專利名稱：已用過(guò)的硫酸的再生系統(tǒng)、硫酸廢液的再生方法和再生的硫酸的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及已用過(guò)的硫酸的再生系統(tǒng)、已用過(guò)的硫酸的再生硫酸、已用過(guò)的硫酸的再生方法以及再生的硫酸。
背景技術(shù)：
硫酸在各種產(chǎn)業(yè)中以根據(jù)其目的的級(jí)別(純度、濃度)被大量使用。雖然已經(jīng)提出了這些已用過(guò)的硫酸的各種再生方法等(特開(kāi)平9-315806號(hào)、特開(kāi)2002-68715號(hào)等)，但現(xiàn)在通常按照以下所示的方法處理。
(1)在發(fā)生工廠內(nèi)進(jìn)行排水處理(中和處理)。
(2)由專門的處理者收集(回收)，進(jìn)行排水處理。
(3)在工廠內(nèi)作為中和試劑進(jìn)行利用。
(4)在工廠內(nèi)或由專門的再生從業(yè)者對(duì)硫酸廢液進(jìn)行再生處理(蒸餾精制)。
(5)由專門的從業(yè)者接收，作為硫酸礬(硫酸鋁)的原料進(jìn)行利用(但是，在該情況下已用過(guò)的硫酸的使用率為10％以下)。
(6)由專門的從業(yè)者回收，將其與未用過(guò)的硫酸混合，轉(zhuǎn)賣給其他的用戶。
在上述(1)的情況下，硫酸本身為強(qiáng)酸性的藥劑，因此不能直接將其廢棄，需要用大量的堿等的中和試劑(例如消石灰等)進(jìn)行中和處理、各種排水處理劑(例如無(wú)機(jī)凝聚劑、高分子凝聚劑、過(guò)氧化氫分解促進(jìn)劑等)進(jìn)行凝聚沉淀處理或除去過(guò)氧化氫的處理等，導(dǎo)致產(chǎn)生大量的污泥和排水。在上述(2)的情況下，除了在工廠外處理已用過(guò)的硫酸之外，和(1)的情形一樣。在上述(3)的情況下，作為工廠內(nèi)中和試劑的需要量少，對(duì)于最終剩余部分，需要進(jìn)行與(1)的情形一樣的處理。在上述(4)的情況下，需要大工廠和能量回收已用過(guò)的硫酸，回收受到位置(地點(diǎn)條件)的較大影響，因此僅能以一部分限定地域作為對(duì)象。另外，在產(chǎn)生工廠內(nèi)設(shè)置再生設(shè)備，在能量、成本、占地面積、安全性、操作等方面問(wèn)題較多，沒(méi)有實(shí)用性，因此一般來(lái)說(shuō)很少普及。在上述(5)的情況下，廢硫酸很少作為有價(jià)值的資源使用，通常有償收購(gòu)或以非常低的價(jià)格(約數(shù)日元/Kg)賣掉。而由于采用排出源到專門從業(yè)者到利用者的途徑，輸送距離長(zhǎng)，與上述(4)的情況一樣，受到位置(地點(diǎn)條件)的較大影響。對(duì)于上述(6)，由于采用排出源到專門從業(yè)者到利用者的途徑，輸送距離長(zhǎng)，容易受到位置(地點(diǎn)條件)的較大影響。
從以上所述可知，在現(xiàn)有技術(shù)中，容易受到以回收/收購(gòu)已用過(guò)的硫酸為業(yè)務(wù)的專門從業(yè)者位置的影響，因此，當(dāng)附近不存在這些專門從業(yè)者時(shí)，一般在自己的工廠內(nèi)進(jìn)行排水處理，現(xiàn)在還沒(méi)有充分地建立已用過(guò)的硫酸的回收利用。在現(xiàn)有技術(shù)中已用過(guò)的硫酸的附加值低，一般地通常由上述(1)或(2)的方法進(jìn)行排水處理，或者采用有償?shù)厮椭镣獠康姆椒ㄟM(jìn)行處理。但是，從環(huán)保對(duì)策方面出發(fā)可知上述(1)或(2)的情況使用了大量的化學(xué)物質(zhì)，由于產(chǎn)生了大量的污泥和排水而反復(fù)進(jìn)行處理的方法，因此更加助長(zhǎng)了環(huán)境破壞。
因此，對(duì)于已用過(guò)的硫酸的回收利用的技術(shù)進(jìn)行開(kāi)發(fā)的要求高漲，各工廠或研究所致力于開(kāi)發(fā)該方法，并使實(shí)施該方法用的設(shè)備等簡(jiǎn)化、省能源化。例如，各工廠或研究所研究出向已用過(guò)的硫酸中導(dǎo)入亞硫酸，使殘留的過(guò)氧化氫水分解，同時(shí)產(chǎn)生硫酸的方法(特開(kāi)平9-315806)，或者通過(guò)向陰陽(yáng)離子交換膜構(gòu)成的電解槽中供給已用過(guò)的硫酸，對(duì)硫酸進(jìn)行濃縮，同時(shí)產(chǎn)生氧化性物質(zhì)的方法(特開(kāi)平5-139707)等，以致力于降低工廠規(guī)模和能量。但是，這些技術(shù)也面臨著成本等方面的許多問(wèn)題，還沒(méi)有充分確立實(shí)用的已用過(guò)的硫酸的回收利用方法。
本發(fā)明的目的是提供一種對(duì)產(chǎn)業(yè)有利的新系統(tǒng)，其特征是不受地理?xiàng)l件等限制，可在與排出源不同的場(chǎng)所進(jìn)行有效地利用已用過(guò)的硫酸。
本發(fā)明的另一目的是提供一種可回收利用硫酸的系統(tǒng)，該系統(tǒng)根據(jù)所需的純度和量將已用過(guò)的硫酸提供給合適的用戶進(jìn)行回收利用，不用設(shè)置大規(guī)模的設(shè)備，而且成本低。
本發(fā)明的再一目的是提供一種對(duì)產(chǎn)業(yè)有利的回收利用方法，以及提供附加值高的再生硫酸，其特征為將從某一工廠或研究所排出的已用過(guò)的硫酸廢液與過(guò)氧化氫水和水中的至少一種以上混合，提高其附加值進(jìn)行有效利用。
本發(fā)明還有一目的是提供一種不用設(shè)置大規(guī)模設(shè)備且低成本地回收利用已用過(guò)的硫酸廢液的方法。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明者為達(dá)到上述目的，反復(fù)進(jìn)行了專心研究，結(jié)果發(fā)現(xiàn)為在另一工廠或研究所有效利用某一工廠或研究所排出/回收的已用過(guò)的硫酸，對(duì)產(chǎn)生已用過(guò)的硫酸的工廠或研究所、已用過(guò)的硫酸的運(yùn)輸從業(yè)者、利用已用過(guò)的硫酸的工廠或研究所中的至少1個(gè)以上場(chǎng)所測(cè)定已用過(guò)的硫酸的濃度以及對(duì)濃度進(jìn)行調(diào)整，可幾乎不受地點(diǎn)位置的影響，有效地利用已用過(guò)的硫酸，通過(guò)進(jìn)一步進(jìn)行各種研究，完成本發(fā)明。
另外，為了有效利用某一工廠或研究所排出/回收的已用過(guò)的硫酸，通過(guò)向已用過(guò)的硫酸中混合過(guò)氧化氫水和水中的至少1種以上物質(zhì)，可將已用過(guò)的硫酸作為再生硫酸進(jìn)行利用，通過(guò)進(jìn)一步進(jìn)行各種研究，完成本發(fā)明。
附圖的簡(jiǎn)要說(shuō)明

圖1A和圖1B示出了現(xiàn)有的已用過(guò)的硫酸廢液的處理流程圖。
圖2示出了一種現(xiàn)有的已用過(guò)的硫酸廢液精制、再生的再利用方法的實(shí)施方式。
圖3示出了現(xiàn)有的已用過(guò)的硫酸的處理流程圖。
圖4A～圖4C為本發(fā)明的已用過(guò)的硫酸回收利用系統(tǒng)的一實(shí)施方式的示意圖。
圖5為本發(fā)明的已用過(guò)的硫酸回收利用系統(tǒng)的另一實(shí)施方式的示意圖。
