專利名稱：處理機(jī)中的器件拾取機(jī)的制作方法
本申請(qǐng)要求申請(qǐng)日為2001年11月19日申請(qǐng)?zhí)枮镻2001-71844的韓國申請(qǐng)的優(yōu)先權(quán)，其內(nèi)容結(jié)合于此供參考。
大多數(shù)的處理機(jī)不僅能在室溫下完成通常的性能測(cè)試而且能在高溫和低溫下完成測(cè)試，以檢查器件和隨機(jī)存取存儲(chǔ)器組件是否正常工作，這種極高或極低的溫度環(huán)境是通過在一個(gè)密封室內(nèi)用電加熱器或液化氮噴射系統(tǒng)來建立的。


圖1所示為用于測(cè)試如存儲(chǔ)半導(dǎo)體組件這樣的器件的處理機(jī)圖。
參見圖1，一裝載堆垛機(jī)(loading stacker)10安裝在處理機(jī)的前部，在裝載堆垛機(jī)上裝有接收多個(gè)待測(cè)試器件的用戶托盤。而一卸載堆垛機(jī)(unloading stacker)20安裝在裝載堆垛機(jī)10的一邊，從而可以在完成測(cè)試后將用戶托盤接收的器件按照測(cè)試結(jié)果進(jìn)行分類。
緩沖單元40安裝在處理機(jī)中部的兩邊上并可來回移動(dòng)。在緩沖單元中，從裝載堆垛機(jī)10中傳送的器件被臨時(shí)裝載。
以及，一個(gè)交換單元50安裝于兩緩沖單元40之間。在交換單元50中，所執(zhí)行的是傳送待測(cè)試的緩沖單元40中的器件并在測(cè)試托盤T上將已傳送的器件再次裝載的處理過程，以及在緩沖單元40上裝載測(cè)試托盤中測(cè)試完畢的器件的處理過程。
在設(shè)置有裝載和卸載堆垛機(jī)10和20的處理機(jī)前部與設(shè)置有交換單元50和緩沖單元40的處理機(jī)中部之間，安裝有第一和第二拾取機(jī)31和32，其沿著X-Y軸線性移動(dòng)以拾取和傳送器件。第一拾取機(jī)31在裝、卸載堆垛機(jī)10、20與緩沖單元40之間移動(dòng)以拾取并傳送器件，而第二拾取機(jī)32在緩沖單元40與交換單元50之間移動(dòng)以拾取并傳送器件。
在處理機(jī)的后部，安裝有測(cè)試點(diǎn)70用于測(cè)試器件在預(yù)定溫度下的性能，并通過輸送其上裝載有器件的測(cè)試托盤T順序通過由多個(gè)獨(dú)立的密封室建立的高溫或低溫測(cè)試環(huán)境來實(shí)現(xiàn)。
然而，按照以上結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)的處理機(jī)的第一和第二拾取機(jī)31和32每次只能拾取并傳送一對(duì)器件，因此，降低了測(cè)試效率。
如果每臺(tái)拾取機(jī)的拾取裝置的數(shù)量增加，拾取機(jī)的整體構(gòu)造將會(huì)變得復(fù)雜，在控制故障和設(shè)備維修方面會(huì)很困難。

發(fā)明內(nèi)容
因此，本發(fā)明提供了一種處理機(jī)中的器件拾取機(jī)，其充分克服了由于已有技術(shù)的局限和缺陷所導(dǎo)致的一個(gè)或多個(gè)問題。
本發(fā)明的一個(gè)目的在于提供一種處理機(jī)中的器件拾取機(jī)，其能通過同時(shí)拾取并傳送多對(duì)器件而提高測(cè)試效率，且該器件拾取機(jī)不需要復(fù)雜的結(jié)構(gòu)。
本發(fā)明的其它的優(yōu)點(diǎn)、目的、和特征，部分地在隨后的說明中給出，部分地對(duì)本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來說可從下述說明中明顯看出，或可從本發(fā)明的實(shí)施中得出。本發(fā)明的目的和其它優(yōu)點(diǎn)可從以下書面說明、權(quán)利要求以及附圖特別給出的結(jié)構(gòu)來理解、獲得。
