專利名稱：可避免量測計燃燒的量測計固定裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明關(guān)于一種量測計固定裝置，尤指一種半導(dǎo)體制程設(shè)備中可避免量測計燃燒的量測計固定裝置。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體制程中，通常會使用各式各樣的量測計量測制程反應(yīng)室(chamber)的特定物理參數(shù)變化情形，以監(jiān)視與控制制程的進(jìn)行。以一可于高溫環(huán)境下進(jìn)行晶圓退火(anneal)的石英反應(yīng)室為例，為了解反應(yīng)室的溫度變化情形，通常會設(shè)置許多溫度計以量測該反應(yīng)室的溫度變化，進(jìn)而監(jiān)視與控制制程的進(jìn)行。
請參閱圖1，其為一傳統(tǒng)溫度計固定裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖1所示，該反應(yīng)室11外覆蓋有一外蓋體12，而溫度計固定裝置則可使一溫度計13固定于外殼體12上。該溫度計固定裝置包括一固定板21、一固定座22與一螺絲23。其中，固定板21固定于外殼體12上，固定座22則可移動地設(shè)置于固定板21上，用以固定溫度計13而使溫度計13的量測端得以置于外殼體12與反應(yīng)室11之間。
請參閱圖2，其為圖1所示的固定板21頂視圖。如圖2所示，固定板21于鄰近其自由端的部分具有一溝槽211，可供螺絲23滑動于其間。固定座22可移動地設(shè)置于固定板21上，且可藉由螺絲23而定位于固定板21。因此，當(dāng)溫度計13的量測端移動至一適當(dāng)?shù)牧繙y位置時，將螺絲23鎖固則可使固定座22固定于固定板21上，進(jìn)而使溫度計13定位。
對于一高溫反應(yīng)室而言，當(dāng)溫度計13藉由該溫度計固定裝置定位時，通常需將溫度計13的量測端與該反應(yīng)室保持4-5mm以上的距離，這是因為溫度計13如太接近該高溫反應(yīng)室11的話，溫度計13的量測端將會因高溫而燃燒損毀，無法再為使用。此外，若溫度計13的量測端離反應(yīng)室11太遠(yuǎn)時，溫度計13所量測的溫度將不正確，因此如何將溫度計13保持固定于一適當(dāng)位置對制程設(shè)備而言十分重要。
對傳統(tǒng)的溫度計固定裝置而言，由于長時間的使用或溫度計13的不正確安裝，通常會造成螺絲23松脫而使溫度計13移位，進(jìn)而使溫度計13燃燒損毀或量測不準(zhǔn)確的情形發(fā)生。此外，如圖3所示，當(dāng)一外力F施加于固定座22或溫度計13時，將會使溫度計13往反應(yīng)室11方向移位而造成溫度計13燃燒損毀。這些現(xiàn)象對高溫反應(yīng)室而言常常發(fā)生，且對操作者而言無法知道螺絲何時會松脫，直到溫度計燃燒損毀為止，因此如何設(shè)計一可避免溫度計燃燒的溫度計固定裝置實為本發(fā)明的一研究課題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的主要目的為提供一種溫度計固定裝置，可避免溫度計燃燒損毀與量測不準(zhǔn)確的情形發(fā)生。
本發(fā)明的另一目的為提供一種量測計固定裝置，用以固定一量測計至一覆蓋有外殼體的反應(yīng)室上。該量測計固定裝置包括一固定板，其固定于該外殼體上；一固定座，其可移動地設(shè)置于該固定板上，用以固定該量測計，使該量測計的一端得以設(shè)置于該外殼體與該反應(yīng)室之間；以及第一彈性元件，其設(shè)置于該外殼體與該固定座之間，用以抵頂該固定座，藉以避免該量測計向該反應(yīng)室方向移動。
