[0039]處理工具負(fù)載力109 (即演算法101的工具負(fù)載力)包括與工具限制119和工具狀態(tài)121相關(guān)的因素。調(diào)度次序分?jǐn)?shù)依賴工具負(fù)載力109。各種規(guī)則和算法與工具限制119和工具狀態(tài)121有關(guān)。在各種實(shí)施例中，其規(guī)則和算法考慮了工具等待時(shí)間，加工區(qū)內(nèi)相對(duì)位置的工具偏好，加工工具上當(dāng)前運(yùn)行的配方，來(lái)自相同配方組的配方，多重處理工具執(zhí)行處理操作的可得性，用于特定處理操作的首選處理工具，定期預(yù)防性維護(hù)規(guī)劃，以及定期預(yù)防性維護(hù)規(guī)劃的狀態(tài)和擴(kuò)散爐頂部配方規(guī)則，該規(guī)則用來(lái)幫助區(qū)分多配方群的優(yōu)先次序?；谠S多不同的因素，如不一樣的權(quán)重或演算法來(lái)評(píng)估優(yōu)先次序的數(shù)值。在工具限制119的“加工區(qū)中根據(jù)(地理)位置的偏好工具”規(guī)則的某些方案中，庫(kù)存監(jiān)控系統(tǒng)通過(guò)在制品清單的可得性搜尋，然后在相關(guān)工具的限制下，從每個(gè)可用配方中選擇一個(gè)最高次序的批次。換句話說(shuō)，如果特定時(shí)間，某一工具的在制品有10批，其中3批將使用一個(gè)配方，則這3批中具有最高優(yōu)選級(jí)的批被識(shí)別并被分配有與高于使用同一配方的另外2批的較高優(yōu)先級(jí)相關(guān)的數(shù)值。工具的限制是由用戶定義的閥值，該閾值允許系統(tǒng)選擇預(yù)定數(shù)目的高優(yōu)先次序批次。
[0040]工具限制119考慮的這些因素，一般被描述為防止其他可用工具處理等候批次的任何限制。工具限制119的數(shù)值可透過(guò)考慮圖1中所列的各種因素算法得到或分配，且如上述，可在各種實(shí)施例中采用不同的加權(quán)。
[0041]工具狀態(tài)121表示工具狀態(tài)，例如是否可用、由于正在被使用而不可用、由于被定期維護(hù)而不可使用、由于其缺乏組件或耗材(例如化材、氣體等)而不可用等。數(shù)值與工具狀態(tài)121相關(guān)，并且數(shù)值可以利用算法而分配或產(chǎn)生，該算法考慮諸如圖1中所列的因素，并且包括光刻工具的可用性，化學(xué)浴沉積調(diào)度，各種腔室的可用性、各種處理工具和工具SVID (系統(tǒng)變量ID)壽命，其中工具SVID是一個(gè)基于下述，用來(lái)進(jìn)行指示工具狀態(tài)的參數(shù)。特定的制造工具的制造商可以建議一個(gè)預(yù)防性或計(jì)劃維護(hù)過(guò)程(PM)，例如，當(dāng)化學(xué)浴中的計(jì)數(shù)達(dá)到一定水平，或者一個(gè)工具已經(jīng)運(yùn)行若干小時(shí)。當(dāng)這樣的建議到期時(shí)，工具狀態(tài)就會(huì)被SVID因子影響。工具狀態(tài)121是調(diào)度規(guī)則，確定哪些在制品基于該SVID值和圖1及上述列出的其它因素來(lái)運(yùn)行。這些因素共同地產(chǎn)生了可能用在演算法101中的數(shù)值。根據(jù)實(shí)施例，[調(diào)度次序分?jǐn)?shù)=外部次序分?jǐn)?shù)+/_生產(chǎn)線狀態(tài)+/_工具負(fù)載力]，演算法用于產(chǎn)生處理工具負(fù)載力109的數(shù)值，來(lái)加減外部次序分?jǐn)?shù)以獲得調(diào)度次序分?jǐn)?shù)。
[0042]此6個(gè)模塊(外部次序分?jǐn)?shù)103、在制品預(yù)測(cè)115，生產(chǎn)線平衡113、在制品下游117、工具限制119( S卩，工具可用性)和工具狀態(tài)121)中的每個(gè)中的規(guī)則利用如上述的各演算法來(lái)分配點(diǎn)數(shù)，并產(chǎn)生調(diào)度次序分?jǐn)?shù)。
