專利名稱：匣盤定位裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種匣盤定位裝置，尤其是指一種以匣盤的上側(cè)邊為定位基準(zhǔn)的匣盤定位裝置。由于匣盤上側(cè)邊具有較下側(cè)邊更為平整的表面、不易受外界的影響而變形且不會有下側(cè)邊常見的斷模面，故以匣盤的上側(cè)邊為定位基準(zhǔn)的匣盤定位裝置，可提供高準(zhǔn)確度的匣盤定位。
一片晶片(wafer)在經(jīng)過數(shù)百制程步驟到具有功能(function)的集成電路，該晶片尚必須經(jīng)過切割而成多個晶粒(die)，之后再進(jìn)行晶粒的測試和包裝(package)，其中為了方便晶粒的輸送和管理，晶粒是利用一種專門用于容納晶粒的匣盤加以承載。
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圖1所示，它用于承載晶粒2的匣盤1示意圖，該匣盤1為一方形平板，該匣盤1的四個側(cè)邊成階梯狀，該側(cè)邊包括一下側(cè)邊12和一上側(cè)邊14，其中上側(cè)邊14是位于下側(cè)邊12的上方內(nèi)側(cè)，該匣盤1的中間設(shè)有多個容置槽16，其中每一個容置槽16可以容納一個晶粒2，而將晶粒2送入匣盤1的容置槽16的步驟稱為上料。
由于晶粒2的面積相當(dāng)微小且尚未經(jīng)過測試，為了提高上料速度以及避免晶粒2受到污染，目前大部分半導(dǎo)體廣均利用機器手臂(圖中未示)進(jìn)行上料，雖然使用機器手臂可以使上料的速度加快，但是若是匣盤1沒有事先做好精確的定位，將會造成機器手臂執(zhí)行上的錯誤，即機器手臂無法準(zhǔn)確的將晶粒放置于匣盤1的容置槽16，進(jìn)而造成生產(chǎn)上的損失。
為了說明匣盤1定位的重要性，以下我們將以晶粒撿選機的上料過程作為說明。請參閱圖2所示，它為常規(guī)技術(shù)的晶粒撿選機3的示意圖，包括一置晶座32、一輸送帶34、一推爪36以及一機器手臂38。該置晶座32是用以承載切割后的晶片，晶片在切割后會形成多個晶粒2，因此將切割后的晶片放置于置晶座32上以便進(jìn)行上料。該輸送帶34具有一輸入端341、一輸出端342以及一撿選定位343，上料之前將空的匣盤1置手輸送帶34的輸入端341，并利用輸送帶34將匣盤1輸送至撿選定位343進(jìn)行上料，之后再將匣盤由輸出端342輸出，其中該輸送帶34一次可以輸送一個匣盤1或數(shù)個匣盤1，視上料的操作規(guī)劃而定，圖2所揭示的常規(guī)技術(shù)晶粒撿選機3為一次輸送一第一匣盤1與一第二匣盤1a的設(shè)計。
該推爪36呈L形狀，包括一樞軸361和一推桿362，該樞軸361設(shè)于輸送帶34的側(cè)邊，該推桿362位于輸送帶34的上方并與水平呈一適當(dāng)?shù)膴A角，由于輸送帶34只能大概地將第一匣盤1與第二匣盤1a輸送至撿選定位343，因此當(dāng)?shù)谝幌槐P1與第二匣盤1a到達(dá)撿選定位343附近時，推爪36的樞軸361會將推桿362轉(zhuǎn)動至水平位置，并驅(qū)動推爪36的推桿362推動第二匣盤1a的下側(cè)邊12，由于第一匣盤1是位于第二匣盤1a的前方，故該推桿362可同時推動第一匣盤1與第二匣盤1a至撿選定位343。
該機器手臂38具有上料的功能，它可以將晶粒2由置晶座32之中取出，再放置于匣盤1的容置槽16中，直到輸送帶34上的第一匣盤1與第二匣盤1a均裝滿晶粒2。
