專利名稱：將潤滑劑涂層沉積在硬磁盤上用的設(shè)施的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明通常涉及將潤滑劑涂層沉積在硬磁盤上用的設(shè)施，并且更具體地，涉及這 樣一種設(shè)施，其包括由承載將要用源自蒸汽的潤滑劑涂層涂覆的硬磁盤的盒子所橫過的路 徑，其中所述路徑具有至少一個90°轉(zhuǎn)彎。本發(fā)明的又一方面涉及將潤滑劑涂層沉積在硬 磁盤上的設(shè)施，其中所述設(shè)施包括在真空環(huán)境中基本上同時將潤滑劑涂層沉積在多個硬磁 盤上的布置。本發(fā)明的另一方面涉及將潤滑劑涂層真空沉積在硬磁盤上的設(shè)施，其中承載 硬磁盤的多個盒子同時定位于裝載和/或卸載真空鎖中。本發(fā)明的附加方面涉及將潤滑劑 涂層真空沉積在硬磁盤上的設(shè)施，其中承載硬磁盤的多個盒子同時定位于裝載真空鎖和用 來將蒸汽潤滑劑涂層沉積在硬磁盤上的模塊之間的緩沖地帶中。本發(fā)明的另一個方面涉及 將潤滑劑涂層沉積在硬磁盤上用的設(shè)施，其中這個段落中前面闡明的特點結(jié)合起來。
背景技術(shù)：
Hughes等的美國專利6，183，831 (通過參考結(jié)合于此)公開了一種通過在真空環(huán) 境中將蒸汽(也就是，氣態(tài)的)形式的潤滑劑施加至硬磁盤的磁性層來用潤滑劑薄膜涂覆 硬磁盤用的設(shè)施。潤滑劑優(yōu)選地是如美國專利5，776，577中公開的全氟聚醚(PFPE)。硬磁 盤裝載入分別經(jīng)由裝載鎖和卸載鎖輸送進出真空環(huán)境的盒子。真空環(huán)境包括其中單個磁盤 用潤滑劑蒸汽涂覆的單個處理腔室。在單個加工間隔期間，磁盤在兩側(cè)上被涂覆。單個處 理腔室包括將硬磁盤從盒子提升入處理腔室的一部分中的提升葉片，盤在該部分中暴露至 潤滑劑蒸汽。在涂覆操作已經(jīng)完成之后，提升葉片將硬磁盤返回至硬磁盤最初由此提升的 盒子。單個磁盤在其中用潤滑劑蒸汽涂覆的單個處理腔室處于12站圓盤傳送器噴涂工具 的下游。在特定盒子中的所有磁盤都已經(jīng)用潤滑劑涂覆之后，盒子穿過卸載門進入卸載鎖， 以完成處理。Hughes等的專利中描述的前述布置令人滿意，但是仍能改進。Hughes等的專利中 描述的設(shè)施的整個處理速度以及空間臺面面積分別能增大和降低。另外，存在著希望將潤 滑劑薄膜沉積到硬磁盤上的設(shè)施是與形成完整硬磁盤的設(shè)施的其它部分分開的單獨單元 的情況。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明包括幾個特點，每個包括用來將潤滑劑涂層沉積在適合裝載入盒子中的硬 磁盤上的設(shè)施。所述設(shè)施包括用于將盒子傳送穿過包括真空裝載鎖和真空卸載鎖的路徑的 布置。所述路徑還包括處于真空裝載和卸載鎖之間并且將潤滑劑蒸汽沉積在硬磁盤上的真 空處理模塊，其中沉積的潤滑劑蒸汽在硬磁盤上形成潤滑劑涂層。根據(jù)一個特點，所述路徑布置為將盒子轉(zhuǎn)動大約90°至少一次并且優(yōu)選地兩次。 優(yōu)選地，真空裝載和卸載鎖都將盒子轉(zhuǎn)動大約90°，以有助于提供具有較小臺面面積的設(shè) 施，不過將理解到，僅裝載或卸載鎖能如此布置或轉(zhuǎn)動布置能處于路徑中別的地方。根據(jù)另一個特點，所述路徑包括多個真空處理模塊，它們用來將潤滑劑蒸汽基本上同時地沉積到最初裝載入多個盒子中的多個硬磁盤上。通過基本上同時地將潤滑劑沉積 到多個硬磁盤上，生產(chǎn)率相對較高。另一個特點在于，裝載和卸載鎖中的至少一個布置為使得多個盒子能同時處于其 入口和出口區(qū)域之間。優(yōu)選地，裝載和卸載鎖都布置為使得多個盒子能同時處于其入口和 出口區(qū)域之間，以有助于增大生產(chǎn)率。然而，將理解到，僅裝載或卸載鎖能如此布置。另一個特點在于，路徑具有處于裝載鎖的出口區(qū)域和處理模塊之間的緩沖區(qū)域， 其中緩沖區(qū)域布置為使得多個盒子能同時處于其中。使得多個盒子能同時處于其中的緩沖 區(qū)域有助于增大生產(chǎn)率。