一種廢液監(jiān)控系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】本實用新型提供一種廢液監(jiān)控系統(tǒng)，包括廢液收集器、及執(zhí)行器，還包括：用于采集現(xiàn)場廢液收集器的廢液信息，將采集到的廢液信息換算成數(shù)據(jù)信號輸出至執(zhí)行器，以便執(zhí)行器根據(jù)輸出數(shù)據(jù)信號實現(xiàn)現(xiàn)場的輸出控制的局部控制盤；局部控制盤包括用于感測和采集現(xiàn)場所述廢液收集器的廢液信息，并將廢液信息換算成數(shù)據(jù)信號的感測和邏輯控制單元；及用于輸出數(shù)據(jù)信號至執(zhí)行器的輸出單元，與感測和邏輯控制單元連接。本實用新型廢把所有的控制從PLC轉(zhuǎn)移到了局部控制盤上，降低了半導(dǎo)體工廠中龐大的遠(yuǎn)程控制系統(tǒng)中從檢測到執(zhí)行過程中任一環(huán)節(jié)出現(xiàn)故障的幾率，實現(xiàn)了整個系統(tǒng)控制的現(xiàn)場化，如果其中有任何一個環(huán)節(jié)出現(xiàn)問題，那么就可得知及時對其進(jìn)行現(xiàn)場維修。
【專利說明】一種廢液監(jiān)控系統(tǒng)

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型屬于半導(dǎo)體【技術(shù)領(lǐng)域】，涉及一種監(jiān)控系統(tǒng)，特別是涉及一種局部控制盤以及采用該局部控制盤的廢液監(jiān)控系統(tǒng)。

【背景技術(shù)】
[0002]當(dāng)代微電子信息技術(shù)水平的高低代表了一個國家現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)水平的高低。單晶硅材料是半導(dǎo)體工業(yè)的基礎(chǔ)，在高速發(fā)展的微電子信息產(chǎn)業(yè)和太陽能產(chǎn)業(yè)中，半導(dǎo)體及集成電路制備過程中需進(jìn)行嚴(yán)格的潔凈清洗，需要大量超純水，據(jù)統(tǒng)計，6"晶圓需要消耗水資源I噸/片，8〃和12〃晶圓需要消耗水資源3噸/片和12噸/片，因此，在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中，需要一個處理液體水的廢液監(jiān)控系統(tǒng)。
[0003]但是在半導(dǎo)體工廠中，工廠生活用水和廢水處理分布也很廣泛，根據(jù)工廠的建筑設(shè)計，廢水收集點將遍布整個半導(dǎo)體廠區(qū)，為了安全、環(huán)保、和自動化控制的需要，我們將要在每一個控制點處都要實現(xiàn)自動化的零間斷檢測與控制，這對整個系統(tǒng)的整合是一個很龐大的工程，因為現(xiàn)場需要自動化控制，而且還需要將現(xiàn)場的各種工作狀態(tài)反饋到監(jiān)控室，現(xiàn)有技術(shù)的廢液監(jiān)控系統(tǒng)的設(shè)計方式是采用網(wǎng)絡(luò)來實現(xiàn)控制信息的接收和傳遞，但是現(xiàn)有技術(shù)存在一個很重要的缺點就是如此龐大的信息量會因為在這個龐大的控制網(wǎng)絡(luò)中間任一環(huán)節(jié)出現(xiàn)問題都會導(dǎo)致整個系統(tǒng)全面癱瘓，影響系統(tǒng)的檢測與控制。
[0004]因此，如何提供一種局部控制盤和具有這種控制盤的半導(dǎo)體工廠廢液監(jiān)控系統(tǒng)，以解決現(xiàn)有技術(shù)中的在實現(xiàn)控制信息的接收和傳遞過程中可能會龐大的控制網(wǎng)絡(luò)中間任一環(huán)節(jié)出現(xiàn)問題而導(dǎo)致整個網(wǎng)絡(luò)的癱瘓，實已成為本領(lǐng)域從業(yè)者亟待解決的技術(shù)問題。
實用新型內(nèi)容
[0005]鑒于以上所述現(xiàn)有技術(shù)的缺點，本實用新型的目的在于提供一種廢液監(jiān)控系統(tǒng)，用于解決現(xiàn)有技術(shù)中實現(xiàn)控制信息的接收和傳遞過程中可能會龐大的控制網(wǎng)絡(luò)中間任一環(huán)節(jié)出現(xiàn)問題而導(dǎo)致整個網(wǎng)絡(luò)的癱瘓的問題。
[0006]為實現(xiàn)上述目的及其他相關(guān)目的，本實用新型提供一種廢液監(jiān)控系統(tǒng)，包括人機(jī)交互界面、集線器、中央處理器、廢液收集器、及執(zhí)行器，所述廢液監(jiān)控系統(tǒng)還包括:用于采集現(xiàn)場廢液收集器的廢液信息，將采集到的廢液信息換算成數(shù)據(jù)信號輸出至所述執(zhí)行器，以便所述執(zhí)行器根據(jù)輸出數(shù)據(jù)信號實現(xiàn)現(xiàn)場的輸出控制的局部控制盤；所述局部控制盤包括用于感測和采集現(xiàn)場所述廢液收集器的廢液信息，并將所述廢液信息換算成數(shù)據(jù)信號的感測和邏輯控制單元；及用于輸出所述數(shù)據(jù)信號至所述執(zhí)行器的輸出單元，與所述感測和邏輯控制單元連接。
[0007]優(yōu)選地，所述廢液監(jiān)控系統(tǒng)還包括用于監(jiān)控所述廢液監(jiān)控系統(tǒng)上所有組成部件的運行狀態(tài)的PLC，所述PLC與所述局部控制盤連接。
[0008]優(yōu)選地，所述局部控制盤還包括電源部、手動操作控制單元、與所述手動操作控制單元連接的自動操作控制單元、及與所述感測和邏輯控制單元連接的執(zhí)行設(shè)備過載控制單元，所述電源部包括火線和零線。
