技術(shù)編號(hào)：9866347
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。在如今的半導(dǎo)體制造工業(yè)中，為了滿足業(yè)務(wù)需求和客戶期限，盡可能快速高效地制造半導(dǎo)體設(shè)備是重要的，并且最有效地利用在生產(chǎn)區(qū)的資源同樣重要的。為了獲得競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)，半導(dǎo)體制造廠商不斷尋找機(jī)會(huì)縮短周期時(shí)間、降低成本、減少變異、提高生產(chǎn)效率，以保證按時(shí)交付客戶訂單。因此，不希望生產(chǎn)批次，即作為一組來一起處理的基板組，在等待處理時(shí)靜坐空等。利用多種生產(chǎn)和計(jì)量工具，以便它們能被有效使用到它們的最大負(fù)載力也是重要的。當(dāng)生產(chǎn)工具空閑或當(dāng)很多基板閑置時(shí)，周期時(shí)間增加，成本增加，生...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。
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