根據(jù)本發(fā)明的構(gòu)想，其中該量測計為一溫度計。
根據(jù)本發(fā)明的構(gòu)想，其中該量測計為一壓力計。
根據(jù)本發(fā)明的構(gòu)想，其中該第一彈性元件為彈簧。
根據(jù)本發(fā)明的構(gòu)想，其中該第一彈性元件的一端固定于該外殼體，另一端則抵頂該固定座。
根據(jù)本發(fā)明的構(gòu)想，其中該量測計固定裝置更包括第二彈性元件，其設(shè)置于該外殼體與該固定座的之間，用以提供一回復(fù)力予該固定座，藉以避免該量測計向該反應(yīng)室方向移動。
根據(jù)本發(fā)明的構(gòu)想，其中該第二彈性元件的長度短于該第一彈性元件的長度。
根據(jù)本發(fā)明的構(gòu)想，其中該第二彈性元件的剛性硬于該第一彈性元件的剛性。
根據(jù)本發(fā)明的構(gòu)想，其中該第二彈性元件的一端固定于該外殼體，另一端則當(dāng)該固定座向該反應(yīng)室方向移動而接觸該另一端時，用以抵頂該固定座。
根據(jù)本發(fā)明的構(gòu)想，其中該第二彈性元件為彈簧。
根據(jù)本發(fā)明的構(gòu)想，其中該固定板具有一溝槽。
根據(jù)本發(fā)明的構(gòu)想，其中該量測計固定裝置更具有一鎖固元件，其穿過該固定板的該溝槽而與該固定座相鎖固，用以使固定座內(nèi)的該量測計固定于一特定位置。
本發(fā)明的又一目的為提供一種量測計結(jié)構(gòu)，應(yīng)用于一覆蓋有外殼體的反應(yīng)室，該量測計結(jié)構(gòu)包括一固定板，其固定于該外殼體上；一固定座，具有一容置空間且可移動地設(shè)置于該固定板上；一量測計，其一端容置于該固定座的該容置空間內(nèi)，另一端則置于該外殼體與該反應(yīng)室之間，用以量測該反應(yīng)室之一物理參數(shù)；以及一第一彈性元件，其設(shè)置于該外殼體與該固定座之間，用以抵頂該固定座，藉以避免該量測計向該反應(yīng)室方向移動。
本發(fā)明的再一目的為提供一種避免量測計燃燒的反應(yīng)室結(jié)構(gòu)，其包括一反應(yīng)室；一外殼體，其覆蓋于該反應(yīng)室外；一固定板，其連接于該外殼體；一固定座，具有一容置空間且可移動地設(shè)置于該固定板上；一量測器，其一端容置于該固定座的該容置空間內(nèi)，另一端則置于該外殼體與該反應(yīng)室之間，用以量測該反應(yīng)室的一物理參數(shù)；以及第一彈性元件，其設(shè)置于該外殼體與該固定座之間，用以抵頂該固定座，藉以避免該量測計向該反應(yīng)室方向移動而燃燒。
根據(jù)本發(fā)明的構(gòu)想，其中該固定板是一體成型于該外殼體。
根據(jù)本發(fā)明的構(gòu)想，其中該固定板藉由一連接裝置而固定于該外殼體。


本發(fā)明得藉由下列附圖及詳細(xì)說明，俾得一更深入的了解圖1其為一傳統(tǒng)溫度計固定裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖2其為圖1所示的固定板頂視圖。
圖3其說明一外力施加于圖1所示的溫度計固定裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖4其是本發(fā)明較佳實施例的溫度計固定裝置結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施例方式