[0009]優(yōu)選地，所述自動操作控制單元包括一用于防止各所述執(zhí)行器之間發(fā)生沖突的雙層互鎖電路，在所述雙層互鎖電路中包括3個繼電器1、3個繼電器2、3個繼電器3、2個繼電器5、2個繼電器6、3個繼電器7、及2個繼電器10 ;其中，第一個繼電器I的一端與第一個繼電器7的一端相連接，所述第一個繼電器I的另一端與第一個繼電器2相連接，所述第一個繼電器I和第一個繼電器3并聯(lián)，所述第一個繼電器2的另一端通過一繼電器3連接到所述零線上，所述第一個繼電器7的另一端與第二個繼電器2的一端相連接，所述第二個繼電器2的另一端與第二個繼電器3的一端相連接，所述第二個繼電器3的另一端與第一個繼電器6的一端相連接，所述第一個繼電器6的另一端通過一繼電器8與所述手動操作控制單元(162)相連接，第二個繼電器I的一端與所述第二個繼電器2的一端相連接，所述第二個繼電器I的另一端與所述第一個繼電器6的一端相連接，所述第二個繼電器I與第二個繼電器7、第一個繼電器10并聯(lián)；第二個繼電器5的一端通過另一繼電器8與所述手動操作控制單元(162)相連接，所述第二個繼電器5的另一端與第二個繼電器6的一端相連接，所述第二個繼電器6個另一端與第三個繼電器3的一端相連接，所述第三個繼電器3的另一端與第三個繼電器I的一端相連接，所述第三個繼電器I的另一端與第三個繼電器2的一端相連接，所述第三個繼電器2的另一端與所述第二個繼電器6的一端相連接，所述第三個繼電器3和第三個繼電器7、第二個繼電器10并聯(lián)。
[0010]優(yōu)選地,所述感測和邏輯控制單元包括干接點觸點1、干接點觸點2、干接點觸點
3、干接點觸點4、1個繼電器4、5個繼電器5、4個繼電器6、3個繼電器7、3繼電器8、指示燈
2、指示燈3、指示燈4、及指示燈5 ;其中，干接點觸點I的一端與干接點觸點2的一端相連接，所述干接點觸點I的另一端與第一個繼電器7的一端連接，所述干接點觸點2的另一端與第一個繼電器6的一端相連接，所述第一個繼電器6的另一端與第一個繼電器7的另一端相連接，指示燈2與所述第一個繼電器6并聯(lián)；干接點觸點3的一端與所述干接點觸點2的一端相連接，所述干接點觸點3的另一端與第一個繼電器5的一端，所述第一個繼電器5的另一端與所述第一個繼電器6的另一端相連接，第二個繼電器5的一端與所述干接點觸點3的一端相連接，所述第二個繼電器5的另一端與指示燈3的一端相連接，所述指示燈3的另一端與所述第一個繼電器5的另一端相連接；干接點觸點4的一端與所述干接點觸點3的一端相連接，所述干接點觸點4的另一端與第一個繼電器8的一端相連接，所述第一個繼電器8的另一端與所述指示燈3的另一端相連接；第三個繼電器5的一端與所述干接點觸點4的一端相連接，所述第三個繼電器5的另一端與第二個繼電器6的一端相連接，所述第二個繼電器6的另一端與第二個繼電器7的一端相連接，所述第二個繼電器7的一端與第二個繼電器8的一端相連接，所述第二個繼電器8的另一端與指示燈4的一端相連接，所述指示燈4的另一端與所述指示燈3的另一端相連接；第二個繼電器6的一端與所述第三個繼電器5的一端相連接，所述第二個繼電器6的另一端與第三個繼電器7的一端相連接，所述第三個繼電器7的另一端與繼電器4的一端相連接，所述繼電器4的另一端與所述指示燈5的另一端相連接；第四個繼電器6的一端與所述第三個繼電器5的一端相連接，所述第四個繼電器6的另一端與第四個繼電器5的一端相連接，所述第四個繼電器5的另一端與指示燈5的一端相連接，所述指示燈5的另一端與所述繼電器4的另一端相連接，第三個繼電器8的一端與所述第三個繼電器5的一端相連接，所述第三個繼電器8的另一端與第五個繼電器5的一端相連接，所述第五個繼電器5與所述繼電器4的另一端相連接。
[0011]優(yōu)選地，所述廢液監(jiān)控系統(tǒng)還包括一溢出廢液收集箱，所述局部控制盤還包括一與所述溢出廢液收集箱相對應(yīng)的溢出廢液排放控制電路。
[0012]優(yōu)選地,所述溢出廢液排放控制電路包括手動操作控制單元、與手動操作控制單元連接的自動操作控制單元、與自動操作控制單元連接的執(zhí)行器故障控制單元、與執(zhí)行器故障控制單元連接的執(zhí)行器開啟與故障復(fù)位控制單元、及與執(zhí)行器開啟與故障復(fù)位控制單元連接的執(zhí)行器開啟與故障檢測單元；其中，所述手動操作控制單元包括熔斷器、啟動開關(guān)、互鎖停止開關(guān)1、2個繼電器1、I個繼電器2、I個繼電器3、I個繼電器4、2個繼電器7、2個繼電器8、超高水位液位開關(guān)2、高水位液位開關(guān)3、及切換開關(guān)，所述切換開關(guān)具有4個端口；其中，熔斷器的一端連接切換開關(guān)的第一端口，切換開關(guān)的第二端口與第一個繼電器I的一端相連接，所述第一個繼電器I的另一端與互鎖停止開關(guān)I的一端相連接，所述互鎖停止開關(guān)I的另一端與所述第二個繼電器I相連接，所述第二個繼電器I的另一端與第一個繼電器7的一端相連接，第一個繼電器7的另一端與繼電器4的一端相連接，繼電器4的另一端與超聞水位液位開關(guān)2的一端相連接，所述超聞水位液位開關(guān)2的另一端與所述切換開關(guān)的第四端口相連接；所述超高水位液位開關(guān)2分別與第二個繼電器7、第一個繼電器8并聯(lián)，所述第一個繼電器8的一端與繼電器3的一端相連接，所述第一個繼電器8的另一端與高水位液位開關(guān)3的一端相連接，所述繼電器3的另一端與第二個繼電器8的一端相連接，所述第二個繼電器8的另一端與所述繼電器2的一端相連接，所述第一個繼電器2的另一端與高水位液位開關(guān)3的另一端相連接。
[0013]優(yōu)選地，所述自動操作控制單元包括I個繼電器2、2個繼電器3、2個繼電器4、2個繼電器5、3個繼電器6、1個繼電器7、1個繼電器8、1個繼電器9、3個繼電器10、3個繼電器11、互鎖停止開關(guān)2、選擇開關(guān)3、低水位液位開關(guān)4、及反饋器PLC;其中，第一個繼電器11的一端與切換開關(guān)的第四端口相連接，第一個繼電器11的另一端口與低水位液位開關(guān)4的一端相連接，低水位液位開關(guān)4的另一端與繼電器2的一端相連接，繼電器2的另一端與互鎖停止開關(guān)2的一端相連接,互鎖停止開關(guān)2的另一端與第一個繼電器6的一端相連接，第一個繼電器6的另一端與第一個繼電器8的一端相連接，第一個繼電器8的另一端與選擇開關(guān)3的第三個端口相連接，第一個繼電器6與第一個繼電器7并聯(lián)，第一個繼電器8與第一個繼電器5并聯(lián)，選擇開關(guān)的第二個端口與第二個繼電器5的一端相連接，第二個繼電器的5的另一端與第一個繼電器3的一端相連接，第一個繼電器3的另一端與第一個繼電器4連接，第一個繼電器4的另一端與第二個繼電器6的一端相連接，第二個繼電器6的另一端與選擇開關(guān)3的第四個端口相連接，所述第一個繼電器2分別與第二個繼電器3 ;第二個繼電器4并聯(lián)，第二個繼電器11的一端連接在所述切換開關(guān)的第三個端口上，第二個繼電器11的另一端與第一個繼電器2的另一端相連接，第一個繼電器10的一端連接在切換開關(guān)的第四個端口，第一個繼電器10的另一端與第一個繼電器6的一端上，反饋器的一端與切換開關(guān)的第四個端口相連接，反饋器的另一端與第二個繼電器10的一端相連接，第二個繼電器10的另一端與第三個繼電器11的一端相連接，第三個繼電器11的另一端與第三個繼電器10的一端相連接，第三個繼電器10的另一端連接在切換開關(guān)的第四個端口上，繼電器9的一端連接在切換開關(guān)的第三個端口上，繼電器9的另一端連接在所述泵故障控制單元上。
[0014]優(yōu)選地，所述執(zhí)行器故障控制單元包括控制過載保護(hù)器1、控制過載保護(hù)期2，2個繼電器5，2個繼電器6;其中，控制過載保護(hù)器I與第一個繼電器5并聯(lián)，控制過載保護(hù)期2與第一個繼電器6并聯(lián)，所述控制過載保護(hù)器I 一端連接在控制過載保護(hù)器2的一端上，所述控制過載保護(hù)器I的另一端與第二個繼電器5的一端相連接，第二個繼電器5的另一端與第二個繼電器6的一端相連接，第二個繼電器6的另一端與所述控制過載保護(hù)器2的另一端相連接。
[0015]優(yōu)選地，所述執(zhí)行器開啟與故障復(fù)位控制單元包括繼電器3、繼電器4、繼電器5、繼電器6、繼電器9、繼電器12、繼電器13、控制過載保護(hù)器1、控制過載保護(hù)器2 ;其中，繼電器3的一端與繼電器4的一端相連接，繼電器3的另一端與繼電器12的一端相連接，繼電器12的另一端與控制過載保護(hù)器I的一端相連接，控制過載保護(hù)器I的另一端與控制過載保護(hù)器2的一端相連接，控制過載保護(hù)器2的另一段與繼電器13的一端相連接，繼電器13的另一端與繼電器5的一端相連接,繼電器5的另一端與繼電器4的一端相連接,繼電器5與繼電器6并聯(lián)。
[0016]優(yōu)選地，所述執(zhí)行器開啟與故障檢測單元包括繼電器5、繼電器6，繼電器12、繼電器13、指示燈1、指示燈2、指示燈3、指示燈4 ;繼電器12的一端與繼電器13的一端相連接，繼電器12的另一端與指示燈I的一端相連接，繼電器13的另一端與指示燈2的一端相連接，指示燈I的另一端與指示燈2的另一端相連接；繼電器5的一端與繼電器6 —端相連接，繼電器5的另一端與指示燈3的一端相連接，繼電器6的另一端與指示燈4的一端相連接，指示燈3的另一端與指示燈4的另一端相連接。
[0017]如上所述，本實用新型所述的廢液監(jiān)控系統(tǒng)，具有以下有益效果:
[0018]1、本實用新型廢液監(jiān)控系統(tǒng)中的局部控制盤解決了半導(dǎo)體工廠中龐大的網(wǎng)絡(luò)通信架構(gòu)和運行負(fù)載，使系統(tǒng)運行簡單化、清晰化、界面明朗化；
[0019]2、本實用新型所述的廢液監(jiān)控系統(tǒng)中把所有的控制從PLC轉(zhuǎn)移到了局部控制盤上，降低了半導(dǎo)體工廠中龐大的遠(yuǎn)程控制系統(tǒng)中從檢測到執(zhí)行過程中任一環(huán)節(jié)出現(xiàn)故障的幾率，實現(xiàn)了整個系統(tǒng)控制的現(xiàn)場化，如果其中有任何一個環(huán)節(jié)出現(xiàn)問題，那么就可得知及時對其進(jìn)行現(xiàn)場維修；
[0020]3、本實用新型所述廢液監(jiān)控系統(tǒng)設(shè)計成本和運行僅占原始成本的1/5。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0021]圖1顯示為本實用新型的廢液監(jiān)控系統(tǒng)的原理結(jié)構(gòu)示意圖。
[0022]圖2顯示為本實用新型的廢液監(jiān)控系統(tǒng)中局部控制盤的電路示意圖。
[0023]圖3顯示為本實用新型的廢液監(jiān)控系統(tǒng)中局部控制盤的溢出廢液排放控制電路示意圖。
[0024]元件標(biāo)號說明
[0025]I廢液監(jiān)控系統(tǒng)
[0026]11人機(jī)交互界面
[0027]12集線器
[0028]13中央處理器
[0029]14廢液收集器
[0030]15執(zhí)行器
[0031]16局部控制盤
[0032]17PLC
[0033]18溢出廢液排放控制電路
[0034]162手動操作控制單元
[0035]163自動操作控制單元
[0036]164感測和邏輯控制單元
[0037]165執(zhí)行器過載控制單元
[0038]166輸出單元
[0039]181手動操作控制單元
[0040]182自動操作控制單元
[0041]183執(zhí)行器故障控制單元
[0042]184執(zhí)行器開啟與故障復(fù)位控制單元
[0043]185執(zhí)行器開啟與故障檢測單元

【具體實施方式】
[0044]以下由特定的具體實施例說明本實用新型的實施方式，熟悉此技術(shù)的人士可由本說明書所揭露的內(nèi)容輕易地了解本實用新型的其他優(yōu)點及功效。
[0045]請參閱附圖。須知，本說明書所附圖式所繪示的結(jié)構(gòu)、比例、大小等，均僅用以配合說明書所揭示的內(nèi)容，以供熟悉此技術(shù)的人士了解與閱讀，并非用以限定本實用新型可實施的限定條件，故不具技術(shù)上的實質(zhì)意義，任何結(jié)構(gòu)的修飾、比例關(guān)系的改變或大小的調(diào)整，在不影響本實用新型所能產(chǎn)生的功效及所能達(dá)成的目的下，均應(yīng)仍落在本實用新型所揭示的技術(shù)內(nèi)容得能涵蓋的范圍內(nèi)。同時，本說明書中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中間”及“一”等的用語，亦僅為便于敘述的明了，而非用以限定本實用新型可實施的范圍，其相對關(guān)系的改變或調(diào)整，在無實質(zhì)變更技術(shù)內(nèi)容下，當(dāng)亦視為本實用新型可實施的范疇。