為了按照本發(fā)明的目的實(shí)現(xiàn)已經(jīng)概括和充分說明的這些和其它的目的與優(yōu)點(diǎn)，在一臺(tái)設(shè)備中安裝有安裝架，安裝架安裝在處理機(jī)的本體上，其可以水平地移動(dòng)以拾取器件將器件從處理機(jī)的一邊傳送到處理機(jī)的另一邊，根據(jù)本發(fā)明的處理機(jī)中的器件拾取機(jī)包括一個(gè)安裝在安裝架上可以移動(dòng)的垂直極板(plate)；多個(gè)相互平行地安裝在垂直極板下端的可變節(jié)距(pitch)塊，其可以通過導(dǎo)引件在左右方向上移動(dòng)，從而可以調(diào)節(jié)左/右節(jié)距；一對(duì)拾取件分別安裝在每個(gè)可變節(jié)距塊的前后兩邊，并且通過導(dǎo)引件可以上升/下降，拾取件相互配合，以在相反的方向上相互起作用交替地拾取和放下器件；一個(gè)在側(cè)向上移動(dòng)可變節(jié)距塊的塊驅(qū)動(dòng)裝置；以及一個(gè)使拾取件相互作用而在相反方向上分別上、下移動(dòng)的拾取件驅(qū)動(dòng)裝置。
更適宜地，塊驅(qū)動(dòng)裝置包括一個(gè)安裝在垂直極板上的電動(dòng)機(jī)；一個(gè)與電動(dòng)機(jī)連接而旋轉(zhuǎn)的小齒輪單元；以及一個(gè)固定在可變節(jié)距塊的上端、與小齒輪單元相嚙合從而可在側(cè)向上直線移動(dòng)的齒條單元。
更適宜地，拾取件驅(qū)動(dòng)裝置包括分別安裝在每個(gè)可變節(jié)距塊一邊的上、下兩端進(jìn)行旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動(dòng)皮帶輪和從動(dòng)皮帶輪；一個(gè)帶動(dòng)驅(qū)動(dòng)皮帶輪旋轉(zhuǎn)的電動(dòng)機(jī)；一個(gè)與驅(qū)動(dòng)皮帶輪與從動(dòng)皮帶輪跨接的皮帶，其通過驅(qū)動(dòng)皮帶輪的旋轉(zhuǎn)而被上下驅(qū)動(dòng)；一個(gè)前連接托架，其一端與皮帶的一邊相連接，另一端與位于前邊的拾取件相連接；以及一個(gè)后連接托架，其一端與皮帶的另一邊相連接，而其另一端與位于后端的拾取件相連接。
更加適宜地，一個(gè)通過真空壓力吸引器件表面的真空吸嘴設(shè)置在每個(gè)拾取件的下端。
可以理解，本發(fā)明的前面的概述和隨后的詳細(xì)描述都是例示性的和說明性的，并且如要求保護(hù)的那樣將提供更進(jìn)一步的解釋。
具體實(shí)施例方式
下面將根據(jù)附圖例示詳細(xì)說明本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例。其中，相同的附圖標(biāo)記在所有附圖中用于相同或類似的部件。
為易于理解本發(fā)明，在下面的描述中僅涉及根據(jù)本發(fā)明的器件拾取機(jī)應(yīng)用于一個(gè)處理機(jī)的第二拾取機(jī)的情形。然而，本發(fā)明不只局限于這種應(yīng)用而是可應(yīng)用于處理機(jī)的第一拾取機(jī)或者其它種類似處理機(jī)的拾取機(jī)上。
圖2至圖6示出了根據(jù)本發(fā)明的器件拾取機(jī)的結(jié)構(gòu)。
首先，根據(jù)本發(fā)明的每臺(tái)器件拾取機(jī)100沿著安裝架30越過緩沖單元(比較圖1中“40”)上方而左右滑動(dòng)，交換單元50水平移動(dòng)，完成器件在緩沖單元40和交換單元50之間的傳送和裝載。
器件拾取機(jī)100包括一個(gè)垂直極板102，該垂直極板102通過一個(gè)限位(LM)導(dǎo)引件103的限位(LM)塊(圖中未示)與安裝架30相連接，一對(duì)可變節(jié)距塊104a和104b安裝在垂直極板102的下端且彼此相互平行。可變節(jié)距塊104a固定連接在垂直極板102上，而另一可變節(jié)距塊104b與安裝在垂直極板102上的限位導(dǎo)引件103的限位塊103a相連接。這樣，可變節(jié)距塊104a和104b可以在左右方向上移動(dòng)以調(diào)節(jié)左右邊的間距，也即節(jié)距。
