具體包括以下步驟：
[0090] 步驟S41:對(duì)得到的每一個(gè)連通子圖GC(V，E)計(jì)算并存儲(chǔ)Vl(i= 1，2,. . .，n)的相 鄰點(diǎn)到集合A(vj;
[0091] 步驟S42:選擇一個(gè)未被標(biāo)記的點(diǎn)1i，判斷所有與\不相鄰的點(diǎn)V]，即 (v4，V/)M，是否存在A(v])，（j乒ik)，使得廣')g廣V,.);如果存在，則從Gc(v，E)中刪除點(diǎn) I及其相連邊，并將其存儲(chǔ)到RV;否則標(biāo)記\已判斷完畢；
[0092] 步驟S43:更新6。^幻，返回步驟543，直到所有的點(diǎn)都被判斷完畢；
[0093] 遍歷每個(gè)點(diǎn)iGV，判斷它是否被某個(gè)與i不相鄰的頂點(diǎn)所包含，如果是，則點(diǎn)i將 被刪除，存到刪除點(diǎn)集合RV。
[0094] 在本實(shí)施例中，如圖1中106部分所示，所述步驟S5采用廣度優(yōu)先搜索BFS方法 求解其連通分支，對(duì)于不同的連通分支，染色解相互無(wú)關(guān)，只需獨(dú)立求解每個(gè)連通分支的染 色解。
[0095] 在本實(shí)施例中，如圖1中107部分所示，所述步驟S7中采用的面沖突投影方法用 以判別圖樣pjPP是否沖突的，所述面沖突投影方法的具體實(shí)現(xiàn)方式如下：對(duì)于圖樣P,(i =1，2,. . .，n)，其沖突區(qū)域regl是一個(gè)二維圓角矩形，所述圓角矩形的邊界到圖樣pi邊界 的距離為mir^s，即
[0096]
[0097] 其中坐標(biāo)（Xl，yi)是圖樣Pl邊界上的點(diǎn)；所述步驟S7具體包括以下步驟：
[0098] 步驟S71:對(duì)所述步驟S6得到的每一個(gè)連通子圖G。(V，E)所對(duì)應(yīng)的圖樣布局圖，計(jì) 算所有圖樣Pi(i= 1，2,. . .，n)的沖突區(qū)域regi;
[0099] 步驟S72:選擇一個(gè)未被標(biāo)記的圖樣汽，判斷A上是否存在一區(qū)域使得在所述 區(qū)域上有三個(gè)或多于三個(gè)相鄰圖樣心，/^，…，hGa3)的沖突區(qū)域重 疊相交；如果是，則進(jìn)入所述步驟S73 ;否則進(jìn)入所述步驟S74 ;
[0100] 步驟S73 :判斷圖樣馬與A，-_W總共1+1點(diǎn)構(gòu)成的生成子圖是否為3不可 染的；如果是，則標(biāo)記圖樣汽為沖突圖樣；否則進(jìn)入步驟S74;
[0101] 步驟S74:標(biāo)記A為非沖突圖樣，返回步驟S72,直到所有圖樣被檢查。
[0102] 在本實(shí)施例中，如圖1中111部分所示，所述步驟S9采用非線性0-1整數(shù)規(guī)劃模 型求解點(diǎn)帶權(quán)的連通分支子圖的3染色解，用以最小化未染色的點(diǎn)的權(quán)值之和，約束條件 為有邊相連的兩個(gè)點(diǎn)不被分配同一種顏色，用Q，C2, (：3分別表示顏色類點(diǎn)集合1，2, 3和R4 表示未染色點(diǎn)的集合，則可以得到優(yōu)化模型：
[0103]
[0104] 其中Wl為點(diǎn)￥1的權(quán)重。
[0105] 將優(yōu)化模型（3)轉(zhuǎn)化為非線性0-1整數(shù)規(guī)劃模型：
[0106]
[0107] 用分支定界方法求解非線性0-1整數(shù)規(guī)劃模型（4)可以得到染色解Ci，C2,C3,R4。
[0108] 在本實(shí)施例中，如圖1中112部分所示，所述步驟S10引入沖突矩形，圖樣Pl上由 相鄰圖樣Pj造成的沖突矩形，即包含Pinreg區(qū)域的最小外接矩形rtg 所述步驟S10 具體包括以下步驟：
[0109] 步驟S101:在未染色點(diǎn)集1?4中選擇一個(gè)圖樣p1;
[0110] 步驟S102 :計(jì)算由Pl的所有相鄰圖樣造成Pl上的沖突矩形，將其存儲(chǔ)到Pl的沖突 矩形集Rtg1;
[0111] 步驟S103 :對(duì)？1的沖突矩形集Rtgl中的每個(gè)沖突矩形的四條邊，延長(zhǎng)這四條邊至 圖樣Pl的邊界，生成的邊為割邊，將其存儲(chǔ)至割邊集CSE1;
[0112] 步驟S104 :判斷割邊集CSEi中的每條割邊是否同時(shí)滿足條件1，條件2以及條件 3;如果滿足，則該割邊為候選縫合，將其存儲(chǔ)至候選縫合集CS1;
[0113] 步驟S101 :返回所述步驟S101，直到R4中的所有圖樣Pl(i=l，2，...，m)都判斷 完畢；
[0114] 其中所述步驟S104中的條件1，條件2以及條件3分別為：
