腔(17)部件構(gòu)成。
【具體實施方式】
[0033]下面以一個典型的實施例對本發(fā)明做詳細說明，但不局限于本實施例。
[0034]參見附圖1，多通路定量氣體流量控制裝置為分體式密封腔體結(jié)構(gòu)，裝置由出氣口
1、調(diào)節(jié)螺母2、彈簧3、限位罩4、0型圈5、氣體分配腔6、滑動軸7、文氏管8、文氏管壓帽9、進氣口 10、分配腔法蘭11、密封墊12、分配腔對接法蘭13、螺栓14、螺母15、測壓管16、進氣腔17等部件構(gòu)成。本裝置在選定流量后，通過旋轉(zhuǎn)調(diào)整螺母帶動相應(yīng)的滑動軸平移，滑動軸平移過程經(jīng)過O型圈作用實現(xiàn)氣體分配腔內(nèi)外密封功能，通過滑動軸平移，開啟滑動軸半球形端與文氏管錐臺形孔之間的線密封，實現(xiàn)氣體通路。氣體由進氣腔進經(jīng)過啟后的文氏管進入氣體分配腔內(nèi)，再經(jīng)過出氣口實現(xiàn)定量氣體輸出。當需要改變氣體流量時，可通過反向旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)螺母，滑動軸在壓力彈簧作用下實現(xiàn)滑動軸反向平移，滑動軸半球形端面與文氏管錐臺形孔壓緊，實現(xiàn)線密封；再按照上述方法開啟所需流量文氏管實現(xiàn)氣體通路，完成定量氣體輸出。本實施例包括4個文氏管調(diào)節(jié)氣體流量，文氏管大小可以更換，實現(xiàn)不同流量的定量氣體調(diào)節(jié)功能。
【主權(quán)項】
1.一種多通路定量氣體流量控制裝置，其特征在于:包括2個以上的文氏管(8)、氣體分配腔(6)和進氣腔(17); 進氣腔(17) —端開口，于開口端設(shè)有分配腔對接法蘭(13)，分配腔對接法蘭(13)與開口端密閉連接；于分配腔對接法蘭(13)上設(shè)有2個以上的通孔，于每個通孔內(nèi)均設(shè)置有一文氏管(8)，文氏管⑶與通孔內(nèi)壁面密閉連接，文氏管⑶進口端處于進氣腔(17) —側(cè)；進氣腔(17)上設(shè)有用于與氣源連接的氣體進口 ； 氣體分配腔(6) —端開口，于開口端外壁面上設(shè)有環(huán)狀分配腔法蘭(11)，分配腔法蘭(11)與分配腔對接法蘭(13)密閉連接；文氏管(8)出口端處于氣體分配腔￠)內(nèi)；于氣體分配腔(6)遠離開口端的一側(cè)壁面上設(shè)有2個以上的通孔，于每個通孔內(nèi)均設(shè)置有一滑動軸(7)，滑動軸(7)與通孔內(nèi)壁面滑動連接； 一端開口、一端密閉的限位罩(4)，滑動軸(7)處于氣體分配腔(6)外部的一端從限位罩⑷開口端伸入限位罩⑷內(nèi)、從限位罩⑷密閉端開設(shè)的通孔穿出限位罩(4)，滑動軸(7)處于氣體分配腔(6)外部的一端設(shè)有外螺紋，滑動軸(7)處于限位罩(4)的一端螺合有調(diào)節(jié)螺母(2)，調(diào)節(jié)螺母(2)的外徑大于限位罩(4)上通孔的直徑；于處于限位罩(4)內(nèi)的滑動軸(7)表面徑向設(shè)有壓力彈簧限位圈，于處于限位罩(4)內(nèi)的滑動軸(7)上套設(shè)有壓力彈簧(3)，壓力彈簧(3)處于限位罩(4)密閉端和限位圈間并被限位；限位罩(4)密閉端與氣體分配腔(6)固接； 滑動軸(7)處于氣體分配腔￠)內(nèi)的一端為半球形，文氏管(8)出口端內(nèi)表面為圓錐臺形，滑動軸(7)半球形端面伸入至文氏管(8)出口端，滑動軸(7)半球形端面可與文氏管(8)出口端線密封貼接； 于處于通孔內(nèi)的滑動軸(7)上套設(shè)有O型圈(5)，滑動軸(7)與通孔內(nèi)壁面通過O型圈(5)密封； 于處于氣體分配腔(6)通孔內(nèi)的滑動軸(7)外表面沿軸向設(shè)有限位凹槽，于氣體分配腔(6)通孔內(nèi)表面設(shè)有限位桿，限位桿一端固定于通孔內(nèi)，另一端伸入限位凹槽； 氣體分配腔(6)上設(shè)有出氣口(I)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的控制裝置，其特征在于:進氣腔(17)上設(shè)有用于測定進氣腔(17)內(nèi)壓力的測壓管(16); 測壓管位于進氣腔殼體上部測壓孔通孔處，測壓管與通孔同軸，測壓管下部與進氣腔上部殼體固接。