技術(shù)編號：6746560
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明通常涉及將潤滑劑涂層沉積在硬磁盤上用的設(shè)施，并且更具體地，涉及這 樣一種設(shè)施，其包括由承載將要用源自蒸汽的潤滑劑涂層涂覆的硬磁盤的盒子所橫過的路 徑，其中所述路徑具有至少一個(gè)90°轉(zhuǎn)彎。本發(fā)明的又一方面涉及將潤滑劑涂層沉積在硬 磁盤上的設(shè)施，其中所述設(shè)施包括在真空環(huán)境中基本上同時(shí)將潤滑劑涂層沉積在多個(gè)硬磁 盤上的布置。本發(fā)明的另一方面涉及將潤滑劑涂層真空沉積在硬磁盤上的設(shè)施，其中承載 硬磁盤的多個(gè)盒子同時(shí)定位于裝載和/或卸載真空鎖中。本發(fā)明的附加方面...
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