優(yōu)選地，為了提供較高的生產(chǎn)率和較小的臺面面積，設(shè)施是如此的以使得緩沖區(qū) 域布置為使得兩個且不多于兩個的盒子能同時處于其中，并且裝載鎖包括分別位于裝載鎖 的入口和出口區(qū)域處的第一和第二閥，而卸載鎖包括分別位于卸載鎖的入口和出口區(qū)域處 的第三和第四閥。裝載鎖布置為使得兩個盒子能同時處于第一和第二閥之間，并且卸載鎖 布置為使得兩個盒子能同時處于第三和第四閥之間。真空裝載和卸載鎖布置為將盒子轉(zhuǎn)動 大約90°。該設(shè)施包括布置為將潤滑劑蒸汽同時沉積到兩個硬磁盤上的兩個處理模塊。非常小的臺面面積通過將該設(shè)施形成為在平面圖中大約U形來實現(xiàn)，所述U形具 有第一和第二平行且長度基本上相等的腿部，腿部由與第一和第二平行腿部成直角的基座 連接在一起。第一和第二腿部分別包括裝載和卸載鎖并且基座包括緩沖區(qū)域和所述兩個處 理模塊。腿部之間的間隔和腿部的長度足以在U形內(nèi)形成操作員區(qū)域，用來使得操作員能 (a)靠近定位于基座中的處理模塊以便維護和維修工作；(b)在第一腿部的與其遠(yuǎn)離基座 的端部靠近的部分處，將其中具有硬磁盤的盒子裝載到傳送器裝置上；以及(c)在第二腿 部的與其遠(yuǎn)離基座的端部靠近的部分處，將其中具有已經(jīng)在處理模塊中被涂覆的硬磁盤的 盒子從傳送器裝置移走。本發(fā)明的以上和其它目標(biāo)、特點和優(yōu)點在考慮下面對其具體實施例的詳細(xì)描述 (尤其是在結(jié)合附圖考慮時)之后將變得很明顯。


圖1是根據(jù)本發(fā)明的優(yōu)選實施例的獨立設(shè)施的透視圖，該設(shè)施用于將潤滑劑(潤 滑油)蒸汽沉積在穿過設(shè)施中的路徑傳送的盒子中的硬磁盤上；圖2是圖1所示設(shè)施的平面視圖，其中移走了裝載和卸載鎖上的蓋子以及緩沖模 塊；圖3是圖2的設(shè)施中裝載鎖和卸載鎖的透視圖；圖4是圖3中所示的結(jié)構(gòu)的分解視圖；圖5是圖3中所示的結(jié)構(gòu)的一部分的透視圖；圖6是圖5中所示的結(jié)構(gòu)的分解視圖；圖7是圖2的緩沖鎖的一部分的透視圖；圖8是圖7中所示的結(jié)構(gòu)的分解視圖；圖9是圖1和2中所示的處理模塊的透視圖；圖10是圖9中所示的結(jié)構(gòu)的分解視圖；圖11是圖9和10的處理模塊之一的傳輸區(qū)段的透視圖12是圖11中所示的結(jié)構(gòu)的分解視圖。
具體實施例方式現(xiàn)在參照圖1和2，其中用于將潤滑劑涂層蒸汽沉積在盒子(比如盒子102)中的 硬磁盤上的獨立式設(shè)施100放置于傳送器126上，傳送器126在檢測到盒子的存在時將盒 子102傳輸入設(shè)施110的平行腿部之一中。用于傳送器126的控制器安裝于其中的機殼 104具有足部106，足部106的高度可調(diào)節(jié)以確保設(shè)施100和腳輪108的平坦性，以使得機 殼和設(shè)施不太費勁地移動。在平面視圖中，如圖2中所示，設(shè)施100大致成形為U形，U形包括由基座114連 接在一起的兩個平行腿部110和112。機殼104還包括由基座120連接在一起的兩個平行 腿部116和118，腿部110和112以及基座114分別固定地安裝于基座120上。在腿部118 遠(yuǎn)離基座120的端部處，機殼104包括與基座120平行地延伸的附件122。附件122遠(yuǎn)離腿部118的端部與腿部116隔開以提供開口，用來使得操作員能進 入由機殼104的外壁形成的72—X96—矩形臺面面積內(nèi)的操作員區(qū)域124。在操作員區(qū)域 124內(nèi)時，操作員將承載待由設(shè)施100中的潤滑劑薄膜涂覆的硬磁盤的盒子裝載到電機驅(qū) 動的輥式傳送器裝置126上，傳送器裝置126在設(shè)施100以及腿部116遠(yuǎn)離基座120的端 部之間延伸。類似的電機驅(qū)動的輥式傳送器127在設(shè)施100和腿部118遠(yuǎn)離基座120的端 部之間延伸。