專利名稱：半導體整合系統(tǒng)及方法、多計劃晶圓的處理及整合方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明是有關(guān)于一種半導體技術(shù)，特別是有關(guān)于一種整合至少兩個集成電路計劃的線上多計劃晶圓的方法和系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
半導體集成電路(Integrated Circuit，以下皆簡稱為IC)工業(yè)正經(jīng)歷快速成長。IC材料和設計在科技上的進步產(chǎn)生許多IC時代，每個IC時代皆有比前一時代更小和更復雜的電路。然而，這些改良會增加IC的制造和處理復雜度。為了實現(xiàn)這些改良，需要進一步發(fā)展IC制程和制造的技術(shù)。
另外，當IC工業(yè)已經(jīng)成熟，制造IC的各種運作可由單獨一個公司或?qū)ｉL于特定領(lǐng)域的不同公司，在不同位置執(zhí)行。當公司和它的客戶不只在地理上分開，且在不同時區(qū)，有效溝通會變的更加困難，這也增加了制造IC的復雜度。例如，第一公司(例如，IC設計公司)設計新的IC，第二公司(例如，IC晶圓代工廠)提供處理該設計的晶圓制造設備，以及第三公司組裝和測試晶圓制造完成的IC。第四公司處理該IC全部制造過程，包括協(xié)調(diào)設計，處理，組裝和測試運作。
不管對于單獨設備或多個設備，溝通議題可在許多方面呈現(xiàn)問題，如同由客戶而來的IC設計的制造。例如，在使用光罩(photomask，或mask)產(chǎn)生此種如同特定應用集成電路(APPlication Specific Integrated Circuit，ASIC)或多計劃晶圓(multi project wafer，MPW)元件的IC制造過程中，該光罩設計通常牽涉客戶和光罩制造廠間的溝通。針對IC(例如，光罩設計出光罩(tape-out))的準備和結(jié)束光罩設計信息通常牽涉到下IC訂單的客戶，和該制造廠的工程師。該客戶可以用許多不同格式，提供出光罩制造所需的信息給制造廠商。當該制造廠的工程師可能需要人工檢查該客戶所提供的上述數(shù)據(jù)，且與該客戶溝通關(guān)于不清楚或不正確的上述出光罩信息的方面，這將于上述出光罩程序添加了更多的復雜度。除此之外，在多計劃晶圓傳輸中，客戶可動態(tài)請求工作或丟入工作，并可有不同優(yōu)先級，和不同需要。溝通的無效率，同步化，和協(xié)調(diào)可導致沖突或錯誤，拉長生產(chǎn)周期，增加制造成本，以及對客戶產(chǎn)生太多不便。

發(fā)明內(nèi)容
有鑒于此，本發(fā)明提出一種線上多計劃晶圓(multi-projectwafer)的處理方法，用以執(zhí)行于計算機系統(tǒng)中，包括經(jīng)由線上界面，提供IC設計客戶出光罩(tape-out)所需的完整樣板(template)，并接收至少兩組客戶回復的出光罩信息，每個帶有描述集成電路的信息；檢查該接收的至少兩組出光罩信息；提供回饋(feedback)給個別該至少兩組出光罩信息中之一；以及整合上述與該集成電路相關(guān)的信息，到共同光罩組。
本發(fā)明所述的多計劃晶圓的處理方法，更包括經(jīng)由該線上界面，提供與整合和制造該第一和第二集成電路的相關(guān)狀態(tài)信息。
本發(fā)明所述的多計劃晶圓的處理方法，上述出光罩信息包括光罩工具信息。
本發(fā)明所述的多計劃晶圓的處理方法，上述出光罩信息包括與電路設計數(shù)據(jù)庫的相關(guān)信息，以及上述處理方法更包括針對與該集成電路相關(guān)的電路文件，存取該電路設計數(shù)據(jù)庫。
本發(fā)明所述的多計劃晶圓的處理方法，上述出光罩信息包括，與電路設計數(shù)據(jù)庫和電路文件名稱相關(guān)的位置信息，以及上述處理方法更包括針對與該集成電路相關(guān)的該電路文件，存取該電路數(shù)據(jù)庫。
本發(fā)明所述的多計劃晶圓的處理方法，上述檢查該接收的至少兩組出光罩信息的步驟包括比較該出光罩信息和該相對應的電路設計文件。
本發(fā)明所述的多計劃晶圓的處理方法，上述提供回饋的步驟包括提供關(guān)于該出光罩信息和該相對應的電路設計文件之間的差異的回饋。
本發(fā)明所述的多計劃晶圓的處理方法，更包括經(jīng)由該線上界面，接收修正的出光罩信息，以響應該回饋。
本發(fā)明所述的多計劃晶圓的處理方法，上述接收出光罩信息的步驟包括接收關(guān)于多個集成電路的出光罩信息。
本發(fā)明所述的多計劃晶圓的處理方法，更包括經(jīng)由該線上界面，提供與檢查該出光罩信息相關(guān)的回饋的最終確認。
本發(fā)明還提供一種半導體整合系統(tǒng)，所述半導體整合系統(tǒng)包括線上完整樣版，可由多個使用者存取，用以提供描述集成電路的信息；線上多計劃晶圓界面，可操作以接收出光罩信息，帶有與多個計劃相關(guān)的描述多個集成電路的信息；線上驗證模塊，可操作以檢查該出光罩信息，和提供每個關(guān)于的回饋；以及監(jiān)管模塊，可操作以提供整合上述集成電路到共同光罩組的線上狀態(tài)。
本發(fā)明所述的半導體整合系統(tǒng)，上述出光罩信息包括光罩工具信息。