但是，匣盤1本身為塑膠材質(zhì)，其下側(cè)邊12通常為斷模面，會有制造過程所殘留的粗糙毛邊，且下側(cè)邊12是位于匣盤1的最外側(cè)，易受外界的影響而變形，例如，溫度變化、外力碰撞而造成下側(cè)邊12的表面不平整。但是常規(guī)技術(shù)的晶粒撿選機3在進(jìn)行匣盤1的精確定位時，是以匣盤1的下側(cè)邊12為基準(zhǔn)，而由于下側(cè)邊12表面本身就并非平整，以致無法使匣盤1精確地定位于撿選定位343，造成機器手臂38無法精確地執(zhí)行上料的動作，造成生產(chǎn)上的損失。
本實用新型的目的在于提出一種由固定座、定位單元和驅(qū)動單元所組成的匣盤定位裝置。它具有定位精度高的特點，從而解決了現(xiàn)有技術(shù)所存在的問題。
本實用所采用的技術(shù)方案在于它包括有一固定座；至少一定位單元，它固定于該固定座，該至少一定位單元包含有與一匣盤的數(shù)個上側(cè)邊相對應(yīng)的數(shù)個側(cè)邊；以及至少一驅(qū)動單元，它固定于該固定座，該至少一驅(qū)動單元是與該定位單元相連接；其中，該至少一定位單元是由該至少一驅(qū)動單元驅(qū)動，使該匣盤的數(shù)個上側(cè)邊與該至少一定位單元的數(shù)個側(cè)邊緊密接合。
本實用新型又可采用的技術(shù)方案在于它包括有一固定座；至少一定位單元，它固定于該固定座，該至少一定位單元包含有與一匣盤的數(shù)個上側(cè)邊相對應(yīng)的數(shù)個側(cè)邊；以及至少一驅(qū)動單元，它固定于該固定座，該至少一驅(qū)動單元是與該定位單元相連接；其中，該匣盤是借該至少一驅(qū)動單元驅(qū)動，使該匣盤的數(shù)個上側(cè)邊與該至少一定位單元的數(shù)個側(cè)邊緊密接合。
本實用新型又可采用的技術(shù)方案在于它包括有一固定座；至少一定位單元，它固定于該固定座，該至少一定位單元是包含有數(shù)個側(cè)邊，該數(shù)個側(cè)邊的內(nèi)緣分別設(shè)有一導(dǎo)角，該導(dǎo)角分別與一匣盤的數(shù)個上側(cè)邊相對應(yīng)；以及至少一驅(qū)動單元，它固定于該固定座，該至少一驅(qū)動單元是與該定位單元相連接；其中，該至少一定位單元是由該至少一驅(qū)動單元驅(qū)動，使該匣盤的數(shù)個上側(cè)邊受到導(dǎo)角的調(diào)整，與該至少一定位單元的數(shù)個側(cè)邊緊密接合。
本實用新型還可采用的技術(shù)方案在于它包括有一固定座；至少一驅(qū)動單元，它固定于該固定座；以及至少一定位單元，它包含有一第一彈性元件，它與該驅(qū)動單元相連接；一第二彈性元件，它固定于該固定座的一側(cè)；以及一定位元件，它固定于該固定座，且它設(shè)有一第一側(cè)邊與一第二側(cè)邊，該第一側(cè)邊及該第二側(cè)邊是與一匣盤的一第一上側(cè)邊及一第二上側(cè)邊相對應(yīng)；其中，該至少一驅(qū)動單元借第一彈性元件驅(qū)動該匣盤，可使該匣盤的第一上側(cè)邊與該定位元件的第一側(cè)邊緊密接合，且該第二彈性元件可使該匣盤的第二上側(cè)邊與該定位元件的第二側(cè)邊緊密接合。
本實用新型的特點在于，它可以提高匣盤的定位精度，增加機器手臂上料的成功率，從而降低了生產(chǎn)成本。
圖1為匣盤1的示意圖。
圖2為常規(guī)技術(shù)的晶粒撿選機3的示意圖。
圖3A、圖3B為本實用新型的匣盤定位裝置4第一較佳實施例的示意圖。
圖4A、圖4B與圖4C為本實用新型的匣盤定位裝置5第二較佳實施例的示意圖。
圖5為本實用新型的匣盤定位裝置6第三較佳實施例的立體分解圖。
圖6為本實用新型的一匣盤定位裝置6第三較佳實施例的定位過程示意圖。
圖7為本實用新型的一匣盤定位裝置6第三較佳實施例的定位示意圖。
為了解決上述常規(guī)技術(shù)中的問題，實用新型結(jié)合上述各附圖來進(jìn)一步說明本實用新型較佳具體實施例。
