一種新型的等離子鍍膜機(jī)的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型提供了一種新型的等離子鍍膜機(jī)，包括底板、安裝座和密封罩，所述安裝座設(shè)在所述底板上，所述密封罩設(shè)在所述安裝座上，所述密封罩與所述安裝座卡持連接，所述底板底部設(shè)置有真空泵和蒸發(fā)源，所述底板上設(shè)置有第一接線座和第二接線座，所述第一接線座上設(shè)置有基板，所述第二接線座一側(cè)連接有線圈，所述第二接線座下方連接有射頻電源，所述線圈下方設(shè)置有絕緣子，所述絕緣子與所述線圈可拆卸連接，所述絕緣子與所述底板固定連接，所述安裝座一側(cè)設(shè)置有氣閥，該新型的等離子鍍膜機(jī)調(diào)控方便，有效地控制沉積過(guò)程，改善了鍍層的物理性質(zhì)，容易拆卸組裝。
【專利說(shuō)明】
一種新型的等離子鍍膜機(jī)
技術(shù)領(lǐng)域
[0001 ]本實(shí)用新型涉及一種新型的等離子鍍膜機(jī)。
【背景技術(shù)】
[0002]離子鍍?cè)谡婵諚l件下，利用氣體放電使氣體或被蒸發(fā)物質(zhì)部分電離，并在氣體離子或被蒸發(fā)物質(zhì)離子的轟擊下，將蒸發(fā)物質(zhì)或其反應(yīng)物沉積在基片上的方法。其中包括磁控濺射離子鍍、反應(yīng)離子鍍、空心陰極放電離子鍍(空心陰極蒸鍍法)、多弧離子鍍(陰極電弧離子鍍)等。
[0003]目前現(xiàn)有的等離子鍍膜機(jī)操控不方便，造成不能有效地控制沉積過(guò)程，不能改善鍍層的物理性質(zhì)，結(jié)構(gòu)安裝拆卸不方便。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0004]本實(shí)用新型的目的在于克服上述現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種調(diào)控方便，有效地控制沉積過(guò)程，改善了鍍層的物理性質(zhì)，容易拆卸組裝的新型的等離子鍍膜機(jī)。
[0005]本實(shí)用新型是這樣實(shí)現(xiàn)的一種新型的等離子鍍膜機(jī)，包括底板、安裝座和密封罩，所述安裝座設(shè)在所述底板上，所述密封罩設(shè)在所述安裝座上，所述密封罩與所述安裝座卡持連接，所述底板底部設(shè)置有真空栗和蒸發(fā)源，所述底板上設(shè)置有第一接線座和第二接線座，所述第一接線座上設(shè)置有基板，所述第二接線座一側(cè)連接有線圈，所述第二接線座下方連接有射頻電源，所述線圈下方設(shè)置有絕緣子，所述絕緣子與所述線圈可拆卸連接，所述絕緣子與所述底板固定連接，所述安裝座一側(cè)設(shè)置有氣閥。
[0006]作為優(yōu)選，所述密封罩為有機(jī)玻璃密封罩，采用有機(jī)玻璃密封罩能夠保持良好的絕緣效果和透明效果，方便進(jìn)行觀測(cè)。
[0007]作為優(yōu)選，所述密封罩頂部呈弧形設(shè)置，保持結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性高。
[0008]作為優(yōu)選，所述第一接線座上安裝有導(dǎo)電支桿，導(dǎo)線支桿具有導(dǎo)電和支撐基板的作用。
[0009]作為優(yōu)選，所述第一接線座通過(guò)所述導(dǎo)電支桿與基板電性連接，保持連接順暢。
[0010]本實(shí)用新型的有益效果是:設(shè)置的安裝座與密封罩卡持連接，方便密封罩的安裝，同時(shí)保持密封效果良好，方便通過(guò)真空栗進(jìn)行抽真空;射頻電源接通到線圈后，使得線圈內(nèi)部的電子在高頻電場(chǎng)作用下做振蕩運(yùn)動(dòng)，延長(zhǎng)了電子到達(dá)陽(yáng)極的路徑，增加了電子與反應(yīng)氣體及金屬蒸氣碰掩的概率，這樣可提高放電電流密度，通過(guò)調(diào)節(jié)射頻電源即可有效地控制沉積過(guò)程，改善了鍍層的物理性質(zhì);設(shè)置的第一接線座和第二接線座保證了接線方便。
【附圖說(shuō)明】
[0011]為了更清楚地說(shuō)明本實(shí)用新型的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見(jiàn)地，下面描述中的附圖僅僅是本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0012]圖1是本實(shí)用新型實(shí)施例提供的一種新型的等離子鍍膜機(jī)的結(jié)構(gòu)圖。
