本發(fā)明涉及顯示技術(shù)領(lǐng)域，尤指一種觸摸屏、其制作方法及顯示裝置。

背景技術(shù)：

目前，觸摸屏作為一種新型的人機(jī)交互輸入方式，與傳統(tǒng)的顯示器、鍵盤和鼠標(biāo)輸入的方式相比，觸摸屏的輸入更加簡單、直接、方便。無論是各種查詢機(jī)、手機(jī)、平板電腦，還是教育商務(wù)用到的電子白板，都擁有觸控顯示技術(shù)，它在我們的日常生活與工作中已十分普及，并成為不可或缺的一部分。

對(duì)于電容式觸摸屏，常使用氧化銦錫(Indium Tin Oxides，ITO)作為制作電極的主要導(dǎo)電材料。但是，ITO中的銦金屬是自然界中存儲(chǔ)量最低的稀有金屬之一，成本高，產(chǎn)業(yè)可持續(xù)性存疑；且由于其方阻的限制，隨著觸摸屏尺寸的增大，驅(qū)動(dòng)將變得困難。而使用金屬網(wǎng)格(Metal Mesh)替代傳統(tǒng)ITO導(dǎo)電層，可以使得電阻更低、導(dǎo)電層更薄。

傳統(tǒng)Metal Mesh方案，如圖1所示，一般是利用第一金屬層形成觸摸感應(yīng)電極Rx 01與觸摸感應(yīng)信號(hào)線02，第二金屬層形成觸摸驅(qū)動(dòng)電極Tx 03與觸摸驅(qū)動(dòng)信號(hào)線04；Rx與Tx中間設(shè)置有第一絕緣層05，形成互電容；需要說明的是，在綁定區(qū)域A和B中均無第一絕緣層，即第一絕緣層未覆蓋綁定區(qū)域A和B；最后用第二絕緣層(圖中未示出)將整面進(jìn)行覆蓋保護(hù)。由于工藝制程的原因，在刻蝕第二金屬層時(shí)，為防止第一金屬層中無第一絕緣層覆蓋的綁定區(qū)域A中的觸摸感應(yīng)信號(hào)線02被蝕刻掉，在設(shè)計(jì)第二金屬層時(shí)，會(huì)在位于綁定區(qū)域A中的觸摸感應(yīng)信號(hào)線02上再制備一層金屬層06，因此，綁定區(qū)域A中有兩層金屬。但在實(shí)際產(chǎn)品認(rèn)證中，Metal Mesh難以通過抗腐蝕性信賴性認(rèn)證，其不良位置主要發(fā)生于綁定區(qū)域B，金屬腐蝕導(dǎo)致Tx方向通道打開，而Rx方向則可以通過信賴性認(rèn)證，原因在于無第一絕緣層覆蓋的綁定區(qū)域A中有兩層金屬，上層的金屬層06對(duì)觸摸感應(yīng)信號(hào)線02起到了保護(hù)的作用，而綁定區(qū)域B中只有一層金屬。

因此，如何提高觸摸屏的抗腐蝕能力，是本領(lǐng)域技術(shù)人員亟待解決的技術(shù)問題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

有鑒于此，本發(fā)明實(shí)施例提供一種觸摸屏、其制作方法及顯示裝置，可以對(duì)第一信號(hào)走線和第二信號(hào)走線起到保護(hù)作用，整體提高了觸摸屏的抗腐蝕能力。

因此，本發(fā)明實(shí)施例提供了一種觸摸屏，包括：襯底基板，依次設(shè)置在所述襯底基板上的第一觸摸電極、第一絕緣層和第二觸摸電極；其中，所述第一觸摸電極和第二觸摸電極相互交叉且均為金屬網(wǎng)格狀；還包括：與所述第一觸摸電極電性連接的第一信號(hào)走線，以及與所述第二觸摸電極電性連接的第二信號(hào)走線；

位于所述觸摸屏的綁定區(qū)域中的第一信號(hào)走線和第二信號(hào)走線上均設(shè)置有金屬保護(hù)層。

在一種可能的實(shí)現(xiàn)方式中，在本發(fā)明實(shí)施例提供的上述觸摸屏中，所述第一信號(hào)走線和第二信號(hào)走線均與所述第一觸摸電極同層設(shè)置。