請參閱圖3A與圖3B所示，它為本實用新型的一匣盤定位裝置4的第一較佳實施例示意圖，該匣盤定位裝置4包括一定位單元42和一驅(qū)動單元44，該定位單元42由四個側(cè)邊421組合而成，其中上述四個側(cè)邊421的內(nèi)緣分別設(shè)有一導(dǎo)角423，上述導(dǎo)角423與匣盤1的上側(cè)邊14呈精確配合，又該定位單元42的一側(cè)邊421上設(shè)有一樞軸425，該驅(qū)動單元44與該樞軸425相連接。
匣盤定位裝置4的定位單元42在未進(jìn)行匣盤1定位時，是與水平呈一適當(dāng)仰角，而匣盤1則約略地置于定位單元42的下方，此時驅(qū)動單元44將驅(qū)動定位單元42轉(zhuǎn)動，當(dāng)定位單元42轉(zhuǎn)動至水平位置時，匣盤1的上側(cè)邊14將會受到導(dǎo)角423的調(diào)整，使匣盤1被拘束于定位單元42的四個側(cè)邊421之中，進(jìn)而達(dá)到匣盤1如圖3B所示的精確定位。
請參閱圖4A、圖4B、圖4C所示，它為本實用新型的一匣盤定位裝置5第二較佳實施例的示意圖，該匣盤定位裝置5是應(yīng)用于晶粒撿選機3的一第一匣盤1與一第二匣盤1a同時定位，它包括一第一定位單元52、一第二定位單元54和一驅(qū)動單元56，該第一定位單元52是由四個第一側(cè)邊521組合而成，上述四個第一側(cè)邊521的內(nèi)緣分別設(shè)有一第一導(dǎo)角523，該第一導(dǎo)角523是與第一匣盤1的上側(cè)邊14呈精確配合；該第二定位單元54是由四個第二側(cè)邊541組合而成，并且以其中的一第二側(cè)邊541和第一定位單元52的一第一側(cè)邊521相結(jié)合，又上述四個側(cè)邊541的內(nèi)緣分別設(shè)有一第二導(dǎo)角543，該第二導(dǎo)角543是與第二匣盤1a上側(cè)邊14a呈精確配合，又上述第一定位單元52與第二定位單元54在同一邊的第一側(cè)邊521上與第二側(cè)邊541上設(shè)有一貫穿的樞軸527，該第一定位單元52與第二定位單元54是以該樞軸527為圓心，作旋轉(zhuǎn)掀合動作。
第二較佳實施例的匣盤定位裝置5是設(shè)置于輸送帶34的撿選定位343處，該匣盤定位裝置5的第一定位單元52、第二定位單元54在未進(jìn)行匣盤定位時，是與水平呈一適當(dāng)仰角，該晶粒撿選機3是利用輸送帶34一次輸出一第一匣盤1與一第二匣盤1a，上述第一匣盤1與第二匣盤1a經(jīng)過推爪36的調(diào)整后，其位置大約分別設(shè)于第一定位單元52與第二定位單元54的下方，此時驅(qū)動單元56將驅(qū)動第一定位單元52與第二定位單元54轉(zhuǎn)動，當(dāng)?shù)谝欢ㄎ粏卧?2與第二定位單元54、轉(zhuǎn)動至水平位置時，第一匣盤1的上側(cè)邊12與第二匣盤1a的上側(cè)邊12a將分別受到第一導(dǎo)角523與第二導(dǎo)角543的調(diào)整，使第一匣盤1與第二匣盤1a如圖4C所示，分別被拘束于第一定位單元52的四個第一側(cè)邊521與第二定位單元54的四個第二側(cè)邊541之中，進(jìn)而達(dá)到第一匣盤1與第二匣盤1a的精確定位。