本發(fā)明所述的半導體整合系統(tǒng)，上述線上驗證模塊，可操作以比較電路設計文件和該出光罩信息內(nèi)的信息。
本發(fā)明所述的半導體整合系統(tǒng)，上述線上驗證模塊，可操作以使用該出光罩信息內(nèi)的信息，下載電路設計文件。
本發(fā)明所述的半導體整合系統(tǒng)，上述線上驗證模塊，可操作以比較該出光罩信息內(nèi)的信息和電路設計文件內(nèi)的數(shù)據(jù)，以及寄送通知，以響應該比較的結(jié)果。
本發(fā)明所述的半導體整合系統(tǒng)，上述線上驗證模塊，立即于接收到該完整線上樣版時，可操作以比較該出光罩信息內(nèi)的信息和電路設計文件內(nèi)的數(shù)據(jù)，以及寄送由該出光罩信息和該電路設計文件偵測到的差異的通知。
本發(fā)明另提供一種半導體整合方法，用以執(zhí)行于計算機系統(tǒng)中，所述半導體整合方法包括上載設計電路數(shù)據(jù)庫到因特網(wǎng)服務器；接收出光罩信息，帶有相關(guān)于集成電路的信息；由該設計電路數(shù)據(jù)庫，下載電路設計文件；交互檢查該出光罩信息和該電路設計文件之間的信息；以及提供立即的該交互檢查的結(jié)果的電子回饋通知。
本發(fā)明所述的半導體整合方法，上述電子光罩工具包括該設計電路數(shù)據(jù)庫的特性和位置。
本發(fā)明所述的半導體整合方法，上述交互檢查信息的步驟包括偵測該出光罩信息和該電路設計文件的差異。
本發(fā)明所述的半導體整合方法，更包括整合該出光罩信息所描述的該集成電路，和其它集成電路，用以制造共同光罩組于多計劃晶圓上。
本發(fā)明又提供一種整合方法，用以執(zhí)行于計算機系統(tǒng)中，整合至少兩個集成電路計劃，所述整合方法包括針對每個該至少兩個集成電路計劃，接收出光罩信息文件；下載與每個該出光罩信息文件相關(guān)的電路設計數(shù)據(jù)庫；交互檢查該出光罩信息文件和該電路設計數(shù)據(jù)庫之間；以及為了整合該至少兩個集成電路計劃的共同光罩組，形成出共同光罩信息集合。
本發(fā)明所述的整合方法，更包括接收由出光罩信息的客戶而來的確認；以及傳遞該共同出光罩信息到光罩廠。
本發(fā)明所述的整合方法，上述接收出光罩信息文件的步驟包括接收該電路設計數(shù)據(jù)庫的位置。
本發(fā)明所述半導體整合系統(tǒng)及方法、多計劃晶圓的處理及整合方法，可實現(xiàn)線上界面提供實時互動，和該客戶和該晶圓代工廠，或制造設備間的通訊，且上述通訊管道并不被時區(qū)和地域分別所限制。


圖1是以線上客戶界面，提供多計劃半導體元件制造的系統(tǒng)
具體實施例方式
在此必須說明的是，于下揭露內(nèi)容中所提出的不同實施例或范例，是用以說明本發(fā)明所揭示的不同技術(shù)特征，其所描述的特定范例或排列是用以簡化本發(fā)明，然非用以限定本發(fā)明。此外，在不同實施例或范例中可能重復使用相同的參考數(shù)字與符號，此等重復使用的參考數(shù)字與符號是用以說明本發(fā)明所揭示的內(nèi)容，而非用以表示不同實施例或范例間的關(guān)系。
圖1為本發(fā)明實施例中，提供線上多計劃(multi-project)半導體元件整合的系統(tǒng)100。該系統(tǒng)100可包括至少兩個元件，即102和104。其中元件102代表整合虛擬IC制造(fabrication)系統(tǒng)(即虛擬晶圓廠(“virtual fab”))。元件104代表多計劃半導體制造整合系統(tǒng)。多計劃半導體制造整合系統(tǒng)104可包括，針對內(nèi)部或外部客戶，所有內(nèi)部制造的光罩程序流程和信息服務。該多計劃半導體制造整合系統(tǒng)104提供貫穿所有該虛擬晶圓廠102的實施例的運輸工具(vehicle)，由其中的多個客戶，每個可初始多個工作請求、紀錄、及接收在半導體基底(substrate)中有限的空間(real estate)內(nèi)，經(jīng)由線上界面，而制造的半導體元件。
多計劃半導體制造整合系統(tǒng)104可使用多計劃晶圓(multi-project wafers，或MPW)。多計劃晶圓為在相同晶圓的空間中，多個的不同半導體集成電路(integrated circuit，以下皆簡稱為IC)可以制造于其上的晶圓。該多計劃晶圓包括，由相同客戶或不同客戶而來的多個不同元件。該多計劃半導體制造整合系統(tǒng)104的上述多計劃晶圓方法，使用單數(shù)光刻(lithographic)的光罩或光罩組。因此，多個客戶或公司可共用一個光罩組的費用。
虛擬晶圓廠102更包括為了工作請求溝通和監(jiān)管的線上客戶界面。該線上客戶界面提供，由該制造的開始到結(jié)束，一個或多個的客戶用以產(chǎn)生，確認和追蹤工作請求的界面。該工作請求可包括多個其它由不同客戶而來的工作請求，其中該多個工作請求可合并以形成一個母(parent)工作請求。該母工作請求允許該客戶共用光罩和晶圓制造的費用，其中該多個不同元件可整合至一個光罩組，且可使用該相同光罩組，在一個晶圓上制造。該虛擬晶圓廠102可耦接到通訊網(wǎng)路106，用以提供線上客戶界面。經(jīng)由該通訊網(wǎng)路106，該客戶可提供工作的詳細說明，接收數(shù)據(jù)，接收響應，以及不需限制于地域和時區(qū)地追蹤該制造進度。
