專利名稱：濾色器基板及其制造方法、電光學(xué)裝置及電子設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及在液晶裝置等的電光學(xué)裝置中使用的濾色器基板及其制造方法。本發(fā)明還涉及采用此濾色器基板構(gòu)成的電光學(xué)裝置。本發(fā)明進(jìn)一步涉及采用此電光學(xué)裝置構(gòu)成的移動(dòng)電話機(jī)、便攜式信息終端等電子設(shè)備。
背景技術(shù)：
以往以來(lái)，周知可以采用液晶裝置、有機(jī)EL裝置等的電光學(xué)裝置進(jìn)行彩色顯示。在這樣的電光學(xué)裝置中，在其內(nèi)部?jī)?nèi)置了濾色器基板。此濾色器基板是通過例如在由透明玻璃制成的基底部件上將R(紅色)、G(綠色)、B(藍(lán)色)的3色著色元件成為規(guī)定的排列那樣形成而形成的。
但是，作為液晶裝置周知有下面3種。第1種是使太陽(yáng)光、室內(nèi)光等的外部光在裝置內(nèi)部反射，利用其反射光進(jìn)行顯示，即所謂的反射型液晶裝置。第2種是利用從冷陰極管、LED(發(fā)光二極管)等的光源中發(fā)出的、透過液晶裝置內(nèi)部的光進(jìn)行顯示，即所謂的透射型液晶裝置。第3種是同時(shí)具有反射型以及透射型的2種功能的半透射半反射型液晶裝置。
在上述反射型液晶裝置和半透射半反射型液晶裝置中，存在這樣的問題使用反射光進(jìn)行顯示的時(shí)候，由于外部光兩次通過濾色器的著色元件，光被吸收得多，降低顯示亮度。為了消除這個(gè)問題，眾所周知這樣的反射型液晶裝置，它在像素區(qū)域中形成沒有形成著色元件的區(qū)域，即反射膜被剝除的區(qū)域(例如，參照專利文獻(xiàn)1)。在該液晶裝置中，使亮光通過反射膜剝除的部分，由此可以防止彩色顯示的亮度降低。
另外，以往，在半透射半反射型液晶裝置中，眾所周知，讓光反射膜的光透過用開口與著色元件的最大膜厚度部分相吻合的技術(shù)，即相當(dāng)于透射部的著色元件的膜厚加厚技術(shù)(例如，參照專利文獻(xiàn)2)。根據(jù)該技術(shù)，使反射部的光的光路長(zhǎng)度和透射部的光的光路長(zhǎng)度之間接近，由此使反射表示時(shí)和透射顯示時(shí)成為均勻顏色顯示。
但是，在專利文獻(xiàn)1公布的液晶裝置中，反射膜剝除部分被設(shè)置在黑色蔽光部的內(nèi)側(cè)區(qū)域，即與黑色蔽光部不同的區(qū)域內(nèi)，所以存在著色元件的面積變狹且彩色度降低問題。另外，在專利文獻(xiàn)2中公布的液晶裝置中，透射部和反射部之間的著色元件的膜厚度差難以做到如期望的那樣大，因此在反射部為了得到足夠明亮的顯示，若將著色元件的膜厚度做得很薄，彩色度就不充分。另外，為了得到彩色度，若將著色元件的膜厚度做得很厚，亮度就不充分。
專利文獻(xiàn)1特開平10-186347號(hào)公報(bào)(第3～第4頁(yè)，圖1)；專利文獻(xiàn)2特開平2002-287131號(hào)公報(bào)(第7頁(yè)，圖5)；發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明正是鑒于上述問題而進(jìn)行的發(fā)明，其目的在于提供一種通過在反射部和透射部?jī)烧邔⒅哪ず穸日_調(diào)整到適當(dāng)值，可以在反射部進(jìn)行明亮顯示，在透射部進(jìn)行色濃顯示的濾色器基板、濾色器基板的制造方法、電光學(xué)裝置及電子設(shè)備。
為達(dá)到上述目的，有關(guān)本發(fā)明的濾色器基板，具有對(duì)光反射的反射部和讓光透過的透射部，還具有透明基底部件、在該基底部件上形成的底部層、在該底部層上形成的反射膜、在該反射膜上形成的圍堰、和在由該圍堰圍成的區(qū)域內(nèi)設(shè)置的著色元件；上述底部層對(duì)應(yīng)于上述透射部，具有低的階梯部；進(jìn)而上述著色元件在上述透射部厚，而在上述反射部薄。
根據(jù)該濾色器基板，對(duì)于著色元件的底部層，對(duì)應(yīng)于透射部形成低的階梯部，所以對(duì)應(yīng)于透射部，著色元件的膜厚度可以做到足夠厚，因此，在反射部和透射部雙方，著色元件的膜厚度可以正確調(diào)整到適當(dāng)值。因此，可以實(shí)現(xiàn)在反射部的明亮顯示，在透射部的色濃顯示。
在上述構(gòu)成的濾色器基板中，優(yōu)選上述著色元件在上述反射部和上述透射部都是相同的材質(zhì)。一般的，如果使用光刻處理，在反射部和透射部之間可以將著色元件的膜厚度單獨(dú)決定。但是，在這時(shí)，必須分別對(duì)反射部和透射部反復(fù)進(jìn)行光刻處理，過于花費(fèi)成本和時(shí)間。對(duì)此，在反射部和透射部之間，如果將著色元件的材質(zhì)一致，可以簡(jiǎn)化作業(yè)，也可以降低成本。
在上述構(gòu)成的濾色器基板中，優(yōu)選在上述圍堰表面施以疏墨處理，或者，上述圍堰由疏墨性的樹脂形成。這里作為所謂的成為疏墨性對(duì)象的墨水是指著色元件的材料。如上所述，如果使圍堰具有疏墨性，使用噴墨技術(shù)即液滴噴出技術(shù)，著色元件通過液滴噴出成膜時(shí)，非常有利于防止著色元件在圍堰上的附著。
這里，所謂噴墨技術(shù)，是將著色元件的材料作為墨滴從噴嘴噴出，噴附在希望的地方的技術(shù)。作為墨水噴出方法，可以采用根據(jù)通電進(jìn)行振動(dòng)的壓電元件使噴嘴的內(nèi)部容積變化噴出墨水的方法，或使噴嘴內(nèi)部的墨水加熱膨脹噴出的方法，或其他任意的液滴噴出技術(shù)。
在上述構(gòu)成的濾色器基板中，優(yōu)選假定在上述透射部中的上述著色元件的厚度為Tt，上述反射部中的上述著色元件的厚度為Tr，則這些厚度之間具有Tt∶Tr＝(1.3～5)∶1的關(guān)系。這樣，可以同時(shí)實(shí)現(xiàn)在反射部的明亮顯示，和在透射部的色濃、鮮艷顯示。
