專利名稱：用于制造環(huán)境中的產(chǎn)品隨機化和分析的方法和系統(tǒng)的制作方法
技術領域：
本發(fā)明一般地涉及制造執(zhí)行系統(tǒng)，更具體地說，涉及用于在制造環(huán)境 中使用處理順序變量來實現(xiàn)產(chǎn)品隨機化和分析的方法、系統(tǒng)和計算機程序產(chǎn)品。
背景技術：
在制造環(huán)境中，產(chǎn)品在通過工藝線時被分組成批次。例如，在半導體制造工廠中，載體將300毫米晶片傳輸?shù)焦に嚲€中的每個工藝設備。每個 批次可以被容納在前開式晶片盒(front-opening unified pod， FOUP)中， 并且晶片在FOUP內(nèi)具有固定的槽位。在處理過程中，出現(xiàn)導致位于特定 槽位的晶片成品率變化的情況是很常見的。 一個實例涉及兩腔(chamber) 式工具。如果笫一腔出現(xiàn)故障，則奇數(shù)槽中的晶片的成品率往往低于偶數(shù) 槽中的晶片的成品率。如果不使用隨機化工具，則從工藝線開始到結束的 槽位保持不變。因此，槽位與工具腔的自動相關使得很難(如果不是不可 能)區(qū)分工藝線中的許多多腔式工具以1更檢測出現(xiàn)故障的腔。一種當前的隨機化方法是使用映射器來物理地隨機化或攪亂工藝線中 給定點處的FOUP中的晶片。通過此方式，可以將槽信號的原因確定為在 工藝線中的兩個隨機化步驟(取決于隨機化的頻率)之間。但是，此方法 并非沒有缺點。例如，物理隨機化技術增加了總體處理時間(即，攪亂晶 片所需的時間)，同時還增加了生產(chǎn)成本(例如，購買、安裝和維護映射 器的額外成本)。此外，使用物理隨機化很可能會導致難以區(qū)分晶片處理 事件。另 一種當前的隨機化方法是通過在處理工具處以隨機順序處理晶片來 邏輯地隨機化晶片。傳統(tǒng)的邏輯隨機化技術的缺點包括無法區(qū)分晶片位置與處理順序對處理的影響，以及無法在執(zhí)行槽模式分析中使用槽位。 因此，需要一種克服上述缺點的提供隨機化和分析的方法。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的實施例包括一種用于在制造環(huán)境中實現(xiàn)產(chǎn)品隨機化和分析的 方法。所述方法包括使用在多個批次中選擇每個產(chǎn)品的隨機化技術，在工藝設備處處理所述批次的產(chǎn)品。所述方法還包括為工藝配方(process recipe)中的每個操作生成操作標識記錄，所述生成包括針對每個操作將 與隨機選擇的產(chǎn)品關聯(lián)的槽標識符映射到處理變量標識符、處理工具以及 所述操作。所述方法還包括使用槽標識符為產(chǎn)品栽體定義槽分組以及通過 分析每個所述槽分組的歷史成品率來確定產(chǎn)品成品率模式。所述方法還包 括通過從與所述多個批次對應的所述操作標識記錄分析產(chǎn)品成品率，來確 定所述工藝配方中每個操作的 一個或多個產(chǎn)品成品率模式的出現(xiàn)頻率。其他實施例包括一種用于在制造環(huán)境中實現(xiàn)產(chǎn)品隨機化和分析的系 統(tǒng)。所述系統(tǒng)包括主機系統(tǒng)和在所述主機系統(tǒng)上執(zhí)行的產(chǎn)品隨機化應用。 所述產(chǎn)品隨機化應用實現(xiàn)一種方法。所述方法包括使用在多個批次中選擇 每個產(chǎn)品的隨機化技術，在工藝設備處處理所述批次的產(chǎn)品。所述方法還 包括為工藝配方中的每個操作生成操作標識記錄，所述生成包括針對每個 操作將與隨機選擇的產(chǎn)品關聯(lián)的槽標識符映射到處理變量標識符、處理工 具以及所述操作。所述方法還包括使用槽標識符為產(chǎn)品載體定義槽分組以 及通過分析每個所述槽分組的歷史成品率來確定產(chǎn)品成品率模式。