圖2為可實現(xiàn)多計劃制造的上述虛擬晶圓廠102的某個實施例。該虛擬晶圓廠102可包括多個實體，代表一或多內(nèi)部實體202，和一或多可經(jīng)由該通訊網(wǎng)路106而耦接到的外部實體204。該通訊網(wǎng)路106可為單數(shù)網(wǎng)絡或可為許多不同網(wǎng)絡，例如企業(yè)網(wǎng)絡(intranet)和因特網(wǎng)(internet)，且可包括有線或無線通訊信道(channel)。
每個上述內(nèi)部實體202和外部實體204可包括一或多輸入元件例如服務器，個人計算機，個人數(shù)字助理(personal digitalassistant)，傳呼器(pager)，蜂巢電話(cellular phone)，以及類似元件。例如，該內(nèi)部實體202被放大，用以顯示中央處理器(central processing unit，CPU)222，存儲器單位224，輸入/輸出元件226，和外部接口228。該外部接口可為，例如，調(diào)制解調(diào)器，無線收發(fā)機(transceiver)，或一或多的網(wǎng)絡適配卡(networkinterface card，NIC)。上述元件222-228由總線系統(tǒng)230互相連接。這里要了解的是該內(nèi)部實體202可以由許多不同方法配置，且每個上述列出的元件可以實際上代表許多元件。例如，該中央處理器222可實際上代表多個處理器(multi-processor)，或分配(distributed)的處理器系統(tǒng)；該存儲器單位224可包括不同數(shù)據(jù)儲存元件，該輸入/輸出元件226可包括監(jiān)控器(monitor)，鍵盤，及其類似元件。
該內(nèi)部實體202可經(jīng)由有線或無線連結(jié)240，或經(jīng)由該中間網(wǎng)絡242，其可更連接到通訊網(wǎng)路，而連接到上述通訊網(wǎng)路106。該中間網(wǎng)絡242可為，例如，完整網(wǎng)絡或局域網(wǎng)絡(local areanetwork)的子網(wǎng)絡(subnet)。在某個實施例中，該中間網(wǎng)絡242可包括服務器214。該內(nèi)部實體202可由地址或地址組合，例如相關(guān)于該外部接口228的媒體控制存取(media control access，MAC)地址，和因特網(wǎng)協(xié)議(internet protocol，IP)地址，在一個或上述網(wǎng)絡240及242兩者中辨識。因為該內(nèi)部實體202可連接到該中間網(wǎng)絡242，在某些時候，某些元件可和其它內(nèi)部實體被共用。因此，該內(nèi)部實體202配置的廣大范圍的靈活度被預期。更有甚者，在某些構(gòu)成中，這里要了解，該服務器214可提供支持至多數(shù)內(nèi)部實體202。在某些實現(xiàn)中，一或多服務器和計算機的組合可由單數(shù)實體表示。
在本發(fā)明實施例中，上述內(nèi)部實體202代表直接負責制造最終產(chǎn)品的某些實體，例如一組光罩，一個晶圓，或獨自測試的IC元件。另一方面，該內(nèi)部實體202的例子包括工程師，客戶服務人員，自動系統(tǒng)程序，設計或制造設備例如為加工材料，送貨，組裝或測試。該外部實體204的例子包括客戶，設計提供者，和其它非直接相關(guān)或于該無塵室之下的設備。另外，更多的晶圓廠和虛擬晶圓廠可包括上述內(nèi)部或外部實體。每個實體可以和其它實體互動，且可提供服務到，或由該其它實體接收服務。上述用于此處的“實體”一辭，可包括計算機，端點，或上述使用者由其與該系統(tǒng)溝通的其它元件。
這里要了解上述實體202-204可集中于單一位置或可為分散，且某些實體可合并至其它實體。另外，每個內(nèi)部實體202，及外部實體204可與系統(tǒng)辨識信息結(jié)合，根據(jù)相關(guān)于每個識別數(shù)據(jù)的職權(quán)等級，控制允許該系統(tǒng)內(nèi)信息的存取。
圖3顯示用于提供多計劃半導體元件整合的整合方法300的實施例。該整合方法300由步驟302開始，其中的多計劃半導體制造系統(tǒng)(整合系統(tǒng))和相關(guān)半導體晶圓代工廠(foundry)可產(chǎn)生和維護工作請求樣版(template)。該半導體晶圓代工廠可包括有能力產(chǎn)生先進復雜光罩或半導體晶圓的半導體廠商。該整合系統(tǒng)可提供客戶包括產(chǎn)品元件訂單，光罩工具信息，特定科技信息，交互檢查樣式，和通知單的多個線上樣版。該樣版可為許多可由上述使用者選擇的格式。該樣版可以儲存由該通訊網(wǎng)路106，或經(jīng)由該虛擬晶圓廠102存取的多個數(shù)據(jù)庫。該數(shù)據(jù)庫可包括元件規(guī)格，光罩工具信息，程序能力，和需要用于維護工作請求樣版的任何其它工具。在某些例子中，該工作請求樣版包括一組自動檢查客戶輸入正確性的信息檢查規(guī)則。該工作請求樣版可自動化，且可使用貫穿該通訊網(wǎng)路106和該虛擬晶圓廠102的工具和數(shù)據(jù)庫，其中的特定操作可被自動化。為了效率和方便，該工作請求樣版可根據(jù)客戶訂單被定做。例如，當該客戶置入MPW訂單時，該客戶可被請求提供初始信息。系統(tǒng)會訂做MPW訂單樣版，如同光罩工具樣版，提供給客戶。根據(jù)客戶的初始訂單信息和該半導體晶圓代工廠的科技數(shù)據(jù)庫，也可定做一組檢查規(guī)則。