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的控制裝置，其特征在于: 所述限位罩為左端有中心孔、右端敞口的圓形筒體，筒體中心孔的左端面與出氣口管外壁面固接，筒體敞口的右端面與氣體分配腔外端面固接； 于限位罩左端面的中心孔四周均勻分布2個以上大小一致的通孔； 所述氣體分配腔為一端有中心孔、另一端敞口的圓形筒體，筒體左端面與限位罩固接，筒體敞口的右端面與分配腔法蘭固接，保持密封；于氣體分配腔左端面的中心孔四周均勻分布2個以上大小一致的通孔； 所述滑動軸為兩段的階梯軸，右段軸直徑大于左段軸直徑，替代壓力彈簧限位圈，其中左段軸為螺紋結(jié)構(gòu)，右段軸端面為半球形結(jié)構(gòu)。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的控制裝置，其特征在于: 所述文氏管為帶通孔的圓柱體，圓柱體內(nèi)孔結(jié)構(gòu)為兩個方向相反且相交的圓錐形臺孔，相交處形成的截面積為最小通流面積，內(nèi)孔的圓錐臺孔均為由端面向中心直徑逐漸減小的圓錐形臺孔； 于左端圓錐孔的圓錐面夾角為30°，右端圓錐孔圓錐面夾角為60°。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的控制裝置，其特征在于: 所述進氣腔為兩端敞口的圓錐形殼體結(jié)構(gòu)，其左端與分配腔對接法蘭焊接，右端與標準環(huán)卡焊接。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的控制裝置，其特征在于:于滑動軸螺紋端通過限位罩通孔后與調(diào)節(jié)螺母連接，旋轉(zhuǎn)螺母實現(xiàn)滑動軸平移。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的控制裝置，其特征在于:多控制裝置為左右兩部分的分體式結(jié)構(gòu)，分體式結(jié)構(gòu)左端部分設(shè)有分配腔法蘭，分體式結(jié)構(gòu)右端部分設(shè)有分配腔對接法蘭，左右兩部分的分體式結(jié)構(gòu)通過分配腔法蘭和分配腔對接法蘭相連接。8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的控制裝置，其特征在于:于滑動軸O圈槽與氣體分配腔通孔內(nèi)壁之間設(shè)有兩道O型圈，當滑動軸平移時實現(xiàn)氣體分配腔內(nèi)與外界之間的動密封；所述的O型圈材質(zhì)為氟橡膠。9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的控制裝置，其特征在于: 出氣口為圓管結(jié)構(gòu)，出氣口左端與標準環(huán)卡固接，出氣口右端與氣體分配腔中心孔同軸并固接。10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多種定量氣體流量控制裝置，其特征在于:所述文氏管(8)為2-8個，對應(yīng)的滑動軸為2-8根。
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種用于多種不同定量氣體流量控制裝置，該裝置設(shè)置在氣體供給管路中間；所述多種定量氣體流量控制裝置包括出氣口、調(diào)節(jié)螺母、彈簧、限位罩、O型圈、氣體分配腔、滑動軸、文氏管、文氏管壓帽、進氣口、分配腔法蘭、密封墊、分配腔對接法蘭、螺栓、螺母、測壓管、進氣腔部件構(gòu)成。依靠流量開關(guān)控制氣體通過不同文氏管的路徑，從而定量控制氣體流量大?。贿m用于氣體供給不同階段需要改變定量氣體流量的試驗應(yīng)用。
【IPC分類】G05D7/06
【公開號】CN105573353
【申請?zhí)枴緾N201410589409
【發(fā)明人】劉宇時, 陳文武, 王景龍, 許曉波, 劉振東, 柯長春
【申請人】中國科學(xué)院大連化學(xué)物理研究所
【公開日】2016年5月11日
【申請日】2014年10月28日