適當(dāng)?shù)膫魉推餮b置可從華盛頓STRATUS自動化公司購得。在操作員區(qū)域114 內(nèi)時，操作員將盒子裝載到傳送器裝置126位于腿部116遠(yuǎn)離基座120的端部處的一部分 上。在操作員區(qū)域124內(nèi)時，操作員從傳送器裝置127卸載包括已經(jīng)由設(shè)施100中的潤滑 劑蒸汽涂覆的硬磁盤的盒子，卸載出現(xiàn)于腿部118遠(yuǎn)離基座120的端部處。在盒子102已經(jīng)裝載到傳送器裝置126位于腿部116遠(yuǎn)離基座120的端部處的那 部分上之后，傳送器裝置將盒子傳輸穿過打開的螺線管致動的間門閥130進入裝載鎖132 的入口端。裝載鎖132包括彼此相連接的第一和第二區(qū)域134和136，并且其間沒有閘門 閥，以使得兩個區(qū)域中的壓力相同。區(qū)域134和136的每個包括電機驅(qū)動的輥式傳送器。 在閘門閥130打開并且盒子102裝載入?yún)^(qū)域134和136時，在裝載鎖132的出口端處的螺 線管致動的閘門閥137閉合。區(qū)域134和136的每個足夠長以使得僅單個盒子102能定位 于其中，從而使得兩個盒子同時位于裝載鎖132中。在兩個盒子102已經(jīng)同時位于裝載鎖 132中之后，閘門閥130閉合。然后，安裝在裝載鎖132上的真空泵138將裝載鎖132中的 壓力從大氣壓降低至用于將盒子102傳輸至緩沖模塊140的適當(dāng)真空壓力。裝載鎖132的區(qū)域136包括具有電機驅(qū)動的輥式傳送器的90°轉(zhuǎn)盤，比如可從 Stratus自動化公司購得的轉(zhuǎn)盤。區(qū)域136中的轉(zhuǎn)盤將裝載入?yún)^(qū)域136中的盒子的縱向軸 線轉(zhuǎn)動90°。因此，轉(zhuǎn)盤將盒子102的縱向軸線從與腿部110的縱向?qū)?zhǔn)轉(zhuǎn)動至與基座114 的縱向?qū)?zhǔn)。在閘門閥130打開并且兩個盒子正由傳送器裝置126裝載入裝載鎖132時， 在區(qū)域136中的轉(zhuǎn)盤上的傳送器與區(qū)域134中的傳送器縱向地對準(zhǔn)。在傳送器裝置126已經(jīng)分別將第一個和第二個盒子102驅(qū)動入?yún)^(qū)域134和136，并 且閘門閥130和137已經(jīng)閉合之后且泵138正泵送出裝載鎖132時，區(qū)域136中的轉(zhuǎn)盤在第 一方向上轉(zhuǎn)動90°。當(dāng)在裝載鎖132中已經(jīng)獲得適合的真空壓力并且最初在區(qū)域136中的 盒子102已經(jīng)轉(zhuǎn)動90°之后，閘門閥137打開并且傳送器裝置126在區(qū)域136中的部分將
6最初在區(qū)域136中的盒子移動穿過閘門閥137。然后，區(qū)域136中的轉(zhuǎn)盤在第二方向(與第 一方向相反)上轉(zhuǎn)動90°，以使得區(qū)域136中的傳送器部分的縱向軸線再次與區(qū)域134中 的傳送器部分的縱向軸線對準(zhǔn)。然后，最初在區(qū)域134中的盒子102由區(qū)域134和136中 的傳送器部分移動進入?yún)^(qū)域136。區(qū)域136中的轉(zhuǎn)盤然后在第一方向上轉(zhuǎn)動90°，以將最 初在區(qū)域134中的盒子的縱向軸線轉(zhuǎn)動90°，從而使得其與基座114的縱向軸線對準(zhǔn)。區(qū) 域136中的傳送器然后將最初在區(qū)域134中的盒子縱向地移動穿過閘門閥137。然后閘門 閥137閉合并且轉(zhuǎn)盤在第二方向上轉(zhuǎn)動90°，然后閘門閥130打開。在閘門閥130打開并 且閘門閥137閉合時，兩個另外的盒子裝載入裝載鎖132并且重復(fù)前述過程。兩個盒子102在已經(jīng)穿過閘門閥137之后處于真空緩沖模塊140中，模塊140具有 兩個對準(zhǔn)且構(gòu)造相同的區(qū)域142和144，這兩個區(qū)域連接在一起。區(qū)域142和144在其間沒 有閘門閥之下彼此連接，以使得這兩個區(qū)域中具有相同的真空壓力。