本發(fā)明涉及半導(dǎo)體管道加熱領(lǐng)域，尤其涉及一種用于半導(dǎo)體管道加熱器的溫度控制器。

背景技術(shù)：

目前，半導(dǎo)體管道加熱已廣泛應(yīng)用于許多半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中。由于許多半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中有大量的可凝生成物生成，對(duì)半導(dǎo)體管道的加熱可以避免此類生成物在管道內(nèi)壁上的沉積，從而避免管道的堵塞，以保證半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備的正常運(yùn)行。在對(duì)半導(dǎo)體管道加熱時(shí)，對(duì)于加熱溫度的控制至關(guān)重要，然而，傳統(tǒng)用于半導(dǎo)體管道加熱器的溫度控制器還普遍存在如下不足：一、大部分不可以設(shè)定溫度，即使可以人為設(shè)定溫度，設(shè)定操作也比較繁瑣，人機(jī)交互效果差；二、溫控的精度低，抗干擾能力差；三、無法實(shí)時(shí)顯示溫度數(shù)值和設(shè)定溫度；四、無法與控制主機(jī)進(jìn)行通訊，實(shí)時(shí)監(jiān)控狀態(tài)等信息。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明的目的在于通過一種用于半導(dǎo)體管道加熱器的溫度控制器，來解決以上背景技術(shù)部分提到的問題。

為達(dá)此目的，本發(fā)明采用以下技術(shù)方案：

一種用于半導(dǎo)體管道加熱器的溫度控制器，其包括按鍵組、微控制單元(microcontrollerunit，mcu)、顯示屏、溫度傳感器、電源接口、交流-直流轉(zhuǎn)換器、電流采集器、安全繼電器、三端雙向交流開關(guān)以及控制繼電器；所述按鍵組與微控制單元連接；所述微控制單元與顯示屏、溫度傳感器連接；所述電源接口的一端連接電源，另一端連接交流-直流轉(zhuǎn)換器、電流采集器；所述電流采集器與微控制單元連接；所述安全繼電器的一端連接電流采集器，另一端連接三端雙向交流開關(guān)、控制繼電器；所述微控制單元與安全繼電器連接；所述三端雙向交流開關(guān)、控制繼電器連接微控制單元。

特別地，所述用于半導(dǎo)體管道加熱器的溫度控制器還包括工作指示燈；所述工作指示燈連接微控制單元。

特別地，所述用于半導(dǎo)體管道加熱器的溫度控制器還包括rs485通訊模塊，所述rs485通訊模塊的一端連接微控制單元，另一端與控制主機(jī)通訊連接。

特別地，所述顯示屏選用led顯示屏。

特別地，所述溫度傳感器選用k型熱電偶。

本發(fā)明提出的用于半導(dǎo)體管道加熱器的溫度控制器可以通過按鍵組方便設(shè)置加熱溫度值；通過顯示屏實(shí)時(shí)顯示設(shè)定的溫度值及溫度傳感器探測(cè)的加熱溫度；針對(duì)不同的半導(dǎo)體管道加熱器，通電后，微控制單元根據(jù)電流采集器采集的電流大小控制三端雙向交流開關(guān)、控制繼電器的動(dòng)作，從而完成on/ff(開關(guān)模式)&pid控制模式的靈活轉(zhuǎn)換；通過rs485通訊模塊實(shí)現(xiàn)溫度控制器與控制主機(jī)的數(shù)據(jù)通訊，實(shí)時(shí)監(jiān)控加熱過程。

附圖說明

圖1為本發(fā)明實(shí)施例提供的用于半導(dǎo)體管道加熱器的溫度控制器結(jié)構(gòu)圖。

具體實(shí)施方式

為了便于理解本發(fā)明，下面將參照相關(guān)附圖對(duì)本發(fā)明進(jìn)行更全面的描述。附圖中給出了本發(fā)明的較佳實(shí)施例。但是，本發(fā)明可以以許多不同的形式來實(shí)現(xiàn)，并不限于本文所描述的實(shí)施例。相反地，提供這些實(shí)施例的目的是使對(duì)本發(fā)明的公開內(nèi)容理解的更加透徹全面。需要說明的是，當(dāng)一個(gè)元件被認(rèn)為是“連接”另一個(gè)元件，它可以是直接連接到另一個(gè)元件或者可能同時(shí)存在居中元件。除非另有定義，本文所使用的所有的技術(shù)和科學(xué)術(shù)語與屬于本發(fā)明的技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員通常理解的含義相同。本文中在本發(fā)明的說明書中所使用的術(shù)語只是為了描述具體的實(shí)施例的目的，不是旨在于限制本發(fā)明。本文所使用的術(shù)語“及/或”包括一個(gè)或多個(gè)相關(guān)的所列項(xiàng)目的任意的和所有的組合。

