專利名稱：用于調整供應給電路的電壓的集成電路、電子系統(tǒng)和方法
技術領域：
本發(fā)明一般地涉及一種用于調整給半導體襯底上所包含的集成電 路的電壓的系統(tǒng)和方法。特別地，本發(fā)明涉及一種用于響應于集成電路 自身的測量的物理狀態(tài)來調整給該集成電i 各的電壓的系統(tǒng)和方法。
背景技術：
在制造工藝期間，集成電路的性能發(fā)生改變。通常，在半導體襯底 晶片上制造的這些集成電路在制造完成時進行測試和評級以確定它們 的性能。在進行評級后，基于這種測量性能來封裝和出售這些半導體襯 底。這種評級詳細說明了針對在所有操作狀態(tài)下將提供給集成電路的指 定單個電壓的預測性能。處于不滿足性能標準邊緣(marginally)的集成電路通常會被丟棄， 即使它具有全部功能且不帶任何缺陷。這導致成品率降低。 一種用于在 邊緣處提高集成電路的性能的途徑是提高施加給所述集成電路的標稱 操作電壓。因此為了確保由于表現(xiàn)不佳的集成電路樣品所造成的成品率 降低達到最小，使用比在封裝自身上所標記的標稱電壓規(guī)格更高的電壓 來封裝它們。然而，這種性能測試是在單個操作點(也即在固定的溫度 和給定工藝下)處進行的，進行測量以發(fā)現(xiàn)達到最小性能標準的所需電 壓是多少?？墒牵跍囟群碗妷翰缓愣ǖ南到y(tǒng)中，為了防止這些變化， 實際上，將比達到最小性能標準所需的電壓更高的電壓印在封裝上作為 標稱電壓。同樣，對各個集成樣品的校準花費更多的測試時間，這增加了成本。 在這種靜態(tài)測試方法中，因為基于單個操作點而在晶片處設置電源電 壓，所以丟失了動態(tài)地減少功率的機會。由此，不存在用于在集成電路已經被評級和封裝之后，對集成電路 的變化的操作系統(tǒng)狀態(tài)作出響應的任何規(guī)定。發(fā)明內容根據本發(fā)明，提供了一種用于調整供應給電路的電壓的方法，其包括步驟測量電路上的溫度；測量電路中的電壓降；以及測量電路的頻 率響應，并基于這些測量來調節(jié)供應給該電路的電壓。在本發(fā)明的一個實施例中，在半導體襯底上制作的集成電路中包括 測量電路部件。這些測量電路連接到向該集成電路提供電源的電壓調整 電路。這些測量電路提供信號以控制該電壓調整電路，該電壓調整電路 基于在該半導體器件上獲得的測量值來調節(jié)給該集成電路的電壓輸出。 這些測量包括半導體襯底上的各位置處的溫度和IR降，以及集成電路 的頻率響應。


通過參考附圖，可以更好地理解本發(fā)明，并且它的許多目的、特征 和優(yōu)勢對于本領域的普通技術人員而言是顯而易見的。圖1是溫度測量電路的簡單實施例的示意圖；圖2是溫度測量電路的第二實施例的示意圖；圖3是為頻率響應測量提供輸入并且提供IR降測量的兩個環(huán)形振 蕩器電路的示意圖；圖4是自適應電壓補償電路的優(yōu)選實施例的示意圖；以及圖5是表示自適應電壓補償電路的操作的流程圖。
具體實施方式
以下內容旨在提供對本發(fā)明的例子的詳細描述，并且不應用于限制 本發(fā)明自身。相反，任何數目的變形可以落入通過權利要求書所限定的 本發(fā)明的范圍內。本發(fā)明提供一種系統(tǒng)，其用于測量集成電路上的操作狀態(tài)并調節(jié)提供給集成電路的電壓(Vdd)，以便提高集成電路的性能或者節(jié)省集成電 路消耗的功率。在優(yōu)選的實施例中，測量三個物理狀態(tài)。第一個是溫度，其通過集 成電路的表面上的熱二極管來測量。第二個是通過兩個環(huán)形振蕩器電路來測量的IR (電壓)降，以及第三個是通過與已存儲的預定性能值進行比較由單個環(huán)形振蕩器測量的集成電路的頻率響應。