請參閱圖4，其為本發(fā)明較佳實施例的溫度計固定裝置結(jié)構(gòu)示意圖。如圖4所示，本發(fā)明的溫度計與溫度計固定裝置應(yīng)用于一半導(dǎo)體制程所使用的高溫反應(yīng)室41中，用以量測與監(jiān)視該反應(yīng)室41的溫度變化情形，其中該高溫反應(yīng)室41由一外殼體42所覆蓋。
本發(fā)明的可避免溫度計燃燒的溫度計固定裝置至少包括一固定板51、一固定座52與第一彈性元件54。其中，固定板51系固定于外殼體42上，固定座52則可移動地設(shè)置于固定板51上，用以固定溫度計43而使溫度計43的量測端得以置于外殼體42與反應(yīng)室41的之間，而第一彈性元件54則設(shè)置于外殼體42與固定座52之間，用以抵頂固定座52，藉以避免溫度計43的量測端向反應(yīng)室41方向移動。以下就上述較佳實施例的各細(xì)部元件逐一說明
固定板51藉由一連接元件(未圖示)將其一端固定于外殼體42上。當(dāng)然，于另一實施例中，固定板51亦可一體成型地與該外殼體42相連接。另外，固定板51于鄰近其自由端的部分則具有一溝槽(未圖示)，可供一鎖固元件53，最佳為螺絲，滑動于其間。
固定座52則具有一容置空間(未圖示)可將溫度計43的一端固定，且可使溫度計43的另一端(亦即量測端)置于外殼體42與反應(yīng)室41之間，用以量測反應(yīng)室41的溫度變化情形。此外，固定座52系可移動地設(shè)置于該固定板51上，且可藉由鎖固元件53而定位于固定板51。因此，當(dāng)溫度計43之量測端移動至一適當(dāng)?shù)牧繙y位置時，將該鎖固元件53鎖固則可使固定座52固定于固定板53上，進(jìn)而使溫度計43定位。
第一彈性元件54的一端固定于外殼體42，另一端則抵頂固定座52。藉此，當(dāng)鎖固元件53因長期使用或外力介入而松脫時，第一彈性元件將提供一彈力予固定座52，以避免溫度計43的量測端向反應(yīng)室41方向移位而燃燒損毀。此外，更由于第一彈性元件54的彈力作用，溫度計43將往與反應(yīng)室41相對的方向移位，觀察者可以明顯地察覺出溫度突然變化，進(jìn)而可察覺到鎖固元件53松脫。因此藉由第一彈性元件54的設(shè)計不只可以避免溫度計43燃燒損毀，亦可容易地察覺出螺絲松脫的情形，可避免量測溫度不準(zhǔn)確的情形發(fā)生。
另外，當(dāng)固定座52受一外力沖擊時，第一彈性元件54可提供一彈性回復(fù)力予固定座52，藉以避免該溫度計43的量測端向反應(yīng)室41方向移位，而造成溫度計43接觸高溫反應(yīng)室41而燃燒損毀。因此，該第一彈性元件54的設(shè)計亦可避免外力沖擊所產(chǎn)生的影響。當(dāng)然，上述的第一彈性元件53以彈簧為最佳。
于另一較佳實施例中，本發(fā)明的溫度計固定裝置更可藉由第二彈性元件55的設(shè)計而強化該溫度計固定裝置對外力的沖擊。如圖4所示，該第二彈性元件55設(shè)置于外殼體42與固定座52之間，且該第二彈性元件55的一端固定于外殼體42，另一自由端則當(dāng)固定座52因一外力作用而向反應(yīng)室41方向移位時，可用以抵頂該固定座52并提供一彈性回復(fù)力使該固定座彈回。如此將可避免外力沖擊而導(dǎo)致溫度計43接觸該高溫反應(yīng)室41而燃燒損毀。另外，為強化該溫度計固定裝置對外力的沖擊，第二彈性元件55的長度系短于第一彈性元件54的長度，且第二彈性元件55的剛性更硬于第一彈性元件54的剛性。當(dāng)然，上述第二彈性元件亦以彈簧為佳。
