專利名稱：廢抗蝕劑剝離液再生裝置和再生方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及廢抗蝕劑剝離液再生裝置和再生方法。
背景技術(shù)：
通常，在制造半導(dǎo)體，液晶，印刷電路基板等的電子部品的制造工序中，包含在Si晶片等基片上形成負(fù)型或正型光致抗蝕劑薄膜的薄膜形成工序，通過(guò)圖形掩模照射光等的照射工序，用顯影液溶解不要的光致抗蝕劑的溶解工序，進(jìn)行刻蝕處理等的刻蝕工序，和剝離基片上的抗蝕劑膜的剝離工序，在上述剝離工序中，為了剝離抗蝕劑膜用抗蝕劑剝離液。
一般，抗蝕劑剝離液是由有機(jī)溶劑，烷醇胺和水等構(gòu)成的，當(dāng)用這種抗蝕劑剝離液時(shí)，設(shè)置在基片上的抗蝕劑膜溶解在抗蝕劑剝離液中從基片剝離，得到包含溶解的抗蝕劑的廢抗蝕劑剝離液。
作為使這種廢抗蝕劑剝離液再生的方法，從前就知道在日本的第2602179號(hào)專利公報(bào)中揭示的方法。這個(gè)再生方法是將廢抗蝕劑剝離液貯存在濃度調(diào)整槽中，從濃度調(diào)整槽取出廢抗蝕劑剝離液，用消光光度計(jì)測(cè)定廢抗蝕劑剝離液中的有機(jī)溶劑，烷醇胺和溶解抗蝕劑的濃度，根據(jù)測(cè)定的濃度，通過(guò)將有機(jī)溶劑和烷醇胺供給濃度調(diào)整槽，調(diào)整有機(jī)溶劑，烷醇胺和溶解抗蝕劑的濃度，對(duì)廢抗蝕劑剝離液進(jìn)行再生的方法。

發(fā)明內(nèi)容
但是，在上述已有的專利公報(bào)中記載的再生方法具有如下所示的課題。
即，在上述已有的再生方法中，不能從廢抗蝕劑剝離液除去溶解的抗蝕劑。因此，當(dāng)對(duì)廢抗蝕劑剝離液進(jìn)行再生時(shí)，需要通過(guò)充分稀釋溶解的抗蝕劑的濃度，對(duì)抗蝕劑的濃度進(jìn)行調(diào)整。因此，需要向濃度調(diào)整槽大量供給有機(jī)溶劑和烷醇胺，與此相伴，從濃度調(diào)整槽排出大量的廢液。
通常對(duì)這個(gè)廢液進(jìn)行燃燒處理，與此相伴，放出CO2到大氣中，但是如上所述，因?yàn)閺臐舛日{(diào)整槽排出大量的廢液，所以放出到大氣中的CO2量也很多，從防止地球溫暖化的觀點(diǎn)來(lái)看，不能說(shuō)是令人滿意的。
又，在上述已有的再生方法中，因?yàn)橄驖舛日{(diào)整槽供給大量的有機(jī)溶劑和烷醇胺，需要很大的運(yùn)行成本。
因此，本發(fā)明就是鑒于上述事情提出來(lái)的，本發(fā)明的目的是提供當(dāng)對(duì)廢抗蝕劑剝離液進(jìn)行再生時(shí)能夠充分減少烷醇胺和有機(jī)溶劑供給量的廢抗蝕劑剝離液再生裝置和再生方法。
為了解決上述課題，根據(jù)本發(fā)明的廢抗蝕劑剝離液再生裝置是通過(guò)對(duì)廢抗蝕劑剝離液進(jìn)行再生得到對(duì)抗蝕劑剝離再生液的裝置，備有具有分離分子量為100～1500的膜，用上述膜將廢抗蝕劑剝離液分離成濃縮液和透過(guò)液的膜分離裝置，用于貯存透過(guò)液，調(diào)整透過(guò)液中的烷醇胺和有機(jī)溶劑的濃度的濃度調(diào)整槽，向濃度調(diào)整槽供給烷醇胺的烷醇胺供給裝置，和向濃度調(diào)整槽供給有機(jī)溶劑的有機(jī)溶劑供給裝置。