所述方 法還包括通過從與所述多個批次對應的所述操作標識記錄分析產(chǎn)品成品 率，來確定所述工藝配方中每個^Mt的一個或多個產(chǎn)品成品率模式的出現(xiàn) 頻率。進一步的實施例包括一種用于在制造環(huán)境中實現(xiàn)產(chǎn)品隨機化和分析的 計算機程序產(chǎn)品。所述計算機程序產(chǎn)品包括用于使計算機實現(xiàn)方法的指令。 所述方法包括使用在多個批次中選擇每個產(chǎn)品的隨機化技術，在工藝設備 處處理所述批次的產(chǎn)品。所述方法還包括為工藝配方中的每個操作生成操作標識記錄，所述生成包括針對每個操作將與隨機選擇的產(chǎn)品關聯(lián)的槽標 識符映射到處理變量標識符、處理工具以及所述操作。所述方法還包括4吏 用槽標識符為產(chǎn)品載體定義槽分組以及通過分析每個所述槽分組的歷史成 品率來確定產(chǎn)品成品率模式。所述方法還包括通過從與所述多個批次對應的所述操作標識記錄分析產(chǎn)品成品率，來確定所述工藝配方中每個操作的 一個或多個產(chǎn)品成品率模式的出現(xiàn)頻率。當查看以下附圖和詳細描述時，才艮據(jù)所述實施例的其他系統(tǒng)、方法和/ 或計算機程序產(chǎn)品對本領域的技術人員將是或將變得顯而易見。所有這些 其他系統(tǒng)、方法和/或計算機程序產(chǎn)品都旨在包括在此描述中、處于本發(fā)明 的范圍之內(nèi)，并由所附的權利要求來保護。


在說明書結尾處的權利要求書中具體指出并明確要求保護了視為本發(fā)明的主題。從以下結合附圖的詳細i兌明，本發(fā)明的上述和其他目標、特性 和優(yōu)點是顯而易見的，這些附圖是圖1是根據(jù)示例性實施例的其中可以實現(xiàn)產(chǎn)品隨機化和分析的系統(tǒng)的 一部分；圖2是描述示例性實施例中的實現(xiàn)產(chǎn)品隨機化和分析的過程的流程圖；圖3A-3C是示出了示例性實施例中定義以供產(chǎn)品隨機化和分析功能使用的槽模式的示意圖；圖4示出了由示例性實施例中的產(chǎn)品隨機化和分析功能創(chuàng)建和使用的 ^作標識記錄；以及圖5是示出了示例性實施例中的按操作的產(chǎn)品成品率模式的模式匯總圖。詳細說明通過參考附圖以實例的方式說明了本發(fā)明的優(yōu)選實施例以及 優(yōu)點和特性。
具體實施方式
根據(jù)示例性實施例，提供了用于實現(xiàn)產(chǎn)品隨機化和分析功能的方法、 系統(tǒng)和計算機程序產(chǎn)品。產(chǎn)品隨機化和分析功能通過針對載體槽標識符 (id )定義槽模式以及使用這些定義實現(xiàn)處理變量槽標識符分析來實現(xiàn)。對于分析，纟艮據(jù)處理變量槽id將物理槽標識符分成組，而所述處理變量槽 id又根據(jù)產(chǎn)品的處理順序(當使用邏輯隨機化技術時)以及載體槽id (當 使用物理隨機化技術時)指定?？梢允褂媒y(tǒng)計模型(例如，ANOVA)檢 查各個組之間的4壬何統(tǒng)計上顯著的差異。將與確定為明顯不同于其他組的 組關聯(lián)的批次標記為具有特定模式?？梢詧D形地顯示分析結果以便于確定 和解決影響工藝、工具、產(chǎn)品或栽體的問題。在此描述的產(chǎn)品隨機化和分析功能涉及半導體制造環(huán)境，在所述環(huán)境 中，根據(jù)工藝計劃或配方通過前開式晶片盒(FOUP)將產(chǎn)品晶片傳輸?shù)?各種工藝設備(包括工具和工具腔)。但是，要理解的是，示例性實施例 中描述的原理可以通過少許修改或不進行任何修改而應用于其他制造環(huán) 境?