有關(guān)本發(fā)明的濾色器基板的制造方法，制造具有對(duì)光反射的反射部和讓光透過的透射部的濾色器基板，具有在基底部件上形成底部層的工序；在上述底部層上形成反射膜的工序；在上述反射膜上形成圍堰的工序；和在由上述圍堰圍成的區(qū)域內(nèi)通過液滴噴出而形成著色元件的工序；在形成上述底部層的工序中，對(duì)應(yīng)于上述透射部，形成低的階梯部，在形成上述反射膜的工序中，對(duì)應(yīng)于上述透射部，形成開口。
根據(jù)該濾色器基板的制造方法，因?yàn)閷?duì)于著色元件的底部層，對(duì)應(yīng)于透射部形成低的階梯部，所以對(duì)應(yīng)于透射部，著色元件的膜厚度可以做到足夠厚，因此，在反射部和透射部雙方，著色元件的膜厚度可以正確調(diào)整到適當(dāng)值。因此，在使用由本制造方法制造的濾色器基板的彩色顯示中，可以實(shí)現(xiàn)在反射部的明亮顯示，在透射部的色濃顯示。
在上述構(gòu)成的濾色器基板的制造方法中，優(yōu)選在形成上述著色元件的工序中，對(duì)應(yīng)于上述透射部，液滴的噴出量多。因?yàn)橛纱丝梢詫?duì)透射部供給多量的著色元件材料，所以在透射部的著色元件的膜厚度可以真正很厚。而且，作為用于液滴的噴出量增多的具體的方法，可以可考慮增多從噴墨頭的噴嘴噴出的每1滴的液滴量，或者增多在透射部的液滴的噴出次數(shù)。
在上述構(gòu)成的濾色器基板的制造方法中，優(yōu)選在形成上述圍堰的工序中，對(duì)該圍堰的表面施以疏墨處理，或者，該圍堰由疏墨性樹脂形成。這樣，在使用液滴噴出技術(shù)，即噴墨技術(shù)，在基底部件上形成著色元件的時(shí)候，可以防止著色元件材料在圍堰上的附著，因此始終可以穩(wěn)定地以一定的形狀形成著色元件，而且可以防止著色元件之間的混色。
有關(guān)本發(fā)明的濾色器基板，由上述濾色器基板的制造方法所制造。因?yàn)閷?duì)于著色元件的底部層，對(duì)應(yīng)于透射部形成低的階梯部，所以對(duì)應(yīng)于透射部，著色元件的膜厚度可以做到足夠厚，因此，在反射部和透射部雙方，著色元件的膜厚度可以正確調(diào)整到適當(dāng)值。因此，可以實(shí)現(xiàn)在反射部的明亮顯示，在透射部的色濃顯示。
有關(guān)本發(fā)明的電光學(xué)裝置，具有上述構(gòu)成的濾色器基板，和設(shè)置在該濾色器基板上的電光學(xué)物質(zhì)的層。這里，作為電光學(xué)物質(zhì)有，在液晶裝置中被使用的液晶，或在有機(jī)EL裝置中被使用的有機(jī)EL，或在等離子顯示裝置中被使用的放電用氣體等。這些電光學(xué)物質(zhì)，按照直接接觸到濾色器基板上那樣被設(shè)置，或夾在濾色器基板和對(duì)側(cè)基板之間，或用其他的適合于電光學(xué)裝置的結(jié)構(gòu)的各種方法設(shè)置。作為這樣的電光學(xué)裝置，可以考慮例如，液晶裝置、有機(jī)EL裝置、等離子顯示裝置、其他各種裝置。
在該電光學(xué)裝置中，在內(nèi)置的彩色濾波基板中，因?yàn)閷?duì)于著色元件的底部層，對(duì)應(yīng)于透射部形成低的階梯部，所以對(duì)應(yīng)于透射部，著色元件的膜厚度可以做到足夠厚，因此，在反射部和透射部雙方，著色元件的膜厚度可以正確調(diào)整到適當(dāng)值。因此，可以實(shí)現(xiàn)在反射部的明亮顯示，在透射部的色濃顯示。這樣，關(guān)于電光學(xué)裝置的各種顯示均能以鮮艷的色彩顯示。
有關(guān)本發(fā)明的電子設(shè)備，具有上述電光學(xué)裝置，和控制該電光學(xué)裝置動(dòng)作的控制機(jī)構(gòu)。作為這樣的電子設(shè)備，例如可以是移動(dòng)電話機(jī)、便攜式信息終端機(jī)、PDA(Personal Digital Assitant)、其他各種設(shè)備。


圖1是表示有關(guān)本發(fā)明的濾色器基板的一實(shí)施方式的一個(gè)像素部分平面圖。
圖2(a)是表示按照?qǐng)D1的A-A線的濾色器基板截面結(jié)構(gòu)的截面圖，(b)是表示制造(a)的濾色器基板時(shí)的1個(gè)工序圖。
圖3(a)是表示有關(guān)本發(fā)明的電光學(xué)裝置的一例液晶裝置所含有的元件側(cè)基板的1個(gè)像素部分平面圖，(b)是表示按照(a)的B-B線的截面圖。
圖4是表示有關(guān)本發(fā)明的電光學(xué)裝置的一實(shí)施方式的液晶裝置立體圖。
圖5是表示在圖4的液晶裝置中一個(gè)顯示用象點(diǎn)區(qū)域的截面結(jié)構(gòu)放大圖。
圖6是表示在圖4的液晶裝置中被使用的開關(guān)元件之一的立體圖。
圖7是表示在圖1的濾色器基板上形成的R、G、B著色元件排列模式的例子圖，(a)是條狀排列，(b)是馬賽克排列，(c)是三角形排列。
圖8是表示有關(guān)本發(fā)明的濾色器基板的制造方法的一實(shí)施方式的工序圖。
圖9是表示圖8的制造方法所使用的噴墨頭的立體圖。
圖10是表示圖9的噴墨頭的內(nèi)部結(jié)構(gòu)的分解立體圖。
圖11是表示按照?qǐng)D10的D-D線的截面圖。
圖12是表示有關(guān)本發(fā)明的電子設(shè)備的一實(shí)施方式的框圖。
圖13是表示有關(guān)本發(fā)明的作為電子設(shè)備實(shí)施方式的移動(dòng)電話機(jī)的立體圖。
圖14是表示有關(guān)本發(fā)明的作為電子設(shè)備實(shí)施方式的數(shù)字照相機(jī)的立體圖。