如果根據(jù)這樣構(gòu)成的廢抗蝕劑剝離液再生裝置，則在膜分離裝置中，用膜將廢抗蝕劑剝離液分離成濃縮液和透過(guò)液，將透過(guò)液貯存在濃度調(diào)整槽中。而且，由烷醇胺供給裝置向濃度調(diào)整槽供給烷醇胺，由有機(jī)溶劑供給裝置向濃度調(diào)整槽供給有機(jī)溶劑。這樣，在濃度調(diào)整槽進(jìn)行烷醇胺和有機(jī)溶劑的濃度調(diào)整。
這時(shí)，因?yàn)樵谀し蛛x裝置中，用分離分子量為100～1500的膜，所以包含在廢抗蝕劑剝離液中的抗蝕劑不能夠透過(guò)膜，從而使透過(guò)液中的抗蝕劑濃度充分地減少。因此，降低了在濃度調(diào)整槽中稀釋抗蝕劑濃度的必要性，能夠充分減少向濃度調(diào)整槽供給的烷醇胺和有機(jī)溶劑的供給量。
又，因?yàn)槟軌虺浞纸档屯高^(guò)液中含有的抗蝕劑濃度，所以能夠在與原來(lái)的抗蝕劑剝離液大致同等的狀態(tài)下對(duì)廢抗蝕劑剝離液進(jìn)行再生。
更具體地說(shuō)，上述的膜例如最好是毫微過(guò)濾膜。
進(jìn)一步，在上述再生裝置中，更好進(jìn)一步備有將由上述膜分離的濃縮液返送到膜分離裝置的上游一側(cè)的返送裝置。
這時(shí)，因?yàn)橥ㄟ^(guò)返送裝置將用膜分離裝置的膜分離的濃縮液返送到膜分離裝置的上游一側(cè)，所以可以一面循環(huán)一面過(guò)濾廢抗蝕劑剝離液。因此，能夠不廢棄烷醇胺和有機(jī)溶劑，有效地加以利用。從而，與廢棄處理由膜分離裝置分離的濃縮液的情形比較，能夠更充分地減少向濃度調(diào)整槽供給的烷醇胺和有機(jī)溶劑的供給量。
又，根據(jù)本發(fā)明的廢抗蝕劑剝離液再生方法是對(duì)含有烷醇胺，有機(jī)溶劑和抗蝕劑的廢抗蝕劑剝離液進(jìn)行再生的方法，能夠用本發(fā)明的廢抗蝕劑剝離液再生裝置有效地實(shí)施，備有用分離分子量為100～1500的膜，將廢抗蝕劑剝離液分離成濃縮液和透過(guò)液的膜分離工序，和通過(guò)向透過(guò)液供給烷醇胺和/或有機(jī)溶劑對(duì)透過(guò)液的濃度進(jìn)行調(diào)整的濃度調(diào)整工序。
如果根據(jù)這種方法，則用分離分子量為100～1500的膜將廢抗蝕劑剝離液分離成濃縮液和透過(guò)液。這時(shí)，抗蝕劑不能夠透過(guò)膜，從而充分地減少包含在透過(guò)液中的抗蝕劑濃度。因此，與通過(guò)供給烷醇胺和/或有機(jī)溶劑對(duì)廢抗蝕劑剝離液的濃度進(jìn)行調(diào)整的日本第2602179號(hào)專利公報(bào)中揭示的方法比較，降低了稀釋抗蝕劑濃度的必要性。所以，與此相當(dāng)?shù)兀軌虺浞譁p少向透過(guò)液供給的烷醇胺和/或有機(jī)溶劑的供給量。
又，因?yàn)槟軌虺浞纸档屯高^(guò)液中含有的抗蝕劑濃度，所以能夠在與原來(lái)的抗蝕劑剝離液大致同等的狀態(tài)下對(duì)廢抗蝕劑剝離液進(jìn)行再生。
此外，在本發(fā)明中，所謂的“分離分子量”指的是表示膜的阻止性能的值。具體地說(shuō)，可以從分子量已知的蛋白質(zhì)和高份子物質(zhì)等的阻止特性求得，標(biāo)準(zhǔn)地表示能夠由膜阻止的最小分子量。


圖1是表示根據(jù)本發(fā)明的廢抗蝕劑剝離液再生裝置的一個(gè)實(shí)施形態(tài)的方框圖。
圖2是表示膜分離裝置的一個(gè)例子的部分截面圖。
具體實(shí)施例方式