，F(xiàn)在轉到圖1，將描述根據(jù)示例性實施例的其中可以實現(xiàn)產(chǎn)品隨機化 和分析功能的系統(tǒng)的一部分。圖1的系統(tǒng)包括通過一個或多個網(wǎng)絡108與 制造設備104、 106通信的主機系統(tǒng)102。在示例性實施例中，主機系統(tǒng)102 由采用企業(yè)標準(例如SEMI⑧，或美國半導體交易組織@，總部設在加利 福尼亞州的圣何塞)的制造企業(yè)實現(xiàn)。主機系統(tǒng)102執(zhí)行企業(yè)用于促進圖1的制造環(huán)境中發(fā)生的生產(chǎn)過程的 各種業(yè)務應用。主機系統(tǒng)102可以由用于處理圖1的制造環(huán)境中發(fā)生的生 產(chǎn)活動量的具有高性能處理器的計算機實現(xiàn)。主機系統(tǒng)102執(zhí)行的業(yè)務應 用類型可以包括制造執(zhí)行系統(tǒng)(MES) 112、自動材料處理系統(tǒng)(AMHS) 以及類似類型的軟件。AMHS管理圖1的制造環(huán)境內(nèi)的材料傳輸，并與 MES 112連接以接收有關在制造區(qū)域的設備上處理材料以及其他功能的操 作和調度信息。主機系統(tǒng)102還執(zhí)行一個或多個用于實現(xiàn)產(chǎn)品隨機化和分析的應用。這些一個或多個應用統(tǒng)稱為產(chǎn)品隨機化應用114。此外，主機系統(tǒng)102可 以實現(xiàn)一個或多個用于按操作示出模式分析和產(chǎn)品成品率分析結果的圖形 工具(未示出)，如在此進一步描述的那樣。要理解的是，隨機化(例如 邏輯或物理地攪亂產(chǎn)品)可以由單獨的應用或設備實現(xiàn)，或者可以與產(chǎn)品 隨機化應用114集成。制造設備包括載體104 (在此也稱為"傳輸設備")和工藝設備106。 制造設備可以在一個或多個生產(chǎn)隔間(productbay)中維護，每個生產(chǎn)隔 間都包括處理工具，以及參與或等待工具執(zhí)行的處理或過程的在制品 (WIP)材料。處理工具可以進一步包括一個或多個工具腔。可用于制造 的材料可以包括物質、部件、組件以及其他通常在制造環(huán)境中找到的物品。 例如，在半導體制造環(huán)境中，材料(在此也稱為"產(chǎn)品，，)可以包括300 毫米晶片。WIP材料指當前正在進行機器處理或在;^凡器(例如處理單元 106)或生產(chǎn)隔間之間傳送的那些材料。等待處理的產(chǎn)品可以存儲在本地存 儲裝置(未示出)中。隔間之間/隔間內(nèi)部的傳^Ti殳備(例如載體104)使 得能夠分別在生產(chǎn)隔間之間和內(nèi)部傳送WIP材料。每個處理單元106都提供圖1的制造環(huán)境內(nèi)的一個或多個位置，在所 述位置處，根據(jù)制造計劃對WIP材料執(zhí)行一個或多個指定的制造過程。載 體104可以是機械化的地面車輛，例如自動導向車輛(AGV)或人工導向 車輛(PGV)，或者可以是由單軌支撐的在生產(chǎn)隔間之間和內(nèi)部傳輸WIP 材料的高架傳輸(OHT)設備。雖然為了便于說明，在圖1的系統(tǒng)中僅示出了每種類型的一個設備， 但是要理解的是，為了實現(xiàn)示例性實施例的優(yōu)點，可以采用多個設備(例 如多個載體和處理工具)。網(wǎng)絡108可以包括任何類型的通信網(wǎng)絡。在優(yōu)選實施例中，網(wǎng)絡108 包括以太網(wǎng)局域網(wǎng)(LAN)。主機系統(tǒng)102與存^i更備110通信。存^i殳備110存儲主機系統(tǒng)102 所使用的各種數(shù)據(jù)。存儲設備110可以由主機系統(tǒng)102邏輯地尋址，以便 接收數(shù)據(jù)請求以及將搜索結果傳送到主機系統(tǒng)102。