圖中1—液晶裝置(電光學(xué)裝置)，2—液晶面板，3—照明裝置，4a，4b—基板，6—密封材料，7—間隔器，8—液晶層，9a，9b—基底部件，11—樹脂層(底部層)，12—反射膜，13—遮光部件，14—疏墨層，15—圍堰，16，16r，16g，16b—著色元件，16’—著色元件材料，17—覆蓋層，18a—透明電極，18b—象點(diǎn)電極，19a，19b—取向膜，21a，21b—偏振光板，22—行布線，23—TFD元件，24—開口，26—第1金屬，27—絕緣膜，28—第2金屬，29—伸出部，31—布線，32—端子，33—驅(qū)動(dòng)用IC，36—導(dǎo)光體，37—LED，38—凹部(低的階梯部)，41—噴墨頭，42—外殼，43—噴嘴，44—噴嘴列，46—噴嘴板，47—振動(dòng)板，48—隔離部件，49—貯留室，51—液體儲(chǔ)留部，52—通路，53—液狀材料供給孔，54—導(dǎo)管，56—材料容器，57—加壓體，58—壓電元件，59a，59b—電極，61—液滴，120—移動(dòng)電話機(jī)(電子設(shè)備)，130—數(shù)字照相機(jī)(電子設(shè)備)，D—顯示用象點(diǎn)區(qū)域，G—單元間隙，M0—液狀材料。
具體實(shí)施例方式
(濾色器基板及電光學(xué)裝置)以下，對(duì)有關(guān)本發(fā)明的濾色器基板和采用此基板的電光學(xué)裝置舉一例同時(shí)進(jìn)行說(shuō)明。還有，在以下的說(shuō)明中，是采用作為2端子型的開關(guān)元件的TFD(Thin Film Diode薄膜二極管)的有源矩陣型的液晶裝置，是以半透射半反射型的液晶裝置為例的裝置。當(dāng)然本發(fā)明并非僅限定于此實(shí)施方式。
在圖4中，作為電光學(xué)裝置的液晶裝置1包括液晶面板2和安裝在其上的照明裝置3。液晶面板2是由第1基板4a和第2基板4b通過沿箭頭A方向觀察呈環(huán)狀的密封材料6貼合形成的。第1基板4a是形成濾色器的濾色器基板，第2基板4b是形成TFD元件的元件基板。圖5表示圖4的液晶面板2中的1個(gè)顯示用象點(diǎn)部分的放大圖。如圖5所示，在第1基板4a和第2基板4b之間形成由間隔器7維持的間隙，即所謂的單元間隙G，在此單元間隙G內(nèi)添加液晶，形成液晶層8。
圖1是表示從圖4的箭頭A方向即從觀察側(cè)方向看時(shí)，圖4的第1基板4a的1個(gè)像素區(qū)域的平面構(gòu)成。另外，圖2(a)是表示沿圖1的A-A線的第1基板4a的剖面構(gòu)造。在圖2(a)中，第1基板4a具有由透光性的玻璃、透光性的塑料等形成的第1基底部件9a。在此第1基底部件9a的液晶側(cè)表面上形成作為底部層的樹脂層11，在其上形成反射膜12。
另外，在反射膜12上面形成遮光部件13，在該遮光部件13的上面形成疏墨層14。由這些遮光部件13和疏墨層14形成圍堰15。疏墨層14，是可以排斥由后述噴墨技術(shù)噴出的著色元件材料的材料層。如果將遮光部件13用疏墨性的樹脂形成，可以不要該疏墨層14。而且，圍堰15在用后述的噴墨處理時(shí)，具有區(qū)劃著色元件材料的噴出區(qū)域的功能。
圍堰15，按照在圖2(a)紙面垂直方向和紙面左右方向上延伸那樣一條一條形成，作為整體形成如圖1所示的格子狀。在由圍堰15圍出的方形的區(qū)域內(nèi)形成著色元件16。該著色元件16中，有R、G、B這3種顏色，這些，在由圍堰15圍成1個(gè)區(qū)域形成1個(gè)顏色。
而且，如圖1所示，將R色的著色元件稱為16r，G色的著色元件稱為16g，B色的著色元件稱為16b。在本實(shí)施方式中，將這些R、G、B各個(gè)顏色的著色元件16排列成圖7(a)的條狀排列，由這些著色元件16構(gòu)成濾色器。
另外，作為著色元件16的排列，考慮可以采用條狀排列之外的各種形式，例如，圖7(b)所示的馬賽克排列，圖7(c)所示的三角形排列等。所謂馬賽克排列，是將R、G、B在縱列和橫列的兩個(gè)方向上順序地重復(fù)排布的排列。另外，所謂三角形排列，是將R、G、B排列在相當(dāng)于三角形頂點(diǎn)的位置，并且在橫列方向上以R、G、B順序地重復(fù)排布的排列。
在圖2(a)中，在著色元件16的上面，形成覆蓋層17，在其上面形成帶狀透明電極18a，在其上面形成取向膜19a。取向膜19a被施以取向處理，例如研磨處理。根據(jù)這樣，決定該取向膜19a的附近的液晶分子的取向。另外，在第1基底部件9a的外側(cè)表面，以粘貼等方式安裝圖4所示的偏振光板21a。
在圖2(a)中，在樹脂層11的表面上形成凹凸，層疊在該樹脂層11上的反射膜12的表面也形成凹凸。該凹凸圖案在箭頭A的方向看去在平面內(nèi)隨機(jī)形成。由于該凹凸的存在，入射到反射膜12的光變成散射光被反射。1根帶狀的透明電極18a，在圖2(a)的紙面垂直方向上延伸，和相鄰的電極18a之間設(shè)有與圍堰15的寬度幾乎一致的間隔。根據(jù)這樣，多個(gè)電極18a從箭頭A方向看去形成條狀。
在圖5中，夾著液晶層8，第2基板4b與第1基板4a相面對(duì)。圖3(a)表示該第2基板4b的1個(gè)像素區(qū)域的平面結(jié)構(gòu)從圖4的箭頭A方向看去的狀態(tài)。另外，圖3(b)是表示按照?qǐng)D3(a)的B-B線的第2基板4b的截面結(jié)構(gòu)。在圖3(b)中，第2基板4b，具有由透光性的玻璃、透光性的塑料等形成第2基底部件9b。在該第2基底部件9b的側(cè)表面上，形成線狀的行布線22、作為有源元件的TFD元件23、透明的象點(diǎn)電極18b。而且，在這些元件的上面，形成取向膜19b，對(duì)該取向膜19b施以取向處理，例如研磨處理。根據(jù)這樣，決定該取向膜19b的附近的液晶分子的取向。圖5的第1基板4a側(cè)的取向膜19a的研磨方向和第2基板4b側(cè)的研磨方向，根據(jù)液晶的特性，以適宜的角度交叉。另外，在第2基底部件9b的外表面上，在圖4中以粘貼方式安裝偏振光板21b。