下面，我們?cè)敿?xì)說(shuō)明本發(fā)明的實(shí)施形態(tài)。
在圖1中，標(biāo)號(hào)1表示用抗蝕劑剝離液剝離設(shè)置在Si晶片等基片上的抗蝕劑膜的抗蝕劑剝離裝置。抗蝕劑剝離液由烷醇胺，有機(jī)溶劑和水構(gòu)成。在抗蝕劑剝離裝置1中，通過(guò)使抗蝕劑溶解在抗蝕劑剝離液中，得到包含烷醇胺，有機(jī)溶劑，水和抗蝕劑的廢抗蝕劑剝離液。
這樣得到的廢抗蝕劑剝離液被貯存槽34接受后，由泵2經(jīng)過(guò)配管3移送到濃縮槽4。貯存在濃縮槽4中的廢抗蝕劑剝離液由流量調(diào)節(jié)泵5經(jīng)過(guò)配管6移送到膜分離裝置7。
膜分離裝置7用膜將廢抗蝕劑剝離液分離成濃縮液和透過(guò)液。能夠用分離分子量為100～1500的膜。分離分子量最好為400～1200，更好為700～1000。
當(dāng)這個(gè)分離分子量不到100時(shí)，雖然能夠除去溶解在廢抗蝕劑剝離液中的抗蝕劑，但是即便烷醇胺和有機(jī)溶劑也會(huì)被膜捕捉。另一方面，當(dāng)分離分子量超過(guò)1500時(shí)，不能夠除去溶解在廢抗蝕劑剝離液中的抗蝕劑。
作為持有上述分離分子量的膜，例如可以用毫微過(guò)濾(Nanofiltration，以下稱為“NF”)膜。作為NF膜，可以舉出例如，日東電工股份有限公司制的HTR-7410，NTR-7450，NTR-725HF，NTR-7250，NTR-729HF，NTR-769SR，東立(日文東レ)股份有限公司制的SU-200S，SU-500，SU-600，塔務(wù)凱米卡魯(日文ダウケシカル)公司制的NF-45，NF-70，NF-90，Koch公司制造的SelROTMMPS/T-20，SelROTMMPS/T-21，SelROTMMPS/T-31，SelROTMMPS/T-34，SelROTMMPS/T-36，SelROTMMPS/T-44，SelROTMMPS/T-50，SelROTMMPS/T-60等。
在這些膜中間，Koch公司制造的NF膜是令人滿意的。這種NF膜是以聚砜(日文ボリスルホン)(PS)和聚丙烯腈(PAN)為基材的復(fù)合膜，可以在pH全部區(qū)域(pH＝0～14)中使用。因此，不對(duì)包含強(qiáng)堿性的廢抗蝕劑剝離液進(jìn)行中和就能夠直接導(dǎo)入膜分離裝置7。作為上述Koch公司制造的NF膜，例如，可以用分離分子量為1000的SelROTMMPS/T-36。
此外，本發(fā)明中使用的膜最好分離分子量為100～1500，并不特別限于上述NF膜。
又，膜的形狀也可以是例如管型，螺旋型等。
進(jìn)一步，如圖2所示，膜分離裝置7備有由不銹鋼形成的支持管8，和與這個(gè)支持管8內(nèi)接那樣地設(shè)置的管型的NF膜9。在支持管8上，設(shè)置許多孔10?？梢栽谥С止?上裝上卸下地設(shè)置NF膜9。
當(dāng)進(jìn)行膜分離處理時(shí)，在圖2中，從入口側(cè)A供給廢抗蝕劑剝離液。廢抗蝕劑剝離液中的透過(guò)成分，如圖2所示，通過(guò)NF膜9的微孔，進(jìn)一步通過(guò)支持管8的孔10作為透過(guò)液經(jīng)過(guò)配管11排出。
另一方面，也可以對(duì)濃縮液進(jìn)行廢棄處理，但是最好如圖1所示，從膜分離裝置7經(jīng)過(guò)配管12返送到濃縮槽4。這時(shí)，通過(guò)配管12使由膜分離裝置7的NF膜9分離的濃縮液返送到在膜分離裝置7的上游一側(cè)的濃縮槽4，所以可以一面循環(huán)一面過(guò)濾貯存在濃縮槽4中的廢抗蝕劑剝離液。