存儲設備114中存儲的一種類型的lt據(jù)是生產(chǎn)數(shù)據(jù)。生產(chǎn)數(shù)據(jù)指AMHS根據(jù)預定生產(chǎn)操作執(zhí)行 傳輸活動時使用的特定信息。例如，生產(chǎn)數(shù)據(jù)可以包括標識每個栽體、載 體材料、工具標識符等的表。此外，還可以將詳細性能度量(例如產(chǎn)品成 品率、周期時間、生產(chǎn)量等)存儲為生產(chǎn)數(shù)據(jù)的一部分?？梢允褂眠@些和 其他由SEMI得出的性能度量標準。生產(chǎn)數(shù)據(jù)還可以包括所使用的制造過 程的處理步驟，包括載體的處理路線、生產(chǎn)隔間內(nèi)發(fā)生的生產(chǎn)活動的狀態(tài)等。存儲設備110還可以存儲傳輸過程作業(yè)。傳輸過程作業(yè)可以包括指示 AMHS對選擇要移動的候選材料執(zhí)行指定操作的工作命令或指令。在示例性實施例中，存儲設備110還存儲已定義的槽模式、操作標識 符記錄以及模式匯總。槽模式、操作標識符記錄以及匯總通過產(chǎn)品隨機化 和分析功能被簡化，并在此進一步描述。產(chǎn)品隨才幾化應用114可以集成到現(xiàn)有MES工具中或者可以作為獨立 產(chǎn)品實現(xiàn)。如果作為獨立產(chǎn)品實現(xiàn)，則可以4吏用應用編程接口 (API)使 產(chǎn)品隨機化應用114能夠根據(jù)需要與MES 112通信。如上所述，通過針對載體槽標識符(id)定義槽模式以及使用這些定 義實現(xiàn)處理變量槽標識符分析來實現(xiàn)產(chǎn)品隨機化和分析功能。對于分析， 才艮據(jù)處理變量槽id將物理槽標識符分成組，而所述處理變量槽id又才艮據(jù) 產(chǎn)品的處理順序(當使用邏輯的隨機化技術時)以及載體槽id (當使用物 理的隨機化技術時)來指定?？梢允褂媒y(tǒng)計模型(例如ANOVA)檢查各 個組之間的任何統(tǒng)計上的顯著差異。將與確定為明顯不同于其他組的組關 聯(lián)的批次標記為具有特定模式。可以圖形地顯示分析結果以便于確定和解 決影響工藝、工具、產(chǎn)品或載體的問題。這些功能將在此進一步描述?，F(xiàn)在轉到圖2,將描述根據(jù)示例性實施例的說明實現(xiàn)產(chǎn)品隨機化和分 析功能的過程的流程圖。在步驟202，根據(jù)規(guī)定的處理計劃或配方在工藝設備106處處理批次 (每個載體中的全部產(chǎn)品)。在此處理期間，在步驟204為在工藝配方中 執(zhí)行的每個操作生成操作標識記錄。圖4中示出了樣例操作標識記錄。如圖4的^作標識記錄400中所示，將每個隨機選擇的產(chǎn)品指定給工 具。在操作標識記錄400中，產(chǎn)品隨機化應用114向選定產(chǎn)品指定處理變 量標識符。如果使用邏輯的隨機化技術，則處理變量標識符對應于選定產(chǎn) 品的處理順序(即，與批次中的其他產(chǎn)品相比，基于處理產(chǎn)品的順序)。 如果使用物理的隨機化技術，則處理變量標識符對應于選定產(chǎn)品的槽標識 符(例如，兩個標識符相同)。在步驟206，將選定產(chǎn)品以及該產(chǎn)品的對 應槽標識符映射到^Mt標識記錄400中的處理變量標識符，如圖4中所示。 因此，在步驟208，載體中的所有產(chǎn)品都被指定全部存儲在操作標識記錄 400中的處理變量標識符，而所述記錄又對應于在給定工具處執(zhí)行的單個 操作。在步驟210,定義栽體槽id分組。為了進行說明，下面定義了六個分組。在示例性實施例中，使用與載體關聯(lián)的槽標識符的連續(xù)有序列表來定 義槽分組。