區(qū)域142和144的每 個包括連接至真空泵的螺線管致動的粗抽閥(rough valve)，真空泵在緩沖模塊中達(dá)到適 合的真空壓力，使得能將潤滑劑蒸汽涂覆在盒子102中的硬磁盤上。區(qū)域142和144的每 個還包括電機驅(qū)動的輥式傳送器。在閘門閥137打開并且預(yù)先在裝載鎖132中的盒子102 由裝載鎖132和緩沖模塊140中的傳送器移動入緩沖模塊140時，緩沖模塊140的出口端 處的螺線管致動的閘門閥146閉合。區(qū)域142和144的每個足夠長以便使得單個盒子102 能定位于其中，從而使得兩個盒子同時位于緩沖模塊140中。在傳送器裝置126已經(jīng)將兩 個盒子102裝載于緩沖模塊140中以使得第一個盒子在區(qū)域142中并且第二個盒子在區(qū)域 144中之后，閘門閥137閉合。在處理模塊150準(zhǔn)備接收緩沖模塊140中的盒子中的磁性硬 盤時，閘門閥146打開并且緩沖模塊140和處理模塊150中的傳送器將這兩個盒子傳輸入 處理模塊150。處理模塊150包括兩個連接在一起的對準(zhǔn)且構(gòu)造相同的區(qū)域152和154。區(qū)域152 和154彼此連接。區(qū)域152和154通過其間的螺線管致動的閘門閥155彼此連接，以使得 磁性硬盤在區(qū)域152中的處理不影響硬盤在區(qū)域154中的處理，反之亦然。為了有助于在 區(qū)域152和154的每個中維持適合的真空壓力，每個區(qū)域承載單獨的真空泵157，其在中間 沒有閥之下直接連接至每個區(qū)域中的腔室。區(qū)域152和154的每個包括電機驅(qū)動的輥式傳送器。在閘門閥146打開并且緩沖 模塊140和處理模塊150中的傳送器分別將第一和第二盒子裝載入?yún)^(qū)域152和154時，處 理模塊150的出口端處的螺線管致動的閘門閥156閉合。每個區(qū)域152和154足夠長以便 兩個盒子102能同時定位于其中。在盤的涂覆期間，兩個盒子102絕不會同時定位于區(qū)域 152或154中，盡管兩個盒子同時處于處理模塊150中。在兩個盒子102已經(jīng)定位于處理模 塊150中以使得第一個盒子位于區(qū)域152中并且第二個盒子位于區(qū)域154中之后，閘門閥 146和156閉合。區(qū)域152和154的每個包括傳輸區(qū)段158和處理區(qū)段160。傳輸區(qū)段158的每個 包括(1)用于將盒子傳輸穿過特定區(qū)域152或154的電機驅(qū)動的輥式傳送器，以及(2)用 于將特定區(qū)域中的盒子中的每個磁性硬盤分別提升入該區(qū)域的處理區(qū)段160的螺線管致 動的提升葉片組件。每個處理區(qū)段160能根據(jù)前述美國專利6，183，831中的公開來構(gòu)造， 但是優(yōu)選地根據(jù)2007年3月29日申請的名稱為“經(jīng)由包括選擇性地打開和閉合的遮擋板 將潤滑劑蒸汽施加至硬磁盤用的裝置以及方法”的同樣未決的共同受讓的屬于Petersen等的序列號No. 11/693,039中的公開來構(gòu)造，該公開通過參照結(jié)合于此。在區(qū)域152和154中的提升葉片組件已經(jīng)將區(qū)域152和154的每個中的磁性硬盤 分別從這些區(qū)域中的盒子提升入這些區(qū)域的處理區(qū)段160并且硬盤靜止不動且在處理區(qū) 段160中處于適當(dāng)?shù)奈恢弥?，區(qū)域152和154的處理區(qū)段160致動為將蒸汽潤滑油薄膜 涂覆在區(qū)域152和154的兩個處理區(qū)段中的磁性硬盤上。因此，潤滑油薄膜能同時或大致 同時施加至已經(jīng)提升入?yún)^(qū)域152和154的處理區(qū)段160中的位置處的兩個不同的磁性硬盤 上。在磁性硬盤已經(jīng)在特定區(qū)域152或154的處理區(qū)段160中處理之后，特定區(qū)域中 的提升葉片組件將已處理過的磁性硬盤返回至留在特定區(qū)域中的盒子。