【具體實(shí)施方式】
[0013]下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述。
[0014]如圖1所示，一種新型的等離子鍍膜機(jī)，包括底板1、安裝座2和密封罩3，安裝座2設(shè)在底板I上，密封罩3設(shè)在安裝座2上，密封罩3為有機(jī)玻璃密封罩，密封罩3頂部呈弧形設(shè)置，密封罩3與安裝座2卡持連接，底板I底部設(shè)置有真空栗4和蒸發(fā)源5，底板I上設(shè)置有第一接線座6和第二接線座7，第一接線座6上設(shè)置有基板8和導(dǎo)電支桿9，第一接線座6通過(guò)導(dǎo)電支桿9與基板8電性連接，第二接線座7—側(cè)連接有線圈10，第二接線座7下方連接有射頻電源11，線圈10下方設(shè)置有絕緣子12，絕緣子12與線圈10可拆卸連接，絕緣子12與底板I固定連接，安裝座2—側(cè)設(shè)置有氣閥13。
[0015]在使用時(shí)，將工件固定在基板8上，第一接線座6接地，第二接線座7與射頻電源11接通，關(guān)閉氣閥13，使用真空栗4對(duì)密封罩3進(jìn)行抽真空作業(yè)，打開(kāi)蒸發(fā)源5即可進(jìn)行鍍膜作業(yè)。
[0016]本實(shí)用新型的有益效果是:設(shè)置的安裝座2與密封罩3卡持連接，方便密封罩3的安裝，同時(shí)保持密封效果良好，方便通過(guò)真空栗4進(jìn)行抽真空;射頻電源11接通到線圈10后，使得線圈10內(nèi)部的電子在高頻電場(chǎng)作用下做振蕩運(yùn)動(dòng)，延長(zhǎng)了電子到達(dá)陽(yáng)極的路徑，增加了電子與反應(yīng)氣體及金屬蒸氣碰撞的概率，這樣可提高放電電流密度，通過(guò)調(diào)節(jié)射頻電源11即可有效地控制沉積過(guò)程，改善了鍍層的物理性質(zhì)；設(shè)置的第一接線座6和第二接線座7保證了接線方便。
[0017]以上所述是本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對(duì)于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，在不脫離本實(shí)用新型原理的前提下，還可以做出若干改進(jìn)和潤(rùn)飾，這些改進(jìn)和潤(rùn)飾也視為本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種新型的等離子鍍膜機(jī)，其特征在于:包括底板、安裝座和密封罩，所述安裝座設(shè)在所述底板上，所述密封罩設(shè)在所述安裝座上，所述密封罩與所述安裝座卡持連接，所述底板底部設(shè)置有真空栗和蒸發(fā)源，所述底板上設(shè)置有第一接線座和第二接線座，所述第一接線座上設(shè)置有基板，所述第二接線座一側(cè)連接有線圈，所述第二接線座下方連接有射頻電源，所述線圈下方設(shè)置有絕緣子，所述絕緣子與所述線圈可拆卸連接，所述絕緣子與所述底板固定連接，所述安裝座一側(cè)設(shè)置有氣閥。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種新型的等離子鍍膜機(jī)，其特征在于:所述密封罩為有機(jī)玻璃密封罩。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種新型的等離子鍍膜機(jī)，其特征在于:所述密封罩頂部呈弧形設(shè)置。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種新型的等離子鍍膜機(jī)，其特征在于:所述第一接線座上安裝有導(dǎo)電支桿。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種新型的等離子鍍膜機(jī)，其特征在于:所述第一接線座通過(guò)所述導(dǎo)電支桿與基板電性連接。
【文檔編號(hào)】C23C14/32GK205576267SQ201620080740
【公開(kāi)日】2016年9月14日
【申請(qǐng)日】2016年1月27日
【發(fā)明人】楊勇
【申請(qǐng)人】深圳晶鉆智能科技有限公司