技術(shù)編號：6265725
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及半導(dǎo)體工藝清洗設(shè)備領(lǐng)域，尤其涉及。背景技術(shù)在傳統(tǒng)的半導(dǎo)體清洗工藝中，針對進入工藝腔室中化學(xué)液粘度不一致的情況，在工藝過程中，通過加熱器加熱到一定溫度的化學(xué)液流經(jīng)到各個工藝腔室的路徑不同，因而到達各工藝腔室的化學(xué)液的溫度和粘度不同，不能夠很好的滿足工藝要求，對清洗的效果帶來一定的影響。目前的工藝方案中，都只在主管路上對化學(xué)液進行加熱，加熱后的化學(xué)液通過多條并行管路進入到各自的工藝腔室。過程中，各個工藝腔室與加熱器的距離有遠有近，兩者之間由于管路長度...
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