電動(dòng)機(jī)105作為驅(qū)動(dòng)裝置安裝在垂直極板102上以在側(cè)向上移動(dòng)可變節(jié)距塊104。一小齒輪單元106與電動(dòng)機(jī)105的下部相連以接收電動(dòng)機(jī)105的驅(qū)動(dòng)力，并且與安裝在可變節(jié)距塊104b上端的齒條單元107相嚙合。當(dāng)小齒輪單元106由電動(dòng)機(jī)105帶動(dòng)開始旋轉(zhuǎn)時(shí)，齒條單元107左右直線移動(dòng)，帶動(dòng)可變節(jié)距塊104b左右移動(dòng)。
此時(shí)，拾取件110a和110b分別通過限位導(dǎo)引件109的限位塊109a與可變節(jié)距塊104a和104b的前后邊相配合以拾取器件。且每個(gè)拾取件110a和110b在其下端具有一個(gè)真空吸嘴111，通過真空壓力吸起器件。
安裝在每個(gè)可變節(jié)距塊104a和104b前后邊上的拾取件110a和110b相配合，通過驅(qū)動(dòng)裝置相互起作用，并設(shè)置成可分別在相反的方向上執(zhí)行上升和下降動(dòng)作。一個(gè)驅(qū)動(dòng)皮帶輪112和一個(gè)從動(dòng)皮帶輪113安裝在每個(gè)可變節(jié)距塊104a和104b的外部上端和下端進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。驅(qū)動(dòng)皮帶輪112和從動(dòng)皮帶輪113通過一皮帶114相互連接。且驅(qū)動(dòng)皮帶輪112與電動(dòng)機(jī)115相連接以接收旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)力。
此外，一個(gè)前連接托架116的一端與位于前邊的拾取件110a相連接，而前連接托架116的另一端與皮帶114的一邊相連接。一個(gè)后連接托架117的一端與位于后邊的另一拾取件110b相連接，而后連接托架117的另一端與皮帶114的另一邊相連接。
因此，如果驅(qū)動(dòng)皮帶輪112由電動(dòng)機(jī)115驅(qū)動(dòng)開始旋轉(zhuǎn)時(shí)，與驅(qū)動(dòng)皮帶輪112連接的皮帶114被驅(qū)動(dòng)上、下運(yùn)動(dòng)，從而驅(qū)動(dòng)通過連接托架116和117與皮帶114相連的拾取件110a和110b分別沿著與皮帶114相反的運(yùn)動(dòng)方向在前后邊上下運(yùn)動(dòng)。
如前所述，位于器件拾取機(jī)的前排的拾取件110a和110b以及那些位于器件拾取機(jī)后排的相應(yīng)件分別交替地上升和下降以拾取器件。也即，當(dāng)位于每個(gè)可變節(jié)距塊104a和104b的前邊的拾取件110a一起上升或下降時(shí)，位于后邊的其余拾取件也一起下降或上升。這樣，拾取件110a和110b完成拾取器件的操作。
根據(jù)本發(fā)明的上述結(jié)構(gòu)的器件拾取機(jī)按以下方式工作。
首先，一旦處理機(jī)的第一拾取機(jī)31從裝載堆垛機(jī)10的托盤(圖中未示)攜帶待測(cè)試器件到緩沖單元40時(shí)，起第二拾取機(jī)作用的本發(fā)明的器件拾取機(jī)100對(duì)準(zhǔn)緩沖單元40上方以拾取器件。隨后，電動(dòng)機(jī)115驅(qū)動(dòng)使得位于前排的拾取件110a下降，以便真空吸嘴111通過吸力吸起器件。然后，電動(dòng)機(jī)115反轉(zhuǎn)使拾取件110a上升。此時(shí)，如前所述，位于后排的其余拾取件110b將會(huì)完成與位于前排的拾取件110a相反的運(yùn)動(dòng)。
