電流值、偏轉(zhuǎn) 掃描線圈中的電流方向和大小，并將消像電流值、聚焦電流值、偏轉(zhuǎn)掃描線圈中的電流方向 和大小存入電子束能量分布控制電路中的存儲(chǔ)芯片中；
[0087] 步驟3 :電子束能量分布控制電路根據(jù)待掃描圖案，在電子束正式掃描之前進(jìn)行 預(yù)掃描，根據(jù)每個(gè)掃描檢測點(diǎn)處的消像電流值、聚焦電流值、偏轉(zhuǎn)掃描線圈中的電流方向和 大小，采用插值法，逐個(gè)計(jì)算出待掃描圖案中每個(gè)待掃描點(diǎn)位置的第二消像線圈輸出的待 掃描點(diǎn)消像電流值、下聚焦線圈輸出的待掃描點(diǎn)聚焦電流值、偏轉(zhuǎn)掃描線圈中的待掃描點(diǎn) 電流方向和大??；
[0088] 步驟4 :電子束能量分布控制電路將每個(gè)待掃描點(diǎn)位置的坐標(biāo)信息和偏轉(zhuǎn)掃描線 圈中的待掃描點(diǎn)電流方向和電流大小存儲(chǔ)到偏轉(zhuǎn)掃描線圈驅(qū)動(dòng)電源的存儲(chǔ)器中，將每個(gè)待 掃描坐標(biāo)點(diǎn)位置的坐標(biāo)信息、待掃描點(diǎn)消像電流值和待掃描點(diǎn)聚焦電流值分別存儲(chǔ)到第二 消像線圈驅(qū)動(dòng)電源和下聚焦線圈驅(qū)動(dòng)電源的存儲(chǔ)器中；
[0089] 步驟5 :根據(jù)待掃描點(diǎn)消像電流值、待掃描點(diǎn)聚焦電流值、偏轉(zhuǎn)掃描線圈中的待掃 描點(diǎn)電流方向和電流大小，對(duì)待掃描圖案中每個(gè)待掃描點(diǎn)進(jìn)行正式掃描。
[0090] 在一個(gè)實(shí)施例中，上述方法中步驟2包括：
[0091] 步驟21 :調(diào)整偏轉(zhuǎn)掃描線圈，使電子束穩(wěn)定在多個(gè)掃描檢測點(diǎn)中的一個(gè)掃描檢測 點(diǎn)位置；
[0092] 步驟22 :利用電子束能量密度檢測分析儀對(duì)掃描檢測點(diǎn)位置的焦點(diǎn)位置和束斑 形狀進(jìn)行分析，分別調(diào)整第二消像線圈驅(qū)動(dòng)電源輸出的消像電流和下聚焦線圈驅(qū)動(dòng)電源輸 出的聚焦電流，當(dāng)焦點(diǎn)位置和束斑形狀達(dá)到設(shè)定要求后，將第二消像線圈輸出的消像電流 值、下聚焦線圈輸出的聚焦電流值、偏轉(zhuǎn)掃描線圈中的電流方向和大小存入電子束能量分 布控制電路中的存儲(chǔ)芯片中。
[0093] 在一個(gè)實(shí)施例中，上述方法中步驟5包括：
[0094] 步驟51 :電子束能量分布控制電路分別向偏轉(zhuǎn)掃描線圈驅(qū)動(dòng)電源、第二消像線圈 驅(qū)動(dòng)電源和下聚焦線圈驅(qū)動(dòng)電源發(fā)出待掃描點(diǎn)位置的坐標(biāo)信息；
[0095] 步驟52 :偏轉(zhuǎn)掃描線圈驅(qū)動(dòng)電源根據(jù)待掃描點(diǎn)位置的坐標(biāo)信息，查找存儲(chǔ)器中坐 標(biāo)信息對(duì)應(yīng)的偏轉(zhuǎn)掃描線圈中的待掃描點(diǎn)電流方向和電流大小，根據(jù)查找到的偏轉(zhuǎn)掃描線 圈中的待掃描點(diǎn)電流方向和電流大小控制偏轉(zhuǎn)掃描線圈偏轉(zhuǎn)以使電子束束斑穩(wěn)定在待掃 描點(diǎn)；