因此，能夠不廢棄烷醇胺和有機(jī)溶劑，有效地加以利用。因此，與廢棄處理由膜分離裝置7分離的濃縮液的情形比較，能夠充分減少向后述的濃度調(diào)整槽17供給的烷醇胺和有機(jī)溶劑的供給量。
此外，在配管11上設(shè)置了流量計(jì)14和閥門，在配管12上設(shè)置了閥門15，流量計(jì)16。通過(guò)這樣做，根據(jù)流量計(jì)14，16測(cè)定的流量值，調(diào)整閥門15的開啟度和流量調(diào)節(jié)泵5，可以任意調(diào)整透過(guò)液的流量和濃縮液的流量的比率。
經(jīng)過(guò)配管11使在膜分離裝置7中得到的透過(guò)液導(dǎo)入濃度調(diào)整槽17。濃度調(diào)整槽17是貯存在膜分離裝置7中得到的透過(guò)液，并調(diào)整烷醇胺和有機(jī)溶劑的濃度的裝置。又，用于排出廢抗蝕劑剝離液的漏管32與貯存槽34連接，在漏管32上設(shè)置閥門33，通過(guò)根據(jù)來(lái)自濃度調(diào)整槽17的信號(hào)停止流量調(diào)節(jié)泵5，并且根據(jù)來(lái)自貯存槽34的信號(hào)打開閥門33，可以進(jìn)行高效率的運(yùn)轉(zhuǎn)。
進(jìn)一步，可以經(jīng)過(guò)配管19從烷醇胺貯存槽18將烷醇胺供給濃度調(diào)整槽17。通過(guò)打開閥門20使泵21工作將烷醇胺供給濃度調(diào)整槽17。
這里，作為烷醇胺例如可以用乙醇胺，二乙醇胺，三乙醇胺，N，N-二甲基乙醇胺，N，N-二乙基替乙醇胺，氨乙基替乙醇胺，N-甲基-N，N-二乙醇胺，N，N-二丁乙醇胺，N-甲基乙醇胺，3-氨基-1-異丙醇等。此外，烷醇胺供給裝置由烷醇胺貯存槽18，配管19，閥門20和泵21構(gòu)成。
又，可以經(jīng)過(guò)配管23從有機(jī)溶劑貯存槽22將有機(jī)溶劑供給濃度調(diào)整槽17。通過(guò)打開閥門24使泵21工作將有機(jī)溶劑供給濃度調(diào)整槽17。
這里的有機(jī)溶劑是與上述烷醇胺不同的有機(jī)溶劑，作為這種有機(jī)溶劑例如可以用二甲亞砜系原液，N-甲基吡咯烷酮系原液，N-煤醚系(N-メチルビロリドン)原液等。此外，有機(jī)溶劑供給裝置由泵21，有機(jī)溶劑貯存槽22，配管23和閥門24構(gòu)成。
這樣通過(guò)在濃度調(diào)整槽17中進(jìn)行濃度調(diào)整能夠得到抗蝕劑剝離再生液。通過(guò)打開閥門25使泵26工作經(jīng)過(guò)配管27將這個(gè)抗蝕劑剝離再生液導(dǎo)入抗蝕劑剝離裝置1。
抗蝕劑剝離再生液的一部分經(jīng)過(guò)旁路配管28返回到配管27。在旁路配管28上設(shè)置測(cè)定抗蝕劑剝離再生液中的烷醇胺濃度的第1消光光度計(jì)29和測(cè)定抗蝕劑剝離再生液中的有機(jī)溶劑濃度的第2消光光度計(jì)30。
這里，第1消光光度計(jì)29和第2消光光度計(jì)30最好與控制閥門20，24的控制裝置31連接。這時(shí)，根據(jù)由第1消光光度計(jì)29和第2消光光度計(jì)30測(cè)定的烷醇胺和有機(jī)溶劑的濃度對(duì)閥門20，24進(jìn)行控制。因此，能夠保持在濃度調(diào)整槽17中抗蝕劑剝離再生液中的烷醇胺濃度和有機(jī)溶劑濃度為恒定值。
