[0043] 步驟S101 :在未染色點(diǎn)集化中選擇一個(gè)圖樣p1;
[0044] 步驟S102 :計(jì)算由Pl的所有相鄰圖樣造成pi上的沖突矩形，將其存儲(chǔ)到pi的沖突 矩形集Rtg1;
[0045] 步驟S103:對(duì)？1的沖突矩形集Rtgl中的每個(gè)沖突矩形的四條邊，延長這四條邊至 圖樣Pl的邊界，生成的邊為割邊，將其存儲(chǔ)至割邊集CSE1;
[0046] 步驟S104:判斷割邊集CSEi中的每條割邊是否同時(shí)滿足條件1，條件2以及條件 3;如果滿足，則該割邊為候選縫合，將其存儲(chǔ)至候選縫合集CS1;
[0047] 步驟S101 :返回所述步驟S101，直到R4中的所有圖樣p=1，2,. . .，m)都判斷 完畢；
[0048] 其中所述步驟S104中的條件1，條件2以及條件3分別為：
[0049] 條件1 :圖樣Pi被割邊分割后產(chǎn)生的兩個(gè)子圖樣p和pi2的最小尺寸都大于最小 圖樣尺寸minfs;
[0050] 條件2 :割邊不在圖樣Pl的拐角處；
[0051] 條件3 :圖樣口;被割邊分割后產(chǎn)生的兩個(gè)子圖樣pu和pwPii和pi2的相鄰圖樣的 顏色不多于2種，即Pll和p12可以被染色且不會(huì)產(chǎn)生沖突。
[0052] 進(jìn)一步地，所述步驟S11中回溯方法具體包括以下步驟：
[0053] 步驟S1101:初始化連通分支G，要回溯的染色解X=(Q，C2,C3,R4);
[0054]步驟S1102 :取子圖G"=G/R4;
[0055] 步驟SI103:用遍歷方法得到Gm的所有合法3染色解；
[0056] 步驟S1104:從Gm的所有3染色解中取出一個(gè)解（C/，C2'，C3'），并采用所述步驟 S10中的縫插入算法進(jìn)行插入縫合；
[0057] 步驟S1105:如果解（C/，C2'，C3'，R4)滿足R4中的所有非沖突圖樣都能被插入縫 合消除沖突，即W〇ST=0，那么得到回溯解礦=(C/，C2'，C3'，R4)，輸出回溯解X、否則，返 回到所述步驟S1104;
[0058] 步驟S1106 :用遍歷方法得到G的所有合法解X" = (C/'，C2"，C3"，R4"），其中 R4"乒R4;并計(jì)算分解成本cost(X"）= |c| +a|s| ;
[0059] 步驟SI101:取最小分解成本的解X"，令X"，輸出回溯解X'
[0060] 進(jìn)一步地，所述步驟S12對(duì)所述步驟S3和步驟S4中刪除的點(diǎn)構(gòu)成的集RV染色， 得到最小成本的顏色；染色順序與所述步驟S3與步驟S4中被刪除的點(diǎn)的刪除順序相反，具 體包括以下步驟：
[0061] 步驟S1201:level=k，其中k為刪除點(diǎn)的總次數(shù)；
[0062] 步驟S1202 :對(duì)第level次刪除的點(diǎn)集RVleTCl中的每個(gè)點(diǎn)代表的圖樣？1(1 = 1，2,. . .，|RVlf；TCl |)，計(jì)算其染第k種顏色的成本cost_ck;
[0063] 步驟S1203:取使得cost_ck最小的顏色作為圖樣p4勺顏色；
[0064]步驟S1204:level=level-1;
[0065] 步驟S1205:返回所述步驟S1202,直到level= 0。
[0066] 本發(fā)明將對(duì)點(diǎn)的分割和圖的3染色問題松弛為非線性0-1整數(shù)規(guī)劃問題，進(jìn)而用 修正分枝定界算法得到高效實(shí)用的分解結(jié)果。布局分解方法的基本思想是直接把沖突和縫 合同時(shí)考慮到三重圖樣光刻分解，會(huì)使得問題解空間變的很大，不利于求解，而本發(fā)明提供 的方法是先將問題松弛成只考慮沖突的優(yōu)化問題，解空間指數(shù)級(jí)的減少；再對(duì)得到的最優(yōu) 松弛解進(jìn)行合法化成可行解。運(yùn)用兩步驟的分解思想，可以得到一個(gè)解空間大大減小，性能 優(yōu)越的布局分解方法。
[0067]相較于現(xiàn)有技術(shù)，本發(fā)明的有益效果是：（1)采用一種新的非沖突圖樣刪除方法。 (2)給出一個(gè)識(shí)別局部沖突的充分條件，用于布局分解。（3)采用離散松弛的思想，將原問 題的解空間規(guī)模大大縮小，并用改進(jìn)的分枝定界方法得到最優(yōu)離散松弛解。（4)在縫合插入 時(shí)考慮最優(yōu)的插入位置，便于解決沖突。經(jīng)與ISCAS-85&89的比較實(shí)驗(yàn)，結(jié)果表明本發(fā)明的 三重圖樣布局分解方法，尤其對(duì)于圖樣密集的實(shí)例而言，是很有效的。