提供給電壓調整電路的完整的控制信號是總Vdd縮放=頻率響應縮放+溫度相關的Vdd縮放+ IR降相關的 縮放。在優(yōu)選的實施例中，所有的測量電路都被包含在該集成電路器件的 表面上。接著，這些測量被用于縮放(scale)給電壓調整電路的輸入控 制信號，該電壓調整電路也包含在該集成電路器件的表面上或者作為替 代位于另一集成電路的表面上。該電壓調整器件的輸出提供集成電路的 操作電壓(Vdd)。因此，可以調節(jié)供應給集成電路的電壓，以便在芯片 操作期間在程序控制下動態(tài)地節(jié)省功率或者提高性能。另外，當預料會 發(fā)生操作環(huán)境改變的情況下，諸如休眠狀態(tài)或執(zhí)行需要高電路性能的指 令時，可以改變集成電3各電壓并且因此改變性能。這是一種變化電壓的動態(tài)方法，其同時考慮半導體制造工藝的細 節(jié)、溫度和IR降影響。這種方法使用可獲得的片上數據來計算必須的 電壓調節(jié)量以滿足目標性能或者降低功率消耗。這兩個目標是通過使用 相同的電路來滿足的。使用這種方法的另 一優(yōu)點是它向用戶提供在可編化，該特殊的寄存器提供由電源管理電路用來提供電源電壓Vdd的值。 當期待需要高電路性能的指令基本上提供"要求的"性能能力時，這種 特征可能是有幫助的。換言之，按需提供附加的電路電源電壓以提高電 路性能。這種方法不限于特定技術或特定類型的電路。它可以應用到多種類 型的集成電路，特別是需要以較低功率消耗來遞送較高性能的那些集成 電路。這種方法還提供縮減用于識別每個模塊的成品率和電壓的測試時間。它是一種不同于以前的靜態(tài)解決方案(保險絲等)的考慮了 IR降影響的動態(tài)解決方案。圖1是示出為連接到給集成電路提供電壓源(芯片Vdd)的電壓調 整電路的熱測量電路125的一個實施例的示意圖。該測量電路包括連接 到電壓源的電流源100。該電流源IOO還通過線103連"^妻到熱二極管102, 熱二極管102還與地相連。熱二極管102上的電壓指示該集成電路的測 量溫度。通過線103將這種熱電壓信號提供給模擬比較器106。比較器 106的輸出連接到地址計數器110,地址計數器110給數模(D到A) 轉換器114提供地址。熱二極管的操作范圍通常是零到125°C。地址計 數器110包括具有128個項的查找表。這些項對應于O到127攝氏度。 最初，地址計數器IIO在零度處開始，并且每個時鐘周期向上遞增。每 個地址通過線112提供給該DA轉換器114。在操作中，模擬比較器106 將該DA轉換器114的輸出與熱二極管102所提供的測量的熱電壓進行 比較。當地址計數器IIO提供表示與熱二極管102相同的溫度的輸出時， 來自該DA轉換器114的輸出電壓將與熱二極管102所提供的電壓相同。 于是，模擬比較器106的輸出將是零。接著，地址計數器IIO停止遞增， 并通過線116提供信號給延遲查找表(LUT)電路118。線116上的這 種值是表示熱二極管102所測量的溫度的數字信號。這種熱電壓值用于 在延遲查表電路118中尋址對應的延遲值。電路118中的延遲查找表是 通過對集成電路的性能進行仿真所計算出的脈沖寬度值的表。每個值表 示針對預期的集成電路性能，針對O到127攝氏度的溫度范圍所計算出 的預期延遲值。為了測量襯底上的工藝，使用連接到帶溫度補償的電壓源(例如 帶隙基準)的環(huán)形振蕩器。在這種情況下，針對給定的溫度，環(huán)形振蕩 器所生成的脈沖寬度是襯底上的工藝的函數，這是因為溫度和電壓是恒 定的。通過使用帶隙基準，施加到環(huán)形振蕩器的電壓可以保持恒定。