在下一個步驟304中，單獨工作請求可由多個客戶的多個線上工作請求產(chǎn)生。該客戶可使用該線上工作請求樣版初始工作請求。經(jīng)由可被填入客戶的特定訂單的上述通訊網(wǎng)路106，該線上工作請求樣版可提供自動計算或可提供自動信息接收。該客戶可提供信息例如窗口尺寸(window size)(保留給該客戶的元件的光罩內(nèi)面積的物理尺寸)，元件配置，元件規(guī)格，元件設計數(shù)據(jù)庫，和訂單數(shù)量。
在下一個步驟306中，為了正確及確認，在由客戶輸入工作請求之后，經(jīng)由該線上界面，該整合系統(tǒng)可交互檢查和驗證客戶訂單信息。這個線上交互檢查將回饋到該客戶，在該工作請求由該客戶提交后，可大致上立即執(zhí)行。設計電路數(shù)據(jù)庫可一開始由該客戶上傳到耦接至因特網(wǎng)或其它合適計算機網(wǎng)絡的服務器。該客戶提供該設計電路數(shù)據(jù)庫的特性和位置，作為該MPW訂單數(shù)據(jù)或光罩工具信息的一部分。該整合系統(tǒng)然后根據(jù)該客戶提供的多計劃晶圓訂單信息或光罩工具信息，下載該設計電路數(shù)據(jù)庫。相關(guān)信息可由該設計電路數(shù)據(jù)庫被抽出，且和該多計劃晶圓訂單信息或光罩工具信息相比較。例如，該比較可比較光罩層信息，該設計電路文件的名稱，該窗口尺寸，及該數(shù)據(jù)種類。經(jīng)由該線上界面，根據(jù)該比較的任何不符或錯誤，可提供給該客戶，為了更正和修改。該客戶可響應給該比較結(jié)果，以修改由該線上界面提供到該整合系統(tǒng)的上述光罩工具信息。該客戶可經(jīng)由例如，電子郵件(email)或某種其它電子方式，接收該數(shù)據(jù)庫檢查結(jié)果。步驟306可包括，由該客戶請求更多信息和輸入，且可警告該客戶任何其它相關(guān)上述目前工作請求的問題。
下一個步驟308中，該整合系統(tǒng)可由多個客戶整合多數(shù)工作請求到單數(shù)工作請求。每個工作請求可根據(jù)上述光罩工具信息，設計電路數(shù)據(jù)庫，和晶圓代工廠出光罩信息樣板，以轉(zhuǎn)換和整合。該由不同客戶而來的多數(shù)工作請求，更被整合至單數(shù)母工作請求，其中該多個客戶工作請求，無論線上與否，可在有限的半導體晶圓空間上制造。例如，經(jīng)由上述工作請求，這里可有多個五個客戶的元件被制造。這五個不同元件可由一個單獨的光罩組實現(xiàn)，且制造于單獨的半導體晶圓之上。該有限空間可分配給多個晶圓，其中該五個客戶的上述分配空間可為完全一樣的分配，分布于多個晶圓；或該客戶工作請求的分配可為不同，分布于多個晶圓。該出光罩(tape-out)信息可經(jīng)由線上界面，電子郵件，電話，或其它合適的通訊管道，送至該客戶，用以更加確認。
下一步驟310中，該光罩設計文件(或出光罩信息)由該多個工作請求整合而來，可為了光罩制造，提供給光罩量產(chǎn)制造。另外，為了多計劃晶圓制造，該光罩可被提供給半導體晶圓量產(chǎn)制造。
在步驟312中，每個客戶可有管道到監(jiān)視器，以及追蹤相關(guān)工作請求狀態(tài)和進度，經(jīng)過許多工作請求計劃周期的階段，包括多計劃整合，光罩制造，和晶圓制造。在監(jiān)管和追蹤時，該客戶經(jīng)由該線上界面，和該整合系統(tǒng)或該虛擬晶圓廠溝通，以更新，回報，和其它相關(guān)信息。例如，該客戶可請求該整合系統(tǒng)，當該整合，光罩制造，或晶圓制造完成時，經(jīng)由電子郵件，提供工作狀態(tài)。在某些實施例中，該客戶請求該整合系統(tǒng)每天更新工作狀態(tài)。該線上界面可經(jīng)由網(wǎng)絡瀏覽器(browser)應用程序，或另外容易使用的圖形界面。該客戶可實時監(jiān)管和修改該工作請求的程序流程。該客戶可觀看該工作請求的狀態(tài)，例如，進入及出去程序，目前程序，工程師意見，和在其它相關(guān)該工作請求的信息的時候。該客戶和晶圓代工廠在執(zhí)行該工作請求時，可改變該工作請求的程序流程。在改變該工作請求的程序流程的例子中，這里可以或可以不需要其它母工作流程的客戶調(diào)查，在實現(xiàn)該改變該程序的流程于執(zhí)行時。該整合多計劃晶圓工作的工作請求的方法，可更被描述和延伸到顯示于圖4的系統(tǒng)400描述。