在圖3(a)中，象點(diǎn)電極18b形成近似正方形或者長(zhǎng)方形的點(diǎn)形狀，通過TFD元件23連接在行布線22上。而且，為了參考，將形成在第1基板4a側(cè)的帶狀電極18a用虛線表示。象點(diǎn)電極18b和帶狀電極18a平面重疊區(qū)域構(gòu)成1個(gè)顯示用象點(diǎn)區(qū)域D。這1個(gè)顯示用象點(diǎn)區(qū)域D，是對(duì)應(yīng)著R、G、B中的1種顏色的區(qū)域。在進(jìn)行彩色顯示的本實(shí)施方式中，對(duì)應(yīng)R、G、B這3種顏色的3個(gè)顯示用象點(diǎn)區(qū)域D構(gòu)成1個(gè)像素。在圖5中，在反射膜12上，對(duì)應(yīng)各個(gè)顯示用象點(diǎn)D，設(shè)有光透過用的開口24。這些開口24，用于構(gòu)成使反射膜12具有使光透過的功能，由此構(gòu)成透射部。透射部以外的反射膜12所在的部分是反射部。
在圖3(a)的TFD元件23，如圖6所示，通過第1TFD元件23a和第2TFD元件23b串連連接形成。該TFD元件23，例如按照下面那樣形成。即首先，由TaW(鉭鎢)形成行布線22的第1層22a和TFD元件23的第1金屬26。
接下來(lái)，根據(jù)陽(yáng)極氧化處理，形成行布線22的第2層22b和TFD元件23的絕緣膜27。然后，例如由Cr(鉻)形成行布線22的第3層22c和TFD元件23的第2金屬28。
第1TFD元件23a的第2金屬28從行布線22的第3層22c延伸。另外，象點(diǎn)電極18b按照重疊在第2TFD元件23b的第2金屬28的前端那樣形成。考慮電信號(hào)從行布線22流向象點(diǎn)電極18b，沿著該電流方向，在第1TFD元件23a中，以第2電極28→絕緣膜27→第1金屬26的順序流過電信號(hào)，另一方面，在第2TFD元件23b中，以第1金屬26→絕緣膜27→第2金屬28的順序流過電信號(hào)。
也就是說(shuō)，在第1TFD元件23a和第2TFD元件23b之間在電氣上反向的一對(duì)TFD元件互相串連連接。這樣的結(jié)構(gòu)，一般的稱為背對(duì)背(Backto Back)結(jié)構(gòu)，眾所周知，這種結(jié)構(gòu)的TFD元件，與只用1個(gè)TFD元件構(gòu)成TDF元件的情況相比，更具有穩(wěn)定的特性。
在圖4中，第2基板4b具有延伸到第1基板4a的外測(cè)的伸出部29，該伸出部29的第1基板4a側(cè)的表面上，形成布線31和端子32。這些布線31和端子32集中的區(qū)域，通過圖中未畫出ACF(Anisotropic ConductiveFilm各向異性導(dǎo)電膜)安裝1個(gè)驅(qū)動(dòng)用IC33a和2個(gè)驅(qū)動(dòng)用IC33b。
布線31和端子32，是在第2基板4b上形成行布線22和象點(diǎn)電極18b時(shí)同時(shí)形成。而且，行布線22，在伸出部29的上面延伸著成為布線31，連接在驅(qū)動(dòng)用IC33a上。另外，在連接第1基板4a和第2基板4b之間的密封材料6的內(nèi)部混入球形或者圓筒形的導(dǎo)通材料(圖中未畫出)。在第1基板4a上形成的帶狀電極18a，在第1基板4a上到達(dá)密封材料6的位置折回，然后通過密封材料6中的導(dǎo)通材料連接在第2基板4b上的布線31上。由此第1基板4a上的帶狀電極18a被連接在第2基板4b上的驅(qū)動(dòng)用電極IC33b上。
在圖4中，照明裝置3，與構(gòu)成液晶面板2的第1基板4a的外側(cè)表面相面對(duì)配置，具有例如，由透明塑料形成的方形板狀的導(dǎo)光體36；作為點(diǎn)狀光源的LED37。導(dǎo)光體36中在液晶面板2相反側(cè)的面上可以安裝光反射薄板(圖中未畫出)。另外，在導(dǎo)光體36中與液晶面板2相面對(duì)的面上可以安裝光擴(kuò)散薄板(圖中未畫出)。另外，在光擴(kuò)散薄板上，而且也可以安裝棱鏡薄板(圖中未畫出)。LED37在本實(shí)施方式中使用3個(gè)，但是，在LED37根據(jù)需要也可以使用1個(gè)，或者，也可以使用3個(gè)以外的多個(gè)。另外，代替LED等這樣的點(diǎn)狀光源，也可以使用冷陰極管等這樣的線狀光源。
以下，關(guān)于由上述構(gòu)成組成的液晶裝置，說(shuō)明其動(dòng)作。
在太陽(yáng)光、室內(nèi)光等這樣的外部光充足的時(shí)候，按照?qǐng)D5的箭頭F那樣，外部光通過第2基板4b，射入液晶面板2的內(nèi)部，該外部光通過液晶層8之后，在反射膜12反射，供給液晶層8。另外，在外部光不充足的時(shí)候，構(gòu)成圖4照明裝置3的LED37發(fā)光。這時(shí)，從LED37發(fā)出的點(diǎn)狀輸出光經(jīng)過導(dǎo)光體36的光入射面36a導(dǎo)入該導(dǎo)光體36的內(nèi)部，然后，在與液晶面板2相面對(duì)的面，即光出射面36b以面狀射出。這樣，從光出射面36b的各個(gè)部分射出的光，按照?qǐng)D5所示的箭頭方向G，通過形成在反射膜12上的開口24以面狀光供給液晶層8。
象以上這樣，在光供給液晶層8的期間，關(guān)于液晶面板2，由圖4的驅(qū)動(dòng)用IC33a和33b控制，由行布線22供給例如掃描信號(hào)，同時(shí)，由帶狀電極18a供給例如數(shù)據(jù)信號(hào)。這時(shí)，按照掃描信號(hào)和數(shù)據(jù)信號(hào)之間的電位差，安裝在特定顯示用象點(diǎn)上的TFD元件23(參照?qǐng)D3(a))處于被選通狀態(tài)(即導(dǎo)通狀態(tài))，在其顯示用象點(diǎn)內(nèi)的液晶電容中寫入圖像信號(hào)，然后，該TFD元件23處于未選通狀態(tài)(即截止?fàn)顟B(tài))，該信號(hào)被存貯在該顯示象點(diǎn)中，驅(qū)動(dòng)該顯示象點(diǎn)內(nèi)的液晶層。