請參閱圖5、圖6與圖7所示，它分別為本實用新型的一匣盤定位裝置6第三較佳實施例的立體分解圖、定位過程立體圖與定位立體圖，該匣盤定位裝置6包括一第一驅(qū)動單元62與一定位單元64。該第一驅(qū)動單元62包含有一氣缸621與一匣盤推拉桿623，該匣盤推拉桿623是固定于該氣缸621；該定位單元64包含有一定位基座641、一定位塊642、一第一定位彈片643與一第二定位彈片644，其中該定位塊642還具有一突出的凸邊擋塊645，且與該第二定位彈片644是分別設(shè)于該定位基座641適當(dāng)位置，該第一定位彈片643是固定于該匣盤推拉桿623，該第二定位彈片644的右側(cè)進(jìn)口彎曲處還設(shè)有一第三側(cè)邊646，且該第二定位彈片644右側(cè)第三側(cè)邊646由彎轉(zhuǎn)直后的位置還設(shè)有一第四側(cè)邊647，該定位塊642面對匣盤71方向設(shè)有一第一側(cè)邊648，該凸邊擋塊645內(nèi)側(cè)設(shè)有一第二側(cè)邊649，且該第一側(cè)邊648與該第二側(cè)邊649是互相垂直。
請參閱圖6與圖7所示，它為本實用新型的一匣盤定位裝置6第三較佳實施例的定位過程示意圖與定位示意圖，一匣盤71具有一第一上側(cè)邊711、一第二上側(cè)邊712，一第三上側(cè)邊713與一第一下側(cè)邊714，其中第一上側(cè)邊711及第二上側(cè)邊712分別與第三上側(cè)邊713及第一下側(cè)邊714相互平行，且第一上側(cè)邊711與第二上側(cè)邊712相互垂直。匣盤71自一輸出入位置72，由一第二驅(qū)動單元73將匣盤71推動至定位基座641上，如圖7所示的匣盤約略位置，此時，該第一定位彈片643已位於匣盤71后方，故該匣盤71是位於定位塊642與第一定位彈片643之間，且匣盤71的第一下側(cè)邊711是介于第二定位彈片644的第三側(cè)邊646與凸邊擋塊645的第二側(cè)邊649之間，系統(tǒng)控制軟件於此時發(fā)出一定位指令，啟動氣缸621，藉匣盤推拉捍623拉動第一定位彈片642，該第一定位彈片643的勾狀部分即拉動匣盤71的第三上側(cè)邊713，使匣盤71向定位塊642方向移動，此時匣盤71的第一上側(cè)邊711向定位塊642的第一側(cè)邊648接近，且匣盤71的第一上側(cè)邊711已剛通過第二定位彈片644的第三側(cè)邊646與凸邊擋塊645的第二側(cè)邊649之間較寬的入口處，正進(jìn)入第二定位彈片644的第四側(cè)邊647與凸邊擋塊645的第二側(cè)邊649所設(shè)置恰可容納匣盤71寬度的位置，當(dāng)匣盤71進(jìn)一步向定位塊642接近時，第一定位彈片643拉力使匣盤71的第一上側(cè)邊711與定位塊642的第一側(cè)邊648緊密接合，同時，第二定位彈片644的彈力令匣盤71的第二上側(cè)邊712與凸邊擋塊645的第二側(cè)邊649緊密接合，故相互垂直的第一側(cè)邊648與第二側(cè)邊649以匣盤71的第一上側(cè)邊711與第二上側(cè)邊712為基準(zhǔn)，完成匣盤71的準(zhǔn)確定位。
由於晶粒撿選機3借由匣盤定位裝置4，匣盤定位裝置5或匣盤定位裝置6的定位后，確實可以使匣盤的定位精確度提高，增加機器手臂38上料的成功率，從而降低生產(chǎn)成本。
以上所述的為本實用新型的較佳實施例，不應(yīng)用於局限本實用新型的可實施范圍，凡根據(jù)本實用新型的內(nèi)容所作的部份修改，而未違背本實用新型的精神時，皆仍應(yīng)屬本實用新型權(quán)利要求書保護(hù)的范圍。
權(quán)利要求1.一種匣盤定位裝置，其特征在於它包含中一固定座至少一定位單元，它固定於該固定座，該至少一定位單元包含有與一匣盤的數(shù)個上側(cè)邊相對應(yīng)的數(shù)個側(cè)邊；以及至少一驅(qū)動單元，它固定於該固定座，該至少一驅(qū)動單元是與該定位單元相連接，該至少一定位單元是由該至少一驅(qū)動單元驅(qū)動。