通過實例的方式，槽分組定義可以包括以下項中的一個或多個 與產(chǎn)品載體中的笫一個物理槽對應的槽標識符；與產(chǎn)品載體中的最后一個 物理槽對應的槽標識符；前分組和后分組，其中前分組表示與位于產(chǎn)品載 體上半部分的槽對應的槽標識符，而后分組表示與位于產(chǎn)品載體下半部分 的槽對應的槽標識符；奇數(shù)分組和偶數(shù)分組，其中奇數(shù)分組表示產(chǎn)品載體 的奇數(shù)編號的槽標識符，而偶數(shù)分組表示產(chǎn)品載體的偶數(shù)編號的槽標識符； 與連續(xù)有序列表中的每個第三個槽標識符對應的每個第三個槽；以及與連 續(xù)有序列表中的每個第四個槽標識符對應的每個第四個槽。在步驟212，為在步驟210定義的每個分組分析歷史產(chǎn)品成品率。通 過此分析，在步驟214確定產(chǎn)品成品率模式。圖3A-3C示出了通過步驟212 的分析產(chǎn)生的三個樣例產(chǎn)品成品率模式。例如，如圖3B中所示，"高M氐" 模式可以表示兩腔式工具中的一個腔出現(xiàn)問題。可以將這些產(chǎn)品成品率模 式存儲在存儲設備110中。在步驟216,分析所處理批次的^Mt標識記錄和產(chǎn)品成品率，以確定 工藝配方中每個INt的已定義模式的出現(xiàn)頻率。圖5中示出了樣例匯總圖。圖5的匯總圖500示出了樣例帕雷托圖(pareto chart)，其中"y"軸表 示分析的批次數(shù)，而"x"軸表示對批次執(zhí)行的每個操作。圖500反映了通 過每個隨機化操作為每個單獨批次執(zhí)行的分析的結果，然后將這些結果與 每個已定義的槽模式進行比較。如圖5的帕雷托圖500中所示，十個批次 具有"僅第一個"模式(即，表示對應于其中槽標識符與產(chǎn)品載體中的第 一個物理槽關聯(lián)的分組的槽模式)。這些匯總圖提供了有用的信息，所述信息可以提供對與處理、工具、 載體等關聯(lián)的問題的理解。例如，如果針對處理工具確定簽名模式，則產(chǎn) 品隨機化應用114可以搜索存儲設備110以判定腔記錄是否可用于此工具。 如果腔信息可用，則可以自動執(zhí)行腔通用性分析以指向工具內(nèi)的故障腔。 此外，可以分析數(shù)以百計的M變量和成品率變量以確定哪個變量高度依 賴于特定模式。應用114的用戶可以確定哪個變量具有強模式簽名。對于 每個簽名和變量，可以根據(jù)在單個隨機化步驟處具有簽名的批次的數(shù)量建 立帕雷托圖，由此實現(xiàn)快速確定出現(xiàn)故障的處理步驟。如上所述，可以采用計算機實現(xiàn)的過程以及用于實現(xiàn)這些過程的裝置 的形式體現(xiàn)實施例。在示例性實施例中，本發(fā)明體現(xiàn)在由一個或多個網(wǎng)絡 元素執(zhí)行的計算機程序代碼中。實施例包括計算機程序代碼，其中包含體 現(xiàn)在有形介質(例如軟盤、CD-ROM、硬盤驅動器或任何其他計算機可讀 存儲介質)中的指令，其中，當計算^4呈序代碼被載入計算機并由計算機 執(zhí)行時，計算機將變成用于實現(xiàn)本發(fā)明的裝置。實施例包括例如計算初4呈 序代碼，無論是存儲在存儲介質中，載入計算機和/或由計算機執(zhí)行，還是 通過某些傳輸介質傳輸(例如通過電線或電纜,通過光纖或通過電磁輻射)， 其中，當計算機程序代碼被載入計算機并由計算機執(zhí)行時，計算機將變成 用于實現(xiàn)本發(fā)明的裝置。當在通用微處理器上實現(xiàn)時，計算機程序代碼段 將微處理器配置為創(chuàng)建特定邏輯電路。雖然參考示例性實施例描述了本發(fā)明，但是本領域的技術人員將理解， 在不偏離本發(fā)明的范圍的情況下，可以對其做出各種更改并且等同物可以 替代其中的元素。此外，可以做出許多修改以使特定的情況或材料適合本發(fā)明的教導而不偏離其基本范圍。閎此，本發(fā)明并不限于作為實現(xiàn)此發(fā)明 所構想的最佳方式而公開的特定實施例，而是本發(fā)明將包括所有落入所附 權利要求的范圍內(nèi)的實施例。此外，術語第一、第二等的使用并非表示任 何順序或重要性，而是用來區(qū)分一個元素與另一個元素。此外，術語一、 一個等的使用并不表示數(shù)量限制，而是表示存在至少一個提及的項。