此外，通常不一定連續(xù)地將抗蝕劑剝離再生液導(dǎo)入抗蝕劑剝離裝置1，也存在不將抗蝕劑剝離再生液導(dǎo)入抗蝕劑剝離裝置1的情形。這時(shí)，使閥門25關(guān)閉。又，這時(shí)，抗蝕劑剝離再生液不流過(guò)配管27和旁路配管28，不可能進(jìn)行在第1消光光度計(jì)29和第2消光光度計(jì)30中的消光度的測(cè)定。
因此，在本實(shí)施形態(tài)的廢抗蝕劑剝離液再生裝置中設(shè)置與配管27的泵26和閥門25之間的部分和濃度調(diào)整槽17連接的支配管37。因此，當(dāng)關(guān)閉閥門25時(shí)，經(jīng)過(guò)支配管37將流過(guò)配管27的抗蝕劑剝離再生液傳送到濃度調(diào)整槽17。另一方面，用泵26使?jié)舛日{(diào)整槽17的槽內(nèi)液體流過(guò)配管27和旁路配管28。
因此，當(dāng)不將抗蝕劑剝離再生液導(dǎo)入抗蝕劑剝離裝置1時(shí)，可以用第1消光光度計(jì)29和第2消光光度計(jì)30測(cè)定消光度。
其次，我們說(shuō)明用上述廢抗蝕劑剝離液的再生裝置再生廢抗蝕劑剝離液的方法的一個(gè)例子。
首先，在貯存槽34中接受了在抗蝕劑剝離裝置1中的廢抗蝕劑剝離液后，由泵2經(jīng)過(guò)配管3將它移送到濃縮槽4。
由流量調(diào)節(jié)泵5經(jīng)過(guò)配管6將貯存在濃縮槽4中的廢抗蝕劑剝離液導(dǎo)入膜分離裝置7，由膜分離裝置7的膜將廢抗蝕劑剝離液分離成濃縮液和透過(guò)液。這樣經(jīng)過(guò)配管11將在膜分離裝置7中得到的透過(guò)液移送到濃度調(diào)整槽17。
這時(shí)，因?yàn)樵谀し蛛x裝置7，用分離分子量為100～1500的膜，所以溶解在廢抗蝕劑剝離液中的廢抗蝕劑不能透過(guò)膜，抗蝕劑被包含在濃縮液中，在透過(guò)液中幾乎不包含抗蝕劑。即，用膜從廢抗蝕劑剝離液中除去抗蝕劑形成透過(guò)液(膜分離工序)。
另一方面，經(jīng)過(guò)閥門15和配管12將在膜分離裝置7中得到的濃縮液返送到濃縮槽4。因此，可以一面循環(huán)一面過(guò)濾貯存在濃縮槽4中廢抗蝕劑剝離液。因此，能夠不廢棄烷醇胺和有機(jī)溶劑，有效地加以利用。從而，與廢棄處理在膜分離裝置7中分離出來(lái)的濃縮液的情形比較，能夠充分地減少向濃度調(diào)整槽17供給的烷醇胺和有機(jī)溶劑的供給量。這樣通過(guò)一面循環(huán)一面過(guò)濾廢抗蝕劑剝離液，使在濃縮槽4中的抗蝕劑濃度上升。
當(dāng)濃縮槽4內(nèi)的抗蝕劑濃度上升時(shí)，膜分離裝置7中的廢抗蝕劑剝離液的過(guò)濾效率降低。因此，最好對(duì)透過(guò)液中的抗蝕劑濃度進(jìn)行管理，適當(dāng)?shù)嘏懦鰸饪s槽4內(nèi)的抗蝕劑。通過(guò)這樣做，能夠減少向濃度調(diào)整槽17供給的烷醇胺和/或有機(jī)溶劑的供給量。
此外，透過(guò)液流量D對(duì)濃縮液流量C之比(D/C)最好為0.1～0.2。這時(shí)，通過(guò)最佳的透過(guò)液與濃縮液流量比的管理，能夠一面保持良好的透過(guò)液質(zhì)量，一面提高透過(guò)液中的回收率，最大限度地有效地減少烷醇胺和有機(jī)溶劑的廢棄量，充分地減少向濃度調(diào)整槽17供給的烷醇胺和有機(jī)溶劑的供給量。