圖6為本發(fā)明的已用過(guò)的硫酸回收利用系統(tǒng)的更具體的實(shí)施方式的示意圖。
圖7為本發(fā)明的已用過(guò)的硫酸回收利用方法的一實(shí)施方式的示意圖。
圖8A～圖8C為本發(fā)明的已用過(guò)的硫酸回收利用方法的另一實(shí)施方式的示意圖。
發(fā)明的最佳實(shí)施方式作為本發(fā)明對(duì)象的已用過(guò)的硫酸廢液，其濃度沒(méi)有特別限制，但是為降低每單位重量純硫酸的運(yùn)輸成本，提高本發(fā)明的實(shí)用性，濃度高時(shí)運(yùn)輸效率高，因此更優(yōu)選。另外，更優(yōu)選在硫酸廢液中混入了過(guò)氧化氫水。在醫(yī)療器具等的消毒除臭等中使用的過(guò)氧化氫為強(qiáng)氧化劑，向作為氧化性強(qiáng)酸的硫酸中混入過(guò)氧化氫水所得的溶液具有非常強(qiáng)的氧化性能，可氧化并溶解、除去有機(jī)物和無(wú)機(jī)物，因此可期待作為各種清洗液的用途。從以上觀點(diǎn)出發(fā)，適于本發(fā)明的硫酸廢液優(yōu)選為從半導(dǎo)體工廠或研究所排出的廢液。即，在半導(dǎo)體工廠或研究所的半導(dǎo)體制作工序中，將不純物含量低、純度高的濃硫酸與過(guò)氧化氫水混合，作為清洗液利用，因此如果將已用過(guò)的硫酸廢液直接回收，可得到高濃度和高純度，而且含過(guò)氧化氫水的硫酸廢液。
如上所述，在半導(dǎo)體工廠或研究所產(chǎn)生的硫酸過(guò)氧化氫混合廢液一般在工廠內(nèi)進(jìn)行廢水處理，或者作為中和試劑進(jìn)行利用。有時(shí)也作為硫酸礬原料在工廠外進(jìn)行利用，但是不能有效利用混入的過(guò)氧化氫水分，反而由于在廢液中混入了過(guò)氧化氫水，成為缺陷，大幅度降低了該硫酸廢液的附加值，只能分級(jí)利用(簡(jiǎn)單地作為工業(yè)硫酸的代替物)。
在本發(fā)明中，向該硫酸廢液中添加過(guò)氧化氫水和/或水使其為預(yù)定濃度，在廢液中已含的過(guò)氧化氫不成為特別的問(wèn)題，相反由于殘留的分量降低了所添加的過(guò)氧化氫溶液水的量，因此有利。
從半導(dǎo)體工廠或研究所排出的硫酸廢液濃度越高，不純物越少，可再利用的對(duì)象增多，因此優(yōu)選，但通常硫酸含量一般為50～98重量％，更一般為65～90重量％。另外，在該硫酸廢液中所含的過(guò)氧化氫組分為0～6重量％，更一般地為0.1～3重量％。此外，隨著半導(dǎo)體裝置向微細(xì)化、高密度化方面發(fā)展，對(duì)于電子工業(yè)用硫酸純度的要求越來(lái)越嚴(yán)格，例如要求金屬成分為20ppb以下。由此通常在該硫酸廢液中所含的各種不純物含量中，優(yōu)選金屬成分＜10ppb、氯化物＜0.1ppm級(jí)別的非常高的純度，因此可在半導(dǎo)體工廠或研究所以外的工廠或研究所在清洗液等的用途中使用。例如可作為陰極射線管制作工廠或研究所的光致抗蝕劑掩模用剝離液，基板制作工廠或研究所的銅箔蝕刻液進(jìn)行利用。在這些場(chǎng)合下，均使用低濃度的硫酸(零點(diǎn)幾％～40重量％)和過(guò)氧化氫水(零點(diǎn)零幾％～十幾重量％)的混合水溶液，因此在這些用途中更合適利用上述半導(dǎo)體工廠或研究所排出的硫酸過(guò)氧化氫水混合廢液。
在本發(fā)明中排出硫酸廢液的工廠或研究所A，只要其為排出硫酸組分濃度高且不純物少的硫酸廢液的工廠或研究所，對(duì)其沒(méi)有特別限制，例如可舉出包含半導(dǎo)體的電氣.電子、鋼鐵、無(wú)機(jī)藥品、有機(jī)藥品、醫(yī)藥、纖維、肥料、金屬、礦山、造紙、蘇打、機(jī)械、蓄電池、中和石膏等的各種工業(yè)的工廠或研究所等。其中，優(yōu)選半導(dǎo)體、藥品、醫(yī)藥、化學(xué)工業(yè)，特別是從半導(dǎo)體工廠或研究所排出的已用過(guò)的硫酸廢液的重金屬等不純物含量少(ppm～ppt級(jí)別)或硫酸組分的濃度在60重量％以上，因此如果從硫酸廢液的品質(zhì)、純度和濃度的穩(wěn)定性進(jìn)行判斷，優(yōu)選工廠或研究所A為半導(dǎo)體研究所或工廠。
對(duì)作為本發(fā)明對(duì)象的利用已用過(guò)的硫酸廢液的工廠或研究所C沒(méi)有特別限制，例如可舉出電氣·電子(包含陰極射線管、基板工廠或研究所)、鋼鐵、無(wú)機(jī)藥品、有機(jī)藥品、醫(yī)藥、纖維、肥料、金屬、礦山、造紙、蘇打、機(jī)械、蓄電池、中和石膏等的各種工業(yè)的工廠或研究所等。其中，優(yōu)選電氣·電子(包含陰極射線管、基板工廠或研究所)、化學(xué)、機(jī)械、鋼鐵工業(yè)。特別優(yōu)選電氣.電子產(chǎn)業(yè)(包含陰極射線管、基板工廠或研究所)，作為具體例，可舉出陰極射線管工廠或研究所和基板工廠或研究所等。在這些工廠或研究所中，作為光致抗蝕劑膜的剝離液或銅箔的剝離液，利用的是硫酸與過(guò)氧化氫水的稀混合水溶液，而該混合液中硫酸濃度多數(shù)也在50重量％以下，因此從工廠或研究所A排出的已用過(guò)的硫酸進(jìn)行再利用是合適的。
對(duì)作為本發(fā)明對(duì)象的已用過(guò)的硫酸廢液的運(yùn)輸裝置B沒(méi)有特別限制，例如可舉出車輛(例如油槽汽車、貨運(yùn)車等)、船舶(例如油輪、渡船等)、貨物列車、飛機(jī)(貨物)等，其中，車輛和船舶更實(shí)用。特別是油槽汽車和貨運(yùn)車(用于運(yùn)輸醫(yī)藥的集裝箱)容易從排出源工廠或研究所A接近用戶工廠或研究所C，因此比其它運(yùn)輸方式適用范圍更大。
在本發(fā)明已用過(guò)的硫酸的回收利用體系中，其特征為在上述排出源A、運(yùn)輸裝置B、用戶C的至少1個(gè)以上場(chǎng)所，測(cè)定已用過(guò)的硫酸的濃度和/或調(diào)整其濃度。特別優(yōu)選基于已用過(guò)的硫酸的濃度測(cè)定結(jié)果，對(duì)已用過(guò)的硫酸的濃度進(jìn)行調(diào)整。
對(duì)測(cè)定作為本發(fā)明對(duì)象的已用過(guò)的硫酸的濃度的方法沒(méi)有特別限制，但可舉出以下方法。即，采用折射率測(cè)定、中和滴定、水分測(cè)定(卡爾費(fèi)修法、蒸發(fā)殘留法)、吸光度測(cè)定、比重測(cè)定、粘度測(cè)定、pH測(cè)定、電位差測(cè)定等中的至少1種以上的方法，可測(cè)定出已用過(guò)的硫酸的濃度。其中，從測(cè)定速度和精度、測(cè)定機(jī)的價(jià)格和大小、操作性的觀點(diǎn)出發(fā)，更優(yōu)選折射率、比重、pH的測(cè)定方法。以上濃度測(cè)定可在排出已用過(guò)的硫酸的排出源A、運(yùn)輸已用過(guò)的硫酸的運(yùn)輸裝置B或利用已用過(guò)的硫酸的用戶C中的任一地點(diǎn)實(shí)施，也可以在上述2個(gè)以上位置中實(shí)施。由此，通過(guò)測(cè)定濃度，可作為后述濃度調(diào)節(jié)的指標(biāo)。另外，即使不進(jìn)行后述的濃度調(diào)節(jié)，也可以將濃度測(cè)定結(jié)果提供給用戶C，保證了回收利用硫酸的品質(zhì)。另外，基于已用過(guò)的硫酸的濃度測(cè)定結(jié)果，還可以確定已用過(guò)的硫酸的價(jià)格。