本發(fā)明的量測計固定裝置并不限于上述最佳實施例所述的溫度計固定裝置而已，對熟知此技術(shù)的人士而言，任何制程設(shè)備中所需使用的量測計固定裝置，例如壓力計固定裝置等，在此亦可并入?yún)⒖肌?br> 縱上所述，本發(fā)明的溫度計固定裝置藉由彈性元件的設(shè)計不只可以避免溫度計燃燒損毀，亦可容易地察覺出螺絲松脫的情形，以避免量測溫度不準(zhǔn)確的情形發(fā)生。此外，當(dāng)固定座受一外力沖擊時，彈性元件亦可提供一彈性回復(fù)力予固定座，藉以避免溫度計的量測端向反應(yīng)室方向移位，而造成溫度計接觸高溫反應(yīng)室而燃燒損毀。因此本發(fā)明實具產(chǎn)業(yè)的價值。
本發(fā)明對于熟悉本技術(shù)者來說，可以作出各種修飾，這些修飾都應(yīng)不脫離如下的權(quán)利要求范圍。
權(quán)利要求
1.一種量測計固定裝置，用以固定一量測計至一覆蓋有外殼體的反應(yīng)室上，該量測計固定裝置包括一固定板，其系固定于該外殼體上；一固定座，其系可移動地設(shè)置于該固定板上，用以固定該量測計，使該量測計的一端得以設(shè)置于該外殼體與該反應(yīng)室之間；以及第一彈性元件，其系設(shè)置于該外殼體與該固定座之間，用以抵頂該固定座，藉以避免該量測計向該反應(yīng)室方向移動。
2.如權(quán)利要求1所述的量測計固定裝置，其特征在于，該量測計為一溫度計。
3.如權(quán)利要求1所述的量測計固定裝置，其特征在于，該量測計為一壓力計。
4.如權(quán)利要求1所述的量測計固定裝置，其特征在于，該第一彈性元件為彈簧。
5.如權(quán)利要求1所述的量測計固定裝置，其特征在于，該第一彈性元件的一端固定于該外殼體，另一端則抵頂該固定座。
6.如權(quán)利要求1所述的量測計固定裝置，其特征在于，該量測計固定裝置還包括第二彈性元件，其設(shè)置于該外殼體與該固定座之間，用以提供一回復(fù)力予該固定座，藉以避免該量測計向該反應(yīng)室方向移動。
7.如權(quán)利要求6所述的量測計固定裝置，其特征在于，該第二彈性元件的長度系于該第一彈性元件的長度。
8.如權(quán)利要求6所述的量測計固定裝置，其特征在于，該第二彈性元件的剛性硬于該第一彈性元件的剛性。
9.如權(quán)利要求6所述的量測計固定裝置，其特征在于，該第二彈性元件的一端固定于該外殼體，另一端則當(dāng)該固定座向該反應(yīng)室方向移動而接觸該另一端時，用以抵頂該固定座。
10.如權(quán)利要求6所述的量測計固定裝置，其特征在于，該第二彈性元件為彈簧。
11.如權(quán)利要求1所述的量測計固定裝置，其特征在于，該固定板具有一溝槽。
12.如權(quán)利要求11所述的量測計固定裝置，其特征在于，該量測計固定裝置還具有一鎖固元件，其穿過該固定板的該溝槽而與該固定座相鎖固，用以使固定座內(nèi)的該量測計固定于一特定位置。
13.一種量測計結(jié)構(gòu)，應(yīng)用于一覆蓋有外殼體的反應(yīng)室，該量測計結(jié)構(gòu)包括一固定板，其系固定于該外殼體上；一固定座，具有一容置空間且可移動地設(shè)置于該固定板上；一量測計，其一端容置于該固定座的該容置空間內(nèi)，另一端則置于該外殼體與該反應(yīng)室之間，用以量測該反應(yīng)室之一物理參數(shù)；以及第一彈性元件，其設(shè)置于該外殼體與該固定座之間，用以抵頂該固定座，藉以避免該量測計向該反應(yīng)室方向移動。