圖4為處理工作請求的系統(tǒng)400實施例的圖標。系統(tǒng)400包括，以特定順序命令操作過程的多個模塊；然而該系統(tǒng)400的模塊不被圖標的順序所限制。系統(tǒng)400可起始于工作請求模塊402，用以初始工作請求。經(jīng)由該通訊網(wǎng)路106或該虛擬晶圓廠102，該工作請求模塊402可初始于客戶端或晶圓代工廠端。一旦該工作請求由該工作請求模塊402初始，線上樣版模塊436可由該客戶存取和顯示。該線上樣版模塊436可包括，例如，光罩工具樣版模塊404，虛設層樣版模塊406，和特定科技信息樣版408。該光罩工具樣版模塊404可提供界面給該客戶，用以輸入光罩相關(guān)信息。此種光罩工具樣版模塊404，根據(jù)科技定義(例如0.13μm或0.18μm科技)，可為系統(tǒng)內(nèi)建。在某些實施例中，該光罩工具樣版模塊404可為數(shù)據(jù)的超級集合，由該客戶由其選擇選項，或輸入數(shù)據(jù)進入相關(guān)樣版的部分。在其它某些實施例中，由維護于該工作樣版模塊的該光罩信息可為定做，以提供特定客戶需要。由上所述，某些在該工作樣版模塊的項目可有默認值，或?qū)τ谔囟萍嫉亩嘀剡x項。該客戶可選擇信息(如果該選項存在)，或?qū)τ诿總€沒有預設信息的項目，以及對該默認值對于特定應用無法符合該客戶的需要，輸入信息。
該虛設層樣版模塊406可為數(shù)據(jù)的超級集合，由該客戶由其選擇選項，或輸入數(shù)據(jù)進入相關(guān)樣版的部分。在其它實施例中，該虛設層樣版模塊406可定做以提供特定客戶需要。由上所述，某些在該虛設層樣版模塊406的項目可有默認值。對于每個沒有預設信息的項目，或?qū)υ撃J值對于特定應用無法符合該客戶的需要時，該客戶可以輸入信息。
該特定科技信息樣版408可產(chǎn)生或加載，用以提供一或多由該客戶回答的技術(shù)問題。根據(jù)該客戶輸入的初始信息，該技術(shù)問題可產(chǎn)生或加載。如同上述光罩工具模塊，該特定科技信息樣版408可為問題的超級集合，由該客戶只回答相關(guān)問題，或該特定科技信息樣版408的問題可定做以提供特定客戶需要。對于該特定科技信息樣版問題的回復答案可用以定做出客制化的上述光罩工具樣版。例如，特定科技信息樣版可包括如同“在該工作請求中有多少金屬層(metal layer)？”的問題。對于該問題的回答可用以定做只包括該客戶指定的金屬層數(shù)目的該光罩工具樣版。
經(jīng)過該通訊網(wǎng)路106，線上客戶界面模塊438可提供該客戶管道，以放置及配置工作請求。該線上客戶界面模塊438可包括多個子模塊，包括多計劃工作界面410，多計劃保留工作列表412，多計劃修正工作列表414，和多計劃產(chǎn)生工作請求416。該客戶可使用該多計劃工作界面410放置，配置，和操作該系統(tǒng)400內(nèi)的信息。因此當“多計劃”一詞于此被使用時，每個計劃可由不同客戶而來，或是，當該客戶想要多個計劃于相同晶圓之上的同樣客戶。該多計劃保留工作列表412可包括，用以產(chǎn)生工作請求列表和可包括對于多計劃晶圓的特定工作請求的保留客戶工作的系統(tǒng)。該多計劃保留工作列表412根據(jù)科技(Technology)，窗口尺寸，訂單數(shù)量，和兼容性，可分類客戶工作請求。該多計劃保留工作列表412也可包括客戶工作請求的優(yōu)先級，及根據(jù)類別，先進先出(first-in-first-out，F(xiàn)IFO)，或其它可由使用者配置的特定優(yōu)先級排列系統(tǒng)，可排列客戶工作請求。該多計劃修正工作列表414可包括對工作請求的客戶修改，以及可包括顯示該修改發(fā)生和其它與該系統(tǒng)400相關(guān)的信息的特定信息列表。該對于上述列表的修改對任何客戶和上述晶圓代工廠，其可包括無線通訊或通過該網(wǎng)絡106的電子郵件，初始警告。多計劃產(chǎn)生工作請求416可提供該客戶工作請求的線上報告，且在由該系統(tǒng)400而來的該工作請求制造的當時和之后，可提供組織的客戶工作請求的產(chǎn)生。該產(chǎn)生工作列表可初始包括電子郵件，語音信箱，傳呼器及經(jīng)由該網(wǎng)絡106的其它形式的溝通，警告到任何其它客戶和晶圓代工廠。該線上客戶界面模塊438的實施例當作一個集合可提供及時動態(tài)界面給該客戶和該晶圓代工廠，且可與該系統(tǒng)400和該網(wǎng)絡106的任何其它模塊互動。
緊接于該多個客戶工作請求使用該線上樣版模塊436和該線上客戶界面模塊438的初始之后，多個客戶工作請求可由母工作請求選取。工作請求執(zhí)行通知418對于該母工作請求的初始，包括客戶元件的數(shù)目，和相關(guān)于該元件制造的狀態(tài)，可提供警告。該工作請求執(zhí)行通知418對于任何客戶和晶圓代工廠可初始警告，這里可包括經(jīng)由該通訊網(wǎng)路106到該客戶的任何形式的通訊方式。
下一步，線上驗證模塊440對于該選取工作請求的確認性和正確性，可做驗證。該線上驗證模塊440可更包括設計電路數(shù)據(jù)庫下載子模塊420，由因特網(wǎng)服務器，根據(jù)該客戶提供的光罩工具信息，下載相關(guān)設計電路數(shù)據(jù)庫。該相關(guān)設計電路數(shù)據(jù)庫于客戶工作請求時，由該客戶上傳到該因特網(wǎng)。該設計電路數(shù)據(jù)庫下載子模塊420可及時追蹤可用于該客戶工作請求的該設計電路數(shù)據(jù)庫的位置。該線上驗證模塊440更可包括光罩信息比較子模塊424。該光罩信息比較子模塊424可由該相關(guān)設計電路數(shù)據(jù)庫抽取相關(guān)信息，且針對任何的不符和錯誤，與該光罩工具信息或出光罩信息相比較。該線上驗證模塊440也可包括客戶回饋子模塊426。該客戶回饋子模塊426可寄送比較結(jié)果，包括不符和錯誤，到該客戶，用以更正和修改。如果有任何不符和錯誤，對于相關(guān)工作請求，該客戶回饋子模塊426可豎起旗幟。該工作請求可放上暫停，直到收到和加入客戶的修訂。該客戶回饋子模塊426可操作以接收該客戶的修訂和改變。經(jīng)由該線上驗證模塊440，對于每個上述選取的工作請求，此種確認程序可被重復。上述數(shù)據(jù)庫檢查和上述結(jié)果的客戶通知，可于該客戶呈送該工作請求和相關(guān)信息時立刻執(zhí)行。該數(shù)據(jù)庫檢查可于該工作請求呈送時，大致立即生效。