另一方面，當(dāng)上述的比不到0.1時(shí)，存在著透過(guò)液的回收率降低經(jīng)濟(jì)性惡化的傾向，當(dāng)上述的比超過(guò)0.2時(shí)，存在著一面使膜的孔堵塞一面使透過(guò)水質(zhì)惡化的傾向。能夠根據(jù)用流量計(jì)14，16測(cè)定的流量值通過(guò)調(diào)整閥門15的開啟度和流量調(diào)節(jié)泵5調(diào)整透過(guò)液對(duì)濃縮液的流量比。
對(duì)于移送到濃度調(diào)整槽17的透過(guò)液，在濃度調(diào)整槽17中進(jìn)行烷醇胺和有機(jī)溶劑的濃度調(diào)整。這時(shí)，通過(guò)打開閥門20，使泵21工作，經(jīng)過(guò)配管19從烷醇胺貯存槽18向濃度調(diào)整槽17供給烷醇胺。又，通過(guò)打開閥門24，經(jīng)過(guò)配管23從有機(jī)溶劑貯存槽22向濃度調(diào)整槽17供給有機(jī)溶劑。進(jìn)一步，需要時(shí)，也可以打開閥門35，經(jīng)過(guò)漏管36從濃度調(diào)整槽17排出廢液。這樣，在濃度調(diào)整槽17中進(jìn)行透過(guò)液中的烷醇胺和有機(jī)溶劑的濃度調(diào)整，得到抗蝕劑剝離再生液(濃度調(diào)整工序)。
這時(shí)，如上所述，能夠充分地減少包含在透過(guò)液中的抗蝕劑濃度。因此，降低了在濃度調(diào)整槽17中稀釋抗蝕劑濃度的必要性，與此相當(dāng)，能夠充分減少向濃度調(diào)整槽17供給的烷醇胺和有機(jī)溶劑的供給量。結(jié)果，能夠減少本發(fā)明的再生裝置中使用的烷醇胺和有機(jī)溶劑的總量，也能夠大幅度地減少經(jīng)過(guò)配管32從貯存槽34排出的廢液量。
這里，通常對(duì)廢液進(jìn)行燃燒處理，與此相伴，放出CO2到大氣中，但是在本實(shí)施形態(tài)中，因?yàn)槟軌虼蠓鹊販p少?gòu)馁A存槽34排出的廢液量，所以也能夠大幅度地減少放出到大氣中的CO2量。因此，再生裝置能夠?qū)Ψ乐褂捎贑O2引起的地球溫暖化作出充分的貢獻(xiàn)。
又，因?yàn)槟軌虺浞譁p少向濃度調(diào)整槽17供給的烷醇胺和有機(jī)溶劑的供給量，所以能夠大幅度地減少運(yùn)行成本。進(jìn)一步，因?yàn)橥高^(guò)液中不包含抗蝕劑，所以能夠在與原來(lái)的抗蝕劑剝離液大致同等的狀態(tài)下對(duì)廢抗蝕劑剝離液進(jìn)行再生。
通過(guò)打開閥門25，使泵26工作，經(jīng)過(guò)配管27從濃度調(diào)整槽17將上述那樣地得到的抗蝕劑剝離再生液導(dǎo)入抗蝕劑剝離裝置1。
此外，將抗蝕劑剝離再生液的一部分導(dǎo)入旁路配管28，經(jīng)過(guò)第1消光光度計(jì)29，第2消光光度計(jì)30返回到配管27。這時(shí)，用第1消光光度計(jì)29測(cè)定烷醇胺濃度，用第2消光光度計(jì)30測(cè)定有機(jī)溶劑濃度。而且，根據(jù)測(cè)定的烷醇胺濃度和有機(jī)溶劑濃度，由控制裝置31調(diào)整閥門20，24的開啟度。因此，能夠保持抗蝕劑剝離再生液中的烷醇胺濃度和有機(jī)溶劑濃度為恒定值。