【附圖說明】
[0068] 圖1是本發(fā)明基于分解成本最小化和合法化的三圖樣光刻布局分解方法的流程 圖。
[0069] 圖2是本發(fā)明一具體實(shí)施例的布局圖。
[0070] 圖3是本發(fā)明一具體實(shí)施例的布局圖的分解染色結(jié)果。
【具體實(shí)施方式】
[0071] 下面結(jié)合附圖及實(shí)施例對(duì)本發(fā)明做進(jìn)一步說明。
[0072] 本實(shí)施例提供一種基于分解成本最小化和合法化的三圖樣光刻布局分解方法，將 三圖樣光刻布局分解問題分成兩個(gè)階段求解。首先將初始圖樣布局圖（patternlayout) 轉(zhuǎn)化為無向圖G(V，E)，然后采用圖縮減方法來縮小問題規(guī)模，第一階段采用一個(gè)松弛優(yōu)化 模型對(duì)圖樣（patterns)進(jìn)行染色（coloring)，第二階段考慮引入縫合（stitch)將一個(gè)圖 樣分割成多個(gè)子圖樣的方式來消除盡可能多的沖突（conflict)，實(shí)現(xiàn)最終染色；如圖1所 示，具體包括以下步驟：
[0073] 步驟S1 :將布局圖轉(zhuǎn)化為無向圖；
[0074] 步驟S2 :采用圖縮減方法刪除點(diǎn)，并將其存儲(chǔ)；
[0075] 步驟S3 :所述步驟S2中的圖縮減方法第一步為刪除度小于3的點(diǎn)；
[0076] 步驟S4 :所述步驟S2中的圖縮減方法第二步為刪除內(nèi)含點(diǎn)；
[0077] 步驟S5 :所述步驟S2中的圖縮減方法第三步為求解連通分支；
[0078] 步驟S6 :重復(fù)所述步驟S3-步驟S5三次，產(chǎn)生多個(gè)連通分支；
[0079] 步驟S7 :采用面沖突投影方法檢查每個(gè)點(diǎn)所代表的圖樣是否為沖突圖樣；
[0080] 步驟S8 :對(duì)所有點(diǎn)賦權(quán)，沖突圖樣的點(diǎn)賦權(quán)為1，對(duì)非沖突圖樣的點(diǎn)賦權(quán)為a= 0. 1 ；
[0081] 步驟S9 :采用非線性0-1整數(shù)規(guī)劃模型求解點(diǎn)帶權(quán)的連通分支子圖的3染色解；
[0082] 步驟S10 :對(duì)每一個(gè)未染色點(diǎn)代表的圖樣用縫合插入算法進(jìn)行判斷或插入縫合；
[0083] 步驟S11 :對(duì)所述步驟S10中沒有縫合可插入的圖樣所在的連通分支用回溯方法 得到另一個(gè)更好的3染色解，返回所述步驟S10,直到該連通分支沒有合法的松弛染色解；
[0084] 步驟S12 :對(duì)所述步驟S3與步驟S4中刪除的點(diǎn)進(jìn)行染色。
[0085] 在本實(shí)施例中，如圖1中102部分所示，所述步驟S1的具體實(shí)現(xiàn)方式為：把布局圖 根據(jù)最小染色間距規(guī)則表示為無向沖突圖G(V，E)，其中V= (Vl，v2，...，vn)表示布局圖中 的圖樣集合，E= {ei，e2，…，en}表示邊集；所述最小染色間距規(guī)則為如果兩個(gè)圖樣之間的 間隙小于mir^s，則所述兩個(gè)圖樣之間有一條邊，其中mir^s是一個(gè)常數(shù)，表示最小染色間隙； 對(duì)于三圖樣光刻分解問題，給定一個(gè)二維的布局板，布局板中包含了n個(gè)不重疊的圖樣，圖 樣之間有一定的間隙，且每個(gè)圖樣Pl(i= 1，2，...，n)的幾何結(jié)構(gòu)為直角多邊形，為其面 積，則兩個(gè)圖樣pJPP之間的間隙為：
[0086]
[0087] 其中（X;，y;)，（x.j,y.)分別是pJPp.j的坐標(biāo)；根據(jù)圖樣之間的間隙d(p;，p.)和最 小染色間隙mir^s，可以構(gòu)造出無向沖突圖G(V，E)。
[0088] 在本實(shí)施例中，如圖1中104部分所示，所述步驟S3中計(jì)算所有連通分支的所有 點(diǎn)Vl(i= 1，2,. . .，n)的度山，刪除所有度山< 3的點(diǎn)vi，并將其存儲(chǔ)到刪除點(diǎn)集合RV中。
[0089] 在本實(shí)施例中，如圖1中105部分所示，所述步驟S4中給定圖G(V，E)，對(duì)于每對(duì) 點(diǎn)Vi,'GV有!且廣v,.)e廣\)，其中A(Vi),A(Vj)表示vjPv.j的相鄰點(diǎn)構(gòu)成的 集合；表示Vl的相鄰點(diǎn)集包含在v的相鄰點(diǎn)集中，則稱v尨包含在v中，即Vl為內(nèi)含點(diǎn)；所述步驟S4的