但 是襯底的溫度取決于內部的和外部的操作狀態(tài)，并且它不可能保持恒 定。為了消除變化的溫度的影響，在本發(fā)明中使用了另一方案。首先，選擇目標預測電路性能數(pcpn)。該數字表示基于預期的 半導體制造工藝的預期電路性能。該數字表示在整個操作溫度范圍上在 額定施加的電壓下所預期的電路性能。對于該pcpn，針對整個操作溫度 范圍，執(zhí)行對由來自帶隙基準的恒定電壓來供電的環(huán)形振蕩器的仿真。 這種仿真得到在固定的電壓和pcpn值處所生成的脈沖寬度，其中只有 溫度在整個操作溫度范圍內發(fā)生變化。如果襯底pcpn與期望的目標性 能相同，則該村底針對操作溫度范圍中的每個值也得到相同的脈沖寬 度。如果襯底pcpn不同于所期望的目標性能，則襯底所產生的脈沖寬 度將短于或者長于仿真所產生的脈沖寬度，其取決于襯底pcpn是快于 還是慢于預期的目標性能。因此，必須在襯底上的環(huán)形振蕩器所生成的 脈沖寬度與在固定電壓下在襯底溫度的值處的脈沖寬度的仿真值之間 進行比較。針對期望操作溫度范圍內的每個溫度值的在期望目標工藝處 的期望脈沖寬度值被存儲在查找表(LUT)中(例如，圖1中的118), 該查找表是通過當前的襯底溫度(也即基于村底溫度)來尋址的，地址 指針指向LUT中這樣的項，該項包含在固定的帶隙電壓下在期望工藝 拐角(corner)處的來自環(huán)形振蕩器電路的預期脈沖寬度。對于本發(fā)明， 操作溫度范圍是從0 °C到127 °C ,并且該范圍被劃分成128個1°C的步長。 這需要在LUT中具有128個項，其中每個項對應于rC溫度的上升。從延遲查找表電路118中得到的這種脈沖寬度值以數字形式提供了 電壓縮放信號，其被DA轉換器122轉換成模擬電壓信號。該縮放電壓 信號通過線124提供給電壓調整器130。電路125的操作結果將基于熱 二極管102所測得的集成電路的測量溫度，來提高或降低電壓調整器電 路130的所得到的電壓(芯片Vdd)。圖2是圖1中所示的熱測量電路的第二實施例。圖2中的溫度測量 電路225包括兩個電流源200和202,它們通過由線206連接的開關204 選擇性地連接到熱二極管208。該二極管實際上是由以CMOS技術制作 的橫向PNP器件構成的。該器件的集電極和基極被短路，剩下基極與 發(fā)射極之間的二極管。數字溫度傳感器基于這種的原理二極管接法的晶體管的基極 - 發(fā) 射極電壓(VBE)與它的溫度呈反比。當在操作溫度之上操作時，VBE 展現(xiàn)出大約-2mV廠C的負溫度系數。實際上，vbe的絕對值從一個晶體 管到另一個晶體管會發(fā)生變化。為了消除這種變化，電路將必須校準每 個單獨的晶體管。這個問題的常用解決方法是，當兩個不同的電流值被 施加到晶體管的發(fā)射極時，比較晶體管的Vbe的改交。使用由2個電流源且同 一 時間由 一 個電流源進行饋電的二極管來進 行溫度測量。通常，這些電流源的比率是10: 1。溫度測量需要測量當 施加這兩個電流源時在該二極管上產生的電壓的差值。線206連接到"抽樣保持，，電路209,以對熱二極管208的電壓輸 出進行抽樣和保持。地址計數器電路222與前面所討論的圖1中的地址 計數器電路110同樣地操作。地址計數器222每個時鐘周期遞增一個地 址，其通過線220將表示零到127。C的溫度范圍的數字信號提供給DA 轉換器218,該DA轉換器218將這種表示溫度的數字信號轉換成電壓。 該電壓信號通過線215提供給第二抽樣保持電路213 。抽樣保持電路209 和213這二者將抽樣和保持它們各自的電壓用于比較器212,從而來自 熱二極管208的溫度的連續(xù)的小變化將不會對該溫度測量電路225的操 作造成有害的影響。