[0046]本實施例提供一種廢液監(jiān)控系統(tǒng)1，請參閱圖1，顯示為廢液監(jiān)控系統(tǒng)的原理結(jié)構(gòu)，所述廢液監(jiān)控系統(tǒng)包括人機(jī)交互界面11、集線器12、中央處理器13、廢液收集器14、執(zhí)行器15、局部控制盤16、及PLC17。所述執(zhí)行器15為多個泵和氣閥，所述廢液監(jiān)控系統(tǒng)I還包括一溢出廢液收集器。請參閱2，顯示為局部控制盤的結(jié)構(gòu)，所述局部控制盤16包括電源部161 (未示出)、手動操作控制單元162、與所述手動操作控制單元162連接的自動操作控制單元163、與所述自動操作控制單元163連接的感測和邏輯控制單元164、與所述感測和邏輯控制單元164連接的執(zhí)行器過載控制單元165，及分別與所述感測和邏輯控制單元164、執(zhí)行器過載控制單元165連接的輸出單元166，在所述輸出單元166中還包括有報警控制部，所述電源部161包括火線和零線。
[0047]在本實施例所述提供的廢液監(jiān)控系統(tǒng)中，所述人機(jī)交互界面11用于交互和顯示所述廢液監(jiān)控系統(tǒng)的數(shù)據(jù)。
[0048]所述中央處理器13中包括有一主中央處理器和一從中央處理器，所述中央處理器用于負(fù)載整個系統(tǒng)的信息轉(zhuǎn)換和傳輸，所述人機(jī)交互界面的數(shù)據(jù)都來源于它。
[0049]所述局部控制盤16用于采集現(xiàn)場廢液收集器的廢液信息，將采集到的廢液信息換算成數(shù)據(jù)信號輸出至所述執(zhí)行器，以便所述執(zhí)行器根據(jù)輸出數(shù)據(jù)信號實現(xiàn)現(xiàn)場的輸出控制。所述局部控制盤中感測和邏輯控制單元164用于感測和采集現(xiàn)場所述廢液收集器的廢液信息，并將所述廢液信息換算成數(shù)據(jù)信號；輸出單元166用于輸出所述數(shù)據(jù)信號至所述執(zhí)行器的。
[0050]其中，所述局部控制盤所包括的電源部161、手動操作控制單元162、自動操作控制單元163、感測和邏輯控制單元164、執(zhí)行器過載控制單元165，輸出單元166全部包括在廢液排放控制電路167中，所述廢液排放控制電路167由電源開關(guān)K/L，切換按鈕K、指示燈HD、繼電器KM、干接點觸點YK、按鈕SB、過載保護(hù)期0/L、及報警蜂鳴器BL組成。請參閱圖2，顯示為局部控制盤的電路結(jié)構(gòu)，其中，指示燈HDl的一端連接在火線上，指示燈HDl的另一端連接在零線上。所述手動操作控制單元162包括啟動按鈕SB1、SB3，停止按鈕SB2、SB4，繼電器KMl，繼電器KM2，所述啟動按鈕SBl的一端連接在切換按鈕K上，另一端與所述停止按鈕SB2相連接，啟動按鈕SBl與繼電器KMl并聯(lián)，啟動按鈕SB3的一端與所述啟動按鈕SBl的一端相連接，另一端與所述停止按鈕SB4相連接，啟動按鈕SB3的一端與所述繼電器KM2并聯(lián)；
[0051]所述自動操作控制單元163包括一用于防止各所述執(zhí)行器15之間發(fā)生沖突的雙層互鎖電路，在所述雙層互鎖電路中包括3個繼電器KM1、3個繼電器KM2、3個繼電器KM3、2個繼電器KM5、2個繼電器KM6、3個繼電器KM7、及2個繼電器KMlO ;其中，第一個繼電器KMl的一端與第一個繼電器KM7的一端相連接，所述第一個繼電器KMl的另一端與第一個繼電器KM2相連接，所述第一個繼電器KMl和第一個繼電器KM3并聯(lián)，所述第一個繼電器KM2的另一端通過一繼電器KM3連接到所述零線上，所述第一個繼電器KM7的另一端與第二個繼電器KM2的一端相連接，所述第二個繼電器KM2的另一端與第二個繼電器KM3的一端相連接，所述第二個繼電器KM3的另一端與第一個繼電器KM6的一端相連接，所述第一個繼電器KM6的另一端通過一繼電器KM8與所述手動操作控制單元162相連接，第二個繼電器KMl的一端與所述第二個繼電器KM2的一端相連接，所述第二個繼電器KMl的另一端與所述第一個繼電器KM6的一端相連接，所述第二個繼電器KMl與第二個繼電器KM7、第一個繼電器KMlO并聯(lián)；第二個繼電器KM5的一端通過另一繼電器KM8與所述手動操作控制單元162相連接，所述第二個繼電器KM5的另一端與第二個繼電器KM6的一端相連接，所述第二個繼電器KM6個另一端與第三個繼電器KM3的一端相連接，所述第三個繼電器KM3的另一端與第三個繼電器KMl的一端相連接，所述第三個繼電器KMl的另一端與第三個繼電器KM2的一端相連接，所述第三個繼電器KM2的另一端與所述第二個繼電器KM6的一端相連接，所述第三個繼電器KM3和第三個繼電器KM7、第二個繼電器IOKM并聯(lián)；
[0052]所述感測和邏輯控制單元164包括干接點觸點YK1、干接點觸點YK2、干接點觸點YK3、干接點觸點YK4、I個繼電器KM4、5個繼電器KM5、4個繼電器KM6、3個繼電器KM7、3繼電器KM8、指示燈HD2、指示燈HD3、指示燈HD4、及指示燈HD5 ;其中，干接點觸點YKl的一端與干接點觸點YK2的一端相連接，所述干接點觸點YKl的另一端與第一個繼電器KM7的一端連接，所述干接點觸點KM2的另一端與第一個繼電器KM6的一端相連接，所述第一個繼電器KM6的另一端與第一個繼電器KM7的另一端相連接，指示燈HD2與所述第一個繼電器KM6并聯(lián)；干接點觸點YK3的一端與所述干接點觸點YK2的一端相連接，所述干接點觸點YK3的另一端與第一個繼電器KM5的一端,所述第一個繼電器KM5的另一端與所述第一個繼電器KM6的另一端相連接，第二個繼電器KM5的一端與所述干接點觸點YK3的一端相連接，所述第二個繼電器KM5的另一端與指示燈HD3的一端相連接，所述指示燈HD3的另一端與所述第一個繼電器KM5的另一端相連接；干接點觸點YK4的一端與所述干接點觸點YK3的一端相連接，所述干接點觸點YK4的另一端與第一個繼電器KM8的一端相連接，所述第一個繼電器KM8的另一端與所述指示燈HD3的另一端相連接；第三個繼電器KM5的一端與所