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多通路定量氣體流量控制裝置的制造方法

文檔序號:9809888閱讀:366來源:國知局
多通路定量氣體流量控制裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種多通路氣體流量定量控制裝置,特別涉及用于氣體傳輸不同時期需要改變氣體流量的裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]目前,單重態(tài)氧發(fā)生器氣體進給管路在實驗過程中需要調(diào)節(jié)氣體流量大小,氣體原料為氯氣、氦氣、氮氣等氣體,流量計量通過文氏管計量,而改變氣體流量需要更換不同口徑的文氏管,更換過程會造成部分殘余氣體泄漏,氯氣是強氧化性、強腐蝕性劇毒氣體,即使輕微泄漏也會造成嚴重影響。同一單重態(tài)氧發(fā)生器實驗過程中一般氣體流量不會超過四種定量流量,文氏管更換次數(shù)隨著氣體流量改變次數(shù)而改變。氦氣、氮氣等氣體可以通過壓力調(diào)節(jié)閥門調(diào)解壓力控制氣體流量,而氯氣具有強腐蝕性,使用壓力調(diào)節(jié)閥來控制壓力易造成泄漏,使用針心閥門調(diào)節(jié),會產(chǎn)生很大偏差。因此,多種定量氣體流量控制裝置,無需更換文氏管,依靠流量控制開關(guān),即可達到調(diào)節(jié)氣體,尤其是腐蝕性氣體流量大小的目的。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]多種定量氣體流量控制裝置,通過控制不同文氏管開關(guān),可以選擇不同氣體流量大小,無需拆卸文氏管,在外界即可實現(xiàn)氣體流量準(zhǔn)確變更,從而實現(xiàn)氣體流量定量控制,尤其適用于強腐蝕性、強氧化性有毒氣體流量控制。本發(fā)明不僅可以在常壓下使用,亦可在真空條件下,高壓條件下使用。
[0004]所述多種定量氣體流量控制裝置包括出氣口、調(diào)節(jié)螺母、彈簧、限位罩、O型圈、氣體分配腔、滑動軸、文氏管、文氏管壓帽、進氣口、分配腔法蘭、密封墊、分配腔對接法蘭、螺栓、螺母、測壓管、進氣腔部件構(gòu)成。
[0005]所述裝置包括2個以上的文氏管、氣體分配腔和進氣腔;
[0006]進氣腔一端開口,于開口端設(shè)有分配腔對接法蘭,分配腔對接法蘭與開口端密閉連接;于分配腔對接法蘭上設(shè)有2個以上的通孔,于每個通孔內(nèi)均設(shè)置有一文氏管,文氏管與通孔內(nèi)壁面密閉連接,文氏管進口端處于進氣腔一側(cè);進氣腔上設(shè)有用于與氣源連接的氣體進口 ;
[0007]氣體分配腔一端開口,于開口端外壁面上設(shè)有環(huán)狀分配腔法蘭,分配腔法蘭與分配腔對接法蘭密閉連接;文氏管出口端處于氣體分配腔內(nèi);于氣體分配腔遠離開口端的一側(cè)壁面上設(shè)有2個以上的通孔,于每個通孔內(nèi)均設(shè)置有一滑動軸,滑動軸與通孔內(nèi)壁面滑動連接;
[0008]一端開口、一端密閉的限位罩,滑動軸處于氣體分配腔外部的一端從限位罩開口端伸入限位罩內(nèi)、從限位罩密閉端開設(shè)的通孔穿出限位罩,滑動軸處于氣體分配腔外部的一端設(shè)有外螺紋,滑動軸處于限位罩的一端螺合有調(diào)節(jié)螺母,調(diào)節(jié)螺母的外徑大于限位罩上通孔的直徑;于處于限位罩內(nèi)的滑動軸表面徑向設(shè)有壓力彈簧限位圈,于處于限位罩內(nèi)的滑動軸上套設(shè)有壓力彈簧,壓力彈簧處于限位罩密閉端和限位圈間并被限位;限位罩密閉端與氣體分配腔固接;
[0009]滑動軸處于氣體分配腔內(nèi)的一端為半球形,文氏管出口端內(nèi)表面為圓錐臺形,滑動軸半球形端面伸入至文氏管出口端,滑動軸半球形端面可與文氏管出口端線密封貼接;
