技術(shù)編號：6634954
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明是有關(guān)于一種半導(dǎo)體技術(shù)，特別是有關(guān)于一種整合至少兩個(gè)集成電路計(jì)劃的線上多計(jì)劃晶圓的方法和系統(tǒng)。背景技術(shù) 半導(dǎo)體集成電路(Integrated Circuit，以下皆簡稱為IC)工業(yè)正經(jīng)歷快速成長。IC材料和設(shè)計(jì)在科技上的進(jìn)步產(chǎn)生許多IC時(shí)代，每個(gè)IC時(shí)代皆有比前一時(shí)代更小和更復(fù)雜的電路。然而，這些改良會增加IC的制造和處理復(fù)雜度。為了實(shí)現(xiàn)這些改良，需要進(jìn)一步發(fā)展IC制程和制造的技術(shù)。另外，當(dāng)IC工業(yè)已經(jīng)成熟，制造IC的各種運(yùn)作可由單獨(dú)一個(gè)公司或?qū)ｉL于...
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