[0096] 步驟53 :第二消像線圈驅(qū)動(dòng)電源和下聚焦線圈驅(qū)動(dòng)電源分別根據(jù)待掃描點(diǎn)位置 的坐標(biāo)信息，查找存儲(chǔ)器中坐標(biāo)信息對(duì)應(yīng)的待掃描點(diǎn)消像電流值和待掃描點(diǎn)聚焦電流值， 根據(jù)查找到的待掃描點(diǎn)消像電流值和待掃描點(diǎn)聚焦電流值，分別控制第二消像線圈驅(qū)動(dòng)電 源給第二消像線圈輸入待掃描點(diǎn)消像電流值，控制下聚焦線圈驅(qū)動(dòng)電源給下聚焦線圈輸入 待掃描點(diǎn)聚焦電流值，以使掃描區(qū)域內(nèi)不同待掃描點(diǎn)位置的電子束能量密度保持一致進(jìn)行 正式掃描。
[0097] 在一個(gè)實(shí)施例中，如圖7所示，掃描檢測點(diǎn)包括：掃描區(qū)域中心掃描檢測點(diǎn)和位于 中心掃描檢測點(diǎn)周圍的相對(duì)于X向、Y向中心軸線相互對(duì)稱的邊界位置掃描檢測點(diǎn)。這樣 的選擇的目的是：當(dāng)進(jìn)行預(yù)掃描時(shí)，利用插值法進(jìn)行計(jì)算待掃描圖案中各個(gè)待掃描點(diǎn)的焦 點(diǎn)位置和束斑形狀達(dá)到要求時(shí)的消像電流值、聚焦電流值和偏轉(zhuǎn)掃描線圈中電流大小和方 向的時(shí)候，方便計(jì)算。
[0098] 下面再結(jié)合圖1至圖7,以實(shí)例來進(jìn)行說明，以便于理解如何實(shí)施本發(fā)明。
[0099] 本發(fā)明實(shí)施中快速成形的冷陰極電子槍電磁控制系統(tǒng)的控制方法，步驟包括： [0100] (a)在電子束最大偏轉(zhuǎn)掃描區(qū)域的邊界設(shè)置八個(gè)邊界位置掃描檢測點(diǎn)：F(nl， m2)、G (nl，m0)、H(nl，ml)、I (n0, m2)、K (n0, ml)、L (n2, m2)、M(n2, m0)和 N(n2, ml)，在中心 位置設(shè)置一個(gè)中心掃描檢測點(diǎn)：j(n〇, m〇)八個(gè)邊界位置掃描檢測點(diǎn)相對(duì)于X向、Y向中心 軸線相互對(duì)稱；
[0101] (b)通過第三電流給定電路，手動(dòng)調(diào)整偏轉(zhuǎn)掃描線圈8中的X向線圈、Y向線圈中 的電流大小和方向，使電子束11穩(wěn)定在其中一個(gè)掃描檢測點(diǎn)J(nO, m0)位置；
[0102] (C)分別通過第二電流給定電路，手動(dòng)調(diào)整第二消像線圈驅(qū)動(dòng)電源601輸出的消 像電流、下聚焦線圈驅(qū)動(dòng)電源701輸出的聚焦電流，采用電子束能量密度檢測分析儀對(duì)中 心掃描檢測點(diǎn)J(n0, m0)的焦點(diǎn)位置和束斑形狀進(jìn)行分析，在焦點(diǎn)位置和束斑形狀達(dá)到設(shè) 定要求后，記錄J(n0，m0)掃描檢測點(diǎn)位置的X向線圈中的電流值、Y向線圈中的電流值、聚 焦電流值和消像電流值；
[0103] (d)采用（b)~（c)所述方法逐個(gè)檢測并記錄掃描區(qū)域內(nèi)F(nl，m2)、G(nl，mO)、 H(nl，ml)、I (nO, m2)、K(nO, ml)、L(n2, m2)、M(n2, mO)、N(n2, ml)各個(gè)邊界掃描檢測點(diǎn)的 X 向線圈中的電流值、Y向線圈中的電流值、聚焦電流值、消像電流值，并將所述各電流值存入 電子束能量分布控制電路801中的存儲(chǔ)芯片中；