在一種可能的實(shí)現(xiàn)方式中，在本發(fā)明實(shí)施例提供的上述觸摸屏中，所述第二觸摸電極通過所述第一絕緣層的過孔與所述第二信號(hào)走線電性連接。

在一種可能的實(shí)現(xiàn)方式中，在本發(fā)明實(shí)施例提供的上述觸摸屏中，所述金屬保護(hù)層和所述第二觸摸電極同層設(shè)置。

在一種可能的實(shí)現(xiàn)方式中，在本發(fā)明實(shí)施例提供的上述觸摸屏中，還包括：設(shè)置在所述襯底基板的邊緣上的黑矩陣，所述綁定區(qū)域位于所述黑矩陣的圖形所覆蓋區(qū)域內(nèi)。

在一種可能的實(shí)現(xiàn)方式中，在本發(fā)明實(shí)施例提供的上述觸摸屏中，還包括：設(shè)置在所述第二觸摸電極上的第二絕緣層。

在一種可能的實(shí)現(xiàn)方式中，在本發(fā)明實(shí)施例提供的上述觸摸屏中，所述第一觸摸電極為觸摸驅(qū)動(dòng)電極，第一信號(hào)走線為觸摸驅(qū)動(dòng)信號(hào)線，所述第二觸摸電極為觸摸感應(yīng)電極，第二信號(hào)走線為觸摸感應(yīng)信號(hào)線；或，

所述第一觸摸電極為觸摸感應(yīng)電極，第一信號(hào)走線為觸摸感應(yīng)信號(hào)線，所述第二觸摸電極為觸摸驅(qū)動(dòng)電極，第二信號(hào)走線為觸摸驅(qū)動(dòng)信號(hào)線。

本發(fā)明實(shí)施例還提供了一種本發(fā)明實(shí)施例提供的上述觸摸屏的制作方法，包括：

在襯底基板上形成包括第一觸摸電極、第一信號(hào)走線、第二信號(hào)走線和第一絕緣層的圖形；

在形成有第一絕緣層圖形的襯底基板上形成第二觸摸電極的圖形，以及在位于所述觸摸屏的綁定區(qū)域中的第一信號(hào)走線和第二信號(hào)走線上形成金屬保護(hù)層的圖形；其中，所述第一觸摸電極和第二觸摸電極相互交叉且均為金屬網(wǎng)格狀。

在一種可能的實(shí)現(xiàn)方式中，本發(fā)明實(shí)施例提供的上述觸摸屏的制作方法中，在襯底基板上形成包括第一觸摸電極、第一信號(hào)走線和第二信號(hào)走線的圖形，具體包括：

在襯底基板上沉積一層第一金屬層；

對(duì)所述第一金屬層進(jìn)行一次構(gòu)圖工藝，形成包括第一觸摸電極、第一信號(hào)走線和第二信號(hào)走線的圖形。

在一種可能的實(shí)現(xiàn)方式中，本發(fā)明實(shí)施例提供的上述觸摸屏的制作方法中，形成第二觸摸電極和金屬保護(hù)層的圖形，具體包括：

在形成有第一絕緣層圖形的襯底基板上沉積一層第二金屬層；

對(duì)所述第二金屬層進(jìn)行一次構(gòu)圖工藝，形成包括第二觸摸電極和金屬保護(hù)層的圖形。

在一種可能的實(shí)現(xiàn)方式中，本發(fā)明實(shí)施例提供的上述觸摸屏的制作方法中，在形成第一絕緣層的圖形的同時(shí)，還包括：

形成第一絕緣層的過孔的圖形；所述過孔用于將待形成的第二觸摸電極與所述第二信號(hào)走線電性連接。

在一種可能的實(shí)現(xiàn)方式中，本發(fā)明實(shí)施例提供的上述觸摸屏的制作方法中，形成第二觸摸電極和金屬保護(hù)層的圖形之后，還包括：