2.如權(quán)利要求1所述的匣盤定位裝置，其特征在於所述的定位單元；其數(shù)個側(cè)邊是可為四側(cè)邊，且該匣盤的數(shù)個上側(cè)邊為四上側(cè)邊。
3.一種匣盤定位裝置，其特征在於它包含有一固定座；至少一定位單元，它固它於該固定座，該至少一定位單元包含有與一匣盤的數(shù)個上側(cè)邊相對應(yīng)的數(shù)個側(cè)邊；以及至少一驅(qū)動單元，它固定於該固定座，該至少一驅(qū)動單元是與該定位單元相連接，該匣盤是該至少一驅(qū)動單元驅(qū)動。
4.如權(quán)利要求3所述的匣盤定位裝置，其特征在於所述的至少一定位單元，其數(shù)個側(cè)邊為四側(cè)邊，且該匣盤的數(shù)個上側(cè)邊為四上側(cè)邊。
5.一種匣盤定位裝置，其特征在於它包含有一固定座，至少一定位單元，它固定于該固定座，該至少一定位單元是包含有數(shù)個側(cè)邊，該數(shù)個側(cè)邊的內(nèi)緣分別設(shè)有一導(dǎo)角，該導(dǎo)角分別與一匣盤的數(shù)個上側(cè)邊相對應(yīng)；以及至少一驅(qū)動單元，它固定於該固定座，該至少一驅(qū)動單元是與該定位單元相連接，該至少一定位單元是由該至少一驅(qū)動單元驅(qū)動。
6.如權(quán)利要求5所述的匣盤定位裝置，其特征在於所述的至少一定位單元，其數(shù)個側(cè)邊為四側(cè)邊，且該匣盤數(shù)上側(cè)邊為四上側(cè)邊。
7.如權(quán)利要求5所述的匣盤定位裝置，其特征在於所述的至少一定位單元，它包含數(shù)個定位單元，該數(shù)個定位單元的一側(cè)邊設(shè)於同一直線上。
8.一種匣盤定位裝置，其特征在於它包含有一固定座；至少一驅(qū)動單元，它固定於該固定座；以及至少一定位單元，它包含有一第一彈性元件，它與該驅(qū)動單元相連接；一第二彈性元件，它固一於該固定座的一側(cè)；以及一定位元件，它固定於固定座，且它設(shè)有一第一側(cè)邊與一第二側(cè)邊，該第一側(cè)邊及該第二這是與一匣盤的一第一上側(cè)邊及一第二上邊相對應(yīng)；其中，該至少一驅(qū)動單元由第一彈性元件驅(qū)動該匣盤，該匣盤的第一上側(cè)邊與該定位元件的第一側(cè)邊緊密接合，且該第二彈性中使該匣盤的第二上側(cè)邊與該定位元件的第二側(cè)邊緊密接合。
9.如權(quán)利要求8所述的匣盤定位裝置，其特征在於所述的定位元件，其第一側(cè)邊與一第二側(cè)邊相互垂直，且該匣盤的第一上側(cè)邊與第二上側(cè)邊相互垂直。
10.如權(quán)利要求8所述的匣盤定位裝置，其特征在於所述的第一彈性元件，它與該第二彈性元件為一彈性元件，該彈性元件是指向該定位元件的第一側(cè)邊與第二側(cè)邊相交的一定位角，且該彈性元件是由匣盤距離該定位角最遠(yuǎn)的一對角驅(qū)動該匣盤。
專利摘要本實用新型涉及一種匣盤定位裝置，它包含有一驅(qū)動單元與一定位單元，其中該定位單元設(shè)有與一匣盤的數(shù)個上側(cè)邊相對應(yīng)的數(shù)個側(cè)邊。本實用新型匣盤定位裝置是借驅(qū)動單元推動，使匣盤的數(shù)個上側(cè)邊與定位單元的數(shù)個側(cè)邊緊密接合，從而達(dá)到以匣盤上側(cè)邊為基準(zhǔn)，準(zhǔn)確定位的匣盤定位裝置。
文檔編號H01L21/67GK2476101SQ0121914
公開日2002年2月6日 申請日期2001年4月9日 優(yōu)先權(quán)日2001年4月9日
發(fā)明者呂文镕, 劉錦源, 鄭賢豪, 賴俊魁, 黃朝顯, 林知明 申請人:財團(tuán)法人工業(yè)技術(shù)研究院