作為本發(fā)明對(duì)象的濃度調(diào)節(jié)，有提高該已用過(guò)的硫酸的濃度的情況，也有降低該濃度的情況，但更一般的是進(jìn)行降低調(diào)節(jié)。在提高已用過(guò)的硫酸的濃度時(shí)，可添加無(wú)水硫酸或發(fā)煙硫酸。而在降低濃度調(diào)節(jié)時(shí)，可添加水或純水。作為將已用過(guò)的硫酸調(diào)整至預(yù)定濃度的方法，有向已用過(guò)的硫酸中添加恒量(相對(duì)于體積、重量)的濃度調(diào)節(jié)溶液(無(wú)水硫酸、發(fā)煙硫酸、水、純水等)的方法，和基于上述濃度測(cè)定結(jié)果添加預(yù)定量的濃度調(diào)節(jié)溶液的方法。從品質(zhì)管理的觀點(diǎn)出發(fā)，后者更優(yōu)選。以上的濃度調(diào)節(jié)可在排出已用過(guò)的硫酸的排出源A、運(yùn)輸已用過(guò)的硫酸的運(yùn)輸裝置B或利用已用過(guò)的硫酸的用戶C中的任一地點(diǎn)實(shí)施，也可以在上述2個(gè)以上位置中實(shí)施。
上述濃度測(cè)定和濃度調(diào)節(jié)的實(shí)施場(chǎng)所可以相同，也可以不同。在濃度測(cè)定和濃度調(diào)節(jié)的實(shí)施場(chǎng)所相同時(shí)，可將濃度測(cè)定結(jié)果直接以信號(hào)送至濃度調(diào)節(jié)裝置(濃度調(diào)節(jié)溶液、濃度調(diào)節(jié)溶液貯存罐、調(diào)整溶液供給泵、混合罐、混合罐內(nèi)的濃度測(cè)定器等)，自動(dòng)地調(diào)整至預(yù)定濃度。另一方面，當(dāng)濃度測(cè)定和濃度調(diào)節(jié)的實(shí)施場(chǎng)所不同時(shí)，可將濃度測(cè)定結(jié)果采用口頭、電話、郵遞、網(wǎng)絡(luò)等的各種手段傳送至下一工序中。接收傳輸?shù)臏y(cè)定結(jié)果的場(chǎng)所可基于傳輸?shù)膬?nèi)容直接使用已用過(guò)的硫酸，或者對(duì)是否進(jìn)行濃度調(diào)節(jié)進(jìn)行判斷。如上所述，在進(jìn)行濃度調(diào)節(jié)時(shí)添加濃度調(diào)節(jié)溶液，以達(dá)到希望的濃度。而為了確定添加濃度調(diào)節(jié)溶液之后的已用過(guò)的硫酸的濃度是否達(dá)到預(yù)定濃度，更優(yōu)選在濃度調(diào)節(jié)罐中設(shè)置濃度測(cè)定器。
在本發(fā)明中，也可以在排出源A、運(yùn)輸裝置B或用戶C中的至少一個(gè)以上場(chǎng)所中，除了實(shí)施已用過(guò)的硫酸的濃度測(cè)定和/或濃度調(diào)節(jié)，也可以實(shí)施其它的處理。作為其它的處理，將在以下進(jìn)行詳細(xì)描述，例如，對(duì)已用過(guò)的硫酸中的硫酸進(jìn)行濃縮處理、除去已用過(guò)的硫酸中硫酸以外成分的處理、向已用過(guò)的硫酸中添加硫酸以外成分的處理等。
作為上述其它處理，可舉出對(duì)已用過(guò)的硫酸中的硫酸進(jìn)行濃縮處理。作為上述濃縮處理，可采用公知手段。例如，當(dāng)已用過(guò)的硫酸中所含的其它成分為水或過(guò)氧化氫水等的比硫酸沸點(diǎn)低的物質(zhì)時(shí)，通過(guò)加熱已用過(guò)的硫酸，可使上述其它成分比硫酸先蒸發(fā)出來(lái)，因此可濃縮已用過(guò)的硫酸中的硫酸。此時(shí)，已經(jīng)氣化的上述其它成分采用抽氣機(jī)等從反應(yīng)系統(tǒng)中除去，與上述其它成分的氣體通過(guò)自然擴(kuò)散而釋放到外部的情況相比，可迅速地濃縮硫酸。該處理中的已用過(guò)的硫酸的加熱溫度根據(jù)已用過(guò)的硫酸中所含的硫酸以外的成分等是不同的，不能一概而論，例如在已用過(guò)的硫酸中含水或過(guò)氧化氫水時(shí)，約為150℃～315℃，更優(yōu)選約為180℃～250℃左右。對(duì)上述處理中所用的反應(yīng)裝置沒(méi)有特別限制，可使用公知裝置。作為上述裝置，可由在濃縮條件下對(duì)已用過(guò)的硫酸有耐腐蝕性的材料形成，并且在濃縮處理時(shí)可暫時(shí)存儲(chǔ)已用過(guò)的硫酸，可舉出將提供已用過(guò)的硫酸的供給口、排出濃縮后溶液的排出口、加熱已用過(guò)的硫酸的加熱裝置、對(duì)已氣化的上述氣體成分的氣體進(jìn)行排氣的排氣口以及所希望的排氣口相連形成抽氣機(jī)的裝置。更具體地，作為濃縮由硫酸和過(guò)氧化氫水混合形成的已用過(guò)的硫酸中的硫酸裝置，可舉出特開(kāi)平2002-68715號(hào)公報(bào)中記載的裝置等。
另外，作為上述其它的處理，可舉出除去已用過(guò)的硫酸中硫酸以外成分的處理。具體地可舉出由于在例如金屬電鍍領(lǐng)域中排出的已用過(guò)的硫酸中包含較多的金屬離子，因此除去該金屬離子的處理等。作為除去金屬離子的處理，可舉出使用陰離子交換膜，從含有酸和金屬的溶液以濃度差為驅(qū)動(dòng)力回收酸、分離金屬離子，即所謂的擴(kuò)散滲析的方法。作為該酸的擴(kuò)散滲析用薄膜在很多文獻(xiàn)、專利中有報(bào)導(dǎo)，但作為更實(shí)用和有益的薄膜，為氯甲基苯乙烯(或乙烯吡啶)-二乙烯基苯共聚物的氨基化(或4級(jí)吡啶鹽化)的陰離子交換膜。
作為上述除去已用過(guò)的硫酸中硫酸以外成分的處理，可舉出從包含過(guò)氧化氫水的已用過(guò)的硫酸中僅除去過(guò)氧化氫水的處理。更具體地，可舉出一邊向過(guò)氧化氫分解催化劑提供氫，一邊分解過(guò)氧化氫的處理方法(特開(kāi)昭61-186208號(hào)公報(bào))、向碳質(zhì)物質(zhì)通溫度上升的廢液，分解過(guò)氧化氫的處理方法(特開(kāi)平5-345188號(hào)公報(bào))。還可舉出向包含過(guò)氧化氫水的已用過(guò)的硫酸導(dǎo)入亞硫酸，使過(guò)氧化氫與亞硫酸反應(yīng)，在分解過(guò)氧化氫的同時(shí)生成硫酸，通過(guò)檢測(cè)亞硫酸氣體，可防止過(guò)量添加亞硫酸，并在停止導(dǎo)入亞硫酸后，通過(guò)通氣除去殘存的亞硫酸的方法(特開(kāi)平9-315806)。
在上述已用過(guò)的硫酸中，根據(jù)用戶C的利用目的，還可以添加硫酸以外的其它成分。作為上述其它成分沒(méi)有特別限制，但可舉出過(guò)氧化氫水等。含有過(guò)氧化氫水的硫酸作為蝕刻劑、表面處理劑等，較多地用在半導(dǎo)體制造、印刷線路板的制造、各種金屬的表面加工等中。
通過(guò)采用以上方法，可使現(xiàn)有的不能有效利用或低價(jià)售賣的已用過(guò)的硫酸的附加值大幅度提高(作為有價(jià)物)。作為售賣已用過(guò)的硫酸時(shí)的形式，可列舉以下3種情形在售賣前傳送濃度測(cè)定結(jié)果，以原來(lái)的狀態(tài)進(jìn)行銷售的情形、銷售添加濃度調(diào)節(jié)溶液的產(chǎn)品(但是，調(diào)整溶液添加后的濃度未確定)的情形、銷售已調(diào)整到預(yù)定濃度的產(chǎn)品(濃度確定的產(chǎn)品)的情形。在銷售已用過(guò)的硫酸時(shí)，也可以如現(xiàn)有的基于體積(容量)或重量，或者基于濃度測(cè)定結(jié)果，以純硫酸成分為基準(zhǔn)進(jìn)行銷售。在以已用過(guò)的硫酸的原有狀態(tài)，即未進(jìn)行濃度調(diào)節(jié)的狀態(tài)進(jìn)行銷售時(shí)，在排出側(cè)已用過(guò)的硫酸的濃度有差別，因此以純硫酸成分為基準(zhǔn)進(jìn)行銷售是更合理(定量)的。