當到達測量溫度時，比較器212將通過線216提供 零輸出給地址計數器222,地址計數器222通過線224將表示測得的溫 度的數字信號提供給延遲查找表電路226。延遲查找表電路226通過線 228將數字延遲值提供給DA轉換器230的操作與先前針對在圖1中的 測量電路125所討論的操作相同。圖3是IR降(或電壓降)測量電路325的示意圖，測量電路325 將電壓縮放信號提供給電壓調整電路326。帶隙電壓源300連接到環(huán)形 振蕩器電路304。環(huán)形振蕩器電路304包括連接成回路或環(huán)的奇數數目 的倒相器302。帶隙源獲取自物理集成電路自身，并且是額定的1.23V。 連接到芯片電壓源的第二環(huán)形振蕩器電路306在線314上提供輸出。帶 隙環(huán)形振蕩器在線312上提供輸出。相位檢測器308連接到線312和 314,以確定這兩個環(huán)形振蕩器電路304和306所提供的脈沖之間的差異或延遲。相位檢測器308分別在線316和318上提供電壓幅度輸出和 電壓極性輸出，它們組合起來表示環(huán)形振蕩器電路304和306之間的延 遲差值。線316和318是比較器310的輸入，比較器310在線322上提 供電壓縮放信號給電壓調整器326。應當理解，線322上的這種電壓縮 放信號只基于集成電路的IR降。基于線322的電壓縮放信號，電壓調 整器326提供恰當的芯片Vdd值。在優(yōu)選的實施例中，這兩個環(huán)形振蕩 器電路304和306應當彼此緊鄰靠近布置，從而集成電路表面上的任何 不規(guī)則性的影響將被減到最小?？梢酝ㄟ^使用圖3中的線305上的帶隙電壓連接的環(huán)形振蕩器304 的輸出、以及包含著基于來自圖2的電路226的芯片溫度的已知延遲值 的查找表，來測量集成電路的頻率響應(或者集成電路的性能)。這在 圖4中結合電^各325的IR降測量以及電路225的溫度測量來說明。在 IR降測量電路325中，帶隙連接的環(huán)形振蕩器304提供連接到積分電路 414的第二信號，積分電路414從電^各325中的帶隙電壓連接的環(huán)形振 蕩器304取得脈沖信號并將它轉換成電壓，接著該電壓被提供給差分電 ^各416。將差分電-各416的另一輸入線415與來自DA轉換器230的表 示基于測得溫度的預期延遲的延遲電壓信號輸出進行比較。該差分電路 416的輸出表示指示集成電路頻率響應或集成電路的性能的電壓。更為 具體地，提供給復用器418的這個信號表示與針對該溫度的預期的集成 電路性能相比的實際的集成電路性能。如果線415上的預期延遲信號小 于來自積分電路414的延遲信號，則芯片的性能在預期值之下并且應當 提高電壓Vdd。相反，如果線415上的預期延遲大于來自積分電路414 的延遲信號，則芯片的性能在預期值之上并且應當降低電壓Vdd以節(jié)省 功率。圖4還示出本發(fā)明的優(yōu)選的實施例，其結合上述溫度測量電路325 的輸出、IR降測量電路325的輸出以及頻率響應測量。在該實施例中， 溫度測量電路包括查找表地址寄存器400,其通過線402連接到地址計 數器210以提供初始地址或者提供人工改變的溫度，該人工改變的溫度 將導致產生人工改變的電壓縮放信號。同樣，提供查表數據寄存器406，其可以將直接輸入提供進延遲查找表226中。這可用于將項提供進延遲 查找表，或者將旁路數據輸出直接提供給復用器410,復用器410是DA 轉換器230的輸入。通過這種方式，程序員可以直接控制用于計算線428 上的電壓縮放信號的延遲值。