專利名稱：一種控制化學(xué)液溫度的裝置及方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體工藝清洗設(shè)備領(lǐng)域，尤其涉及一種控制化學(xué)液溫度的裝置及方法。
背景技術(shù)：
在傳統(tǒng)的半導(dǎo)體清洗工藝中，針對進(jìn)入工藝腔室中化學(xué)液粘度不一致的情況，在工藝過程中，通過加熱器加熱到一定溫度的化學(xué)液流經(jīng)到各個工藝腔室的路徑不同，因而到達(dá)各工藝腔室的化學(xué)液的溫度和粘度不同，不能夠很好的滿足工藝要求，對清洗的效果帶來一定的影響。目前的工藝方案中，都只在主管路上對化學(xué)液進(jìn)行加熱，加熱后的化學(xué)液通過多條并行管路進(jìn)入到各自的工藝腔室。過程中，各個工藝腔室與加熱器的距離有遠(yuǎn)有近，兩者之間由于管路長度的不同，散失的熱量以及水分的揮發(fā)存在一定的差異，這就使得流到每個工藝腔室中的化學(xué)液的粘度和溫度的一致性得不到保證，不能很好的滿足工藝要求，另一方面，由于加熱器和工藝腔室之間還有一些距離，當(dāng)化學(xué)液到達(dá)工藝腔室時，由于熱量的散失化學(xué)液的溫度會有所降低，導(dǎo)致實(shí)際的化學(xué)液工藝溫度與加熱器控制的溫度有較大的偏差，不能實(shí)時反映當(dāng)前的工藝溫度。

發(fā)明內(nèi)容
(一 )所要解決的技術(shù)問題本發(fā)明通過提供一種控制化學(xué)液溫度的裝置及方法，提高了各個工藝腔室化學(xué)液溫度和粘度的一致性。( 二 )技術(shù)方案本發(fā)明提供了一種控制化學(xué)液溫度的裝置，主管路末端分別通過多條并行管路與工藝腔室連接，在所述每條并行管路上安裝氣動閥，其特征在于，在氣動閥與各相對應(yīng)的工藝腔室之間的每條管路上安裝加熱裝置，所述加熱裝置靠近工藝腔室。優(yōu)選的，所述加熱裝置為加熱帶，加熱帶纏繞在管路上，所述加熱帶的接頭與電源直接相連。優(yōu)選的，在每個加熱裝置上連接控制器。優(yōu)選的，所述控制器為數(shù)字顯示溫控器。優(yōu)選的，在所述加熱裝置與工藝腔室間靠近工藝腔室側(cè)的管路上分別安裝溫度傳感器。本發(fā)明還提供了一種控制化學(xué)液溫度的方法，該方法包括在主管路末端對化學(xué)液進(jìn)行加熱，加熱后的化學(xué)液通過多條并行管路進(jìn)入到各自的工藝腔室，其特征在于，在每條并行管路靠近工藝腔室側(cè)安裝加熱裝置對化學(xué)液進(jìn)行加熱。優(yōu)選的，在所述加熱裝置上安裝數(shù)字顯示溫控器對化學(xué)液溫度進(jìn)行監(jiān)控。優(yōu)選的，在所述工藝腔室側(cè)安裝溫度傳感器對加熱后的化學(xué)液進(jìn)行溫度測量。
(三)有益效果本發(fā)明通過在并行管路上安裝加熱裝置，可以有效的解決實(shí)際的化學(xué)液工藝溫度與加熱器控制的溫度有較大的偏差，不能實(shí)時反映當(dāng)前的工藝溫度的問題；同時解決了每個工藝腔室中化學(xué)液的粘度和溫度的一致性得不到保證，不能很好的滿足工藝要求的問題。其方法簡單易行，不僅可以實(shí)時控制并顯示化學(xué)液的溫度，也提高了各工藝腔室化學(xué)液粘度和溫度的一致性


圖1為本發(fā)明提供的控制化學(xué)液溫度的裝置。
具體實(shí)施例方式下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對本發(fā)明做進(jìn)一步詳細(xì)說明。本發(fā)明提供了一種控制化學(xué)液溫度的裝置，主管路末端通過多條并行管路與工藝腔室連接，在所述每條并行管路上安裝氣動閥，其特征在于，在氣動閥與各相對應(yīng)的工藝腔室之間的每條管路上安裝加熱裝置，所述加熱裝置靠近工藝腔室，各工藝腔室與加熱裝置的距離一致。這樣不僅可以保證各工藝腔室化學(xué)液溫度的一致性，而且各工藝腔室的化學(xué)液粘度的一致性也可以得到保證?？蛇x的，所述加熱裝置為加熱帶，加熱帶纏繞在管路上，所述加熱帶的接頭與電源直接相連；加熱帶裝置較簡單，容易實(shí)現(xiàn)?？蛇x的，在每個加熱裝置上連接控制器；控制器可實(shí)時控制調(diào)節(jié)加熱帶的溫度，更好的使進(jìn)入各工藝腔室的化學(xué)液溫度保持一致。所述控制器可選為數(shù)字顯示溫控器，實(shí)時顯示監(jiān)測溫度?？蛇x的，在所述加 熱裝置與工藝腔室間靠近工藝腔室側(cè)的管路上分別安裝溫度傳感器；溫度傳感器與數(shù)顯溫控器結(jié)合更好的實(shí)時控制并監(jiān)測化學(xué)液的溫度。