在本發(fā)明中該已用過(guò)的硫酸的回收利用系統(tǒng)可進(jìn)行多次重復(fù)。即，由本發(fā)明已用過(guò)的硫酸的回收利用系統(tǒng)回收的硫酸，可以再一次提供給本發(fā)明已用過(guò)的硫酸的回收利用系統(tǒng)。更具體地，可以如下式所示的循環(huán)重復(fù)實(shí)施排出源A→運(yùn)輸裝置B→用戶C(＝排出源A’→運(yùn)輸裝置B’→用戶C’)n(式中，n為自然數(shù)，優(yōu)選表示1～7的自然數(shù)。但是當(dāng)n為2以上的自然數(shù)時(shí)，n值不同時(shí)，A’、B’和C’可一樣，也可以不同)。
作為本發(fā)明的已用過(guò)的硫酸回收利用系統(tǒng)，可以為如下所述的形式。即，具有排出源A終端、用戶C終端、以及通過(guò)網(wǎng)絡(luò)將上述終端相接的已用過(guò)的硫酸信息管理裝置的系統(tǒng)，可舉出一種這樣的已用過(guò)的硫酸回收利用系統(tǒng)，其具有(a)關(guān)于已用過(guò)的硫酸信息的輸入裝置、(b)存儲(chǔ)關(guān)于上述已用過(guò)的硫酸信息的裝置、(c)輸入關(guān)于所需已用過(guò)的硫酸條件的輸入裝置、(d)從上述(b)存儲(chǔ)的信息中檢索到與上述(c)中輸入條件至少部分滿足的信息的裝置、(e)將作為上述(d)的檢索結(jié)果所得的信息送至提示該信息的排出源A的終端或/和輸入了檢索條件的用戶C的終端的裝置。
上述已用過(guò)的硫酸信息管理裝置是通過(guò)網(wǎng)絡(luò)將排出源A的終端和用戶C的終端連接的，其具有(a)接受從排出源A的終端送出的關(guān)于已用過(guò)的硫酸信息的裝置、(b)存儲(chǔ)關(guān)于上述已用過(guò)的硫酸信息的裝置、(c)接受從用戶C的終端送出的關(guān)于所需已用過(guò)的硫酸信息的裝置、(d)從上述(b)存儲(chǔ)的信息中檢索到與上述(c)接受的條件至少部分滿足的信息的裝置、(e)將作為上述(d)的檢索結(jié)果所得的信息送至提示該信息的排出源A的終端或/和輸入了檢索條件的用戶C的終端的裝置。
作為網(wǎng)絡(luò)，可以由無(wú)線構(gòu)成，也可以由有線構(gòu)成。例如因特網(wǎng)或由LAN構(gòu)成的網(wǎng)絡(luò)、用專線連接的網(wǎng)絡(luò)等。
從排出源A的終端送出的關(guān)于已用過(guò)的硫酸的信息沒(méi)有特別限制，可例舉出如已用過(guò)的硫酸的排出量、已用過(guò)的硫酸的濃度測(cè)定的有無(wú)、上述濃度測(cè)定時(shí)的測(cè)定結(jié)果、是否可對(duì)已用過(guò)的硫酸進(jìn)行濃度調(diào)節(jié)、已用過(guò)的硫酸中所含的其它成分的信息(例如種類和含量等)或出售價(jià)格等。
作為本發(fā)明的上述系統(tǒng)，在輸入關(guān)于排出源A終端排出的已用過(guò)的硫酸的信息時(shí)，也可以具有認(rèn)證排出源A的認(rèn)證裝置。另外，名稱或住所等變更少的事項(xiàng)、至今已輸入的關(guān)于已用過(guò)的硫酸的信息等，也可以基于事先記錄的用戶信息，根據(jù)注冊(cè)用的ID和密碼自動(dòng)顯示。
作為從用戶C的終端送出的關(guān)于所需已用過(guò)的硫酸的條件，沒(méi)有特別限制，例如可舉出已用過(guò)的硫酸的供給量、是否需要測(cè)定已用過(guò)的硫酸的濃度、希望的濃度、是否需要對(duì)已用過(guò)的硫酸進(jìn)行濃度調(diào)節(jié)、已用過(guò)的硫酸中所含的其它成分的信息(例如種類和含量等)或所希望的購(gòu)入價(jià)格等。
作為本發(fā)明的上述系統(tǒng)，在從用戶C的終端輸入關(guān)于所希望的已用過(guò)的硫酸條件時(shí)，也可以具有認(rèn)證用戶C的認(rèn)證裝置。另外，名稱或住所等變更少的事項(xiàng)、至今已輸入的信息等，也可以基于事先記錄的用戶信息，根據(jù)注冊(cè)用的ID和密碼自動(dòng)顯示。
作為本發(fā)明上述系統(tǒng)的檢索裝置是一種這樣的檢索裝置，其不僅從上述(b)存儲(chǔ)的信息中檢索出全部滿足上述(c)接受的條件的信息，還檢索出至少部分滿足上述條件的信息。然后將檢索出的信息送至輸入了上述條件的用戶C的終端。此時(shí)，還可以送出關(guān)于提示檢索信息的排出源A的信息(例如，所在地和名稱等)等。另外，也可以向提示檢索信息的排出源A送出關(guān)于上述用戶C的信息(例如，所在地和名稱等)、或/和關(guān)于用戶C提示的所需已用過(guò)的硫酸的條件等。
作為本發(fā)明的上述系統(tǒng)，優(yōu)選進(jìn)一步地具有(f)存儲(chǔ)關(guān)于運(yùn)輸裝置B的信息的裝置和(g)基于從排出源A和用戶C的所在地、運(yùn)輸?shù)囊延眠^(guò)的硫酸的量以及已用過(guò)的硫酸濃度測(cè)定和濃度調(diào)節(jié)的必要性中選取的至少1種條件，選擇運(yùn)輸裝置B的裝置。在選擇運(yùn)輸裝置B時(shí)，也可以增加例如運(yùn)送成本、運(yùn)輸裝置B的結(jié)構(gòu)和材料的特性等的上述條件以外的條件。而且作為上述“關(guān)于運(yùn)輸裝置B的信息”沒(méi)有特別限制，可列舉出運(yùn)輸裝置B的管理場(chǎng)所、1次可運(yùn)輸?shù)牧?、是否具有濃度測(cè)定或濃度調(diào)節(jié)的設(shè)備、是否有特殊結(jié)構(gòu)和材料，存在的時(shí)候其特性等。
此外，作為本發(fā)明的上述系統(tǒng)的已用過(guò)的硫酸信息管理裝置，更優(yōu)選運(yùn)輸裝置B的管理者也通過(guò)網(wǎng)絡(luò)連接，并具有(h)向所選的運(yùn)輸裝置B的管理者的終端送出關(guān)于已用過(guò)的硫酸運(yùn)輸?shù)男畔ⅰＷ鳛椤瓣P(guān)于已用過(guò)的硫酸的運(yùn)輸信息”，可舉出排出源A和用戶C的名稱和所在地、運(yùn)輸已用過(guò)的硫酸的量以及已用過(guò)的硫酸濃度測(cè)定和濃度調(diào)節(jié)的必要性、運(yùn)輸成本、運(yùn)輸日期、對(duì)運(yùn)輸裝置B要求的結(jié)構(gòu)和材料上的特性等。另外，作為“運(yùn)輸裝置B的管理者”，只要為管理運(yùn)輸裝置B的人員，對(duì)其沒(méi)有特別限制，通?？膳e出運(yùn)輸裝置B的所有者，但不受該所有者的限制。
本發(fā)明提供一種記錄了程序的計(jì)算機(jī)可讀取記錄介質(zhì)，該程序可在計(jì)算機(jī)上執(zhí)行(a)接受從排出源A的終端送出的關(guān)于已用過(guò)的硫酸信息的功能、(b)存儲(chǔ)關(guān)于上述已用過(guò)的硫酸信息的功能、(c)接受從用戶C終端送出的關(guān)于所需已用過(guò)的硫酸信息的功能、(d)從上述(b)存儲(chǔ)的信息中檢索到與上述(c)接受的條件至少部分滿足的信息的功能、(e)將作為上述(d)檢索結(jié)果所得的信息送至提示該信息的排出源A的終端或/和輸入了檢索條件的用戶C的終端的功能。