14.如權(quán)利要求13所述的量測計結(jié)構(gòu)，其特征在于，該量測計結(jié)構(gòu)還包括第二彈性元件，其設(shè)置于該外殼體與該固定座之間，用以提供一回復(fù)力予該固定座，藉以避免該量測計向該反應(yīng)室方向移動。
15.如權(quán)利要求14所述的量測計結(jié)構(gòu)，其特征在于，該第二彈性元件的長度短于該第一彈性元件的長度。
16.如權(quán)利要求14所述的量測計結(jié)構(gòu)，其特征在于，該第二彈性元件的剛性硬于該第一彈性元件的剛性。
17.如權(quán)利要求6所述的量測計結(jié)構(gòu)，其特征在于，該第二彈性元件的一端固定于該外殼體，另一端則當(dāng)該固定座向該反應(yīng)室方向移動而接觸該另一端時，用以抵頂該固定座。
18.一種避免量測計燃燒的反應(yīng)室結(jié)構(gòu)，其包括一反應(yīng)室；一外殼體，其系覆蓋于該反應(yīng)室外；一固定板，其系連接于該外殼體；一固定座，具有一容置空間且可移動地設(shè)置于該固定板上；一量測計，其一端容置于該固定座的該容置空間內(nèi)，另一端則置于該外殼體與該反應(yīng)室之間，用以量測該反應(yīng)室的一物理參數(shù)；以及第一彈性元件，其設(shè)置于該外殼體與該固定座之間，用以抵頂該固定座，藉以避免該量測計向該反應(yīng)室方向移動而燃燒。
19.如權(quán)利要求18所述的避免量測計燃燒的反應(yīng)室結(jié)構(gòu)，其特征在于，該固定板是一體成型于該外殼體。
20.如權(quán)利要求18所述的避免量測計燃燒的反應(yīng)室結(jié)構(gòu)，其特征在于，該固定板藉由一連接裝置而固定于該外殼體。
21.如權(quán)利要求18所述的避免量測計燃燒的反應(yīng)室結(jié)構(gòu)，其特征在于，該避免量測計燃燒的反應(yīng)室結(jié)構(gòu)還包括第二彈性元件，其設(shè)置于該外殼體與該固定座之間，用以提供一回復(fù)力予該固定座，藉以避免該量測計向該反應(yīng)室方向移動。
22.如權(quán)利要求21所述的避免量測計燃燒的反應(yīng)室結(jié)構(gòu)，其特征在于，該第二彈性元件的長度短于該第一彈性元件的長度。
23.如權(quán)利要求21所述的避免量測計燃燒的反應(yīng)室結(jié)構(gòu)，其特征在于，該第二彈性元件的剛性硬于該第一彈性元件的剛性。
24.如權(quán)利要求21所述的避免量測計燃燒的反應(yīng)室結(jié)構(gòu)，其特征在于，該第二彈性元件的一端固定于該外殼體，另一端則當(dāng)該固定座向該反應(yīng)室方向移動而接觸該另一端時，用以抵頂該固定座。
全文摘要
本發(fā)明關(guān)于一種量測計固定裝置，用以固定一量測計至一覆蓋有外殼體的反應(yīng)室上，該量測計固定裝置包括一固定板，其固定于該外殼體上；一固定座，其可移動地設(shè)置于該固定板上，用以固定該量測計，使該量測計的一端得以設(shè)置于該外殼體與該反應(yīng)室之間；以及一第一彈性元件，其設(shè)置于該外殼體與該固定座之間，用以抵頂該固定座，藉以避免該量測計向該反應(yīng)室方向移動。
文檔編號H01L21/66GK1481006SQ0213684
公開日2004年3月10日 申請日期2002年9月6日 優(yōu)先權(quán)日2002年9月6日
發(fā)明者沈成剛 申請人:中芯國際集成電路制造(上海)有限公司, 中芯國際集成電路制造(上海)有限公