請(qǐng)參照?qǐng)D1所示，圖1為本發(fā)明實(shí)施例提供的用于半導(dǎo)體管道加熱器的溫度控制器結(jié)構(gòu)圖。

本實(shí)施例中用于半導(dǎo)體管道加熱器的溫度控制器具體包括按鍵組101、微控制單元102、顯示屏103、溫度傳感器104、電源接口(圖中未示出)、交流-直流轉(zhuǎn)換器105、電流采集器106、安全繼電器107、三端雙向交流開關(guān)108以及控制繼電器109；所述按鍵組101與微控制單元102連接。所述微控制單元102與顯示屏103、溫度傳感器104連接；所述電源接口的一端連接電源110，另一端連接交流-直流轉(zhuǎn)換器105、電流采集器106；所述電流采集器106與微控制單元102連接；所述安全繼電器107的一端連接電流采集器106，另一端連接三端雙向交流開關(guān)108、控制繼電器109；所述微控制單元102與安全繼電器107連接；所述三端雙向交流開關(guān)108、控制繼電器109連接微控制單元102。所述電源110為交流電源，與加熱單元111連接；所述加熱單元111與三端雙向交流開關(guān)108、控制繼電器109連接。

在本實(shí)施例中所述用于半導(dǎo)體管道加熱器的溫度控制器還包括工作指示燈；所述工作指示燈連接微控制單元102。應(yīng)用時(shí)，所述工作指示燈可選用led三色指示燈。為了實(shí)現(xiàn)與控制主機(jī)的數(shù)據(jù)通訊，本實(shí)施例中所述用于半導(dǎo)體管道加熱器的溫度控制器還包括一rs485通訊模塊，所述rs485通訊模塊的一端連接微控制單元102，另一端與控制主機(jī)通訊連接，把客戶所需要的重要數(shù)據(jù)上傳至控制主機(jī)如電腦或者工控機(jī)等。在本實(shí)施例中所述顯示屏103選用led顯示屏。所述溫度傳感器104選用k型熱電偶。

具體的，所述微控制單元102采用microchip公司的工業(yè)級(jí)mcu,而傳統(tǒng)溫度控制器選用的是民用級(jí)的mcu，有些甚至是小眾品牌，性能差，不穩(wěn)定。所述溫度傳感器104放置于加熱器內(nèi)部，所采用的k型熱電偶輸出為毫伏級(jí)別的電壓，經(jīng)過溫度傳感芯片放大優(yōu)化，變成一個(gè)ad電壓信號(hào)，微控制單元102采集這個(gè)ad值，通過換算，可以將電壓信號(hào)換算成溫度信號(hào)。而傳統(tǒng)溫度控制器大都使用的是運(yùn)放芯片，精度低，抗干擾能力差。本發(fā)明的控制部分采用控制繼電器109加三端雙向交流開關(guān)108的模式，根據(jù)實(shí)際情況，在微控制單元102控制下自動(dòng)切換on/ff&pid控制模式(on/off模式指開關(guān)模式，pid模式指的是高精度控制)，針對(duì)不同的加熱器，當(dāng)溫度控制器通電后，微控制單元102根據(jù)電流采集器106采集的電流大小控制三端雙向交流開關(guān)108、控制繼電器109動(dòng)作，從而完成on/ff&pid控制模式的靈活轉(zhuǎn)換。例如，電流大于設(shè)定閾值時(shí)，微控制單元102會(huì)控制切換成on/off模式，電流小于設(shè)定閾值時(shí)，切換成pid控制。本發(fā)明提供的溫度控制器內(nèi)置在外殼中形成一個(gè)整體，溫度控制器與加熱單元111附著在一起，形成一個(gè)最終的產(chǎn)品。

本發(fā)明的技術(shù)方案可以通過按鍵組101方便設(shè)置加熱溫度值；通過顯示屏103實(shí)時(shí)顯示設(shè)定的溫度值及溫度傳感器104探測(cè)的加熱溫度；針對(duì)不同的半導(dǎo)體管道加熱器，通電后，微控制單元102根據(jù)電流采集器106采集的電流大小控制三端雙向交流開關(guān)108、控制繼電器109的動(dòng)作，從而完成on/ff(開關(guān)模式)&pid控制模式的靈活轉(zhuǎn)換；通過rs485通訊模塊實(shí)現(xiàn)溫度控制器與控制主機(jī)的數(shù)據(jù)通訊，實(shí)時(shí)監(jiān)控加熱過程。

注意，上述僅為本發(fā)明的較佳實(shí)施例及所運(yùn)用技術(shù)原理。本領(lǐng)域技術(shù)人員會(huì)理解，本發(fā)明不限于這里所述的特定實(shí)施例，對(duì)本領(lǐng)域技術(shù)人員來說能夠進(jìn)行各種明顯的變化、重新調(diào)整和替代而不會(huì)脫離本發(fā)明的保護(hù)范圍。因此，雖然通過以上實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行了較為詳細(xì)的說明，但是本發(fā)明不僅僅限于以上實(shí)施例，在不脫離本發(fā)明構(gòu)思的情況下，還可以包括更多其他等效實(shí)施例，而本發(fā)明的范圍由所附的權(quán)利要求范圍決定。