在形成第二觸摸電極的襯底基板上形成第二絕緣層的圖形。

本發(fā)明實(shí)施例還提供了一種顯示裝置，包括本發(fā)明實(shí)施例提供的上述觸摸屏。

本發(fā)明實(shí)施例的有益效果包括：

本發(fā)明實(shí)施例提供的一種觸摸屏、其制作方法及顯示裝置，包括：襯底基板，依次設(shè)置在襯底基板上的第一觸摸電極、第一絕緣層和第二觸摸電極；其中，第一觸摸電極和第二觸摸電極相互交叉且均為金屬網(wǎng)格狀；還包括：與第一觸摸電極電性連接的第一信號(hào)走線，以及與第二觸摸電極電性連接的第二信號(hào)走線；位于觸摸屏的綁定區(qū)域中的第一信號(hào)走線和第二信號(hào)走線上均設(shè)置有金屬保護(hù)層。由于金屬保護(hù)層設(shè)置在觸摸屏的綁定區(qū)域中的第一信號(hào)走線和第二信號(hào)走線上，可以對(duì)第一信號(hào)走線和第二信號(hào)走線起到保護(hù)作用，整體提高了觸摸屏的抗腐蝕能力，進(jìn)而可以通過抗腐蝕性信賴性認(rèn)證，提高產(chǎn)品最終良率。

附圖說明

圖1為現(xiàn)有技術(shù)中觸摸屏的俯視圖；

圖2為本發(fā)明實(shí)施例提供的觸摸屏的俯視圖；

圖3為圖2沿A-A’方向的剖面結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4為圖2沿B-B’方向的剖面結(jié)構(gòu)示意圖；

圖5為本發(fā)明實(shí)施例提供的制作第一絕緣層時(shí)所采用的掩膜版的示意圖；

圖6為本發(fā)明實(shí)施例提供的觸摸屏的制作方法流程圖之一；

圖7為本發(fā)明實(shí)施例提供的觸摸屏的制作方法流程圖之二；

圖8a至圖8d分別為本發(fā)明實(shí)施例提供的觸摸屏的制作方法在各步驟執(zhí)行后的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖，對(duì)本發(fā)明實(shí)施例提供的觸摸屏、其制作方法及顯示裝置的具體實(shí)施方式進(jìn)行詳細(xì)地說明。

其中，附圖中各膜層的厚度和形狀不反映觸摸屏的真實(shí)比例，目的只是示意說明本發(fā)明內(nèi)容。

本發(fā)明實(shí)施例提供了一種觸摸屏，如圖2和圖3所示，包括：襯底基板，依次設(shè)置在襯底基板上的第一觸摸電極1、第一絕緣層2和第二觸摸電極3；其中，第一觸摸電極1和第二觸摸電極2相互交叉且均為金屬網(wǎng)格狀；還包括：與第一觸摸電極1電性連接的第一信號(hào)走線4，以及與第二觸摸電極3電性連接的第二信號(hào)走線5；

位于觸摸屏的綁定區(qū)域(圖2中示出了綁定區(qū)域C和綁定區(qū)域D)中的第一信號(hào)走線4和第二信號(hào)走線5上均設(shè)置有金屬保護(hù)層6。

在本發(fā)明實(shí)施例提供的上述觸摸屏，由于金屬保護(hù)層設(shè)置在觸摸屏的綁定區(qū)域中的第一信號(hào)走線和第二信號(hào)走線上，可以對(duì)第一信號(hào)走線和第二信號(hào)走線起到保護(hù)作用，提高了第一信號(hào)走線和第二信號(hào)走線的抗腐蝕性，從而整體提高了觸摸屏的抗腐蝕能力，進(jìn)而可以通過抗腐蝕性信賴性認(rèn)證，提高產(chǎn)品最終良率。

需要說明的是，由于在觸摸屏的綁定區(qū)域中的第一信號(hào)走線4和第二信號(hào)走線5將與待形成的柔性電路板(FPC)或其他芯片電性連接，因此第一絕緣層2未覆蓋綁定區(qū)域C和綁定區(qū)域D。如圖2所示，位于綁定區(qū)域C的每條第一信號(hào)走線4和位于綁定區(qū)域D的每條第二信號(hào)走線5的上方均設(shè)置有對(duì)應(yīng)的金屬保護(hù)層6，該金屬保護(hù)層6只要可以遮擋住對(duì)應(yīng)的第一信號(hào)走線4或第二信號(hào)走線5即可，對(duì)于金屬保護(hù)層6的圖形可以根據(jù)實(shí)際情況而定，在此不做限定。