DA轉換器230的輸出通過線415直接提 供給差分電路416并且提供給復用器418。通過這種方式，復用器418 可以旁路差分電路416并且只將依賴溫度的表延遲值提供給驅動器 420。驅動器420通過線438連接到寄存器408，其可用于控制線424 上的到求和電路426的信號輸出量。同樣，在電路325中，寄存器432 在線434上4是供可以用于改變從電路325到求和電路426的縮放信號輸 出的量的信號。求和電路426的輸出是線428上的電壓縮放信號并且被 提供給電壓調整器436，電壓調整器436接著提供集成電路電壓(芯片 Vdd ) 440。圖5是表示本發(fā)明的操作的處理流程圖。應當理解，圖5不是表示 軟件執(zhí)行的流程圖，而是表示在本發(fā)明的不同功能單元的操作中前述的 產生電壓縮放信號的同時處理。對圖5中的該流程圖的討論還將分別參 考圖2、圖3和圖4。在開始階段500中，路徑524說明本發(fā)明的不同 方面的同時^f喿作。在步驟502中，熱二極管208通過線506將指示測得 的電路溫度的輸出電壓提供給處理框504。處理框504表示地址計數器 222、 DA轉換器218和電壓比較器212 (圖2中的)在如前述那樣確定 代表電路溫度的數字信號時的操作。參考圖5,在步驟506中在路徑530 上將這種數字溫度提供給延遲查找表，其通過路徑534將代表延遲的數 字信號提供給DA轉換步驟508， DA轉換步驟508結果產生通過路徑 536提供給比較器514的延遲信號電壓。返回到路徑524，如圖4中所討論的那樣，在路徑528中通過線538 將在方框510中測得的頻率響應值提供給積分框512和比較框520二者。 圖4中的積分電路414通過路徑542將頻率響應測量信號提供給比較框 514，該頻率響應測量信號接著與路徑536上的延遲信號進行比較。在 路徑544上提供該比較的結果。返回路徑524，在步驟520中，將來自 連接到芯片電壓源的環(huán)形振蕩器306的IR降測量與連接到帶隙電壓源的環(huán)形振蕩器304的進行比較。路徑540上的輸出表示電壓縮放信號的 IR降部分，并且其在步驟516中與頻率響應進行合并，以產生總的電壓 縮放信號546，該信號546在步驟522中提供給調整器436。應當理解， 電壓縮放信號來自于對溫度、IR降和電路頻率響應的測量的組合。盡管所討論的實施例僅在集成電路上示出單個電壓控制電路，但是 顯然可以使用多個電壓控制電路以將不同電壓提供給集成電路的不同 部分。盡管已示出并討論了本發(fā)明的特定實施例，但是基于此處的教導， 對本領域的普通技術人員而言以下是顯然的，在不偏離本發(fā)明和其廣泛 方面的條件下可以做出改變和修改。由此，所附權利要求書旨在在其范 圍內包括屬于本發(fā)明的實質精神和范圍內的所有這種改變和修改。此 外，應當理解，本發(fā)明僅由所附權利要求書限定。本領域的普通技術人 員應當理解，如果意指指定數目的所提出的權利要求要素，則這種意圖 將在該權利要求中明確地陳述，并且在缺少這種陳述的情況下不存在任 何這種限制。用于非限制的例子，如幫助理解，所附各權利要求包含對 介紹性短語"至少一個"和"一個或多個，，的使用以介紹權利要求要素。 然而，即使當相同的權利要求包括介紹性的短語"一個或多個"或"至 少一個"以及諸如"一"或"一個，，之類的非限定性冠詞時，這種短語 的使用也不應當被解釋成暗示通過非限定性冠詞"一"或"一個"進行 的對權利要求要素的介紹，將包含如此介紹的權利要求要素的任何特定 權利要求限制成只包含一個這種要素的發(fā)明；以上情況對于限定性冠詞 的使用也同樣正確。
權利要求