權利要求
1.一種用于在制造環(huán)境中實現(xiàn)產(chǎn)品隨機化和分析的方法，所述方法包括使用在多個批次中選擇每個產(chǎn)品的隨機化技術，在工藝設備處處理所述批次的產(chǎn)品，所述處理根據(jù)工藝配方來執(zhí)行；為所述工藝配方中的每個操作生成操作標識記錄，所述生成包括針對每個操作將與隨機選擇的產(chǎn)品關聯(lián)的槽標識符映射到處理變量標識符、處理工具以及所述操作；使用槽標識符為所述多個批次中的每個批次的產(chǎn)品載體定義槽分組；通過分析每個所述槽分組的歷史成品率來確定產(chǎn)品成品率模式；以及通過從與所述多個批次對應的所述操作標識記錄分析產(chǎn)品成品率，來確定所述工藝配方中每個操作的一個或多個產(chǎn)品成品率模式的出現(xiàn)頻率。
2. 根據(jù)權利要求l的方法，其中使用槽標識符的連續(xù)有序列表來定義 所述槽分組，其中所定義的槽分組包括以下項中的至少一項對應于所述產(chǎn)品載體中的第 一個物理槽的槽標識符；對應于所述產(chǎn)品載體中的最后一個物理槽的槽標識符；前分組和后分組，其中所述前分組表示與位于所述產(chǎn)品載體的上半部分的槽對應的槽標識符，而所述后分組表示與位于所述產(chǎn)品載體的下半部分的槽對應的槽標識符；奇數(shù)分組和偶數(shù)分組，其中所述奇數(shù)分組表示所述產(chǎn)品載體的奇數(shù)編號的槽標識符，而所述偶數(shù)分組表示所述產(chǎn)品載體的偶數(shù)編號的槽標識符; 與所述連續(xù)有序列表中的每個第三個槽標識符對應的每個第三個槽；以及與所述連續(xù)有序列表中的每個第四個槽標識符對應的每個第四個槽。
3. 根據(jù)權利要求l的方法，還包括圖形地顯示所述產(chǎn)品成品率模式，所述產(chǎn)品成品率模式反映了與操作、 工具、產(chǎn)品載體以及產(chǎn)品中的至少一項相關的潛在問題；其中確定模式的出現(xiàn)頻率包括將針對每個操作的產(chǎn)品成品率分析的結 果與每個所述成品率模式相比較。
4. 根據(jù)權利要求l的方法，其中所述隨機化技術是邏輯的。
5. 根據(jù)權利要求l的方法，其中所述隨機化技術是物理的；其中進一 步地，每個隨機選擇的產(chǎn)品的處理順序變量等于所述槽標識符。
6. 根據(jù)權利要求l的方法，其中所述隨機化技術是邏輯和物理的組合； 其中當4吏用邏輯的隨機化技術時，所述處理順序變量指定了產(chǎn)品的處理順 序；以及當使用物理的隨機化技術時，所述產(chǎn)品的處理順序變量等于所述槽標 識符。
7. 根據(jù)權利要求l的方法，其中所述處理順序變量指定了產(chǎn)品的處理 順序。