在緩沖單元40移動(dòng)了預(yù)定的距離后，也即到達(dá)位于后排的拾取件110b能夠拾取緩沖單元40的下一個(gè)器件的位置，電動(dòng)機(jī)115驅(qū)動(dòng)使得位于后排的拾取件110b下降，從而真空吸嘴111通過吸力吸起器件。電動(dòng)機(jī)115然后又反轉(zhuǎn)使得拾取件110b上升。
在此情形下，位于前排的拾取件110a和位于后排的其余拾取件110b最好設(shè)置成位于同一高度以避免在傳送時(shí)與處理機(jī)的其它構(gòu)件產(chǎn)生碰撞。
此后，當(dāng)器件拾取機(jī)100拾取器件的時(shí)候，垂直極板102通過一個(gè)附加的驅(qū)動(dòng)裝置例如線性電動(dòng)機(jī)、球形螺桿(圖中未示)、或者類似件沿著安裝架30被移動(dòng)到交換單元50，以在測(cè)試托盤(圖中未示)上重新裝載器件。在這種情況下，器件拾取機(jī)100的操作按照與以上說明相類似的方式完成。
在器件拾取機(jī)100操作之后將在交換單元50的測(cè)試托盤T中接收的已測(cè)試器件傳送到緩沖單元40中的操作在本說明中被略過。
同時(shí)，如果在處理機(jī)中被測(cè)試的器件的種類發(fā)生了變化，接收器件的托盤的種類以及放置相應(yīng)器件的托盤的格柵尺寸也將變化。因此，托盤中的器件便不會(huì)與器件拾取機(jī)100的拾取件110a和110b對(duì)準(zhǔn)。
在這種情況下，器件拾取機(jī)的拾取件110a與110b間的間距應(yīng)該按照以下方式調(diào)節(jié)在側(cè)向上的一個(gè)節(jié)距調(diào)整通過移動(dòng)可變節(jié)距塊104b完成，而前/后方向上的其它節(jié)距調(diào)整可通過處理機(jī)本體上緩沖單元40的向前/向后位移進(jìn)行調(diào)整。
因此，如果電動(dòng)機(jī)105以一調(diào)定值旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)小齒輪單元106，齒條單元107就會(huì)移動(dòng)一給定的距離。這樣，拾取件110a和110b間的間距就會(huì)調(diào)整以完成調(diào)準(zhǔn)。
從而，本發(fā)明可以同時(shí)拾取并向后或向前傳送至少四個(gè)器件，并且可以保持器件拾取機(jī)具有簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)，由此可提高測(cè)試效率。
顯然，對(duì)于本領(lǐng)域的技術(shù)人員來說，在不背離本發(fā)明的精神和范圍的前提下，可以對(duì)本發(fā)明作出各種更改和變化。因此，本發(fā)明的各種更改、變化由所附的權(quán)利要求書及其等同物的內(nèi)容涵蓋。
權(quán)利要求
1.一種處理機(jī)中的器件拾取機(jī)，用于安裝有安裝架的設(shè)備上，安裝架安裝于處理機(jī)的本體上，以水平移動(dòng)拾取器件并將器件從處理機(jī)的一邊傳送到處理機(jī)的另一邊，該拾取機(jī)包括一安裝在所述安裝架上可以移動(dòng)的垂直極板；多個(gè)相互平行地安裝在所述垂直極板下端的可變節(jié)距塊，通過導(dǎo)引件可以在左右方向上移動(dòng)從而能調(diào)節(jié)左/右節(jié)距；一對(duì)分別安裝在每個(gè)所述可變節(jié)距塊的前后邊的可以通過導(dǎo)引件上升/下降的拾取件，所述拾取件相互配合在相反方向上相互起作用以交替地拾取和放下器件；一在側(cè)向上移動(dòng)所述可變節(jié)距塊的塊驅(qū)動(dòng)裝置；以及一使所述拾取件相互起作用而分別在相反方向上上下移動(dòng)的拾取件驅(qū)動(dòng)裝置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的器件拾取機(jī)，所述塊驅(qū)動(dòng)裝置包括一安裝在所述垂直極板上的電動(dòng)機(jī)；一與所述電動(dòng)機(jī)相連以旋轉(zhuǎn)的小齒輪單元；以及一固定在所述可變節(jié)距塊上端與所述小齒輪單元相嚙合從而可在側(cè)向上直線移動(dòng)的齒條單元。