下一步，該自動計劃轉(zhuǎn)換和整合模塊428可由不同客戶，轉(zhuǎn)換及整合不同工作請求，到可操作以制造光罩組(出光罩信息)的信息。該自動計劃轉(zhuǎn)換和整合模塊428可提供所需的最終元件和數(shù)據(jù)，將該母工作請求置于致能狀態(tài)。為了確認，該出光罩信息更可寄送到每個客戶。再由該相關(guān)客戶而來的每個工作請求的確認之后，該出光罩信息可寄送到光罩制造廠，用以光罩制造。
下一步，多計劃監(jiān)管模塊442使致能客戶監(jiān)管和改變該工作請求，在該工作請求的該生命周期當中，包括多計劃整合，光罩制造，和晶圓制造階段。該多計劃監(jiān)管模塊442可包括線上工作請求追蹤子模塊430。該客戶可使用該線上工作請求追蹤子模塊430，追蹤該工作請求的狀態(tài)。該客戶可動態(tài)監(jiān)管該工作請求的進度。例如，在某些狀況下，該客戶可停住或改變該工作請求。該客戶可和該半導體晶圓代工廠做雙向溝通。例如，該客戶可以預定時間表，設立請求相關(guān)信息。例如，該客戶可請求每日更新該工作請求的狀態(tài)。在另外的例子中，該客戶可請求于該工作請求生命周期當中，該每個程序階段完成的更新。
上述多計劃監(jiān)管模塊442可更包括多客戶通知子模塊432。該多客戶通知子模塊432可寄送相關(guān)信息，到每個工作請求的聯(lián)絡點。該相關(guān)信息可以用客戶偏好的方式，包括電子郵寄，或線上客戶界面，寄送給該客戶。該相關(guān)信息可為更改通知，生產(chǎn)進度報告，制造更新及成品良率(yield)信息。該客戶可被通知包括于自動計劃轉(zhuǎn)換，和該工作請求需要的制程處方(recipe)之后，光罩工具信息的修改。該多客戶通知子模塊432可包括警告通知。
上述客戶可審核該確認通知和任何其它更多的修改。該客戶經(jīng)由多計劃監(jiān)管模塊442，可允許該工作請求。該工作請求可由多個半導體晶圓之上實現(xiàn)，其中每個客戶工作請求可制造于該半導體晶圓或其多個。
圖5a和圖5b各自為半導體光罩和晶圓的平面顯示圖，顯示多計劃晶圓的實現(xiàn)。該光罩510可為光罩組之一或多層，用以實現(xiàn)多計劃半導體元件。例如，樣式512是對于一個工作請求而設計，且分派到有請求窗口尺寸的上述光罩的合適位置。樣式514可針對另外的工作請求而設計，且分派到有請求窗口尺寸的目前位置。更多工作請求例如樣式516到樣式538顯示于此，且根據(jù)每個該工作請求信息對于每個做設計，且分派到該光罩的合適位置。
圖5b為多計劃半導體晶圓540的平面顯示圖。該多計劃半導體晶圓540可為任意直徑，且可分割為多個半導體區(qū)塊542。每個半導體區(qū)塊542可包括由不同工作請求而來的多個半導體元件(或晶體)。每個半導體區(qū)塊542可為該光罩510(或包括光罩510的光罩組)的對應(map)。多個電子元件的工作請求整合到一個光罩組，且多計劃晶圓據(jù)此制造。因此該光罩的制造費用由多個工作請求分攤，且每個工作請求的費用減低。
圖6為線上界面600，顯示一種客戶可與圖4中該系統(tǒng)400互動的方法。這里要了解界面屏幕的許多種類可呈現(xiàn)給客戶，包括登入界面屏幕和提供該客戶如何達成各種工作的指令的幫助界面屏幕。在該客戶登入該系統(tǒng)400之后，該線上界面600提供該客戶幾個選項。在本例中，該線上界面600包括多個圖形元素，例如加載按鍵602，儲存按鍵604，詢問按鍵606，移除按鍵608，檢查按鍵610，寄送按鍵612，新增按鍵614，復制按鍵616，和替換按鍵618。該線上界面600也可包括提供該客戶工作請求配置和出光罩的樣版620。該樣版620可在該設計過程，由工作請求的規(guī)格更新，以確定該工作請求為正確的。另外，該工作請求系統(tǒng)規(guī)格可在該工作請求的配置完成之后，應用于該樣版620。該樣版620可更代表瀏覽器屏幕，多個選擇屏幕，和實時工作請求追蹤屏幕。
該提供該客戶加載工作請求數(shù)據(jù)和信息到內(nèi)建的該晶圓代工廠的數(shù)據(jù)庫和客戶入光罩(tape-in)，或儲存工作請求到該系統(tǒng)400的選項。該詢問按鍵606可搜索晶圓代工廠的該客戶的元件信息，光罩設計，和其它技術(shù)規(guī)格數(shù)據(jù)庫。該移除按鍵608將該客戶置于致能狀態(tài)，用以移除由該工作請求而來的元件或數(shù)據(jù)，而該檢查按鍵610將該系統(tǒng)400置于致能狀態(tài)，用以檢查該客戶輸入數(shù)據(jù)和有內(nèi)建設計和技術(shù)信息的晶圓代工廠的設計。例如，該寄送按鍵612可用以初始該系統(tǒng)400的客戶回饋子模塊426。如果使用者界面不需要時，該檢查按鍵610可自動化。