進(jìn)一步地，在具體實(shí)施時(shí)，在本發(fā)明實(shí)施例提供的上述觸摸屏中，為了能夠簡化工藝，減少制作成本，如圖2所示，第一信號(hào)走線4和第二信號(hào)走線5均可以與第一觸摸電極1同層設(shè)置，即第一信號(hào)走線4和第二信號(hào)走線5的材料可以為第一觸摸電極1的材料，這樣，在制備觸摸屏?xí)r不需要增加額外的制備工序，只需要通過一次構(gòu)圖工藝即可形成第一信號(hào)走線4、第二信號(hào)走線5和第一觸摸電極1的圖形，能夠節(jié)省制備成本，提升產(chǎn)品附加值。

進(jìn)一步地，在具體實(shí)施時(shí)，在本發(fā)明實(shí)施例提供的上述觸摸屏中，如圖2和圖4所示，當(dāng)?shù)诙盘?hào)走線5與第一觸摸電極1同層設(shè)置時(shí)，而第二觸摸電極3位于第一觸摸電極1的上方，因此第二觸摸電極3位于第二信號(hào)走線5的上方，要使第二觸摸電極3與第二信號(hào)走線5電性連接，則第二觸摸電極3可以通過第一絕緣層2的過孔與第二信號(hào)走線5電性連接。

另外，當(dāng)?shù)诙|摸電極3需要通過第一絕緣層2的過孔與第二信號(hào)走線5電性連接時(shí)，在制作第一絕緣層2圖形的過程中，可以直接采用如圖5所示的掩膜版，掩膜版的鏤空區(qū)域10對(duì)應(yīng)于綁定區(qū)域C，鏤空區(qū)域20對(duì)應(yīng)于綁定區(qū)域D，鏤空區(qū)域30對(duì)應(yīng)第一絕緣層2的過孔，這樣使整個(gè)制作工藝中沒有增加掩膜版數(shù)量和工藝條件，且沒有增加任何工藝難度，節(jié)省了制備成本。

進(jìn)一步地，在具體實(shí)施時(shí)，在本發(fā)明實(shí)施例提供的上述觸摸屏中，為了能夠簡化工藝，減少制作成本，如圖2所示，金屬保護(hù)層6和第二觸摸電極3可以同層設(shè)置，即金屬保護(hù)層6的材料可以為第二觸摸電極3的材料，這樣，在制備觸摸屏?xí)r不需要增加額外的制備工序，只需要通過一次構(gòu)圖工藝即可形成金屬保護(hù)層6和第二觸摸電極3的圖形，能夠節(jié)省制備成本，提升產(chǎn)品附加值。

在具體實(shí)施時(shí)，在本發(fā)明實(shí)施例提供的上述觸摸屏中，為了避免漏光，如圖2和圖3所示，該觸摸屏還可以包括：設(shè)置在襯底基板的邊緣上的黑矩陣7，綁定區(qū)域C和D位于黑矩陣7的圖形所覆蓋區(qū)域內(nèi)。

在具體實(shí)施時(shí)，在本發(fā)明實(shí)施例提供的上述觸摸屏中，為了進(jìn)一步保護(hù)第二觸摸電極，該觸摸屏還可以包括：設(shè)置在第二觸摸電極上的第二絕緣層。需要說明的是，同樣由于在觸摸屏的綁定區(qū)域中的第一信號(hào)走線4和第二信號(hào)走線5將與待形成的柔性電路板(FPC)或其他芯片電性連接，因此第二絕緣層也未覆蓋綁定區(qū)域C和綁定區(qū)域D。

在具體實(shí)施時(shí)，在本發(fā)明實(shí)施例提供的上述觸摸屏中，第一觸摸電極可以具體為觸摸驅(qū)動(dòng)電極，第一信號(hào)走線可以具體為觸摸驅(qū)動(dòng)信號(hào)線，則第二觸摸電極可以具體為觸摸感應(yīng)電極，第二信號(hào)走線可以具體為觸摸感應(yīng)信號(hào)線；或，第一觸摸電極可以具體為觸摸感應(yīng)電極，第一信號(hào)走線可以具體為觸摸感應(yīng)信號(hào)線，則第二觸摸電極可以具體為觸摸驅(qū)動(dòng)電極，第二信號(hào)走線可以具體為觸摸驅(qū)動(dòng)信號(hào)線，在此不做限定。