[0010]于處于通孔內(nèi)的滑動軸上套設(shè)有O型圈,滑動軸與通孔內(nèi)壁面通過O型圈密封;
[0011]于處于氣體分配腔通孔內(nèi)的滑動軸外表面沿軸向設(shè)有限位凹槽,于氣體分配腔通孔內(nèi)表面設(shè)有限位桿,限位桿一端固定于通孔內(nèi),另一端伸入限位凹槽;
[0012]氣體分配腔上設(shè)有出氣口。
[0013]進氣腔上設(shè)有用于測定進氣腔內(nèi)壓力的測壓管;
[0014]所述裝置測壓管位于進氣腔殼體上部測壓孔通孔處,測壓管與通孔同軸,測壓管下部與進氣腔上部殼體固接。
[0015]所述限位罩為左端有中心孔、右端敞口的圓形筒體,筒體中心孔的左端面與出氣口管外壁面固接,筒體敞口的右端面與氣體分配腔外端面固接;
[0016]于限位罩左端面的中心孔四周均勻分布2個以上大小一致的通孔;
[0017]所述氣體分配腔為一端有中心孔、另一端敞口的圓形筒體,筒體左端面與限位罩固接,筒體敞口的右端面與分配腔法蘭固接,保持密封;于氣體分配腔左端面的中心孔四周均勻分布2個以上大小一致的通孔;
[0018]所述滑動軸為兩段的階梯軸,右段軸直徑大于左段軸直徑,替代壓力彈簧限位圈,其中左段軸為螺紋結(jié)構(gòu),右段軸端面為半球形結(jié)構(gòu)。
[0019]所述文氏管為帶通孔的圓柱體,圓柱體內(nèi)孔結(jié)構(gòu)為兩個方向相反且相交的圓錐形臺孔,相交處形成的截面積為最小通流面積,內(nèi)孔的圓錐臺孔均為由端面向中心直徑逐漸減小的圓錐形臺孔;
[0020]于左端圓錐孔的圓錐面夾角為30°,右端圓錐孔圓錐面夾角為60°。
[0021]所述進氣腔為兩端敞口的圓錐形殼體結(jié)構(gòu),其左端與分配腔對接法蘭焊接,右端與標(biāo)準(zhǔn)環(huán)卡焊接。
[0022]所述裝置于滑動軸螺紋端通過限位罩通孔后與調(diào)節(jié)螺母連接,旋轉(zhuǎn)螺母實現(xiàn)滑動軸平移。
[0023]所述裝置為左右兩部分的分體式結(jié)構(gòu),分體式結(jié)構(gòu)左端部分設(shè)有分配腔法蘭,分體式結(jié)構(gòu)右端部分設(shè)有分配腔對接法蘭,左右兩部分的分體式結(jié)構(gòu)通過分配腔法蘭和分配腔對接法蘭相連接。
[0024]所述裝置于滑動軸O圈槽與氣體分配腔通孔內(nèi)壁之間設(shè)有兩道O型圈,當(dāng)滑動軸平移時實現(xiàn)氣體分配腔內(nèi)與外界之間的動密封;所述的O型圈材質(zhì)為氟橡膠。
[0025]所述裝置出氣口為圓管結(jié)構(gòu),出氣口左端與標(biāo)準(zhǔn)環(huán)卡固接,出氣口右端與氣體分配腔中心孔同軸并固接。
[0026]所述文氏管為2-8個,對應(yīng)的滑動軸為2-8根。
[0027]依靠流量開關(guān)控制氣體通過不同文氏管的路徑,從而定量控制氣體流量大??;適用于氣體供給不同階段需要改變定量氣體流量的試驗應(yīng)用。
[0028]本發(fā)明的有益效果:
[0029]1.實現(xiàn)四種不同氣體流量控制,可通過外界調(diào)節(jié)開關(guān),無需拆卸;
[0030]2.使用文氏管氣體流量計量,準(zhǔn)確控制氣體流量;
[0031]3.可以在真空、常壓、高壓環(huán)境條件下使用,適用于單重態(tài)氧發(fā)生器裝置氣體供給管路等實驗應(yīng)用。
【附圖說明】
[0032]圖1,其中多種定量氣體流量控制裝置;由出氣口(1)、調(diào)節(jié)螺母(2)、彈簧(3)、限位罩(4)、O型圈(5)、氣體分配腔(6)、滑動軸(7)、文氏管(8)、文氏管壓帽(9)、進氣口
(10)、分配腔法蘭(11)、密封墊(12)、分配腔對接法蘭(13)、螺栓(14)、螺母(15)、測壓管
(16)、進氣
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