作為上述本發(fā)明的記錄介質(zhì)，優(yōu)選進(jìn)一步記錄了這樣程序，其在計(jì)算機(jī)上可執(zhí)行(f)存儲(chǔ)關(guān)于運(yùn)輸裝置B的信息的功能、和(g)基于從排出源A和用戶C的所在地、運(yùn)輸?shù)囊延眠^(guò)的硫酸的量以及已用過(guò)的硫酸濃度測(cè)定和濃度調(diào)節(jié)的必要性中選取的至少1種條件，選擇運(yùn)輸裝置B的功能。進(jìn)一步更優(yōu)選的是記錄的程序在計(jì)算機(jī)上可執(zhí)行(h)向所選的運(yùn)輸裝置B的管理者的終端送出關(guān)于已用過(guò)的硫酸運(yùn)輸?shù)男畔ⅰ?br> 上述程序，可以預(yù)先安裝到作為內(nèi)裝到本發(fā)明的已用過(guò)的硫酸信息管理裝置中的記錄介質(zhì)的硬盤或半導(dǎo)體存儲(chǔ)器中的狀態(tài)提供給用戶。
另外，上述程序可暫時(shí)或永久地存儲(chǔ)在軟盤(注冊(cè)商標(biāo))、CD-ROM(Compact Disc-Read Only Memory)、MO(Magneto Optical)盤、DVD(Digital Versatile Disc)、磁盤、半導(dǎo)體存儲(chǔ)器等的記錄介質(zhì)上，作為包裝軟件提供。
還有，可通過(guò)無(wú)線衛(wèi)星等從下載地址向作為本發(fā)明的已用過(guò)的硫酸信息管理裝置輸送上述程序，或者通過(guò)稱之為局域網(wǎng)、因特網(wǎng)的網(wǎng)絡(luò)采用有線或無(wú)線的方式輸送，存儲(chǔ)到作為本發(fā)明的已用過(guò)的硫酸信息管理裝置中的內(nèi)裝硬盤等中。
本說(shuō)明書中的記錄介質(zhì)是指包含這些所有介質(zhì)的廣義概念。另外，在本說(shuō)明書中，由記錄介質(zhì)提供的程序可以按照記載的順序以時(shí)間系列處理上述功能，并不是必須執(zhí)行以時(shí)間系列的處理，也可以執(zhí)行并列或個(gè)別的處理。
在本發(fā)明的已用過(guò)的硫酸的回收利用方法中，其特征為在上述排出源工廠或研究所A、運(yùn)輸裝置B、用戶工廠或研究所C的至少1個(gè)以上場(chǎng)所測(cè)定已用過(guò)的硫酸的濃度、和/或通過(guò)混合過(guò)氧化氫水和水中的至少一種以上來(lái)進(jìn)行濃度調(diào)節(jié)。此外，優(yōu)選基于已用過(guò)的硫酸廢液的濃度測(cè)定結(jié)果，對(duì)已用過(guò)的硫酸的濃度進(jìn)行調(diào)整、以及測(cè)定調(diào)整后硫酸廢液的濃度。
作為測(cè)定本發(fā)明對(duì)象的已用過(guò)的硫酸廢液或通過(guò)混合過(guò)氧化氫水和水中的至少一種以上已濃度調(diào)節(jié)的硫酸廢液的濃度的方法，沒(méi)有特別限制，可例舉出以下方法。即，可采用折射率測(cè)定、中和滴定、水分測(cè)定(卡爾費(fèi)修法、蒸發(fā)殘留法)、超聲波測(cè)定、吸光度測(cè)定、比重(密度)測(cè)定、粘度測(cè)定、pH測(cè)定、電位差滴定等的至少1種以上方法。其中，從測(cè)定速度和精度、測(cè)定機(jī)的價(jià)格和大小、操作性的觀點(diǎn)出發(fā)，更優(yōu)選折射率、比重、pH、超聲波、吸光度的測(cè)定方法。以上濃度測(cè)定可在排出已用過(guò)的硫酸的排出源工廠或研究所A、運(yùn)輸已用過(guò)的硫酸廢液的運(yùn)輸裝置B或利用已用過(guò)的硫酸廢液的用戶C中的任一地點(diǎn)實(shí)施，也可以在上述2個(gè)以上位置中實(shí)施。由此，通過(guò)測(cè)定濃度，可作為后述是否需要進(jìn)行濃度調(diào)節(jié)的判斷指標(biāo)，在進(jìn)行濃度調(diào)節(jié)時(shí)，作為混合過(guò)氧化氫水和/或水時(shí)確定混合重量比的指標(biāo)。
本發(fā)明通過(guò)在上述已用過(guò)的硫酸廢液中混合過(guò)氧化氫水和水的至少1種以上，來(lái)提高該硫酸廢液的附加值，但是對(duì)于向硫酸廢液中混合過(guò)氧化氫水和/或水的順序、混合重量比等的混合調(diào)整方法沒(méi)有特別限制。作為將已用過(guò)的硫酸廢液調(diào)整至預(yù)定濃度的方法，有向已用過(guò)的硫酸廢液中添加恒量(相對(duì)于體積、重量)的過(guò)氧化氫水和/或水的方法、和基于上述濃度測(cè)定結(jié)果添加預(yù)定量的過(guò)氧化氫水和/或水的方法，從品質(zhì)管理的觀點(diǎn)出發(fā)，后者更優(yōu)選。而從安全方面的觀點(diǎn)出發(fā)，更優(yōu)選的混合順序是向過(guò)氧化氫水或水中添加硫酸廢液。另外，根據(jù)濃度測(cè)定結(jié)果，需要提高硫酸廢液濃度時(shí)，也可以添加濃硫酸、無(wú)水硫酸或發(fā)煙硫酸。而對(duì)于混合重量比，優(yōu)選調(diào)整至用戶所需的濃度的重量比。濃度調(diào)節(jié)中所用的過(guò)氧化氫水只要有氧化性，對(duì)其沒(méi)有特別限制，只要符合利用者所需品質(zhì)級(jí)別即可，可以為工業(yè)級(jí)的低級(jí)品，也可以為試劑或電子工業(yè)用的高級(jí)品。
如果通過(guò)以上添加過(guò)氧化氫水和/或水的方式進(jìn)行濃度調(diào)節(jié)(需要的話，添加濃硫酸、無(wú)水硫酸或發(fā)煙硫酸)，可在排出已用過(guò)的硫酸的排出源工廠或研究所A、運(yùn)輸已用過(guò)的硫酸的運(yùn)輸裝置B或利用已用過(guò)的硫酸的用戶工廠或研究所C中的任一地點(diǎn)實(shí)施，也可以在上述2個(gè)以上地點(diǎn)中實(shí)施。
上述濃度測(cè)定和濃度調(diào)節(jié)的實(shí)施場(chǎng)所可以相同，也可以不同。在相同場(chǎng)所進(jìn)行濃度測(cè)定和濃度調(diào)節(jié)時(shí)，可將濃度測(cè)定結(jié)果直接以信號(hào)送至濃度調(diào)節(jié)裝置(硫酸廢液罐、濃度調(diào)節(jié)溶液、濃度調(diào)節(jié)溶液貯存罐、調(diào)整溶液供給泵、混合槽、混合槽內(nèi)的濃度測(cè)定器等)，自動(dòng)地調(diào)整至預(yù)定濃度。另一方面，當(dāng)濃度測(cè)定和濃度調(diào)節(jié)的實(shí)施場(chǎng)所不同時(shí)，可將濃度測(cè)定結(jié)果采用口頭、電話、郵遞、網(wǎng)絡(luò)等的各種手段傳送至下一工序中。接收傳輸?shù)臏y(cè)定結(jié)果的場(chǎng)所可基于傳輸?shù)膬?nèi)容直接使用已用過(guò)的硫酸，或者對(duì)是否進(jìn)行濃度調(diào)節(jié)進(jìn)行判斷。如上所述，在進(jìn)行濃度調(diào)節(jié)時(shí)添加濃度調(diào)節(jié)溶液，以達(dá)到希望的濃度。而為了確定添加濃度調(diào)節(jié)溶液之后的已用過(guò)的硫酸的濃度是否達(dá)到預(yù)定濃度，還優(yōu)選在濃度調(diào)節(jié)罐中設(shè)置濃度測(cè)定器。