然后，特定區(qū)域中 的傳送器裝置將特定區(qū)域中的盒子向前移動入特定區(qū)域的傳輸區(qū)段158中，以使得盒子中 的下一個磁性硬盤在特定區(qū)域的提升葉片上方。下一個磁性硬盤然后從盒子提升入特定區(qū) 域的處理區(qū)段160并且重復(fù)這個處理直到已經(jīng)涂覆特定盒子中的所有磁性硬盤。在區(qū)域152和154的盒子中的所有磁性硬盤都已經(jīng)用潤滑油薄膜涂覆之后，區(qū)域 152和154中的盒子的前面(也就是前沿)邊緣分別緊鄰閉合的閘門閥155和156。這時， 緩沖模塊140和處理模塊150之間的閘門閥146閉合。然后，閘門閥155和156打開并且 區(qū)域154中的傳送器裝置將在區(qū)域154中已處理過的盒子傳送入卸載鎖162的區(qū)域161，而 區(qū)域152和154中的傳送器裝置將在區(qū)域152中已處理過的盒子傳送入?yún)^(qū)域154。在區(qū)域 154中已處理過的盒子迅速移動穿過卸載鎖162的區(qū)域161并且在區(qū)域152中已處理過的 盒子然后迅速從區(qū)域154移動入卸載鎖162的區(qū)域161，區(qū)域154沒有處理事先在區(qū)域152 中已處理過的硬盤。在區(qū)域152中已處理過的盒子已經(jīng)移動入卸載鎖162的區(qū)域161之后，閘門閥156 閉合，然后閘門閥146打開，而閘門閥155保持打開。然后模塊140和150中的傳送器將緩 沖模塊140中空載的兩個盒子移動入處理模塊150，并且重復(fù)這個過程。卸載鎖162與裝載鎖132構(gòu)造相同，除了卸載鎖162中的轉(zhuǎn)盤和閥以與裝載鎖132 相反的方式操作以外。因此，卸載鎖162包括區(qū)域163以及90°轉(zhuǎn)盤定位于此的區(qū)域161。 螺線管致動的出口閘門閥166位于區(qū)域163遠(yuǎn)離設(shè)施100的基座114的端部處。操作中，在區(qū)域154中已處理過的盒子已經(jīng)從區(qū)域154穿過閘門閥156進入?yún)^(qū)域 161并且已經(jīng)由區(qū)域161中的轉(zhuǎn)盤在第一方向上轉(zhuǎn)動90°并且被傳輸進入?yún)^(qū)域163之后， 區(qū)域161中的轉(zhuǎn)盤在第二相反方向上轉(zhuǎn)動90°并且在區(qū)域152中已處理過的盒子穿過閘門 156傳輸?shù)絽^(qū)域161中的轉(zhuǎn)盤上。然后閘門閥156閉合并且區(qū)域161中的轉(zhuǎn)盤在第一方向 上轉(zhuǎn)動90°以使得區(qū)域161和163中的盒子對準(zhǔn)并且其縱向軸線在與腿部112相同的方向 上延伸。然后閘門閥166打開并且卸載鎖162中的盒子傳輸至機殼裝置的腿部118上的傳 送器區(qū)段127。操作員從傳送器區(qū)段127移走盒子，然后從盒子移走完成的磁性硬盤，盒子 被再次使用?，F(xiàn)在參照圖3-6，其中圖3和4分別是裝載鎖132的透視圖和分解透視圖并且圖5 和6分別是裝載鎖132的區(qū)域136的透視圖和分解透視圖。區(qū)域134和136分別包括金屬 的立方體形殼體202和204。殼體202的底板包括通道(未示出)，其由螺線管致動的高真 空閥205選擇性地結(jié)合至高真空渦輪泵138。閥205由殼體202的頂部上的壓力傳感器裝 置207控制。
殼體202包括一對平行壁205 (僅示出其中的一個)，其中定位有盒子102穿過其 中的對準(zhǔn)的孔徑206 (僅示出其中的一個)，而殼體204包括壁208和210，它們彼此成直 角并且分別包括盒子穿過其中的孔徑212和214。包括孔徑218的墊片216位于殼體202 和204的相鄰平行壁205和208之間并且與之鄰接?？讖?06、212和218彼此對準(zhǔn)并且在 閘門閥130打開時與閘門閥130中的孔徑220對準(zhǔn)，以使得盒子由殼體202的底部中的電 機驅(qū)動的傳送輥222傳輸穿過打開的孔徑220進入殼體204。輥222由殼體202承載的電 機225驅(qū)動。