[0104] (e)電子束能量分布控制電路801根據(jù)待掃描圖案，在電子束正式掃描之前進(jìn)行 預(yù)掃描：根據(jù)上述一個(gè)中心掃描檢測點(diǎn)和八個(gè)邊界掃描檢測點(diǎn)位置的X向線圈中的電流 值、Y向線圈中的電流值、聚焦電流值、消像電流值，采用插值法，逐個(gè)確定待掃描圖案中各 個(gè)待掃描坐標(biāo)點(diǎn)位置的X向線圈中的電流值、Y向線圈中的電流值、聚焦電流值、消像電流 值；
[0105] (f)電子束能量分布控制電路801將計(jì)算出的待掃描圖案中各個(gè)待掃描點(diǎn)位置的 X向線圈中的電流值、Y向線圈中的電流值存儲(chǔ)到偏轉(zhuǎn)掃描線圈驅(qū)動(dòng)電源80的第2同步控 制電路的存儲(chǔ)器中；電子束能量分布控制電路801將計(jì)算出的各待掃描圖案中各個(gè)待掃描 點(diǎn)位置的聚焦電流值、消像電流值分別存儲(chǔ)到下聚焦線圈驅(qū)動(dòng)電源、第二消像線圈驅(qū)動(dòng)電 源中第1同步掃描控制電路的存儲(chǔ)器中；
[0106] (g)在電子束掃描過程中，電子束能量分布控制電路801分別向偏轉(zhuǎn)掃描線圈驅(qū) 動(dòng)電源80、下聚焦線圈驅(qū)動(dòng)電源701、第二消像線圈驅(qū)動(dòng)電源601發(fā)出掃描點(diǎn)位置的坐標(biāo)， 偏轉(zhuǎn)掃描線圈驅(qū)動(dòng)電源80根據(jù)某個(gè)掃描點(diǎn)位置的坐標(biāo)分別向X向線圈驅(qū)動(dòng)電源、Y向線圈 驅(qū)動(dòng)電源的掃描控制電路中輸入電流給定信號(hào)及電流換向信號(hào)，由掃描控制電路輸出換向 信號(hào)和電流控制信號(hào)，分別經(jīng)過第四驅(qū)動(dòng)電路、第五驅(qū)動(dòng)電路、第三驅(qū)動(dòng)電路，控制Q3、Q4、 Q5、Q6的開關(guān)狀態(tài)和Q7的放大狀態(tài)，使電子束束斑穩(wěn)定在所述掃描點(diǎn)位置；
[0107] (h)下聚焦線圈驅(qū)動(dòng)電源701、第二消像線圈驅(qū)動(dòng)電源601分別根據(jù)電子束能量分 布控制電路801給定的所述掃描點(diǎn)位置的坐標(biāo)，在各自的同步控制電路中與存儲(chǔ)器中記錄 的相應(yīng)坐標(biāo)位置的電流信息進(jìn)行匹配后，分別向各自的第二電流控制電路送入電流給定信 號(hào)，由第二電流控制電路輸出電流控制信號(hào)，經(jīng)過第二驅(qū)動(dòng)電路，控制Q2的放大狀態(tài)，使所 述待掃描點(diǎn)位置的焦點(diǎn)位置和束斑形狀維持穩(wěn)定，使掃描區(qū)域內(nèi)不同掃描點(diǎn)位置的電子束 能量密度保持一致進(jìn)行正式掃描；
[0108] 重復(fù)（g)~（h)的步驟，直到掃描圖案中所有掃描點(diǎn)均被電子束掃描。
[0109] 圖5和圖7中F、G、H、I、K、L、M、N為邊界位置掃描檢測點(diǎn)，J為中心掃描檢測點(diǎn)； α為偏轉(zhuǎn)角；O是起始偏轉(zhuǎn)點(diǎn)。