這樣，液晶層8內(nèi)的液晶分子被每個(gè)顯示用象點(diǎn)D控制，因此，通過液晶層8的光被每一個(gè)顯示用象點(diǎn)D調(diào)制。而且，這樣被調(diào)制的光通過圖4的第2基板4b側(cè)的偏振光板21b，根據(jù)這樣在液晶面板2的有效顯示區(qū)域內(nèi)顯示文字、數(shù)字、圖形等這樣的圖像。利用圖5的反射膜12反射的外部光進(jìn)行的顯示是反射型顯示。另外，利用照明裝置3射出的光進(jìn)行的顯示是透射型顯示。在本實(shí)施方式中，這些反射型顯示和透射型顯示按照使用者的希望，或者按照外部環(huán)境的變化自動(dòng)地選擇。
在圖5中，對(duì)應(yīng)1個(gè)顯示用象點(diǎn)D，形成透射部和反射部如所述那樣。另外，透射部是通過在反射膜12上設(shè)有開口24形成的也如所述那樣。在本實(shí)施方式中，如圖2所示，與該透射部對(duì)應(yīng)，樹脂層即在底部層11處，形成低的階梯部，即凹部38。該凹部38的平面形狀和反射膜12的開口24相同或者大致相同。低的階梯部38，代替凹部也可以使用通到基底部件9a的貫通孔。
通過在透射部設(shè)有凹部38，在透射部中著色元件16的膜厚Tt0，比在反射部中的著色元件16的膜厚Tr0要厚。這樣如果將在透射部中的著色元件16的膜厚Tt0做得比反射部的膜厚Tr0厚，就可以縮短在圖5中反射顯示時(shí)的反射光F通過著色元件16的光路長(zhǎng)度，所以可以進(jìn)行明亮顯示。另外，透射顯示時(shí)的透射光G透過著色元件16的光路長(zhǎng)度長(zhǎng)所以可以進(jìn)行顏色濃的透射顯示。
而且，在透射部和反射部之間，著色元件16的材料如果不同，即使不讓透射部和反射部之間的著色元件16的膜厚不同，也許也能進(jìn)行上述那樣的明亮反射顯示和色濃的透射顯示。但是這時(shí)，用于形成著色元件16的工序非常復(fù)雜。與此相反，象本實(shí)施方式那樣，透射部和反射部之間的著色元件16的材料如果相同，著色元件的制造工序就非常簡(jiǎn)單。
(變形例)在以上的實(shí)施方式中，使用作為2端子型的開關(guān)元件TFD元件的有源矩陣方式，將本發(fā)明適用于半透射半反射型液晶裝置中，但是，本發(fā)明，也可適用于使用了3端子型的開關(guān)元件TFT(Thin Film Transistor)的有源矩陣方式的液晶裝置。另外，也適用于不使用開關(guān)元件的單純矩陣方式的液晶裝置。另外，本發(fā)明，也適用于反射型液晶裝置。而且，本發(fā)明，也適用于液晶裝置以外的電光學(xué)裝置，例如有機(jī)EL裝置、等離子顯示裝置等。
(濾色器基板的制作方法的實(shí)施方式)接下來(lái)，有關(guān)本發(fā)明的濾色器基板的制造方法的一實(shí)施方式，以圖1和圖2(a)所示的濾色器基板4a制造的情況為例進(jìn)行說(shuō)明。
圖8表示了這樣的濾色器基板的制造方法的一實(shí)施方式。首先，在工序P1中，在基底部件9a上均勻涂敷圖2(a)的樹脂層11的材料，在本實(shí)施方式中是感光性樹脂。接著，在工序P2中，將該樹脂層的材料層曝光顯影形成樹脂層11。這時(shí)，該樹脂層11的表面形成隨機(jī)凹凸圖案。另外，這時(shí)對(duì)應(yīng)透射部形成凹部38。
根據(jù)以上，在各個(gè)顯示用象點(diǎn)D中備有凹部38的，在表面上備有隨機(jī)凹凸圖案的樹脂層11在基底部件9a上形成。
接著，在工序P3中，圖2(a)的反射膜12的材料，例如通過濺射Cr，在樹脂層11的上面均勻涂敷。接著，在工序P4中，將保護(hù)層材料在該反射膜材料層上均勻涂敷，而且，曝光顯影形成期望圖案的保護(hù)膜。接著，在工序P5中，該保護(hù)膜作為掩模將上述反射膜材料層曝光和顯影，而且，在工序P6中，進(jìn)行蝕刻處理，由此在樹脂層11上形成反射膜12。這時(shí)，對(duì)應(yīng)每一個(gè)顯示用象點(diǎn)D的透射部，在反射膜12上形成光透過用的開口24。根據(jù)以上，對(duì)每一個(gè)顯示用象點(diǎn)D形成具備開口24的反射膜12。
接著，在工序P7中，在反射膜12上面，遮光部件13的材料例如用黑色等熱固化類型的樹脂均勻涂敷。而且，在工序P8中，在遮光部件13的材料層的上面均勻涂敷感光性疏墨材料。由此遮光部件13的材料和疏墨材料被重疊涂敷。接著，在工序P9中，將上述兩層材料層曝光顯影，形成圖1中所示的格子狀圍堰15。而且，在本實(shí)施方式中使用的遮光部件13，其自身是不具有疏墨性的材料，因此，要在其表面形成疏墨層14。如果遮光部件13其自身是由感光性疏墨性材料形成的，可以不要疏墨層14，這時(shí)，只用遮光部件13形成圍堰15。
而且，該圍堰15，具有作為后述的噴墨技術(shù)的液滴噴出工序中的區(qū)劃部件的功能，并且具有作為彩色顯示時(shí)的黑色蔽光部的功能。疏墨層14，是排斥被液滴噴出的著色元件用的要素，該疏墨層，優(yōu)選例如由氟類材料形成。根據(jù)以上，在基底部件9a上，如圖1所示，圍堰15圍成的方形區(qū)域被形成多個(gè)點(diǎn)矩陣狀。
接著，在圖8的工序P10中，在由圍堰15圍成的象點(diǎn)區(qū)域內(nèi)使用噴墨技術(shù)，將著色元件16的材料以液滴噴出。這里，采用噴墨頭方式的膜形成，例如，將圖9所示的噴墨頭41如箭頭X和箭頭Y所示那樣在平面上掃描移動(dòng)而進(jìn)行。該噴墨頭41，具有大致呈長(zhǎng)方形的外殼42，該外殼42的底面設(shè)有多個(gè)噴嘴43。這些噴嘴43，具有直徑大約0.02～0.1mm左右的微小開口。