[0043]在某些實(shí)施例中，全域調(diào)度次序分?jǐn)?shù)如上述，通過(guò)分派和計(jì)算數(shù)值，并利用演算法來(lái)獲得。除了全域調(diào)度次序分?jǐn)?shù)，本揭露提供了使用獨(dú)立的計(jì)算由模塊或區(qū)(即生產(chǎn)區(qū)的一部分，例如蝕刻區(qū)、擴(kuò)散區(qū)等)的修飾后全域調(diào)度次序分?jǐn)?shù)，這將在下述的例子中見(jiàn)到。以此種方式，可以得到臨時(shí)的或全域的調(diào)度次序分?jǐn)?shù)，然后產(chǎn)生調(diào)整后的或最終的調(diào)度次序分?jǐn)?shù)，這個(gè)分?jǐn)?shù)可以與臨時(shí)的或全域的調(diào)度次序分?jǐn)?shù)相同或不同。調(diào)整后的或最終的調(diào)度次序分?jǐn)?shù)基于模塊、地理位置或特定的工具。以這種方式，所生成的調(diào)度次序分?jǐn)?shù)可以是針對(duì)特定工具，特定加工區(qū)的地理區(qū)域，或特定模塊。這種“模塊因素”的調(diào)整，可以確定在不同的模塊或區(qū)中哪些規(guī)則比其他規(guī)則更顯著，因此，針對(duì)不同的工具，不同的地理位置，考慮改變不同模塊的加工操作。
[0044]圖2為根據(jù)本揭露一實(shí)施例包括一流程圖的示意圖。在批創(chuàng)建和處理的步驟201中，創(chuàng)建了若干批，每批包含若干作為一組一起經(jīng)過(guò)處理的基底，在步驟201 —批已經(jīng)完成初始準(zhǔn)備或先前的處理操作，然后準(zhǔn)備隨后的處理操作。在步驟203中，該批被輸送到一個(gè)處理操作和/或一個(gè)工具，并排隊(duì)等待下一個(gè)處理操作。該工具可以是任何不同的處理工具、量測(cè)工具、測(cè)試工具、或加工使用的任何其它工具、機(jī)器或裝置、半導(dǎo)體設(shè)備的量測(cè)或測(cè)試。該工具包含在制品清單，顯示到達(dá)這個(gè)工具且等待處理的所有批次。還產(chǎn)生了顯示等待特定處理操作的所有批次的在制品清單。在制品清單可以在各種圖形用戶界面GUI)和屏幕上，用各種不同形式顯示。在該批基底輸送到一個(gè)處理操作和/或工具，并排隊(duì)等待下一個(gè)處理操作(步驟203)，但尚未開(kāi)始進(jìn)行特定處理操作前，調(diào)度次序分?jǐn)?shù)在步驟209中產(chǎn)生給該特定處理操作。如上所述，調(diào)度次序分?jǐn)?shù)包括在步驟205提供的外部次序分?jǐn)?shù)，并且還包括步驟207中根據(jù)方程“DPS = EPS-規(guī)則2”提供的“規(guī)則2” (見(jiàn)下文)。如上述，在步驟205提供的外部次序分?jǐn)?shù)是一個(gè)優(yōu)先排序，基于步驟203中，等候處理的外部考量。其他的方程用于其他實(shí)施例中。在步驟209，調(diào)度次序分?jǐn)?shù)使用任何可以考慮外部次序分?jǐn)?shù)的演算法來(lái)計(jì)算，且各種制造因素在規(guī)則2中考慮(步驟207)。
[0045]在“規(guī)則2”中，步驟207，各種因素綜合起來(lái)，產(chǎn)生分配一個(gè)數(shù)值的規(guī)則。這些結(jié)合起來(lái)決定規(guī)則2的因素，取決于步驟203中排隊(duì)等待處理批次細(xì)節(jié)以及生產(chǎn)線狀態(tài)221和工具負(fù)載力223，類似于如上述及圖1所示的生產(chǎn)線狀態(tài)107和處理工具負(fù)載力109。生產(chǎn)線狀態(tài)221和工具負(fù)載力223，基于步驟203中批次等候處理的位置和階段來(lái)決定。在一些實(shí)施例中，“規(guī)則2”為[+/_生產(chǎn)線狀態(tài)+/_工具負(fù)載力]和如上所述的各種因素加權(quán)。調(diào)度維護(hù)的⑶I 225提供與生產(chǎn)線狀態(tài)221和工具負(fù)載力223的每一因素相關(guān)的權(quán)重及規(guī)貝1J。本實(shí)施例中，調(diào)度次序分?jǐn)?shù)在步驟209根據(jù)方程式[外部次序分?jǐn)?shù)-規(guī)則2]來(lái)計(jì)算。在211中，調(diào)度次序分?jǐn)?shù)在更新系統(tǒng)步驟215中被提供給系統(tǒng)。在更新系統(tǒng)步驟215中，系統(tǒng)(即加工區(qū)的庫(kù)存追蹤系統(tǒng)和制造區(qū)的生產(chǎn)管理系統(tǒng))包含各批更新的調(diào)度次序分?jǐn)?shù)，可以給到達(dá)加工工具的批次，及具有能夠處理準(zhǔn)備處理的批次的工具。在更新系統(tǒng)步驟215之后，處理動(dòng)作將會(huì)持續(xù)。