[0115] 條件1 :圖樣Pi被割邊分割后產(chǎn)生的兩個(gè)子圖樣p和pi2的最小尺寸都大于最小 圖樣尺寸minfs;
[0116] 條件2 :割邊不在圖樣Pl的拐角處；
[0117] 條件3 :圖樣Pi被割邊分割后產(chǎn)生的兩個(gè)子圖樣pu和pwPii和pi2的相鄰圖樣的 顏色不多于2種，即Pll和p12可以被染色且不會(huì)產(chǎn)生沖突。
[0118] 在本實(shí)施例中，如圖1中114部分所示，所述步驟S11中回溯方法具體包括以下步 驟：
[0119] 步驟S1101 :初始化連通分支G，要回溯的染色解X= (Q，C2,C3,R4);
[0120]步驟S1102:取子圖G"=G/R4;
[0121] 步驟SI103 :用遍歷方法得到Gm的所有合法3染色解；
[0122] 步驟S1104 :從Gm的所有3染色解中取出一個(gè)解（C/，C2'，C3'），并采用所述步驟 S10中的縫插入算法進(jìn)行插入縫合；
[0123] 步驟S1105:如果解（C/，C2'，C3'，R4)滿足R4中的所有非沖突圖樣都能被插入縫 合消除沖突，即fF〇SF=0，那么得到回溯解礦=(c/，c2'，c3'，r4)，輸出回溯解x%否則， 返回到所述步驟S1104;
[0124] 步驟S1106 :用遍歷方法得到G的所有合法解X" = (C/'，C2"，C3"，R4"），其中 R4"乒R4;并計(jì)算分解成本cost(X"）= |c| +a|s| ;
[0125] 步驟S1101 :取最小分解成本的解X"，令乂$=X"，輸出回溯解X'
[0126] 在本實(shí)施例中，如圖1中116部分所示，所述步驟S12對(duì)所述步驟S3和步驟S4中 刪除的點(diǎn)構(gòu)成的集RV染色，得到最小成本的顏色；染色順序與所述步驟S3與步驟S4中被 刪除的點(diǎn)的刪除順序相反，具體包括以下步驟：
[0127] 步驟S1201:level=k，其中k為刪除點(diǎn)的總次數(shù)；
[0128] 步驟S1202 :對(duì)第level次刪除的點(diǎn)集RVlevel中的每個(gè)點(diǎn)代表的圖樣？1(1 = 1，2,. . .，| RVlf；TCl |)，計(jì)算其染第k種顏色的成本cost_ck;
[0129] 步驟S1203:取使得cost_ck最小的顏色作為圖樣p 顏色；
[0130]步驟S1204:level=level-1;
[0131] 步驟S1205:返回所述步驟S1202,直到level= 0。
[0132] 根據(jù)以上方法，可將圖2的布局圖進(jìn)行分解染色，結(jié)果如圖3所示。
[0133] 以上所述僅為本發(fā)明的較佳實(shí)施例，凡依本發(fā)明申請(qǐng)專利范圍所做的均等變化與 修飾，皆應(yīng)屬本發(fā)明的涵蓋范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1. 一種基于分解成本最小化和合法化的三圖樣光刻布局分解方法，其特征在于包括以 下步驟： 步驟S1 :將布局圖轉(zhuǎn)化為無(wú)向圖； 步驟S2 :采用圖縮減方法刪除點(diǎn)，并將其存儲(chǔ)； 步驟S3 :所述步驟S2中的圖縮減方法第一步為刪除度小于3的點(diǎn)； 步驟S4 :所述步驟S2中的圖縮減方法第二步為刪除內(nèi)含點(diǎn)； 步驟S5 :所述步驟S2中的圖縮減方法第三步為求解連通分支； 步驟S6 :重復(fù)所述步驟S3-步驟S5三次，產(chǎn)生多個(gè)連通分支； 步驟S7 :采用面沖突投影方法檢查每個(gè)點(diǎn)所代表的圖樣是否為沖突圖樣； 步驟S8 :對(duì)所有點(diǎn)賦權(quán)，沖突圖樣的點(diǎn)賦權(quán)為1，對(duì)非沖突圖樣的點(diǎn)賦權(quán)為a= 〇. 1 ; 步驟S9 :采用非線性0-1整數(shù)規(guī)劃模型求解點(diǎn)帶權(quán)的連通分支子圖的3染色解； 步驟S10 :對(duì)每一個(gè)未染色點(diǎn)代表的圖樣用縫合插入算法進(jìn)行判斷或插入縫合； 步驟S11 :對(duì)所述步驟S10中沒(méi)有縫合可插入的圖樣所在的連通分支用回溯方法得到 另一個(gè)更好的3染色解，返回所述步驟S10,直到該連通分支沒(méi)有合法的松弛染色解； 步驟S12 :對(duì)所述步驟S3與步驟S4中刪除的點(diǎn)進(jìn)行染色。2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于分解成本最小化和合法化的三圖樣光刻布局分解 方法，其特征在于：所述步驟S1的具體實(shí)現(xiàn)方式為：把布