在該實(shí)施方式中，多個(gè)噴嘴43排成兩列設(shè)置，由此形成兩列噴嘴列44、44。在每個(gè)噴嘴列44中，噴嘴43以一定間隔被設(shè)置在直線上。這些噴嘴列44中，在從箭頭H的方向上供給液狀材料。被供給的液狀材料按照壓電元件的振動(dòng)從各噴嘴43以微小液滴噴出。而且，噴嘴列44的個(gè)數(shù)，也可以是1條或3條以上。如果3條以上，就可以將R、G、B的各個(gè)顏色著色元件材料從一個(gè)噴墨頭41的各噴嘴列44分別噴出。
噴墨頭41，如圖10所示，具有例如不銹鋼制成的噴嘴板46；與其相面對(duì)配置的振動(dòng)板47；將兩者互相接合的多個(gè)隔離部件48。另外，在噴嘴板46和振動(dòng)板47之間，由各個(gè)隔離部件48形成用于存儲(chǔ)液狀材料的多個(gè)貯留室49和暫時(shí)存留液狀材料的地方液體儲(chǔ)留部51。而且，多個(gè)貯留室49和液體儲(chǔ)留部51通過通道52互相連通。另外，在振動(dòng)板47適當(dāng)?shù)奈恢眯纬梢籂畈牧系墓┙o孔53，該供給孔53通過導(dǎo)管54連接在材料容器56。在容器56內(nèi)存放著色元件的材料，從該容器56供給的液狀材料M0，填充液體儲(chǔ)留部51，而且，通過通道52填充到貯留室49中。
在構(gòu)成噴墨頭41的一部分的噴嘴板46中，設(shè)有用于將液狀材料從貯留室49以噴射狀噴射的噴嘴43。該噴嘴43被多個(gè)排列構(gòu)成噴嘴列44的情況，聯(lián)系圖9如已經(jīng)說(shuō)過的那樣。另外，在振動(dòng)板47中，對(duì)應(yīng)貯留室49的一面裝有用于對(duì)液狀材料加壓用的加壓體57。該加壓體57，如圖11所示，具有壓電元件58和夾著它的一對(duì)電極59a和59b。
壓電元件58，通過向電極59a和59b通電按照箭頭J所示向外側(cè)突出那樣彎曲變形，由此可具有增大貯留室49的容積的功能。而且，貯留室49的容積增大，相當(dāng)于其增大了的容積的液狀材料M0從液體儲(chǔ)留部51通過通道52流入貯留室49內(nèi)。
另一方面，取消對(duì)壓電元件58的供電，壓電元件58和振動(dòng)板47一起恢復(fù)到原來(lái)的形狀，貯留室49也恢復(fù)到原容積。因此，處于貯留室49內(nèi)部的液狀材料的壓力上升，液狀材料從噴嘴43以液滴61噴出。而且，液滴61，與含有液狀材料的溶劑等的種類無(wú)關(guān)，以微小的液滴從噴嘴43穩(wěn)定地噴出。
而且，噴墨頭41，對(duì)R、G、B這3種著色元件16準(zhǔn)備專用的噴墨頭，在制造線上設(shè)置在不同的工作臺(tái)上。而且，由這3種顏色用的噴墨頭41分別形成各個(gè)顏色的著色元件16。而且，也可以根據(jù)情況，對(duì)1個(gè)噴墨頭41建立3種顏色著色元件材料供給系統(tǒng)，只用這1個(gè)噴墨頭41可以噴出3種顏色的著色元件。使用象以上那樣的噴墨頭方式的墨噴出技術(shù)，如果形成著色元件16，與以往由光刻處理形成圖案的手法相比，著色元件材料的消耗量可以大幅度降低。另外，與光刻處理相比工序顯著簡(jiǎn)單。
而且，在本實(shí)施方式的噴墨工序中，著色元件16的材料16’如圖2(b)所示，按照在透射部的膜厚為Tt1，反射部的膜厚為Tr1那樣噴出液滴。也就是，與反射部相比，在透射部要噴出更多的材料。這樣，為了在透射部噴出多量的材料，由圖9的噴墨頭41進(jìn)行液滴噴出的時(shí)候，優(yōu)選對(duì)于透射部1滴的量要多，或?qū)ν干洳吭黾右旱螄姵龃螖?shù)。
如圖2(b)那樣，將著色元件材料16’供給基底部件9a上之后，通過進(jìn)行烘焙處理即干燥處理，如圖2(a)所示那樣，在透射部的著色元件16的膜厚成為Tt0，在反射部的膜厚成為Tr0。最終設(shè)定為Tt0＞Tr0。這樣的烘焙處理，例如可以通過在規(guī)定的溫度下將基本4a放在加熱板上進(jìn)行。
由噴墨方式形成著色元件16之后，在圖8的工序P11中，形成圖2(a)的覆蓋層17。而且，在工序P12中，圖2(a)的帶狀電極18a以ITO(Indium Tin Oxide)等這樣的透明導(dǎo)電材料作為材料，通過光刻和腐蝕的方法形成。而且，在工序P13中，取向膜19a由聚酰亞胺等形成。根據(jù)以上，制造濾色器基板4a。
根據(jù)本實(shí)施方式的濾色器基板的制造方法，使用噴墨技術(shù)可以非常簡(jiǎn)單且經(jīng)濟(jì)地制造出圖1和圖2(a)所示的濾色器基板。另外，如果使用本實(shí)施方式的制造方法，如圖2(a)所示，因?yàn)樵谕干洳啃纬砂疾?8，所以在透射部的著色元件16的膜厚Tt0比反射部的著色元件16的膜厚Tr0厚。如果象這樣在透射部的著色元件16的膜厚Tt0比反射部的膜厚Tr0厚，那么將縮短在圖5中反射顯示時(shí)的反射光F通過著色元件16的光路長(zhǎng)度，所以可以進(jìn)行明亮顯示。另外，因?yàn)橥干滹@示時(shí)的透射光G通過著色元件16的光路長(zhǎng)度長(zhǎng)，所以可以進(jìn)行色濃的透射顯示。
(變形例)在以上實(shí)施方式中，本發(fā)明適用于制造使用2端子型的開關(guān)元件TFD元件的有源矩陣方式半透射半反射型液晶裝置的情況，但是，本發(fā)明的方法，也可以適用于制造3端子型的開關(guān)元件TFT(Thin Film Transistor)有源矩陣方式的液晶裝置的情況。另外，也可以適用于制造不使用開關(guān)元件的單純矩陣方式的液晶裝置的情況。而且，本發(fā)明，也可以適用于制造液晶裝置以外的電光學(xué)裝置，例如，制造有機(jī)EL裝置、等離子顯示裝置、電子放射元件(Field Emission Display和Surface-ConductionElectron-Enitter Display等)等的情況。
(電子設(shè)備的實(shí)施方式)