如果根據(jù)以上說(shuō)明的本發(fā)明的廢抗蝕劑剝離液再生裝置和再生方法，則廢抗蝕劑剝離液中的抗蝕劑不能透過(guò)膜，能夠充分地減少包含在透過(guò)液中的抗蝕劑濃度。因此，能夠降低稀釋抗蝕劑濃度的必要性，能夠大幅度地減少向濃度調(diào)整槽供給的烷醇胺和有機(jī)溶劑的供給量。結(jié)果，因?yàn)槟軌蜃畲蠓鹊販p少?gòu)馁A存槽排出的廢液量，所以能夠大幅度地減少放出到大氣中的CO2量，能夠?qū)Ψ乐褂捎贑O2引起的地球溫暖化作出充分的貢獻(xiàn)。
又，因?yàn)槟軌虺浞譁p少向濃度調(diào)整槽供給的烷醇胺和有機(jī)溶劑的供給量，所以能夠大幅度地減少運(yùn)行成本。進(jìn)一步，因?yàn)橥高^(guò)液中不包含抗蝕劑，所以能夠在與原來(lái)的抗蝕劑剝離液大致同等的狀態(tài)下對(duì)廢抗蝕劑剝離液進(jìn)行再生。
權(quán)利要求
1.廢抗蝕劑剝離液再生裝置，它是再生包含烷醇胺，有機(jī)溶劑和抗蝕劑的廢抗蝕劑剝離液的廢抗蝕劑剝離液再生裝置，備有具有分離分子量為100～1500的膜，用上述膜將上述廢抗蝕劑剝離液分離成濃縮液和透過(guò)液的膜分離裝置，用于貯存上述透過(guò)液，調(diào)整上述透過(guò)液中的烷醇胺和有機(jī)溶劑的濃度的濃度調(diào)整槽，和向上述濃度調(diào)整槽供給烷醇胺的烷醇胺供給裝置，和向上述濃度調(diào)整槽供給有機(jī)溶劑的有機(jī)溶劑供給裝置。
2.權(quán)利要求1記載的廢抗蝕劑剝離液再生裝置，其中上述膜是毫微過(guò)濾膜。
3.權(quán)利要求1記載的廢抗蝕劑剝離液再生裝置，它進(jìn)一步備有將由上述膜分離的濃縮液返送到上述膜分離裝置的上游一側(cè)的返送裝置。
4.廢抗蝕劑剝離液再生方法，它是再生包含烷醇胺，有機(jī)溶劑和抗蝕劑的廢抗蝕劑剝離液的廢抗蝕劑剝離液再生方法，備有用分離分子量為100～1500的膜，將上述廢抗蝕劑剝離液分離成濃縮液和透過(guò)液的膜分離工序，和通過(guò)向上述透過(guò)液供給烷醇胺和/或有機(jī)溶劑，進(jìn)行上述透過(guò)液的濃度調(diào)整的濃度調(diào)整工序。
全文摘要
本發(fā)明涉及廢抗蝕劑剝離液再生裝置和再生方法。根據(jù)本發(fā)明的廢抗蝕劑剝離液再生裝置是再生廢抗蝕劑剝離液來(lái)得到抗蝕劑剝離再生液的裝置，備有具有分離分子量為100～1500的膜，用上述膜將廢抗蝕劑剝離液分離成濃縮液和透過(guò)液的膜分離裝置(7)，用于貯存透過(guò)液，調(diào)整烷醇胺和有機(jī)溶劑的濃度的調(diào)整槽(17)，向調(diào)整槽(17)供給烷醇胺的裝置(18)和向調(diào)整槽(17)供給有機(jī)溶劑的裝置(22)。通過(guò)這樣的構(gòu)成，廢抗蝕劑剝離液中的抗蝕劑不能透過(guò)膜，能夠充分地減少透過(guò)液中的抗蝕劑濃度。因此，能夠降低稀釋抗蝕劑濃度的必要性，能夠充分減少向調(diào)整槽(17)供給的烷醇胺和有機(jī)溶劑的供給量。
文檔編號(hào)H01L21/02GK1421398SQ02152670
公開日2003年6月4日 申請(qǐng)日期2002年11月29日 優(yōu)先權(quán)日2001年11月29日
發(fā)明者小川修, 小早川泰之, 北川悌也, 菊川誠(chéng), 兼康貴行 申請(qǐng)人:長(zhǎng)瀨產(chǎn)業(yè)株式會(huì)社, 長(zhǎng)瀨Cms科學(xué)技術(shù)株式會(huì)社