述干接點觸點YK4的一端相連接,所述第三個繼電器KM5的另一端與第二個繼電器KM6的一端相連接，所述第二個繼電器KM6的另一端與第二個繼電器KM7的一端相連接，所述第二個繼電器KM7的一端與第二個繼電器KM8的一端相連接，所述第二個繼電器KM8的另一端與指示燈HD4的一端相連接，所述指示燈HD4的另一端與所述指示燈HD3的另一端相連接；第二個繼電器KM6的一端與所述第三個繼電器KM5的一端相連接，所述第二個繼電器KM6的另一端與第三個繼電器KM7的一端相連接，所述第三個繼電器KM7的另一端與繼電器4的一端相連接，所述繼電器KM4的另一端與所述指示燈HD5的另一端相連接；第四個繼電器KM6的一端與所述第三個繼電器KM5的一端相連接，所述第四個繼電器KM6的另一端與第四個繼電器KM5的一端相連接，所述第四個繼電器KM5的另一端與指示燈HD5的一端相連接，所述指示燈HD5的另一端與所述繼電器KM4的另一端相連接，第三個繼電器KM8的一端與所述第三個繼電器KM5的一端相連接,所述第三個繼電器KM8的另一端與第五個繼電器KM5的一端相連接，所述第五個繼電器KM5與所述繼電器KM4的另一端相連接；
[0053]所述執(zhí)行器過載控制單元165包括過載保護(hù)器0/L1、過載保護(hù)器0/L2、繼電器KM9、繼電器KM10、指示燈HD6、及指示燈HD7。所述過載保護(hù)器0/L1的一端與過載保護(hù)器0/L2的一端相連接，過載保護(hù)器0/L1的另一端與繼電器KM9的一端相連接，所述繼電器KM9的另一端連接在零線上，所述繼電器KM9與指示燈HD6并聯(lián)，所述過載保護(hù)器0/L2的另一端與繼電器KMlO的一端相連接，所述繼電器KMlO的另一端連接在零線上，所述繼電器KMlO與指示燈HD7并聯(lián)。
[0054]所述輸出單元166包括繼電器KM7，繼電器KM8，3個繼電器KM11，指示燈HD10，消音按鈕SB5，蜂鳴器BL。所述繼電器KM7的一端與繼電器KM8的一端相連接，所述繼電器KM7的另一端與消音按鈕SB5的一端相連接，消音按鈕SB5的另一端與第一個繼電器KMll的一端相連接，所述第一個繼電器KMll的另一端與指示燈HDlO的一端相連接，指示燈HDlO的另一端與繼電器KM8的另一端相連接，第二個繼電器KMll與所述消音按鈕SB5并聯(lián)，第三個繼電器KMll的一端與所述繼電器KM7的另一端相連接，所述第三個繼電器KMll的另一端與蜂鳴器BL的一端相連接，所述蜂鳴器BL的另一端連接在零線上。
[0055]在所述局部控制盤中還包括3個繼電器KMl，3個繼電器KM2，指示燈HD8，指示燈HD9，過載保護(hù)器0/L1，過載保護(hù)器0/L2，繼電器KM3，繼電器KMl2。其中，繼電器KMl，繼電器KMl，指示燈HD8并聯(lián)；繼電器KM3，繼電器KM2，指示燈HD9并聯(lián)，過載保護(hù)器0/L1 —端連接在繼電器KMl的一端上，另一端連接在零線上，過載保護(hù)器0/L2的一端連接在繼電器KM2的一端上，另一端連接在零線上。繼電器KM3 —端連接在自動操作控制單元上，另一端連接在零線上，繼電器KM12 —端連接在切換開關(guān)K上，另一端連接在零線上。
[0056]所述廢液監(jiān)控系統(tǒng)還包括一溢出廢液收集箱，所述局部控制盤還包括一與所述溢出廢液收集箱相對應(yīng)的溢出廢液排放控制電路。請參閱圖3，顯示為溢出廢液排放控制電路，所述溢出廢液排放控制電路18包括手動操作控制單元181、與手動操作控制單元181連接的自動操作控制單元182、與自動操作控制單元182連接的執(zhí)行器故障控制單元183、與執(zhí)行器故障控制單元183連接的執(zhí)行器開啟與故障復(fù)位控制單元184、及與執(zhí)行器開啟與故障復(fù)位控制單元184連接的執(zhí)行器開啟與故障檢測單元185。在本實施例中，所述執(zhí)行器為泵，所以，執(zhí)行器故障控制單元183、執(zhí)行器開啟與故障復(fù)位控制單元184、及執(zhí)行器開啟與故障檢測單元185分別為泵故障控制單元183、泵開啟與故障復(fù)位控制單元184、及泵開啟與故障檢測單元185。
[0057]在所述手動操作控制單元181中包括熔斷器FU、啟動開關(guān)SB、互鎖停止開關(guān)Kl、2個繼電器KAl、I個繼電器ΚΑ2、I個繼電器ΚΑ3、I個繼電器ΚΑ4、2個繼電器ΚΑ7、2個繼電器ΚΑ8、超高水位液位開關(guān)Η2、高水位液位開關(guān)Η3、及切換開關(guān)SW，所述切換開關(guān)SW具有4個端口。其中，熔斷器FU的一端連接切換開關(guān)SW的第一端口，切換開關(guān)SW的第二端口與第一個繼電器KAl的一端相連接,所述第一個繼電器KAl的另一端與互鎖停止開關(guān)Kl的一端相連接，所述互鎖停止開關(guān)Kl的另一端與所述第二個繼電器KAl相連接，所述第二個繼電器KAl的另一端與第一個繼電器ΚΑ7的一端相連接,第一個繼電器ΚΑ7的另一端與繼電器ΚΑ4的一端相連接，繼電器ΚΑ4的另一端與超聞水位液位開關(guān)Η2的一端相連接，所述超聞水位液位開關(guān)Η2的另一端與所述切換開關(guān)SW的第四端口相連接。所述超高水位液位開關(guān)Η2分別與第二個繼電器ΚΑ7、第一個繼電器ΚΑ8并聯(lián)，所述第一個繼電器ΚΑ8的一端與繼電器ΚΑ3的一端相連接，所述第一個繼電器ΚΑ8的另一端與高水位液位開關(guān)Η3的一端相連接，所述繼電器ΚΑ3的另一端與第二個繼電器ΚΑ8的一端相連接，所述第二個繼電器ΚΑ8的另一端與所述繼電器ΚΑ2的一端相連接，所述第一個繼電器ΚΑ2的另一端與高水位液位開關(guān)Η3的另一端相連接。