孔徑220由相對于孔徑220驅(qū)動遮擋板(未示出)上下的桿222中的螺線管 (未示出)選擇性地打開和閉合。與閘門閥130構(gòu)造相同的閘門閥137包括與殼體204的 壁210中的孔徑214對準(zhǔn)的孔徑224。殼體204的底板包括轉(zhuǎn)盤226，其由殼體204承載的電機228繞著豎直軸線順時 針和逆時針地轉(zhuǎn)動90°。轉(zhuǎn)盤226承載由電機228驅(qū)動的傳送輥230。離合器裝置(未示 出)使得電機228在相互排斥的時刻驅(qū)動轉(zhuǎn)盤226和輥230，這是必要的，因為殼體204中 的盒子一直被縱向地驅(qū)動并且在相互排斥的時刻轉(zhuǎn)動。電機228和連接至此的離合器由安 裝在殼體204的頂板上的位置傳感器裝置232控制。現(xiàn)在參照圖7和8，它們分別是緩沖模塊140的區(qū)域142的透視圖和分解透視圖。 由于緩沖模塊140的區(qū)域142和144相同，所以僅示出和描述區(qū)域142。區(qū)域142包括金屬的立方體形殼體302，其底板包括連接至粗抽閥306的通道 304，粗抽閥306選擇性地連接至低速真空泵(未示出)。粗抽閥306包括由螺線管308選 擇性地打開和閉合的遮擋板(未示出)。通常，閥306的遮擋板保持打開并且殼體302的內(nèi) 部通常保持處于真空狀態(tài)。閥306的遮擋板閉合，用于區(qū)域142的維護。殼體302包括平行的壁310和312，其中分別定位有盒子102穿過其中的對準(zhǔn)的孔 徑314和316。面板318承載傳送輥320和驅(qū)動傳送輥的電機322。面板318固定地安裝 在壁324上，壁324處于壁310和312之間并且與它們成直角。面板318套在壁322中的 矩形開口 324上，引起輥320以及捕獲輥并且由面板318承載的通道326固定地安裝在殼 體302內(nèi)部。殼體302還包括與壁322平行的壁328。壁328包括通常由圓形板332覆蓋的圓 形孔眼330。在板332從孔眼330移走時，殼體302內(nèi)的部件能通過孔眼維護。殼體302的 頂板承載用來控制驅(qū)動傳送輥320的電機322的位置傳感器裝置334?，F(xiàn)在參照圖9-12，其中圖9和10分別是處理模塊150的透視圖和半分解透視圖， 并且圖11和12分別是處理模塊150的區(qū)域152和154之一的傳輸區(qū)段158的透視圖和半 分解透視圖。由于區(qū)域152和154基本上相同，所以僅描述區(qū)域152。區(qū)域152包括金屬殼體402，其成形為包括兩個平行壁404 (僅示出其中的一個) 的直角平行六面體。壁404包括盒子102能穿過其中的對準(zhǔn)的孔徑406。平行的壁404與 壁408 (僅示出其中的一個)成直角，在壁404之間的長度比兩個縱向地對準(zhǔn)的盒子的長度 稍微要大。區(qū)域152中的孔徑406與區(qū)域154中的相應(yīng)孔徑以及與圖4的閘門閥130相同 的螺線管致動的閘門閥155的孔徑408對準(zhǔn)。閘門閥155在區(qū)域152和154的相鄰表面 404之間，以使得閥155的相反表面鄰接區(qū)域152和154的相鄰表面404。殼體402的底板和頂板410包括對準(zhǔn)的細(xì)長槽412，每個槽具有與壁404平行的縱 向軸線(殼體402的底板以及底板中的槽未示出)。殼體402的底板中的槽定尺寸和定位為使得由提升葉片組件416承載的螺線管致動的提升葉片414能延伸穿過底板的槽，以嚙 合殼體402的盒子中的磁性硬盤并將其提升進入處理區(qū)段160。頂板410中的槽412定尺 寸和定位為使得已經(jīng)由葉片414從傳輸區(qū)段158中的盒子提升的磁性硬盤被驅(qū)動進入處理 區(qū)段160。推進盒子穿過壁404之間的殼體402并且有助于移動盒子穿過開口 406的電機驅(qū) 動的輥式傳送器418大致延伸穿過壁404之間的殼體的長度。由兩個順序的縱向?qū)?zhǔn)的部 分構(gòu)成的傳送器418由板420以與傳送器320由板318承載的類似方式承載。