基于同一發(fā)明構(gòu)思，本發(fā)明實(shí)施例還提供了一種本發(fā)明實(shí)施例提供的上述觸摸屏的制作方法，由于該方法解決問題的原理與前述一種觸摸屏相似，因此該方法的實(shí)施可以參見觸摸屏的實(shí)施，重復(fù)之處不再贅述。

在具體實(shí)施時(shí)，本發(fā)明實(shí)施例提供的觸摸屏的制作方法，如圖6所示，具體包括以下步驟：

S601、在襯底基板上形成包括第一觸摸電極、第一信號(hào)走線、第二信號(hào)走線和第一絕緣層的圖形；

S602、在形成有第一絕緣層圖形的襯底基板上形成第二觸摸電極的圖形，以及在位于觸摸屏的綁定區(qū)域中的第一信號(hào)走線和第二信號(hào)走線上形成金屬保護(hù)層的圖形；其中，第一觸摸電極和第二觸摸電極相互交叉且均為金屬網(wǎng)格狀。

在本發(fā)明實(shí)施例提供的上述觸摸屏的制作方法，由于在位于觸摸屏的綁定區(qū)域中的第一信號(hào)走線和第二信號(hào)走線上形成了金屬保護(hù)層的圖形，該金屬保護(hù)層可以對(duì)第一信號(hào)走線和第二信號(hào)走線起到保護(hù)作用，提高了第一信號(hào)走線和第二信號(hào)走線的抗腐蝕性，從而整體提高了觸摸屏的抗腐蝕能力，進(jìn)而可以通過抗腐蝕性信賴性認(rèn)證，提高產(chǎn)品最終良率。

在具體實(shí)施時(shí)，在本發(fā)明實(shí)施例提供的上述觸摸屏的制作方法中，步驟S601在襯底基板上形成包括第一觸摸電極、第一信號(hào)走線和第二信號(hào)走線的圖形，具體可以采用如下方式實(shí)現(xiàn)：

首先，在襯底基板上沉積一層第一金屬層；

然后，對(duì)第一金屬層進(jìn)行一次構(gòu)圖工藝，形成包括第一觸摸電極、第一信號(hào)走線和第二信號(hào)走線的圖形。

在具體實(shí)施時(shí)，在本發(fā)明實(shí)施例提供的上述觸摸屏的制作方法中，步驟S602形成第二觸摸電極和金屬保護(hù)層的圖形，具體可以采用如下方式：

首先，在形成有第一絕緣層圖形的襯底基板上沉積一層第二金屬層；

然后，對(duì)第二金屬層進(jìn)行一次構(gòu)圖工藝，形成包括第二觸摸電極和金屬保護(hù)層的圖形。

需要說明的是，本發(fā)明的實(shí)施例中所稱的構(gòu)圖工藝包括光刻膠涂布、掩模、曝光、顯影、刻蝕、光刻膠剝離等工藝。

在具體實(shí)施時(shí)，在本發(fā)明實(shí)施例提供的上述觸摸屏的制作方法中，在形成第一絕緣層的圖形的同時(shí)，還可以包括：

形成第一絕緣層的過孔的圖形；過孔用于將待形成的第二觸摸電極與第二信號(hào)走線電性連接。

需要說明的是，該步驟可以采用如圖5所示的掩膜板對(duì)絕緣材料進(jìn)行一次構(gòu)圖工藝，形成第一絕緣層和過孔的圖形。

在具體實(shí)施時(shí)，在本發(fā)明實(shí)施例提供的上述觸摸屏的制作方法中，為了保護(hù)第二觸摸電極，在形成第二觸摸電極和金屬保護(hù)層的圖形之后，還包括：

在形成第二觸摸電極的襯底基板上形成第二絕緣層的圖形。

下面以一個(gè)具體的實(shí)例詳細(xì)的說明本發(fā)明實(shí)施例提供的觸摸屏的制作方法，如圖7所示，制作觸摸屏的具體步驟如下：

S701、在襯底基板上形成黑矩陣的圖形；

在具體實(shí)施時(shí)，如圖8a所示，在襯底基板上形成黑矩陣100的圖形；待形成的綁定區(qū)域C和D位于黑矩陣100的圖形所覆蓋區(qū)域內(nèi)；