在本發(fā)明中，通過(guò)向已用過(guò)的硫酸廢液中添加過(guò)氧化氫水和/或水進(jìn)行濃度調(diào)節(jié)(如果需要，可添加濃硫酸、無(wú)水硫酸或發(fā)煙硫酸)時(shí)，可在排出已用過(guò)的硫酸的排出源工廠或研究所A、運(yùn)輸已用過(guò)的硫酸廢液的運(yùn)輸裝置B或利用已用過(guò)的硫酸廢液的用戶C中的任一地點(diǎn)實(shí)施，也可以在上述2個(gè)以上位置中實(shí)施，優(yōu)選具有濃度調(diào)節(jié)用的濃度調(diào)節(jié)裝置(硫酸廢液罐、濃度調(diào)節(jié)溶液、濃度調(diào)節(jié)溶液貯存罐、調(diào)整溶液供給泵、混合槽、混合槽內(nèi)的濃度測(cè)定器等)。對(duì)濃度調(diào)節(jié)裝置沒(méi)有特別限制，在工廠或研究所A或工廠或研究所C進(jìn)行濃度調(diào)節(jié)時(shí)，優(yōu)選濃度調(diào)節(jié)裝置為設(shè)置型的，在運(yùn)輸裝置B進(jìn)行濃度調(diào)節(jié)時(shí)，優(yōu)選油槽汽車等的罐等。作為混合槽，優(yōu)選可暫時(shí)貯存已進(jìn)行濃度調(diào)節(jié)的硫酸廢液，并且對(duì)硫酸和過(guò)氧化氫水有耐腐蝕性的槽。作為這種混合槽的材料，優(yōu)選采用石英玻璃等。另外，在該混合槽中，優(yōu)選具有為了向混合槽提供已用過(guò)的硫酸廢液、過(guò)氧化氫水和水而暫時(shí)貯存已用過(guò)的硫酸廢液的廢液罐、存儲(chǔ)過(guò)氧化氫水和水等的濃度調(diào)節(jié)溶液的濃度調(diào)節(jié)溶液儲(chǔ)存罐、以及向混合槽提供這些溶液的調(diào)整液供給泵。作為廢液罐、濃度調(diào)節(jié)溶液存儲(chǔ)罐和調(diào)整液供給泵的材質(zhì)，只要其與混合槽一樣，對(duì)硫酸和過(guò)氧化氫水有耐腐蝕性即可，還有，作為調(diào)整液供給泵，可以采用例如由壓力差輸送流體的裝置，例如旋轉(zhuǎn)泵、薄膜制動(dòng)泵等。
在本發(fā)明中，除了在排出源工廠或研究所A、運(yùn)輸裝置B或利用已用過(guò)的硫酸廢液的用戶C中的至少1個(gè)場(chǎng)所實(shí)施已用過(guò)的硫酸的濃度測(cè)定和/或濃度調(diào)節(jié)以外，也可以實(shí)施其它的處理。作為上述其它的處理在以下將詳細(xì)描述，可舉出例如除去已用過(guò)的硫酸中硫酸以外成分的處理、向已用過(guò)的硫酸中添加硫酸以外成分的處理等。
作為上述其它的處理，可舉出除去已用過(guò)的硫酸中硫酸以外成分的處理。具體地可舉出由于在例如金屬電鍍領(lǐng)域中排出的已用過(guò)的硫酸中包含較多的金屬離子，因此除去該金屬離子的處理等。作為除去金屬離子的處理，可舉出使用陰離子交換膜，從含有酸和金屬的溶液以濃度差為驅(qū)動(dòng)力回收酸、分離金屬離子，即所謂的擴(kuò)散滲析的方法(特開(kāi)平08-000966)。作為該酸的擴(kuò)散滲析用薄膜在很多文獻(xiàn)、專利中有報(bào)導(dǎo)，但作為更實(shí)用和有益的薄膜，為氯甲基苯乙烯(或乙烯吡啶)-二乙烯基苯共聚物的氨基化(或4級(jí)吡啶鹽化)的陰離子交換膜。
作為上述除去已用過(guò)的硫酸中硫酸以外成分的處理，可舉出從包含過(guò)氧化氫水的已用過(guò)的硫酸中除去比預(yù)定過(guò)氧化氫水濃度過(guò)量的過(guò)氧化氫水的處理。更具體地，可舉出一邊向過(guò)氧化氫分解催化劑提供氫，一邊分解過(guò)氧化氫的處理方法(特開(kāi)昭61-186208號(hào)公報(bào))、向碳質(zhì)物質(zhì)通溫度上升的廢液，分解過(guò)氧化氫的處理方法(特開(kāi)平5-345188號(hào)公報(bào))。還可舉出向包含過(guò)氧化氫水的已用過(guò)的硫酸導(dǎo)入亞硫酸，使過(guò)氧化氫與亞硫酸反應(yīng)，在分解過(guò)氧化氫的同時(shí)生成硫酸，通過(guò)檢測(cè)亞硫酸氣體，可防止過(guò)量添加亞硫酸，并在停止導(dǎo)入亞硫酸后，通過(guò)通氣除去殘存的亞硫酸的方法(特開(kāi)平9-315806)。
通過(guò)采用以上方法，可使現(xiàn)有的不能有效利用或低價(jià)售賣的已用過(guò)的硫酸的附加值大幅度提高(作為有價(jià)物)。作為售賣已用過(guò)的硫酸時(shí)的形式，可列舉出以下3種在售賣前先傳送濃度測(cè)定結(jié)果，以原來(lái)的狀態(tài)進(jìn)行銷售的情形、銷售添加過(guò)氧化氫水和/或水的濃度調(diào)節(jié)溶液的產(chǎn)品(但是，調(diào)整溶液添加后的濃度未確定)的情形、銷售已調(diào)整到預(yù)定濃度的產(chǎn)品(濃度確定的產(chǎn)品)的情形。在銷售已用過(guò)的硫酸廢液時(shí)，可以如現(xiàn)有的基于體積(容量)或重量，或者基于濃度測(cè)定結(jié)果，以純硫酸成分為基準(zhǔn)進(jìn)行銷售。在以已用過(guò)的硫酸的原有狀態(tài)，即未進(jìn)行濃度調(diào)節(jié)的狀態(tài)進(jìn)行銷售時(shí)，在排出側(cè)已用過(guò)的硫酸的濃度有差別，因此以純硫酸成分為基準(zhǔn)進(jìn)行銷售是更合理(定量)的。
在本發(fā)明中該已用過(guò)的硫酸的回收利用方法可進(jìn)行多次重復(fù)。即，由本發(fā)明已用過(guò)的硫酸的回收利用方法回收的硫酸，可以再一次實(shí)施本發(fā)明已用過(guò)的硫酸的回收利用方法。更具體地，可以如下式所示的循環(huán)重復(fù)實(shí)施排出源工廠或研究所A→運(yùn)輸裝置B→用戶工廠或研究所C(＝排出源A’→運(yùn)輸裝置B’→用戶C’)n(式中，n為自然數(shù)，優(yōu)選表示1～7的自然數(shù)。但是當(dāng)n為2以上的自然數(shù)時(shí)，n值不同時(shí)，A’、B’和C’可一樣，也可以不同)。
作為本發(fā)明的已用過(guò)的硫酸回收利用方法，可以具有如下所述的系統(tǒng)形式。即，具有將排出源工廠或研究所A終端、用戶工廠或研究所C終端通過(guò)如因特網(wǎng)或LAN等的網(wǎng)絡(luò)相接的已用過(guò)的硫酸信息管理裝置系統(tǒng)的方法?？膳e出一種這樣的方法，其具備的系統(tǒng)具有(a)關(guān)于已用過(guò)的硫酸信息的輸入裝置、(b)存儲(chǔ)關(guān)于上述已用過(guò)的硫酸信息的裝置、(c)輸入關(guān)于所需已用過(guò)的硫酸條件的輸入裝置、(d)從上述(b)存儲(chǔ)的信息中檢索到與上述(c)中輸入條件至少部分滿足的信息的裝置、(e)將作為上述(d)的檢索結(jié)果所得的信息送至提示該信息的排出源工廠或研究所A的終端或/和輸入了檢索條件的用戶工廠或研究所C的終端的裝置。另外，已用過(guò)的硫酸信息管理裝置還可以通過(guò)網(wǎng)絡(luò)與運(yùn)輸裝置B的終端相連，具有(f)向所選運(yùn)輸裝置B的終端送出關(guān)于運(yùn)輸已用過(guò)的硫酸廢液信息的裝置。
<實(shí)施例>
以下根據(jù)實(shí)施例對(duì)本發(fā)明作更具體的說(shuō)明，但本發(fā)明不受此限制。