傳送器418 的這兩個部分分別由被板420承載的電機422驅(qū)動。固定地安裝在殼體402的頂板上的處理區(qū)段160包括涂覆腔室424以及固定地安 裝在涂覆腔室的相反外表面上的蒸汽源426和428。蒸汽源426和428同時將潤滑油蒸汽 供應(yīng)至磁性硬盤的相反平行表面，磁性硬盤已經(jīng)由葉片414提升穿過槽412進入涂覆腔室 424。處理區(qū)段160包括傳感器裝置，在特定磁性硬盤已接收適當(dāng)數(shù)量的蒸汽潤滑油時，該 傳感器裝置確定導(dǎo)出信號。該信號控制提升葉片414的螺線管驅(qū)動器，以引起提升葉片降 低從而將已處理過的磁性硬盤從涂覆腔室424移走。由于分開的磁性硬盤通常同時處于區(qū) 域152和154的涂覆腔室424中，所以四個磁性硬盤表面通常同時由潤滑油涂覆。雖然已描述和示出了本發(fā)明的具體實施例，但是很清楚，具體示出和描述的實施 例的細(xì)節(jié)變化可不脫離如所附權(quán)利要求限定的真實精神和范圍之下做出。舉例來說，設(shè)施 100的U形不是一直必要的，并且不是一直需要使用能一次處理兩個盒子的裝載鎖、卸載 鎖、緩沖模塊和處理模塊。然而，U形設(shè)施和一次能處理兩個盒子的裝載鎖、卸載鎖、緩沖模 塊以及處理模塊在提供高生產(chǎn)速度的同時最小化臺面面積方面提供了最佳的折中。
權(quán)利要求
一種將潤滑劑涂層沉積在適合裝載于盒子中的硬磁盤上用的設(shè)施，所述設(shè)施包括用來將盒子傳送穿過一路徑的裝置，所述路徑包括(a)真空裝載鎖，(b)真空卸載鎖，以及(c)用來將潤滑劑蒸汽沉積到硬磁盤上的真空處理模塊，所述處理模塊布置為使得沉積的潤滑劑蒸汽能在硬磁盤上形成潤滑劑涂層，所述處理模塊位于真空裝載鎖和卸載鎖之間，所述路徑布置為至少一次將盒子轉(zhuǎn)動大約90°。
2.根據(jù)權(quán)利要求1的設(shè)施，其中真空裝載鎖和真空卸載鎖中的至少一個是布置為將盒 子轉(zhuǎn)動90°的路徑的一部分。
3.根據(jù)權(quán)利要求2的設(shè)施，其中裝載鎖包括分別位于裝載鎖的入口和出口區(qū)域處的第 一和第二閥，卸載鎖包括分別位于卸載鎖的入口和出口區(qū)域處的第三和第四閥，裝載鎖布 置為使得多個盒子能同時處于第一和第二閥之間，卸載鎖布置為使得多個盒子能同時處于 第三和第四閥之間。
4.根據(jù)權(quán)利要求3的設(shè)施，其中所述路徑包括多個處理模塊，這些處理模塊布置為將 潤滑劑蒸汽同時沉積在最初裝載入多個盒子中的多個硬磁盤上。
5.根據(jù)權(quán)利要求4的設(shè)施，其中所述路徑包括在裝載鎖的第二閥與第一個處理模塊之 間的多個緩沖模塊，所述多個緩沖模塊布置為使得多個盒子能同時處于所述多個緩沖模塊 中。
6.根據(jù)權(quán)利要求2的設(shè)施，其中裝載和卸載鎖都布置為將盒子轉(zhuǎn)動大約90°。
7.根據(jù)權(quán)利要求2的設(shè)施，其中裝載鎖布置為將盒子轉(zhuǎn)動大約90°。
8.根據(jù)權(quán)利要求2的設(shè)施，其中卸載鎖布置為將盒子轉(zhuǎn)動大約90°。
9.根據(jù)權(quán)利要求1的設(shè)施，其中裝載鎖包括分別位于裝載鎖的入口和出口區(qū)域處的第 一和第二閥，所述路徑還包括在裝載鎖的第二閥和處理模塊之間的多個緩沖模塊，所述多 個緩沖模塊布置為使得多個盒子能同時處于所述多個緩沖模塊中。
10.根據(jù)權(quán)利要求1的設(shè)施，其中所述路徑包括多個處理模塊，所述處理模塊布置為將 潤滑劑蒸汽同時沉積在最初裝載入多個盒子中的多個硬磁盤上。
11.一種將潤滑劑涂層沉積在適合裝載入盒子中的硬磁盤上用的設(shè)施，所述設(shè)施包括 用來將盒子傳送穿過一路徑的布置，所述路徑包括(a)真空裝載鎖，(b)真空卸載鎖，以及 (c)多個真空處理模塊，其布置為將潤滑劑蒸汽基本上同時沉積到最初裝載入多個盒子中 的多個硬磁盤上，所述多個處理模塊布置為使得沉積的潤滑劑蒸汽能在硬磁盤上形成潤滑 劑涂層，所述處理模塊位于真空裝載鎖和卸載鎖之間。