[0110] 另外，上述步驟（e)中提到的插值法又稱"內(nèi)插法"，是利用函數(shù)f(x)在某區(qū)間中 插入若干點(diǎn)的函數(shù)值，作出適當(dāng)?shù)奶囟ê瘮?shù)，在這些點(diǎn)上取已知值，在區(qū)間的其他點(diǎn)上用這 特定函數(shù)的值作為函數(shù)f(x)的近似值，這種方法稱為插值法。插值法是應(yīng)用于機(jī)械設(shè)計(jì)、 電子等技術(shù)領(lǐng)域的優(yōu)化方法。
[0111] 以上所述僅為本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例而已，并不用于限制本發(fā)明，對(duì)于本領(lǐng)域的技 術(shù)人員來說，本發(fā)明實(shí)施例可以有各種更改和變化。凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)，所作的 任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1. 一種冷陰極電子槍電磁控制系統(tǒng)，其特征在于，包括： 沿電子槍軸線自上而下依次安裝的第一消像線圈（2)、上聚焦線圈（5)、第二消像線圈 (6)、下聚焦線圈（7)和偏轉(zhuǎn)掃描線圈（8); 第一消像線圈驅(qū)動(dòng)電源（201)，與所述第一消像線圈（2)連接，用于給所述第一消像線 圈（2)提供恒定電流，使所述第一消像線圈（2)產(chǎn)生穩(wěn)定磁場； 上聚焦線圈驅(qū)動(dòng)電源（501)，與所述上聚焦線圈（5)連接，用于給所述上聚焦線圈（5) 提供恒定電流，使所述上聚焦線圈（5)對(duì)從電子槍陽極（12)射出的電子束進(jìn)行一次電磁聚 隹. 第二消像線圈驅(qū)動(dòng)電源（601)，與所述第二消像線圈（6)連接，用于給所述第二消像線 圈（6)提供可調(diào)整的消像電流，以使不同位置掃描點(diǎn)的束斑形狀一致； 下聚焦線圈驅(qū)動(dòng)電源（701)，與所述下聚焦線圈（7)連接，用于給所述下聚焦線圈（7) 提供快速變化的聚焦電流，快速改變所述下聚焦線圈（7)產(chǎn)生的磁場，以快速實(shí)現(xiàn)對(duì)所述 電子束的二次電磁聚焦； 偏轉(zhuǎn)掃描線圈驅(qū)動(dòng)電源（80)，與所述偏轉(zhuǎn)掃描線圈（8)連接，用于給所述偏轉(zhuǎn)掃描線 圈（8)提供快速變化的電流，實(shí)現(xiàn)電子束的快速偏轉(zhuǎn)，以使電子束快速穩(wěn)定在待掃描點(diǎn)； 電子束能量分布控制電路（801)，與所述第二消像線圈驅(qū)動(dòng)電源（601)、下聚焦線圈驅(qū) 動(dòng)電源（701)和偏轉(zhuǎn)掃描線圈驅(qū)動(dòng)電源（80)連接，用于計(jì)算并存儲(chǔ)當(dāng)待掃描點(diǎn)的焦點(diǎn)位置 和束斑形狀達(dá)到設(shè)定要求時(shí)偏轉(zhuǎn)掃描線圈（8)中的電流大小和方向、第二消像線圈（6)中 的消像電流值和下聚焦線圈（7)中的聚焦電流值，并根據(jù)計(jì)算出的偏轉(zhuǎn)掃描線圈中的電流 大小和方向、消像電流值和聚焦電流值控制電子束進(jìn)行掃描，以使設(shè)定掃描區(qū)域內(nèi)不同位 置待掃描點(diǎn)的電子束能密度一致。
2. 如權(quán)利要求1所述的電磁控制系統(tǒng)，其特征在于，所述第一消