為了進(jìn)行比較，圖1A、圖1B、圖2和圖3記載了現(xiàn)有的已用過(guò)的硫酸廢液的處理流程圖。例如，如圖1A所示，有時(shí)從半導(dǎo)體研究所或工廠等排出的已用過(guò)的硫酸隨著其它的堿、酸性清洗液一起直接進(jìn)行排水處理，在實(shí)施了酸或堿等中和試劑、各種排水處理劑后產(chǎn)生廢水和污泥。另外，如圖1B所示，有時(shí)通過(guò)僅回收已用過(guò)的硫酸廢液將其用作中和試劑(酸)等后，對(duì)其進(jìn)行排水處理。另外如圖2所示，有時(shí)已用過(guò)的硫酸廢液由專門的處理從業(yè)者收集，對(duì)其進(jìn)行精制、再生等的處理。更具體地，有時(shí)將回收后長(zhǎng)距離輸送的已用過(guò)的硫酸廢液送至用戶，此時(shí)在大型工廠中進(jìn)行精制、再生處理，作為廢硫酸或硫酸礬的原料，在低附加值的用途中進(jìn)行利用。例如，如圖3(c)所示，已用過(guò)的硫酸在大型工廠中進(jìn)行精制處理后，被長(zhǎng)距離地輸送給用戶的情況。如圖3(d)所示，已用過(guò)的硫酸在大型工廠進(jìn)行混合處理、再生后，被長(zhǎng)距離地輸送給用戶的情況。另外，如圖3(e)所示，已用過(guò)的硫酸在大型工廠中進(jìn)行排水處理后，被廢棄的情況。
在圖4A～4C中顯示了本發(fā)明已用過(guò)的硫酸的回收利用系統(tǒng)的一實(shí)施方式。在本方式中，在排出源A(圖4A的情況)、輸送裝置B(圖4B的情況)或用戶C(圖4C的情況)任一場(chǎng)所實(shí)施已用過(guò)的硫酸的濃度測(cè)定。而在圖4A和圖4B的情況下，將測(cè)定的濃度結(jié)果信息傳送至用戶C。
圖5示出了本發(fā)明已用過(guò)的硫酸的回收利用系統(tǒng)的另一實(shí)施方式。在該方式中，基于已用過(guò)的硫酸的濃度測(cè)定結(jié)果，對(duì)已用過(guò)的硫酸的濃度進(jìn)行調(diào)整。更具體地如圖5(A)所示，在排出源A處進(jìn)行已用過(guò)的硫酸的濃度測(cè)定，并基于測(cè)定的濃度結(jié)果，對(duì)已用過(guò)的硫酸的濃度進(jìn)行調(diào)整。此后，由運(yùn)輸裝置B將已實(shí)施濃度調(diào)節(jié)的再生硫酸提供給用戶C。圖5的(C)示出了由用戶C代替排出源A進(jìn)行濃度測(cè)定和基于此進(jìn)行濃度調(diào)節(jié)的情況。另外，也可以在運(yùn)輸裝置B對(duì)已用過(guò)的硫酸的濃度進(jìn)行測(cè)定，將該測(cè)定結(jié)果傳送到用戶C，用戶C基于該傳送的濃度結(jié)果對(duì)濃度進(jìn)行調(diào)節(jié)(圖5的(B))。
圖6示出了本發(fā)明已用過(guò)的硫酸的回收另一系統(tǒng)的更具體的方式。在本方式中，從半導(dǎo)體工廠回收的包含過(guò)氧化氫水的已用過(guò)的硫酸在陰極射線管基板工廠中作為硫酸與過(guò)氧化氫水的混合水溶液回收利用。更具體地，在半導(dǎo)體工廠中回收包含過(guò)氧化氫水的已用過(guò)的硫酸(在圖6中表示為硫酸過(guò)氧水廢液，以下簡(jiǎn)稱為硫酸過(guò)氧水廢液)，并貯存在硫酸過(guò)氧水廢液罐中。采用油槽貨車作為運(yùn)輸裝置B，將硫酸過(guò)氧水廢液運(yùn)輸?shù)疥帢O射線管基板工廠中。此時(shí)，油槽貨車的所有者不僅可以運(yùn)輸硫酸過(guò)氧水廢液，而且可以從半導(dǎo)體工廠買取硫酸過(guò)氧水廢液，并將硫酸過(guò)氧水廢液銷售到陰極射線管基板工廠中。在陰極射線管基板工廠中測(cè)定運(yùn)來(lái)的硫酸過(guò)氧水廢液的濃度，根據(jù)需要添加過(guò)氧化氫水和水，制作成具有所需混合比例的含過(guò)氧化氫水的硫酸，將其作為光致抗蝕劑膜的剝離或銅箔的剝離液。此時(shí)，用于濃度調(diào)節(jié)的過(guò)氧化氫水也可以為已用過(guò)的過(guò)氧化氫水。
另外，在圖6中示出了本發(fā)明的已用過(guò)的硫酸再生利用系統(tǒng)連續(xù)重復(fù)2次的情形。即，基于本發(fā)明的再生利用系統(tǒng)，將半導(dǎo)體工廠中排出的硫酸過(guò)氧水廢液在化學(xué)工廠中進(jìn)行再利用，而且將所述化學(xué)工廠排出的硫酸過(guò)氧水廢液在陰極射線管基板工廠中進(jìn)行再利用。在圖6中對(duì)這些過(guò)程沒(méi)有進(jìn)行詳細(xì)圖示。
圖7示出了本發(fā)明已用過(guò)的硫酸再生利用方法更具體的方式。在本方式中，將從半導(dǎo)體研究所或工廠回收的含過(guò)氧化氫水的已用過(guò)的硫酸廢液作為陰極射線管制造所或工廠中的光致抗蝕劑膜的剝離液等進(jìn)行回收利用。更具體地，在半導(dǎo)體工廠中，回收包含過(guò)氧化氫水的已用過(guò)的硫酸廢液(在圖7中表示為硫酸過(guò)氧水廢液，以下簡(jiǎn)稱為硫酸過(guò)氧水廢液)，并存儲(chǔ)在硫酸過(guò)氧水廢液罐中，采用油槽貨車作為運(yùn)輸裝置B，將硫酸過(guò)氧水廢液運(yùn)輸至陰極射線管制造所或工廠中。此時(shí)，油槽貨車的所有者不僅可以運(yùn)輸硫酸過(guò)氧水廢液，而且可以從半導(dǎo)體工廠買取硫酸過(guò)氧水廢液，并將硫酸過(guò)氧水廢液銷售到陰極射線管基板工廠中。在陰極射線管基板制造所或工廠中測(cè)定運(yùn)來(lái)的硫酸過(guò)氧水廢液的濃度，在混合槽中根據(jù)需要添加過(guò)氧化氫水和/或水中的一種以上，制作成具有所需混合比例的含過(guò)氧化氫水的硫酸，將其作為光致抗蝕劑膜的剝離或銅箔的剝離液。此時(shí)，用于濃度調(diào)節(jié)的過(guò)氧化氫水也可以為已用過(guò)的過(guò)氧化氫水。
由本實(shí)施方式得到的再生硫酸，與現(xiàn)有陰極射線管制造所或工廠從藥品制造商購(gòu)入的作為光致抗蝕劑膜剝離用的剝離液(低濃度硫酸過(guò)氧水混合液)的品質(zhì)級(jí)別相等，由此通過(guò)對(duì)已用過(guò)的硫酸廢液回收利用，可進(jìn)行有效利用，并且還可以削減陰極射線管制造所或工廠的制造成本。
圖8A～8C示出了本發(fā)明的已用過(guò)的硫酸的回收利用方法的其它方式。在本方式中，基于已用過(guò)的硫酸廢液的濃度測(cè)定結(jié)果，向已用過(guò)的硫酸添加過(guò)氧化氫水和/或水中的1種以上，對(duì)濃度進(jìn)行調(diào)整。如圖8A所示，更具體地在排出源工廠或研究所A測(cè)定已用過(guò)的硫酸廢液的濃度，基于濃度測(cè)定結(jié)果，向已用過(guò)的硫酸添加過(guò)氧化氫水和/或水中的1種以上，對(duì)濃度進(jìn)行調(diào)整。然后，由運(yùn)輸裝置B將已進(jìn)行濃度調(diào)整的再生硫酸提供給用戶工廠或研究所C。圖8C示出了由用戶工廠或研究所C代替排出源工廠或研究所A實(shí)施濃度測(cè)定和基于濃度測(cè)定結(jié)果進(jìn)行濃度調(diào)節(jié)的情形。此外，也可以在運(yùn)輸裝置B對(duì)已用過(guò)的硫酸的濃度進(jìn)行測(cè)定，將該測(cè)定結(jié)果傳送至用戶工廠或研究所C，用戶工廠或研究所C基于傳送的濃度測(cè)定結(jié)果，添加過(guò)氧化氫水和/或水中的1種以上，對(duì)濃度進(jìn)行調(diào)整(圖8B)。