以下，說(shuō)明有關(guān)本發(fā)明的電子設(shè)備的實(shí)施方式。還有，此實(shí)施方式只是表示本發(fā)明的一例，本發(fā)明并非僅限定于此實(shí)施方式。
圖12是表示有關(guān)本發(fā)明的電子設(shè)備的一實(shí)施方式。此處表示的電子設(shè)備由顯示信息輸出源101、顯示信息處理電路102、電源電路103、時(shí)序發(fā)生器104以及液晶裝置105構(gòu)成。然后，液晶裝置105具有液晶面板107以及驅(qū)動(dòng)電路106。
顯示信息輸出源101包括被稱為RAM(Random Access Memory)等的存儲(chǔ)器、被稱為各種盤的存儲(chǔ)單元和同步輸出數(shù)字圖像信號(hào)的同步電路?；谟蓵r(shí)序發(fā)生器104產(chǎn)生的各種時(shí)鐘信號(hào)，將規(guī)定格式的圖像信號(hào)等的顯示信息提供給顯示信息處理電路102。
接著，顯示信息處理電路102包括多個(gè)放大、反相電路、旋轉(zhuǎn)電路、γ校正電路和箝位電路等周知的電路，執(zhí)行輸入的顯示信息的處理，將圖像信號(hào)和時(shí)鐘信號(hào)CLK同時(shí)提供給驅(qū)動(dòng)電路106。此處，驅(qū)動(dòng)電路106包括掃描線驅(qū)動(dòng)電路(圖中未畫出)和數(shù)據(jù)線驅(qū)動(dòng)電路(圖中未畫出)，同時(shí)包括總稱檢查電路等的電路。另外，電源電路103向上述的各個(gè)構(gòu)成要素提供規(guī)定的電源電壓。液晶裝置105例如能和圖4所示的液晶裝置1同樣地構(gòu)成。
圖13表示作為電子設(shè)備的一例將本發(fā)明適用于移動(dòng)電話機(jī)時(shí)的一實(shí)施方式。此處所示的移動(dòng)電話機(jī)120包括主體部121、和可相對(duì)于主體部開閉而設(shè)置的顯示部122。由液晶裝置等的電光學(xué)裝置構(gòu)成的顯示裝置123設(shè)置在顯示部122的內(nèi)部，關(guān)于電話通信的各種顯示能在顯示部122中通過顯示畫面124進(jìn)行觀察。在主體部121的前面排列設(shè)置了操作按鈕126。
在顯示部122的一端安裝了能自由伸縮的天線127。在接聽部128的內(nèi)部設(shè)置了揚(yáng)聲器，在講話部129的內(nèi)部?jī)?nèi)置了麥克風(fēng)。
控制顯示裝置123的動(dòng)作的控制部，可以作為承擔(dān)移動(dòng)電話機(jī)全部控制的控制部的一部分，或者和此控制部不同而另外設(shè)置在主體部121或者顯示部122的內(nèi)部。
圖14是表示有關(guān)本發(fā)明的電子設(shè)備的又一實(shí)施方式的數(shù)字照相機(jī)，是將液晶裝置作為取景器使用的裝置。在此數(shù)字照相機(jī)130中，在外殼131的背面設(shè)置了液晶顯示單元132。此液晶顯示單元132作為顯示被攝體的取景器發(fā)揮功能。此液晶顯示單元132例如能采用圖4所示的液晶裝置1構(gòu)成。
在外殼131的前面(在圖中是背面)中，設(shè)置了包含光學(xué)透鏡和CCD等的光接收單元133。攝影者確認(rèn)液晶顯示單元132中顯示的被攝體圖像，如果按下快門按鈕134，此時(shí)刻的CCD的攝像信號(hào)被傳送到電路基板135的存儲(chǔ)器中，在那里被儲(chǔ)存。
在外殼131的側(cè)面上，設(shè)置了視頻信號(hào)輸出端子136、數(shù)據(jù)通信用的輸入輸出端子137。在視頻信號(hào)輸出端子136上根據(jù)需要連接電視監(jiān)視器138，另外數(shù)據(jù)通信用的輸入輸出端子137根據(jù)需要連接個(gè)人計(jì)算機(jī)139。在電路基板135的存儲(chǔ)器中存儲(chǔ)的攝像信號(hào)根據(jù)規(guī)定的操作向電視監(jiān)視器138和個(gè)人計(jì)算機(jī)139輸出。
在以上各電子設(shè)備中應(yīng)用的液晶裝置中，如圖2(a)所示，形成與透射部對(duì)應(yīng)的樹脂層，即底部層11上的低的階梯部，即凹部38。通過在透射部設(shè)置這樣的凹部38，透射部的著色元件16的膜厚Tt0比反射部的著色元件16的膜厚Tr0厚。象這樣如果將在透射部的著色元件16的膜厚Tt0做得比反射部的膜厚Tr0厚，那么可以縮短圖5中反射顯示時(shí)的反射光F通過著色元件16的光路長(zhǎng)度，所以可以進(jìn)行明亮的反射顯示。另外，透射顯示時(shí)的透射光G通過著色元件16的光路長(zhǎng)度長(zhǎng)，所以可以進(jìn)行色濃的顯示。這樣根據(jù)本實(shí)施方式的電子設(shè)備，與電子設(shè)備相關(guān)聯(lián)的信息，由液晶顯示裝置可以非常清晰易見地顯示。
(變形例)作為電子設(shè)備除了以上說(shuō)明的移動(dòng)電話機(jī)、數(shù)字照相機(jī)之外，還能列舉出個(gè)人計(jì)算機(jī)、手表型電子設(shè)備、PDA(Personal Digital Assitant個(gè)人數(shù)字助理)、液晶電視、觀察取景器型或者監(jiān)視器直視型的視頻磁帶錄像機(jī)、汽車導(dǎo)航裝置、尋呼機(jī)、電子記事簿、計(jì)算器、文字處理器、工作站、電視電話機(jī)、POS終端機(jī)等。
(其它的實(shí)施方式)以上，列舉了優(yōu)選的實(shí)施方式說(shuō)明了本發(fā)明，但本發(fā)明并非限定于此實(shí)施方式，在權(quán)利要求書中記載的發(fā)明范圍內(nèi)能進(jìn)行種種改變。