本發(fā)明還提供了一種控制化學(xué)液溫度的方法，該方法包括在主管路末端對化學(xué)液進(jìn)行加熱，加熱后的化學(xué)液通過多條并行管路進(jìn)入到各自的工藝腔室，其特征在于，在每條并行管路靠近工藝腔室側(cè)安裝加熱裝置對化學(xué)液進(jìn)行加熱?？蛇x的，在所述加熱裝置上安裝控制器對化學(xué)液溫度進(jìn)行監(jiān)控?？蛇x的，在所述工藝腔室側(cè)安裝溫度傳感器對加熱后的化學(xué)液進(jìn)行溫度測量。通過該方法使進(jìn)入工藝腔室的化學(xué)液的溫度更大程度上保持了一致性，進(jìn)而使化學(xué)液的粘度也盡可能保持一致性。結(jié)合附圖1，溫度控制裝置及方法具體為控制化學(xué)液溫度的裝置，化學(xué)液在主管路上先經(jīng)過氣動閥(11)進(jìn)入到水槽(2)中，再經(jīng)氣動閥(12)到達(dá)泵(3)，泵(3)通過管路將化學(xué)液輸送到加熱器(4)中加熱，加熱器的出口附近設(shè)置一溫度傳感器(5)監(jiān)測溫度，加熱后的化學(xué)液進(jìn)入4條并行管路，化學(xué)液分別通過4個氣動閥(13)進(jìn)入到各自的工藝腔室(8)進(jìn)行工藝。在進(jìn)行工藝之前的一段管路上纏繞一段加熱帶￠)，對化學(xué)液進(jìn)行加熱，加熱帶到管路出口的距離在不影響工藝的情況下盡可能縮短，這樣不僅可以保證各工藝腔室的化學(xué)液溫度的一致性，而且各工藝腔室化學(xué)液粘度的一致性也可以得到保證。
加熱帶的接頭與電源直接相連，并在各加熱帶上連接一個數(shù)顯溫控器(7)來實(shí)時控制并顯示加熱帶的溫度，為更好的達(dá)到監(jiān)控溫度的效果，在4條管路出口附近分別安裝一個溫度傳感器TS(5)對加熱后的化學(xué)液溫度進(jìn)行測量，TS與數(shù)顯溫控器結(jié)合實(shí)時控制并監(jiān)測化學(xué)液的溫度，通過對化學(xué)液溫度的控制來改變其粘度，由于將加熱裝置設(shè)置在化學(xué)液即將進(jìn)行工藝的管路部分，這相較于以前的只在主路上加熱化學(xué)液的方案，更容易保證化學(xué)液在進(jìn)行工藝時更加滿足溫度要求。以上所述僅是本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本發(fā)明技術(shù)原理的前提下，還可以做出若干改進(jìn)和替換，這些改進(jìn)和替換也應(yīng)視為本發(fā)明的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求
1.一種控制化學(xué)液溫度的裝置，主管路末端通過多條并行管路與エ藝腔室連接，在所述每條并行管路上安裝氣動閥，其特征在于，在氣動閥與各相對應(yīng)的エ藝腔室之間的每條管路上安裝加熱裝置，所述加熱裝置靠近エ藝腔室。
2.如權(quán)利要求1所述裝置，其特征在于，所述加熱裝置為加熱帶，加熱帶纏繞在管路上，所述加熱帶的接頭與電源直接相連。
3.如權(quán)利要求1所述裝置，其特征在于，在每個加熱裝置上連接控制器。
4.如權(quán)利要求3所述裝置，其特征在于，所述控制器為數(shù)字顯示溫控器。
5.如權(quán)利要求1所述裝置，其特征在于，在所述加熱裝置與エ藝腔室間靠近エ藝腔室側(cè)的管路上分別安裝溫度傳感器。
6.一種控制化學(xué)液溫度的方法，該方法包括在主管路末端對化學(xué)液進(jìn)行加熱，加熱后的化學(xué)液通過多條并行管路進(jìn)入到各自的エ藝腔室，其特征在干，在每條并行管路靠近エ藝腔室側(cè)安裝加熱裝置對化學(xué)液進(jìn)行加熱。
7.如權(quán)利要求6所述方法，其特征在干，在所述加熱裝置上安裝數(shù)字顯示溫控器對化學(xué)液溫度進(jìn)行監(jiān)控。
8.如權(quán)利要求6所述方法，其特征在于，在所述エ藝腔室側(cè)安裝溫度傳感器對加熱后的化學(xué)液進(jìn)行溫度測量。
全文摘要
本發(fā)明提供一種控制化學(xué)液溫度的裝置及方法，該裝置主管路末端通過多條并行管路與工藝腔室連接，在所述每條并行管路上安裝氣動閥，其中，在氣動閥與各相對應(yīng)的工藝腔室之間的每條管路上安裝加熱裝置，所述加熱裝置靠近工藝腔室。通過本發(fā)明提高了各個工藝腔室化學(xué)液溫度和粘度的一致性。
文檔編號G05D23/20GK103049015SQ20121055839
公開日2013年4月17日 申請日期2012年12月20日 優(yōu)先權(quán)日2012年12月20日
發(fā)明者周傳霞, 吳儀, 裴立坤, 何金群, 賈星杰 申請人:北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司