產(chǎn)業(yè)可利用性根據(jù)本發(fā)明，通過(guò)向某一工廠或研究所排出的已用過(guò)的硫酸中添加過(guò)氧化氫水和/或水中的1種以上，可提高該硫酸廢液的附加值，并促進(jìn)被其它工廠或研究所有效利用。此外，在本發(fā)明中無(wú)需為提高已用過(guò)的硫酸附加值用的特大型設(shè)備，幾乎不受位置的影響。其結(jié)果促進(jìn)了已用過(guò)的硫酸的循環(huán)，減少了處理已用過(guò)的硫酸用的排水處理劑，可降低排水處理時(shí)產(chǎn)生的污泥的排水發(fā)生量。特別是排出源A和用戶C為同一企業(yè)、同一企業(yè)集團(tuán)或?qū)儆陉P(guān)聯(lián)企業(yè)集團(tuán)時(shí)，本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)會(huì)顯著增加。
權(quán)利要求
1.一種已用過(guò)的硫酸回收利用系統(tǒng)，其特征為排出源A排出或回收的已用過(guò)的硫酸由運(yùn)輸裝置B運(yùn)輸、在用戶C使用時(shí)，在排出源A、運(yùn)輸裝置B和用戶C的至少1個(gè)場(chǎng)所以上對(duì)該硫酸進(jìn)行濃度測(cè)定和/或濃度調(diào)節(jié)。
2.如權(quán)利要求1所述的已用過(guò)的硫酸回收利用系統(tǒng)，其特征為基于已用過(guò)的硫酸的濃度測(cè)定結(jié)果，對(duì)已用過(guò)的硫酸的濃度進(jìn)行調(diào)節(jié)。
3.如權(quán)利要求1所述的已用過(guò)的硫酸回收利用系統(tǒng)，其特征為基于已用過(guò)的硫酸的濃度測(cè)定結(jié)果，確定已用過(guò)的硫酸的價(jià)格。
4.一種使用已用過(guò)的硫酸回收利用系統(tǒng)得到的再生硫酸，其特征為，在排出源A排出或回收的已用過(guò)的硫酸由運(yùn)輸裝置B運(yùn)輸、在用戶C使用時(shí)，在排出源A、運(yùn)輸裝置B和用戶C的至少1個(gè)場(chǎng)所以上對(duì)該硫酸進(jìn)行濃度測(cè)定和/或濃度調(diào)節(jié)。
5.如權(quán)利要求4所述的再生硫酸，其特征為基于濃度測(cè)定結(jié)果，對(duì)濃度進(jìn)行調(diào)節(jié)。
6.一種采用再生硫酸制造的工業(yè)制品，該再生硫酸是由一種使用已用過(guò)的硫酸回收利用系統(tǒng)得到的，在該系統(tǒng)中，在排出源A排出或回收的已用過(guò)的硫酸由運(yùn)輸裝置B運(yùn)輸、在用戶C使用時(shí)，在排出源A、運(yùn)輸裝置B和用戶C的至少1個(gè)場(chǎng)所以上對(duì)該硫酸進(jìn)行濃度測(cè)定和/或濃度調(diào)節(jié)。
7.如權(quán)利要求6所述的采用再生硫酸制造的工業(yè)制品，其中基于濃度測(cè)定結(jié)果，對(duì)濃度進(jìn)行調(diào)節(jié)。
8.一種再生硫酸的制造方法，其特征為在排出源A排出或回收的已用過(guò)的硫酸由運(yùn)輸裝置B運(yùn)輸、在用戶C使用時(shí)，在排出源A、運(yùn)輸裝置B和用戶C的至少1個(gè)場(chǎng)所以上對(duì)該硫酸進(jìn)行濃度測(cè)定和/或濃度調(diào)節(jié)。
9.如權(quán)利要求1所述的已用過(guò)的硫酸回收利用系統(tǒng)，是具有排出源A終端、用戶C終端、以及通過(guò)網(wǎng)絡(luò)將上述終端相接的已用過(guò)的硫酸信息管理裝置的系統(tǒng)，其特征為該系統(tǒng)具有(a)關(guān)于已用過(guò)的硫酸信息的輸入裝置、(b)存儲(chǔ)關(guān)于上述已用過(guò)的硫酸信息的裝置、(c)輸入關(guān)于所需已用過(guò)的硫酸條件的輸入裝置、(d)從上述(b)存儲(chǔ)的信息中檢索到與上述(c)中輸入條件至少部分滿足的信息的裝置、(e)將作為上述(d)的檢索結(jié)果所得的信息送至提示該信息的排出源A的終端或/和輸入了檢索條件的用戶C的終端的裝置。
10.如權(quán)利要求9所述的已用過(guò)的硫酸回收利用系統(tǒng)，其進(jìn)一步具有(f)存儲(chǔ)關(guān)于運(yùn)輸裝置B的信息的裝置和(g)基于從排出源A和用戶C的所在地、運(yùn)輸?shù)囊延眠^(guò)的硫酸的量以及已用過(guò)的硫酸濃度測(cè)定和濃度調(diào)節(jié)的必要性中選取的至少1種條件，選擇運(yùn)輸裝置B的裝置。
11.如權(quán)利要求10所述的已用過(guò)的硫酸回收利用系統(tǒng)，其中已用過(guò)的硫酸信息管理裝置還通過(guò)網(wǎng)絡(luò)連接運(yùn)輸裝置B的管理者終端，并具有(h)向所選的運(yùn)輸裝置B的管理者的終端送出關(guān)于已用過(guò)的硫酸運(yùn)輸?shù)男畔⒌难b置。
12.一種硫酸廢液的回收利用方法，其特征為將排出源A排出/回收的已用過(guò)的硫酸廢液與過(guò)氧化氫水和水中的至少1種以上混合，進(jìn)行利用。
13.如權(quán)利要求12所述的硫酸廢液的回收利用方法，其特征為已用過(guò)的硫酸廢液中金屬成分的濃度為10ppb以下，氯化物的濃度為0.1ppm以下。
14.如權(quán)利要求12所述的硫酸廢液的回收利用方法，其特征為已從排出源A排出/回收的已用過(guò)的硫酸廢液被與排出源A不同的用戶C所利用。
15.如權(quán)利要求12所述的硫酸廢液的回收利用方法，其特征為基于已用過(guò)的硫酸的濃度測(cè)定結(jié)果，對(duì)已用過(guò)的硫酸的濃度進(jìn)行調(diào)節(jié)。
16.如權(quán)利要求12所述的硫酸廢液的回收利用方法，其特征為在排出源A排出/回收的已用過(guò)的硫酸由運(yùn)輸裝置B運(yùn)輸、在用戶C使用時(shí)，在排出源A、運(yùn)輸裝置B和用戶C的至少1個(gè)場(chǎng)所以上對(duì)該硫酸進(jìn)行濃度測(cè)定和/或濃度調(diào)節(jié)。
17.一種使用過(guò)的硫酸廢液的回收利用方法制造的再生硫酸，其特征為將排出源A排出/回收的已用過(guò)的硫酸廢液與過(guò)氧化氫水和水中的至少1種以上混合，進(jìn)行利用。
18.如權(quán)利要求13所述的再生硫酸，其特征為已用過(guò)的硫酸廢液中金屬成分的濃度為10ppb以下，氯化物的濃度為0.1ppm以下。
全文摘要
本發(fā)明提供一種已用過(guò)的硫酸的回收利用系統(tǒng)、硫酸廢液的再生方法和再生硫酸，其特點(diǎn)是不受地理?xiàng)l件等的制約，可提高已用過(guò)的硫酸附加值，以及在與排出源不同的場(chǎng)所進(jìn)行有效利用，是一種對(duì)產(chǎn)業(yè)有利的系統(tǒng)，其特征為在排出源A排出或回收的已用過(guò)的硫酸由運(yùn)輸裝置B運(yùn)輸、在用戶C使用時(shí)，在排出源A、運(yùn)輸裝置B和用戶C的至少1個(gè)場(chǎng)所以上對(duì)該硫酸進(jìn)行濃度測(cè)定和/或濃度調(diào)節(jié)，以及將排出源A排出/回收的已用過(guò)的硫酸廢液與過(guò)氧化氫水和水中的至少1種以上混合，進(jìn)行再利用。
文檔編號(hào)G06Q10/00GK1522226SQ0380056
公開(kāi)日2004年8月18日 申請(qǐng)日期2003年4月4日 優(yōu)先權(quán)日2002年4月5日
發(fā)明者稻垣靖史 申請(qǐng)人:索尼株式會(huì)社