(實(shí)施例1)本發(fā)明者，將圖2(a)的透射部膜厚Tt0和反射部膜厚Tr進(jìn)行各種改變，制造多種類型的液晶裝置，觀察這些液晶裝置的彩色顯示。其結(jié)果得知，在條件為Tt0∶Tr0＝1.3∶1～Tt0∶Tr0＝5∶1那樣，設(shè)定Tt0和Tr0的尺寸時(shí)，使用反射部的反射顯示和使用透射部的透射顯示達(dá)到均勻，即在反射部可以進(jìn)行明亮顯示，在透射部可以進(jìn)行色濃的顯示。即優(yōu)選將透射部的著色元件16的膜厚Tt0設(shè)定在反射部的著色元件16的膜厚Tr0的1.3～5倍的范圍內(nèi)。
(實(shí)施例2)而且本發(fā)明者，制造著色元件16膜厚不同的多種類型的液晶裝置，選擇反射顯示和透射顯示均勻的液晶裝置，即能進(jìn)行明亮反射顯示、色濃的透射顯示的液晶裝置。而且，研究該被選擇液晶裝置的構(gòu)造，可以得到，透射部的著色元件16的膜厚Tt0＝1.2μm，反射部的著色元件的膜厚Tr0＝0.62μm。因此在制造圖2(a)的構(gòu)造的濾色器基板4a的時(shí)候，著色元件16的膜厚優(yōu)選設(shè)定在該值或該值附近。
而且，為了實(shí)現(xiàn)Tt0＝1.2μm，Tr0＝0.62μm的尺寸，在圖2(b)中，根據(jù)噴墨技術(shù)噴出液滴和熱板干燥，優(yōu)選將透射部的材料膜厚設(shè)定在Tt1＝3.90μm，反射部的材料膜厚Tr1＝2.0μm，按照這個(gè)狀態(tài)在40℃～120℃中加熱5分鐘左右進(jìn)行烘焙處理。
(在工業(yè)上應(yīng)用的可能性)有關(guān)本發(fā)明的濾色器基板，用于讓液晶裝置、有機(jī)EL裝置等這樣的電光學(xué)裝置具有彩色顯示功能。另外，有關(guān)本發(fā)明的電光學(xué)裝置很適合作為移動(dòng)電話機(jī)、便攜式信息終端、PDA等的電子設(shè)備的顯示部使用。另外有關(guān)本發(fā)明的電子設(shè)備是移動(dòng)電話機(jī)、便攜式信息終端、PDA等的電子設(shè)備，特別是作為具有可以視覺顯示各種信息的功能的電子設(shè)備而構(gòu)成。
權(quán)利要求
1.一種濾色器基板，具有對(duì)光反射的反射部和讓光透過的透射部，其特征在于，還具有透明基底部件、在該基底部件上形成的底部層、在該底部層上形成的反射膜、在該反射膜上形成的圍堰、和在由該圍堰圍成的區(qū)域內(nèi)設(shè)置的著色元件；所述底部層對(duì)應(yīng)于所述透射部，具有低的階梯部；進(jìn)而所述著色元件在所述透射部厚，而在所述反射部薄。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的濾色器基板，其特征在于，所述著色元件在所述反射部和所述透射部都是相同的材質(zhì)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的濾色器基板，其特征在于，在所述圍堰表面施以疏墨處理，或者，所述圍堰由疏墨性的樹脂形成。
4.根據(jù)權(quán)利要求1～3中任一項(xiàng)所述的濾色器基板，其特征在于，所述著色元件通過液滴噴出而形成。
5.根據(jù)權(quán)利要求1～4中任一項(xiàng)所述的濾色器基板，其特征在于，假定在所述透射部中的所述著色元件的厚度為Tt，所述反射部中的所述著色元件的厚度為Tr，則Tt∶Tr＝(1.3～5)∶1。
6.一種濾色器基板的制造方法，制造具有對(duì)光反射的反射部和讓光透過的透射部的濾色器基板，其特征在于，具有在基底部件上形成底部層的工序；在所述底部層上形成反射膜的工序；在所述反射膜上形成圍堰的工序；和在由所述圍堰圍成的區(qū)域內(nèi)通過液滴噴出而形成著色元件的工序；在形成所述底部層的工序中，對(duì)應(yīng)于所述透射部，形成低的階梯部，在形成所述反射膜的工序中，對(duì)應(yīng)于所述透射部，形成開口。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的濾色器基板的制造方法，其特征在于，在形成所述著色元件的工序中，對(duì)應(yīng)于所述透射部，液滴的噴出量多。
8.根據(jù)權(quán)利要求6或7所述的濾色器基板的制造方法，其特征在于，在形成所述圍堰的工序中，對(duì)該圍堰的表面施以疏墨處理，或者，該圍堰由疏墨性樹脂形成。
9.一種濾色器基板，其特征在于，由權(quán)利要求6～8中任一項(xiàng)所述的濾色器基板的制造方法所制造。
10.一種電光學(xué)裝置，其特征在于，具有權(quán)利要求1～5中任一項(xiàng)所述的濾色器基板，和設(shè)置在該濾色器基板上的電光學(xué)物質(zhì)的層。
11.一種電子設(shè)備，其特征在于，具有權(quán)利要求10所述的電光學(xué)裝置，和控制該電光學(xué)裝置動(dòng)作的控制機(jī)構(gòu)。
全文摘要
本發(fā)明提供一種濾色器基板(4a)，具有對(duì)光反射的反射部和讓光透過的透射部，還包括透明的基底部件(9a)、在該基底部件上形成的底部層(11)、在該底部層上形成的反射膜(12)、在該反射膜上形成的圍堰(15)、和在由該圍堰圍成的區(qū)域內(nèi)設(shè)置的著色元件(16)。底部層對(duì)應(yīng)于透射部，具有低的階梯部(38)；進(jìn)而著色元件在透射部(Tr0)厚，而在反射部(Tt0)薄。在反射部和透射部，光的亮度和顏色的濃度均勻。由于在底部層設(shè)有階梯部，所以著色元件的膜厚在反射部和透射部可以準(zhǔn)確的設(shè)置。這樣，通過在反射部和透射部?jī)烧邔⒅哪ず穸日_調(diào)整到適當(dāng)值，可以在反射部進(jìn)行明亮顯示，在透射部進(jìn)行色濃顯示。
文檔編號(hào)H01L51/50GK1595210SQ200410077118
公開日2005年3月16日 申請(qǐng)日期2004年9月10日 優(yōu)先權(quán)日2003年9月10日
發(fā)明者片上悟, 丸山邦雄, 瀧澤圭二, 有賀久 申請(qǐng)人:精工愛普生株式會(huì)社