[0058]所述自動操作控制單元182包括I個繼電器ΚΑ2、2個繼電器ΚΑ3、2個繼電器ΚΑ4、2個繼電器ΚΑ5、3個繼電器ΚΑ6、I個繼電器ΚΑ7、I個繼電器ΚΑ8、I個繼電器ΚΑ9、3個繼電器ΚΑ10、3個繼電器ΚΑ11、互鎖停止開關(guān)Κ2、選擇開關(guān)Κ3、低水位液位開關(guān)Η4、及反饋器PLC。其中，第一個繼電器KAll的一端與切換開關(guān)SW的第四端口相連接，第一個繼電器KAll的另一端口與低水位液位開關(guān)Η4的一端相連接,低水位液位開關(guān)Η4的另一端與繼電器ΚΑ2的一端相連接，繼電器ΚΑ2的另一端與互鎖停止開關(guān)Κ2的一端相連接，互鎖停止開關(guān)Κ2的另一端與第一個繼電器ΚΑ6的一端相連接,第一個繼電器ΚΑ6的另一端與第一個繼電器ΚΑ8的一端相連接，第一個繼電器ΚΑ8的另一端與選擇開關(guān)Κ3的第三個端口相連接，第一個繼電器ΚΑ6與第一個繼電器ΚΑ7并聯(lián)，第一個繼電器ΚΑ8與第一個繼電器ΚΑ5并聯(lián)，選擇開關(guān)的第二個端口與第二個繼電器ΚΑ5的一端相連接，第二個繼電器的ΚΑ5的另一端與第一個繼電器ΚΑ3的一端相連接,第一個繼電器ΚΑ3的另一端與第一個繼電器ΚΑ4連接,第一個繼電器ΚΑ4的另一端與第二個繼電器ΚΑ6的一端相連接,第二個繼電器ΚΑ6的另一端與選擇開關(guān)Κ3的第四個端口相連接，所述第一個繼電器ΚΑ2分別與第二個繼電器ΚΑ3。第二個繼電器ΚΑ4并聯(lián)，第二個繼電器KAlI的一端連接在所述切換開關(guān)的第三個端口上，第二個繼電器KAll的另一端與第一個繼電器ΚΑ2的另一端相連接,第一個繼電器KAlO的一端連接在切換開關(guān)SW的第四個端口，第一個繼電器KAlO的另一端與第一個繼電器ΚΑ6的一端上，反饋器PLC的一端與切換開關(guān)SW的第四個端口相連接，反饋器PLC的另一端與第二個繼電器KAlO的一端相連接，第二個繼電器KAlO的另一端與第三個繼電器KAll的一端相連接，第三個繼電器KAlI的另一端與第三個繼電器KAlO的一端相連接，第三個繼電器KAlO的另一端連接在切換開關(guān)SW的第四個端口上，繼電器KA9的一端連接在切換開關(guān)SW的第三個端口上，繼電器KA9的另一端連接在所述泵故障控制單元上。
[0059]所述泵故障控制單元183包括控制過載保護(hù)器KH1、控制過載保護(hù)期KH2，2個繼電器KA5，2個繼電器KA6。其中，控制過載保護(hù)器KHl與第一個繼電器KA5并聯(lián)，控制過載保護(hù)期KH2與第一個繼電器KA6并聯(lián)，所述控制過載保護(hù)器KHl —端連接在控制過載保護(hù)器KH2的一端上，所述控制過載保護(hù)器KHl的另一端與第二個繼電器KA5的一端相連接，第二個繼電器KA5的另一端與第二個繼電器KA6的一端相連接，第二個繼電器KA6的另一端與所述控制過載保護(hù)器KH2的另一端相連接。
[0060]所述泵開啟與故障復(fù)位控制單元184包括繼電器KA3、繼電器KA4、繼電器KA5、繼電器KA6、繼電器KA9、繼電器KA12、繼電器KAl3、控制過載保護(hù)器KHl、控制過載保護(hù)器KH2。其中，繼電器KA3的一端與繼電器KA4的一端相連接，繼電器KA3的另一端與繼電器KA12的一端相連接，繼電器KA12的另一端與控制過載保護(hù)器KHl的一端相連接，控制過載保護(hù)器KHl的另一端與控制過載保護(hù)器KH2的一端相連接，控制過載保護(hù)器KH2的另一段與繼電器KA13的一端相連接，繼電器KA13的另一端與繼電器KA5的一端相連接，繼電器KA5的另一端與繼電器KA4的一端相連接，繼電器KA5與繼電器KA6并聯(lián)。
[0061]所述泵開啟與故障檢測單元185包括繼電器KA5、繼電器KA6，繼電器KA12、繼電器KA13、指示燈HD1、指示燈HD2、指示燈UD3、指示燈UD4。繼電器KA12的一端與繼電器KA13的一端相連接，繼電器KA12的另一端與指示燈HDl的一端相連接，繼電器KA13的另一端與指示燈HD2的一端相連接，指示燈HDl的另一端與指示燈HD2的另一端相連接；繼電器KA5的一端與繼電器KA6 —端相連接,繼電器KA5的另一端與指不燈UD3的一端相連接,繼電器KA6的另一端與指示燈UD4的一端相連接，指示燈UD3的另一端與指示燈UD4的另一端相連接。
[0062]所述PLC17用于監(jiān)控現(xiàn)場受控設(shè)備的運行狀態(tài)，這與現(xiàn)有技術(shù)中的PCL功能不同，現(xiàn)有技術(shù)的廢液監(jiān)控系統(tǒng)中PLC用于將從現(xiàn)場采集到的廢液收集器的廢液信息換算成數(shù)據(jù)信號，之后將所述數(shù)據(jù)信號輸出給執(zhí)行器執(zhí)行，根據(jù)現(xiàn)場的實際情況會進(jìn)行執(zhí)行設(shè)備的選行和配置，這樣做成本費用非常高。
[0063]本實施例所述的半導(dǎo)體工廠廢液監(jiān)控系統(tǒng)站點分布廣泛，所述的局部控制盤可安裝在每個站點，這樣隨時都可對半導(dǎo)體工廠廢液監(jiān)控系統(tǒng)中每一個站點進(jìn)行控制。
[0064]本實用新型所述的局部控制盤應(yīng)用于所述半導(dǎo)體工廠廢液監(jiān)控系統(tǒng)中，首先解決了半導(dǎo)體工廠中龐大的網(wǎng)絡(luò)通信架構(gòu)和運行負(fù)載，使系統(tǒng)運行簡單化、清晰化、界面明朗化；其次本實用新型所述的半導(dǎo)體工廠廢液監(jiān)控系統(tǒng)中把所有的控制從PLC轉(zhuǎn)移到了局部控制盤上，降低了半導(dǎo)體工廠中龐大的遠(yuǎn)程控制系統(tǒng)中從檢測到執(zhí)行過程中任一環(huán)節(jié)出現(xiàn)故障的幾率，實現(xiàn)了整個系統(tǒng)控制的現(xiàn)場化，如果其中有任何一個環(huán)節(jié)出現(xiàn)問題，那么就可得知及時對其進(jìn)行現(xiàn)場維修；最后所述半導(dǎo)體工廠廢液監(jiān)控系統(tǒng)設(shè)計成本和運行僅占原始成本的1/5。
[0065]綜上所述，本實用新型有效克服了現(xiàn)有技術(shù)中的種種缺點而具高度產(chǎn)業(yè)利用價值。
[0066]上述實施例僅例示性說明本實用新型的原理及其功效，而非用于限制本實用新型。任何熟悉此技術(shù)的人士皆可在不違背本實用新型的精神及范疇下，對上述實施例進(jìn)行修飾或改變。因此，舉凡所屬【技術(shù)領(lǐng)域】中具有通常知識者在未脫離本實用新型所揭示的精神與技術(shù)思想下所完成的一切等效修飾或改變，仍應(yīng)由本實用新型的權(quán)利要求所涵蓋。