S702、在形成有黑矩陣圖形的襯底基板上，通過一次構(gòu)圖工藝形成包括第一觸摸電極、第一信號(hào)走線和第二信號(hào)走線的圖形；

在具體實(shí)施時(shí)，如圖8b所示，在形成有黑矩陣100圖形的襯底基板上沉積一層第一金屬層，對(duì)第一金屬層進(jìn)行一次構(gòu)圖工藝，形成包括第一觸摸電極200、第一信號(hào)走線300和第二信號(hào)走線400的圖形；其中，第一觸摸電極200為金屬網(wǎng)格狀，與第一信號(hào)走線300直接電性連接；

S703、在形成有第一觸摸電極、第一信號(hào)走線和第二信號(hào)走線圖形的襯底基板上，通過一次構(gòu)圖工藝形成第一絕緣層和過孔的圖形；

在具體實(shí)施時(shí)，如圖8c所示，在形成有第一觸摸電極200、第一信號(hào)走線300和第二信號(hào)走線400圖形的襯底基板上沉積一層絕緣材料，采用如圖5所示的掩膜版對(duì)絕緣材料進(jìn)行一次構(gòu)圖工藝，形成第一絕緣層500和過孔的圖形；該過孔用于將待形成的第二觸摸電極與第二信號(hào)走線400電性連接；

S704、在形成有第一絕緣層圖形的襯底基板上，通過一次構(gòu)圖工藝形成包括第二觸摸電極和金屬保護(hù)層的圖形；其中，金屬保護(hù)層位于觸摸屏的綁定區(qū)域中的第一信號(hào)走線和第二信號(hào)走線上；

在具體實(shí)施時(shí)，如圖8d所示，在形成有第一絕緣層500圖形的襯底基板上沉積一層第二金屬層，對(duì)第二金屬層進(jìn)行一次構(gòu)圖工藝，形成包括第二觸摸電極600和金屬保護(hù)層700的圖形；其中，第二觸摸電極600為金屬網(wǎng)格狀，與第二信號(hào)走線400通過過孔電性連接；金屬保護(hù)層700位于觸摸屏的綁定區(qū)域C中的第一信號(hào)走線300和位于觸摸屏的綁定區(qū)域D中的第二信號(hào)走線400上；

S705、在形成第二觸摸電極的襯底基板上形成第二絕緣層的圖形。

至此，經(jīng)過具體實(shí)例提供的上述步驟S701至S705制作出了本發(fā)明實(shí)施例提供的上述觸摸屏。

基于同一發(fā)明構(gòu)思，本發(fā)明實(shí)施例還提供了一種顯示裝置，包括本發(fā)明實(shí)施例提供的上述觸摸屏，該顯示裝置可以為：手機(jī)、平板電腦、電視機(jī)、顯示器、筆記本電腦、數(shù)碼相框、導(dǎo)航儀等任何具有顯示功能的產(chǎn)品或部件。對(duì)于該顯示裝置的其它必不可少的組成部分均為本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)該理解具有的，在此不做贅述，也不應(yīng)作為對(duì)本發(fā)明的限制。該顯示裝置的實(shí)施可以參見上述觸摸屏的實(shí)施例，重復(fù)之處不再贅述。

本發(fā)明實(shí)施例提供的一種觸摸屏、其制作方法及顯示裝置，包括：襯底基板，依次設(shè)置在襯底基板上的第一觸摸電極、第一絕緣層和第二觸摸電極；其中，第一觸摸電極和第二觸摸電極相互交叉且均為金屬網(wǎng)格狀；還包括：與第一觸摸電極電性連接的第一信號(hào)走線，以及與第二觸摸電極電性連接的第二信號(hào)走線；位于觸摸屏的綁定區(qū)域中的第一信號(hào)走線和第二信號(hào)走線上均設(shè)置有金屬保護(hù)層。由于金屬保護(hù)層設(shè)置在觸摸屏的綁定區(qū)域中的第一信號(hào)走線和第二信號(hào)走線上，可以對(duì)第一信號(hào)走線和第二信號(hào)走線起到保護(hù)作用，整體提高了觸摸屏的抗腐蝕能力，進(jìn)而可以通過抗腐蝕性信賴性認(rèn)證，提高產(chǎn)品最終良率。

顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對(duì)本發(fā)明進(jìn)行各種改動(dòng)和變型而不脫離本發(fā)明的精神和范圍。這樣，倘若本發(fā)明的這些修改和變型屬于本發(fā)明權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本發(fā)明也意圖包含這些改動(dòng)和變型在內(nèi)。