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的器件拾取機(jī)，所述拾取件驅(qū)動(dòng)裝置包括分別安裝在每個(gè)所述可變節(jié)距塊一邊的上下兩端進(jìn)行旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動(dòng)皮帶輪和從動(dòng)皮帶輪；一帶動(dòng)所述驅(qū)動(dòng)皮帶輪旋轉(zhuǎn)的電動(dòng)機(jī)；一與所述驅(qū)動(dòng)和從動(dòng)皮帶輪跨接并通過所述驅(qū)動(dòng)皮帶輪的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)而可上下運(yùn)動(dòng)的皮帶；一前連接托架，其一端與所述皮帶的一邊相連接，另一端與位于前邊的所述拾取件相連接；以及一后連接托架，其一端與所述皮帶的另一邊相連接，另一端與位于后邊的所述拾取件相連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的器件拾取機(jī)，所述拾取件驅(qū)動(dòng)裝置包括分別安裝在每個(gè)所述可變節(jié)距塊一邊的上下兩端進(jìn)行旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動(dòng)和從動(dòng)皮帶輪；一帶動(dòng)所述驅(qū)動(dòng)皮帶輪旋轉(zhuǎn)的電動(dòng)機(jī)；一與所述驅(qū)動(dòng)和從動(dòng)皮帶輪跨接并通過所述驅(qū)動(dòng)皮帶輪的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)而上下運(yùn)動(dòng)的皮帶；一前連接托架，其一端與所述皮帶的一邊相連接，另一端與位于前邊的所述拾取件相連接；以及一后連接托架，其一端與所述皮帶的另一邊相連接，另一端與位于后邊的所述拾取件相連接。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的器件拾取機(jī)，其中一真空吸嘴設(shè)置于每個(gè)所述拾取件的下端并通過真空壓力吸起器件表面。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種處理機(jī)中的器件拾取機(jī)。該器件拾取機(jī)可以同時(shí)拾取并前后傳送至少四個(gè)器件，并且可保持簡(jiǎn)單的器件拾取機(jī)結(jié)構(gòu)，從而可提高測(cè)試效率。本發(fā)明包括一個(gè)安裝在安裝架上可以移動(dòng)的垂直極板；多個(gè)相互平行地安裝在垂直極板下端的可變節(jié)距塊，其通過導(dǎo)引件可以左右向移動(dòng)從而能調(diào)節(jié)左/右節(jié)距；一對(duì)分別安裝在每個(gè)可變節(jié)距塊前后邊的通過導(dǎo)引件可以上升/下降的拾取件，拾取件相互配合，在相反方向上相互起作用以交替地拾取和放下器件；一在側(cè)向上移動(dòng)可變節(jié)距塊的塊驅(qū)動(dòng)裝置；以及一使拾取件相互作用而分別在相反方向上上下移動(dòng)的拾取件驅(qū)動(dòng)裝置。
文檔編號(hào)G11C29/56GK1419995SQ02149458
公開日2003年5月28日 申請(qǐng)日期2002年11月19日 優(yōu)先權(quán)日2001年11月19日
發(fā)明者曺哲熏 申請(qǐng)人:未來產(chǎn)業(yè)株式會(huì)社