該寄送按鍵612可用以由該系統(tǒng)400，寄送和接收電子郵件通知，而該新增按鍵614可將該客戶置于致能狀態(tài)，以對于工作請求，加入或編輯該元件。該復制按鍵616可將該客戶置于致能狀態(tài)，以復制已存在的元件信息或該通訊網(wǎng)路106的該數(shù)據(jù)庫內(nèi)的已存在的元件。該替換按鍵618可將該選取的元件置于致能狀態(tài)，以由另外的元件替換。這里要了解該按鍵和功能只為顯示，且許多其它按鍵和功能可被提供。例如，由點選鼠標按鍵(未顯示)或由使用鍵盤(未顯示)，內(nèi)容導向(content sensitive)選單可被選取。據(jù)上所述，該線上界面600可如同所想要的，延伸其功能及加強客戶支持而加以改變。
該虛擬晶圓廠102可包括一或多服務器，耦接到例如，因特網(wǎng)。該服務器可包括網(wǎng)絡服務器，文件傳輸協(xié)議(File TransferProtocol，F(xiàn)TP)服務器，或電子郵件服務器等等。一或多數(shù)據(jù)儲存元件或服務器也可使用于此。該線上界面提供實時互動，和該客戶和該晶圓代工廠，或制造設備間的通訊。上述通訊管道并不被時區(qū)和地域分別所限制。
以上所示提供許多不同實施例及實現(xiàn)不同本發(fā)明特點的實施例。這里描述了特定實施例的元件和過程以幫助了解本發(fā)明。這些只是實施例，并非用以限定本發(fā)明。
以上所述僅為本發(fā)明較佳實施例，然其并非用以限定本發(fā)明的范圍，任何熟悉本項技術(shù)的人員，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，可在此基礎上做進一步的改進和變化，因此本發(fā)明的保護范圍當以本申請的權(quán)利要求書所界定的范圍為準。
附圖中符號的簡單說明如下100系統(tǒng)102虛擬晶圓廠104多計劃半導體制造整合系統(tǒng)106通訊網(wǎng)路202內(nèi)部實體
204外部實體214服務器222中央處理器224存儲器單位226輸入/輸出元件228外部接口230總線系統(tǒng)240有線或無線連結(jié)242中間網(wǎng)絡300整合方法302產(chǎn)生和維持線上工作請求樣版步驟304由多客戶產(chǎn)生線上工作請求步驟306交互檢查和提供該線上工作的線上回饋步驟308整合多工作請求到單工作請求步驟310提供線上出光罩信息到制造廠商步驟312該工作請求的線上監(jiān)管狀態(tài)步驟400系統(tǒng)402工作請求模塊404光罩工具樣版模塊406虛設層樣版模塊408特定科技信息樣版410多計劃工作界面412多計劃保留工作列表414多計劃修正工作列表416多計劃產(chǎn)生工作請求418工作請求執(zhí)行通知420設計電路數(shù)據(jù)庫下載子模塊
424光罩信息比較子模塊426客戶回饋子模塊428自動計劃轉(zhuǎn)換和整合模塊430線上工作請求追蹤子模塊432多客戶通知子模塊436線上樣版模塊438線上客戶界面模塊440線上驗證模塊510光罩512～538樣式540多計劃半導體晶圓542半導體區(qū)塊600線上界面602加載按鍵604儲存按鍵606詢問按鍵608移除按鍵610檢查按鍵612寄送按鍵614新增按鍵616復制按鍵618替換按鍵620樣版
權(quán)利要求
1.一種多計劃晶圓的處理方法，用以執(zhí)行于計算機系統(tǒng)中，所述多計劃晶圓的處理方法包括經(jīng)由線上界面，提供IC設計客戶出光罩所需的完整樣版，并接收至少兩組出光罩信息，每個帶有描述集成電路的信息；檢查該接收的至少兩組出光罩信息；提供回饋給個別該至少兩組出光罩信息中之一；以及整合上述與該集成電路相關(guān)的信息，到共同光罩組。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多計劃晶圓的處理方法，其特征在于更包括經(jīng)由該線上界面，提供與整合和制造該第一和第二集成電路的相關(guān)狀態(tài)信息。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多計劃晶圓的處理方法，其特征在于上述出光罩信息包括光罩工具信息。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多計劃晶圓的處理方法，其特征在于上述出光罩信息包括與電路設計數(shù)據(jù)庫的相關(guān)信息，以及上述處理方法更包括針對與該集成電路相關(guān)的電路文件，存取該電路設計數(shù)據(jù)庫。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多計劃晶圓的處理方法，其特征在于上述出光罩信息包括，與電路設計數(shù)據(jù)庫和電路文件名稱相關(guān)的位置信息，以及上述處理方法更包括針對與該集成電路相關(guān)的該電路文件，存取該電路數(shù)據(jù)庫。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的多計劃晶圓的處理方法，其特征在于上述檢查該接收的至少兩組出光罩信息的步驟包括比較該出光罩信息和該相對應的電路設計文件。