【權(quán)利要求】
1.一種廢液監(jiān)控系統(tǒng)，包括人機(jī)交互界面、集線器、中央處理器、廢液收集器、及執(zhí)行器，其特征在于，所述廢液監(jiān)控系統(tǒng)還包括: 用于采集現(xiàn)場廢液收集器的廢液信息，將采集到的廢液信息換算成數(shù)據(jù)信號輸出至所述執(zhí)行器，以便所述執(zhí)行器根據(jù)輸出數(shù)據(jù)信號實現(xiàn)現(xiàn)場的輸出控制的局部控制盤；所述局部控制盤包括 用于感測和采集現(xiàn)場所述廢液收集器的廢液信息，并將所述廢液信息換算成數(shù)據(jù)信號的感測和邏輯控制單元 '及 用于輸出所述數(shù)據(jù)信號至所述執(zhí)行器的輸出單元，與所述感測和邏輯控制單元連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的廢液監(jiān)控系統(tǒng)，其特征在于:所述廢液監(jiān)控系統(tǒng)還包括用于監(jiān)控所述廢液監(jiān)控系統(tǒng)上所有組成部件的運行狀態(tài)的PLC，所述PLC與所述局部控制盤連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的廢液監(jiān)控系統(tǒng)，其特征在于:所述局部控制盤還包括電源部、手動操作控制單元、與所述手動操作控制單元連接的自動操作控制單元、及與所述感測和邏輯控制單元連接的執(zhí)行設(shè)備過載控制單元，所述電源部包括火線和零線。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的廢液監(jiān)控系統(tǒng)，其特征在于:所述自動操作控制單元包括一用于防止各所述執(zhí)行器之間發(fā)生沖突的雙層互鎖電路，在所述雙層互鎖電路中包括3個繼電器1、3個繼電器2 、3個繼電器3、2個繼電器5、2個繼電器6、3個繼電器7、及2個繼電器10 ;其中，第一個繼電器I的一端與第一個繼電器7的一端相連接，所述第一個繼電器I的另一端與第一個繼電器2相連接，所述第一個繼電器I和第一個繼電器3并聯(lián)，所述第一個繼電器2的另一端通過一繼電器3連接到所述零線上，所述第一個繼電器7的另一端與第二個繼電器2的一端相連接，所述第二個繼電器2的另一端與第二個繼電器3的一端相連接，所述第二個繼電器3的另一端與第一個繼電器6的一端相連接，所述第一個繼電器6的另一端通過一繼電器8與所述手動操作控制單元相連接，第二個繼電器I的一端與所述第二個繼電器2的一端相連接，所述第二個繼電器I的另一端與所述第一個繼電器6的一端相連接，所述第二個繼電器I與第二個繼電器7、第一個繼電器10并聯(lián)；第二個繼電器5的一端通過另一繼電器8與所述手動操作控制單元相連接，所述第二個繼電器5的另一端與第二個繼電器6的一端相連接，所述第二個繼電器6個另一端與第三個繼電器3的一端相連接，所述第三個繼電器3的另一端與第三個繼電器I的一端相連接，所述第三個繼電器I的另一端與第三個繼電器2的一端相連接，所述第三個繼電器2的另一端與所述第二個繼電器6的一端相連接，所述第三個繼電器3和第三個繼電器7、第二個繼電器10并聯(lián)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的廢液監(jiān)控系統(tǒng)，其特征在于:所述感測和邏輯控制單元包括干接點觸點1、干接點觸點2、干接點觸點3、干接點觸點4、I個繼電器4、5個繼電器5、4個繼電器6、3個繼電器7、3繼電器8、指示燈2、指示燈3、指示燈4、及指示燈5 ;其中，干接點觸點I的一端與干接點觸點2的一端相連接，所述干接點觸點I的另一端與第一個繼電器7的一端連接，所述干接點觸點2的另一端與第一個繼電器6的一端相連接，所述第一個繼電器6的另一端與第一個繼電器7的另一端相連接，指示燈2與所述第一個繼電器6并聯(lián)；干接點觸點3的一端與所述干接點觸點2的一端相連接，所述干接點觸點3的另一端與第一個繼電器5的一端,所述第一個繼電器5的另一端與所述第一個繼電器6的另一端相連接，第二個繼電器5的一端與所述干接點觸點3的一端相連接，所述第二個繼電器5的另一端與指示燈3的一端相連接，所述指示燈3的另一端與所述第一個繼電器5的另一端相連接；干接點觸點4的一端與所述干接點觸點3的一端相連接，所述干接點觸點4的另一端與第一個繼電器8的一端相連接，所述第一個繼電器8的另一端與所述指示燈3的另一端相連接；第三個繼電器5的一端與所述干接點觸點4的一端相連接，所述第三個繼電器5的另一端與第二個繼電器6的一端相連接，所述第二個繼電器6的另一端與第二個繼電器7的一端相連接，所述第二個繼電器7的一端與第二個繼電器8的一端相連接，所述第二個繼電器8的另一端與指示燈4的一端相連接，所述指示燈4的另一端與所述指示燈3的另一端相連接；第二個繼電器6的一端與所述第三個繼電器5的一端相連接，所述第二個繼電器6的另一端與第三個繼電器7的一端相連接，所述第三個繼電器7的另一端與繼電器4的一端相連接，所述繼電器4的另一端與所述指示燈5的另一端相連接；第四個繼電器6的一端與所述第三個繼電器5的一端相連接，所述第四個繼電器6的另一端與第四個繼電器5的一端相連接，所述第四個繼電器5的另一端與指示燈5的一端相連接，所述指示燈5的另一端與所述繼電器4的另一端相連接，第三個繼電器8的一端與所述第三個繼電器5的一端相連接，所述第三個繼電器8的另一端與第五個繼電器5的一端相連接，所述第五個繼電器5與所述繼電器4的另一端相連接。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的廢液監(jiān)控系統(tǒng)，其特征在于:所述廢液監(jiān)控系統(tǒng)還包括一溢出廢液收集箱，所述局部控制盤還包括一與所述溢出廢液收集箱相對應(yīng)的溢出廢液排放控制電路。