12.—種將潤滑劑涂層沉積在適合裝載入盒子中的硬磁盤上用的設(shè)施，所述設(shè)施包括 將盒子傳送穿過一路徑的布置，所述路徑包括(a)真空裝載鎖，(b)真空卸載鎖，以及(c) 用來將潤滑劑蒸汽沉積在硬磁盤上的真空處理模塊，所述處理模塊布置為使得沉積的潤滑 劑蒸汽能在硬磁盤上形成潤滑劑涂層，所述處理模塊位于真空裝載鎖和卸載鎖之間；裝載 鎖包括分別位于裝載鎖的入口和出口區(qū)域處的第一和第二閥，卸載鎖包括分別位于卸載鎖 的入口和出口區(qū)域處的第三和第四閥；裝載鎖和卸載鎖中的至少一個布置為使得多個盒子 能同時處于其閥之間。
13.根據(jù)權(quán)利要求12的設(shè)施，其中裝載和卸載鎖都布置為使得多個盒子能同時處于其 閥之間。
14.根據(jù)權(quán)利要求12的設(shè)施，其中裝載鎖布置為使得多個盒子能同時處于其閥之間。
15.根據(jù)權(quán)利要求12的設(shè)施，其中卸載鎖布置為使得多個盒子能同時處于其閥之間。
16.根據(jù)權(quán)利要求12的設(shè)施，其中所述路徑還包括在裝載鎖的出口區(qū)域與處理模塊之 間的緩沖區(qū)域，所述緩沖區(qū)域布置為使得多個盒子能同時處于該緩沖區(qū)域中。
17.一種將潤滑劑涂層沉積在適合裝載入盒子中的硬磁盤上用的設(shè)施，所述設(shè)施包括 將盒子傳送穿過一路徑的傳送器裝置，所述路徑包括(a)真空裝載鎖，(b)真空卸載鎖， (c)用來將潤滑劑蒸汽沉積在硬磁盤上的真空處理模塊，以及(d)緩沖區(qū)域；所述處理模塊 布置為使得沉積的潤滑劑蒸汽能在硬磁盤上形成潤滑劑涂層，所述處理模塊位于真空裝載 鎖和卸載鎖之間，裝載鎖包括分別位于裝載鎖的入口和出口區(qū)域處的第一和第二閥；卸載 鎖包括分別位于卸載鎖的入口和出口區(qū)域處的第三和第四閥；緩沖區(qū)域處于裝載鎖的出口 區(qū)域和處理模塊之間，緩沖區(qū)域布置為使得多個盒子能同時處于該緩沖區(qū)域中。
18.根據(jù)權(quán)利要求17的設(shè)施，其中緩沖區(qū)域布置為使得兩個且僅僅兩個盒子同時處于 其中，裝載鎖包括分別位于裝載鎖的入口和出口區(qū)域處的第一和第二閥，卸載鎖包括分別 位于卸載鎖的入口和出口區(qū)域處的第三和第四閥，裝載鎖布置為使得兩個且僅僅兩個盒子 同時處于第一和第二閥之間，卸載鎖布置為使得兩個且僅僅兩個盒子同時處于第三和第四 閥之間，真空裝載和卸載鎖布置為將盒子轉(zhuǎn)動大約90°，并且所述設(shè)施包括兩個且至多兩 個處理模塊，所述處理模塊布置為將潤滑劑蒸汽同時沉積在兩個且至多兩個硬磁盤上。
19.根據(jù)權(quán)利要求18的設(shè)施，其中所述設(shè)施在平面視圖中大致成形為U形，所述U形 具有由基座連接在一起的第一和第二平行的腿部，所述基座與第一和第二平行的腿部成直 角，第一腿部包括裝載鎖，第二腿部包括卸載鎖，并且所述基座包括緩沖區(qū)域和所述兩個處 理模塊，腿部之間的間隔以及腿部的長度足以在U形內(nèi)形成操作員區(qū)域，用來使得操作員 能(a)在第一腿部的與其遠(yuǎn)離基座的端部靠近的部分處，將其中具有硬磁盤的盒子裝載 到傳送器裝置上，以及(b)在第二腿部的與其遠(yuǎn)離基座的端部靠近的部分處，將其中具有 已經(jīng)在處理模塊中被涂覆的硬磁盤的盒子從傳送器裝置移走。
20.根據(jù)權(quán)利要求19的設(shè)施，其中腿部具有基本上相同的長度。
全文摘要
一種將潤滑劑涂層沉積在硬磁盤上用的設(shè)施，包括裝載和卸載真空鎖，其中承載將用潤滑劑涂層涂覆的硬磁盤的盒子被轉(zhuǎn)動90°。潤滑劑涂層在處理模塊中同時沉積在多個硬磁盤上。承載硬磁盤的多個盒子同時定位于裝載和卸載真空鎖中。承載硬磁盤的多個盒子同時定位于裝載真空鎖和用來沉積潤滑劑涂層的模塊之間的緩沖地帶中。
文檔編號G11B5/84GK101821801SQ200880016737
公開日2010年9月1日 申請日期2008年4月21日 優(yōu)先權(quán)日2007年4月20日
發(fā)明者P·卡爾 申請人:因特瓦克公司