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的多計劃晶圓的處理方法，其特征在于上述提供回饋的步驟包括提供關(guān)于該出光罩信息和該相對應的電路設計文件之間的差異的回饋。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多計劃晶圓的處理方法，其特征在于更包括經(jīng)由該線上界面，接收修正的出光罩信息，以響應該回饋。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多計劃晶圓的處理方法，其特征在于上述接收出光罩信息的步驟包括接收關(guān)于多個集成電路的出光罩信息。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多計劃晶圓的處理方法，其特征在于更包括經(jīng)由該線上界面，提供與檢查該出光罩信息相關(guān)的回饋的最終確認。
11.一種半導體整合系統(tǒng)，所述半導體整合系統(tǒng)包括線上完整樣版，可由多個使用者存取，用以提供描述集成電路的信息；線上多計劃晶圓界面，可操作以接收出光罩信息，帶有與多個計劃相關(guān)的描述多個集成電路的信息；線上驗證模塊，可操作以檢查該出光罩信息，和提供每個關(guān)于的回饋；以及監(jiān)管模塊，可操作以提供整合上述集成電路到共同光罩組的線上狀態(tài)。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的半導體整合系統(tǒng)，其特征在于上述出光罩信息包括光罩工具信息。
13.根據(jù)權(quán)利要求11所述的半導體整合系統(tǒng)，其特征在于上述線上驗證模塊，可操作以比較電路設計文件和該出光罩信息內(nèi)的信息。
14.根據(jù)權(quán)利要求11所述的半導體整合系統(tǒng)，其特征在于上述線上驗證模塊，可操作以使用該出光罩信息內(nèi)的信息，下載電路設計文件。
15.根據(jù)權(quán)利要求11所述的半導體整合系統(tǒng)，其特征在于上述線上驗證模塊，可操作以比較該出光罩信息內(nèi)的信息和電路設計文件內(nèi)的數(shù)據(jù)，以及寄送通知，以響應該比較的結(jié)果。
16.根據(jù)權(quán)利要求11所述的半導體整合系統(tǒng)，其特征在于上述線上驗證模塊，立即于接收到該完整線上樣版時，可操作以比較該出光罩信息內(nèi)的信息和電路設計文件內(nèi)的數(shù)據(jù)，以及寄送由該出光罩信息和該電路設計文件偵測到的差異的通知。
17.一種半導體整合方法，用以執(zhí)行于計算機系統(tǒng)中，所述半導體整合方法包括上載設計電路數(shù)據(jù)庫到因特網(wǎng)服務器；接收出光罩信息，帶有相關(guān)于集成電路的信息；由該設計電路數(shù)據(jù)庫，下載電路設計文件；交互檢查該出光罩信息和該電路設計文件之間的信息；以及提供立即的該交互檢查的結(jié)果的電子回饋通知。
18.根據(jù)權(quán)利要求17所述的半導體整合方法，其特征在于上述電子光罩工具包括該設計電路數(shù)據(jù)庫的特性和位置。
19.根據(jù)權(quán)利要求17所述的半導體整合方法，其特征在于上述交互檢查信息的步驟包括偵測該出光罩信息和該電路設計文件的差異。
20.根據(jù)權(quán)利要求17所述的半導體整合方法，其特征在于更包括整合該出光罩信息所描述的該集成電路，和其它集成電路，用以制造共同光罩組于多計劃晶圓上。
21.一種整合方法，用以執(zhí)行于計算機系統(tǒng)中，整合至少兩個集成電路計劃，所述整合方法包括針對每個該至少兩個集成電路計劃，接收出光罩信息文件；下載與每個該出光罩信息文件相關(guān)的電路設計數(shù)據(jù)庫；交互檢查該出光罩信息文件和該電路設計數(shù)據(jù)庫之間；以及為了整合該至少兩個集成電路計劃的共同光罩組，形成出共同光罩信息集合。
22.根據(jù)權(quán)利要求21所述的整合方法，其特征在于更包括接收由出光罩信息的客戶而來的確認；以及傳遞該共同出光罩信息到光罩廠。
23.根據(jù)權(quán)利要求21所述的整合方法，其特征在于上述接收出光罩信息文件的步驟包括接收該電路設計數(shù)據(jù)庫的位置。
全文摘要
本發(fā)明提供一種半導體整合系統(tǒng)及方法、多計劃晶圓的處理及整合方法，所述多計劃晶圓的處理方法，用以執(zhí)行于計算機系統(tǒng)中，包括經(jīng)由線上界面，提供IC設計客戶出光罩所需的完整樣板，并接收至少兩組客戶回復的出光罩信息，每個帶有描述集成電路的信息；檢查該接收的至少兩組出光罩信息；提供回饋給個別該至少兩組出光罩信息中之一；以及整合上述與該集成電路相關(guān)的信息，到共同光罩組。本發(fā)明所述半導體整合系統(tǒng)及方法、多計劃晶圓的處理及整合方法，可實現(xiàn)線上界面提供實時互動，和該客戶和該晶圓代工廠，或制造設備間的通訊，且上述通訊管道并不被時區(qū)和地域分別所限制。
文檔編號G06Q10/00GK1770165SQ20051008925
公開日2006年5月10日 申請日期2005年7月27日 優(yōu)先權(quán)日2004年7月27日
發(fā)明者曹標灼, 馮淑玲, 曾乙弘 申請人:臺灣積體電路制造股份有限公司