8. —種用于在制造環(huán)境中實現(xiàn)產(chǎn)品隨機化和分析的系統(tǒng)，所述系統(tǒng)包括主機系統(tǒng)；以及在所述主機系統(tǒng)上執(zhí)行的產(chǎn)品隨機化應用，所述產(chǎn)品隨機化應用實現(xiàn)一種方法，所述方法包括使用在多個批次中選擇每個產(chǎn)品的隨機化技術，在工藝設備處處理所述批次的產(chǎn)品，所述處理才艮據(jù)工藝配方來執(zhí)行；為所述工藝配方中的每個操作生成^Mt標識記錄，所述生成包括針對每個操作將與隨機選擇的產(chǎn)品關聯(lián)的槽標識符映射到處理變量標識符、處理工具以及所述操作；使用槽標識符為所述多個批次中的每個批次的產(chǎn)品載體定義槽分組； 通過分析每個所述槽分組的歷史成品率來確定產(chǎn)品成品率模式；以及 通it^與所述多個批次對應的所述^作標識記錄分析產(chǎn)品成品率，來確定所述工藝配方中每個^^作的一個或多個產(chǎn)品成品率模式的出現(xiàn)頻率。
9. 根據(jù)權利要求8的系統(tǒng)，其中使用槽標識符的連續(xù)有序列表來定義所述槽分組，其中所定義的槽分組包括以下項中的至少一項 對應于所述產(chǎn)品栽體中的第 一個物理槽的槽標識符； 對應于所述產(chǎn)品載體中的最后一個物理槽的槽標識符； 前分組和后分組，其中所述前分組表示與位于所述產(chǎn)品載體的上半部分的槽對應的槽標識符，而所述后分組表示與位于所述產(chǎn)品載體的下半部分的槽對應的槽標識符；奇數(shù)分組和偶數(shù)分組，其中所述奇數(shù)分組表示所述產(chǎn)品載體的奇數(shù)編號的槽標識符，而所述偶數(shù)分組表示所述產(chǎn)品載體的偶數(shù)編號的槽標識符； 與所述連續(xù)有序列表中的每個第三個槽標識符對應的每個第三個槽；以及與所述連續(xù)有序列表中的每個第四個槽標識符對應的每個第四個槽。
10. 根據(jù)權利要求8的系統(tǒng)，其中所述產(chǎn)品隨機化應用還執(zhí)行以下操作圖形地顯示所述產(chǎn)品成品率模式，所述產(chǎn)品成品率模式反映了與操作、 工具、產(chǎn)品載體以及產(chǎn)品中的至少一項相關的潛在問題；其中確定模式的出現(xiàn)頻率包括將針對每個操作的產(chǎn)品成品率分析的結 果與每個所述成品率模式相比較。
11. 根據(jù)權利要求8的系統(tǒng)，其中所述隨機化技術是邏輯的。
12. 根據(jù)權利要求8的系統(tǒng)，其中所述隨機化技術是物理的；其中進 一步地，每個隨機選擇的產(chǎn)品的處理順序變量等于所述槽標識符。
13. 根據(jù)權利要求8的系統(tǒng)，其中所述隨機化技術是邏輯和物理的組 合；其中當使用邏輯的隨機化技術時，所述處理順序變量指定了產(chǎn)品的處理順 序；以及當使用物理的隨機化技術時，所述產(chǎn)品的處理順序變量等于所述槽標 識符。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種用于在制造環(huán)境中實現(xiàn)產(chǎn)品隨機化和分析的方法和系統(tǒng)。所述方法包括使用在多個批次中選擇每個產(chǎn)品的隨機化技術，在工藝設備處處理所述批次的產(chǎn)品。所述方法還包括為工藝配方中的每個操作生成操作標識記錄，所述生成包括針對每個操作將與隨機選擇的產(chǎn)品關聯(lián)的槽標識符映射到處理變量標識符、處理工具以及所述操作。所述方法還包括使用槽標識符為產(chǎn)品載體定義槽分組以及通過分析每個所述槽分組的歷史成品率來確定產(chǎn)品成品率模式。所述方法還包括通過從與所述多個批次對應的所述操作標識記錄分析產(chǎn)品成品率，來確定所述工藝配方中每個操作的一個或多個產(chǎn)品成品率模式的出現(xiàn)頻率。
文檔編號G05B19/418GK101236428SQ20081000922
公開日2008年8月6日 申請日期2008年1月29日 優(yōu)先權日2007年1月30日
發(fā)明者B·J·勞林斯, C·W·隆, J·賴斯, S·M·西安弗拉尼, 宋云升 申請人:國際商業(yè)機器公司