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的廢液監(jiān)控系統(tǒng)，其特征在于:所述溢出廢液排放控制電路包括手動操作控制單元、與手動操作控制單元連接的自動操作控制單元、與自動操作控制單元連接的執(zhí)行器故障控制單元、與執(zhí)行器故障控制單元連接的執(zhí)行器開啟與故障復(fù)位控制單元、及與執(zhí)行器開 啟與故障復(fù)位控制單元連接的執(zhí)行器開啟與故障檢測單元；其中，所述手動操作控制單元包括熔斷器、啟動開關(guān)、互鎖停止開關(guān)1、2個繼電器1、1個繼電器2、1個繼電器3、1個繼電器4、2個繼電器7、2個繼電器8、超高水位液位開關(guān)2、高水位液位開關(guān)3、及切換開關(guān)，所述切換開關(guān)具有4個端口；其中，熔斷器的一端連接切換開關(guān)的第一端口，切換開關(guān)的第二端口與第一個繼電器I的一端相連接，所述第一個繼電器I的另一端與互鎖停止開關(guān)I的一端相連接，所述互鎖停止開關(guān)I的另一端與第二個繼電器I相連接，所述第二個繼電器I的另一端與第一個繼電器7的一端相連接，第一個繼電器7的另一端與繼電器4的一端相連接，繼電器4的另一端與超高水位液位開關(guān)2的一端相連接，所述超高水位液位開關(guān)2的另一端與所述切換開關(guān)的第四端口相連接；所述超高水位液位開關(guān)2分別與第二個繼電器7、第一個繼電器8并聯(lián)，所述第一個繼電器8的一端與繼電器3的一端相連接，所述第一個繼電器8的另一端與高水位液位開關(guān)3的一端相連接，所述繼電器3的另一端與第二個繼電器8的一端相連接，所述第二個繼電器8的另一端與所述繼電器2的一端相連接，所述第一個繼電器2的另一端與高水位液位開關(guān)3的另一端相連接。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的廢液監(jiān)控系統(tǒng)，其特征在于:所述自動操作控制單元包括I個繼電器2、2個繼電器3、2個繼電器4、2個繼電器5、3個繼電器6、I個繼電器7、I個繼電器8、I個繼電器9、3個繼電器10、3個繼電器11、互鎖停止開關(guān)2、選擇開關(guān)3、低水位液位開關(guān)4、及反饋器PLC;其中，第一個繼電器11的一端與切換開關(guān)的第四端口相連接，第一個繼電器11的另一端口與低水位液位開關(guān)4的一端相連接，低水位液位開關(guān)4的另一端與繼電器2的一端相連接，繼電器2的另一端與互鎖停止開關(guān)2的一端相連接，互鎖停止開關(guān)2的另一端與第一個繼電器6的一端相連接，第一個繼電器6的另一端與第一個繼電器8的一端相連接，第一個繼電器8的另一端與選擇開關(guān)3的第三個端口相連接,第一個繼電器6與第一個繼電器7并聯(lián)，第一個繼電器8與第一個繼電器5并聯(lián)，選擇開關(guān)的第二個端口與第二個繼電器5的一端相連接，第二個繼電器的5的另一端與第一個繼電器3的一端相連接，第一個繼電器3的另一端與第一個繼電器4連接，第一個繼電器4的另一端與第二個繼電器6的一端相連接，第二個繼電器6的另一端與選擇開關(guān)3的第四個端口相連接，所述第一個繼電器2分別與第二個繼電器3 ;第二個繼電器4并聯(lián)，第二個繼電器11的一端連接在所述切換開關(guān)的第三個端口上，第二個繼電器11的另一端與第一個繼電器2的另一端相連接，第一個繼電器10的一端連接在切換開關(guān)的第四個端口，第一個繼電器10的另一端與第一個繼電器6的一端上，反饋器 的一端與切換開關(guān)的第四個端口相連接，反饋器的另一端與第二個繼電器10的一端相連接，第二個繼電器10的另一端與第三個繼電器11的一端相連接，第三個繼電器11的另一端與第三個繼電器10的一端相連接，第三個繼電器10的另一端連接在切換開關(guān)的第四個端口上，繼電器9的一端連接在切換開關(guān)的第三個端口上，繼電器9的另一端連接在所述執(zhí)行器故障控制單元上。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的廢液監(jiān)控系統(tǒng)，其特征在于:所述執(zhí)行器故障控制單元包括控制過載保護(hù)器1、控制過載保護(hù)期2，2個繼電器5，2個繼電器6 ;其中，控制過載保護(hù)器I與第一個繼電器5并聯(lián)，控制過載保護(hù)期2與第一個繼電器6并聯(lián)，所述控制過載保護(hù)器I一端連接在控制過載保護(hù)器2的一端上，所述控制過載保護(hù)器I的另一端與第二個繼電器5的一端相連接，第二個繼電器5的另一端與第二個繼電器6的一端相連接，第二個繼電器6的另一端與所述控制過載保護(hù)器2的另一端相連接。
10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的廢液監(jiān)控系統(tǒng)，其特征在于:所述執(zhí)行器開啟與故障復(fù)位控制單元包括繼電器3、繼電器4、繼電器5、繼電器6、繼電器9、繼電器12、繼電器13、控制過載保護(hù)器1、控制過載保護(hù)器2 ;其中，繼電器3的一端與繼電器4的一端相連接，繼電器3的另一端與繼電器12的一端相連接，繼電器12的另一端與控制過載保護(hù)器I的一端相連接，控制過載保護(hù)器I的另一端與控制過載保護(hù)器2的一端相連接，控制過載保護(hù)器2的另一段與繼電器13的一端相連接，繼電器13的另一端與繼電器5的一端相連接,繼電器5的另一端與繼電器4的一端相連接，繼電器5與繼電器6并聯(lián)。
11.根據(jù)權(quán)利要求7所述的廢液監(jiān)控系統(tǒng)，其特征在于:所述執(zhí)行器開啟與故障檢測單元包括繼電器5、繼電器6，繼電器12、繼電器13、指示燈1、指示燈2、指示燈3、指示燈4 ;繼電器12的一端與繼電器13的一端相連接，繼電器12的另一端與指示燈I的一端相連接，繼電器13的另一端與指示燈2的一端相連接，指示燈I的另一端與指示燈2的另一端相連接；繼電器5的一端與繼電器6 —端相連接，繼電器5的另一端與指示燈3的一端相連接，繼電器6的另一端與指示燈4的一端相連接，指示燈3的另一端與指示燈4的另一端相連接。
【文檔編號】G05B19/418GK203858496SQ201420226931
【公開日】2014年10月1日 申請日期:2014年5月5日 優(yōu)先權(quán)日:2014年5月5日
【發(fā)明者】朱江寧, 汪建德, 彭志輝 申請人:中芯國際集成電路制造(北京)有限公司