閉罩(50)，方便性提高。
文檔編號(hào)H01L21/02GK1691287SQ200510067709
公開日2005年11月2日 申請(qǐng)日期2005年4月22日 優(yōu)先權(quán)日2004年4月27日
發(fā)明者長(zhǎng)尾隆志, 五十畑勝通 申請(qǐng)人:株式會(huì)社迪思科