[0046]在一些實(shí)施例中，在清單內(nèi)所有特定處理操作的批次，會(huì)與它們相關(guān)的調(diào)度次序分?jǐn)?shù)一起顯示。該顯示可能在⑶I上。在一些實(shí)施方案中，會(huì)顯示所有傳送到特定加工工具的批次及其相關(guān)的調(diào)度次序分?jǐn)?shù)和處理順序。該顯示可以示出各批在每個(gè)處理操作中的次序分?jǐn)?shù)和處理順序。處理操作者或技術(shù)人員可以參考調(diào)度次序分?jǐn)?shù)，然后處理具有最高優(yōu)先次序的批次，即那些最低次序分?jǐn)?shù)的批次(根據(jù)實(shí)施例，最低的調(diào)度次序分?jǐn)?shù)代表最高處理次序)，以基于在步驟209計(jì)算并在更新系統(tǒng)步驟215提供的調(diào)度次序分?jǐn)?shù)來(lái)進(jìn)行處理。這個(gè)過(guò)程會(huì)在每批新的基底到達(dá)各個(gè)處理操作、測(cè)試操作及量測(cè)操作時(shí)重復(fù)。也會(huì)在每次每一批基底完成操作并等待下一操作時(shí)重復(fù)進(jìn)行，直到每一批的基底及半導(dǎo)體設(shè)備完成處理。
[0047]范例:
[0048]提供下列實(shí)施例以說(shuō)明計(jì)算臨時(shí)或全域的調(diào)度次序分?jǐn)?shù)及調(diào)整的或最終的調(diào)度次序分?jǐn)?shù)，根據(jù)本揭露(且不限制本揭露)的各種實(shí)施例。此外，圖3和圖4中的每個(gè)的顯示或顯示外觀在各情況下均為以舉例的方式展示，并可使用不同的顯示格式，同時(shí)顯示對(duì)多批次的數(shù)據(jù)。
[0049]圖3根據(jù)本揭露一實(shí)施例的范例I的批次狀態(tài)顯示畫(huà)面301，但應(yīng)該注意的是，該顯示僅展現(xiàn)了一方法，而加工區(qū)的批次狀態(tài)和調(diào)度次序分?jǐn)?shù)可用GUI或其他方式顯示。此夕卜，這些范例只是一計(jì)算范例，且應(yīng)當(dāng)理解的是，范例I和范例2各自僅代表一根據(jù)實(shí)施例使用的演算法的所計(jì)算出的結(jié)果，而且其他范例使用其他算法和其他計(jì)算區(qū)。各實(shí)施例提供了一或一個(gè)以上的調(diào)度次序分?jǐn)?shù)，根據(jù)這些實(shí)施例，較低的調(diào)度次序分?jǐn)?shù)表示批次具有較高處理次序。
[0050]范例I
[0051]范例I在圖3中描述，516的調(diào)度次序分?jǐn)?shù)可根據(jù)下列公式提供給一示范的批次:
[0052]【調(diào)度次序分?jǐn)?shù)=816(外部次序分?jǐn)?shù))-300(調(diào)度規(guī)則的總分?jǐn)?shù))=516】
[0053]如上可知，516的調(diào)度次序分?jǐn)?shù)為一由圖3的臨時(shí)調(diào)度次序分?jǐn)?shù)303來(lái)決定的臨時(shí)的或全域的調(diào)度次序分?jǐn)?shù)。如上述的外部次序分?jǐn)?shù)307，其816值可以由上述與批次外部要求相關(guān)的多種考慮來(lái)決定。規(guī)則(「調(diào)度規(guī)則的總分?jǐn)?shù)」313)的300點(diǎn)代表從有關(guān)生產(chǎn)線狀態(tài)，即庫(kù)存，和加工工具負(fù)載力有關(guān)的演算法的點(diǎn)，并且可以是圖2中的“規(guī)則2”，將可推導(dǎo)如下。
[0054]生產(chǎn)線狀態(tài)值(見(jiàn)圖2的生產(chǎn)線狀態(tài)107)，即庫(kù)存因素，被基于塊批次輪換比(Block Lot TR)的生產(chǎn)線平衡113因子施加至示范批次。示范批次在區(qū)塊4中并被任意指定為技術(shù)類型“d”。技術(shù)類型“d”可表明任何各種實(shí)施例中的各種技術(shù)類型且為任意指定。在技術(shù)類型“d”的區(qū)塊4下批次A運(yùn)行速度較輪換比要求慢。示范批A在區(qū)塊4下需要3.55次輪換以滿足區(qū)塊4的截止日期。根據(jù)此范例，技術(shù)類型“d”區(qū)塊4的輪換比目標(biāo)為 3.50。
[0055].等級(jí) I:3.30-100 點(diǎn)