1.一種用于調整供應給電路的電壓的方法，包括步驟同時測量所述電路內的溫度、IR降以及頻率響應，以及響應于所測量的溫度、IR降以及頻率響應，調節(jié)供應給所述電路的電壓。
2. 根據權利要求1所述的方法，其中所述調節(jié)電壓的步驟包括 結合所述測量的溫度、IR降和頻率響應以形成電壓縮放值的步驟。
3. —種集成電路，包括在所述集成電路內的溫度測量電路， 在所述集成電路內的電壓降測量電路， 在所述集成電路內的頻率測量電路，以及電壓源，其連接到所述集成電路、溫度電路、電壓降電路和頻率測 量電路并且向所述集成電路提供電源。
4. 一種用于調整供應給電路的電壓的方法，包括步驟 測量所述電路內的溫度，使用測量的溫度來訪問事先存儲的指示預測脈沖寬度的脈沖寬度 數據，以及響應于所述預測的脈沖寬度數據，調節(jié)供應給所述電路的電壓。
5. 根據權利要求4所述的方法，其中所述調節(jié)電壓步驟包括測量 所述電路的頻率響應以及將所述測量的頻率響應與所述訪問的事先存 儲的頻率響應數據進行比較。
6. 根據權利要求5所述的方法，其中所述測量電路的頻率響應的 步驟包括從所述電路上所包含的環(huán)形振蕩器接收信號以及確定所述環(huán) 形振蕩器信號的脈沖寬度。
7. 根據權利要求6所述的方法，其中所述調節(jié)電壓步驟包括響應 于所述測量的頻率響應高于所述訪問的事先存儲的脈沖寬度數據而提 高所述電壓，或者響應于所述測量的頻率響應低于所述訪問的事先存儲的脈沖寬度數據而降低所述電壓。
8. 根據權利要求4所述的方法，其中所述調節(jié)電壓步驟包括從可性地調整所述電壓。
9. 一種用于測量電路的溫度的方法，包括步驟 從所述電路上的熱二極管接收第一電壓，通過在每個電路時鐘周期遞增地址來尋址數字溫度表示的表， 將所尋址到的數據轉換成表示所尋址的溫度的第二電壓， 比較所述第一電壓和所述第二電壓，以及 當所述第一電壓和第二電壓相等時提供信號。
10. 根據權利要求9所述的方法，其中所述尋址數字溫度表示的表 的步驟包括選擇性地從可編程寄存器接收輸入。
11. 根據權利要求9所述的方法，其中所述比較所述第一電壓和所 述第二電壓的步驟包括使用來自所述可編程寄存器的輸入替代所述第 二電壓的步驟。
12. —種用于調整從電壓源供應給電路的電壓的方法，包括步驟 從第 一環(huán)形振蕩器接收第 一頻率信號，從第二環(huán)形振蕩器接收第二頻率信號，結合所述第一頻率信號和第二頻率信號以形成電壓縮放信號，以及 將所述電壓縮放信號提供給所述電路電壓源。
13. 根據權利要求12所述的方法，其中所述結合步驟還包括以下 步驟確定所述第一頻率信號和第二頻率信號之間的相位差， 確定所述已結合的第一和第二頻率信號的極性，以及 結合所述相位差和所述極性以形成所述電壓縮;故信號。
14. 一種電子系統(tǒng)，包括 熱二極管，尋址電路，其連接到系統(tǒng)時鐘， 數字溫度表，其連接到所述尋址電路，比較器，其連接到所述數字溫度表和所述熱二極管， 頻率響應表，其連接到所述數字溫度表的輸出， 電壓縮放信號電路，其連接到所述頻率響應表，以及 電壓源，其響應于從所述電壓縮放信號電路接收的電壓縮放信號而 提供電源給所述電子系統(tǒng)。
15. 根據權利要求14所述的電子系統(tǒng)，還包括第一環(huán)形振蕩器，提供連接到所述電壓縮放信號電路的第 一頻率信號。
16. —種電子系統(tǒng)，包括 第一環(huán)形振蕩器， 第二環(huán)形振蕩器，電壓縮放信號電路，其連接到所述第一和第二環(huán)形振蕩器，以及 電壓源，其響應于從所述電壓縮放信號電路接收的電壓縮放信號而 提供電源給所述電子系統(tǒng)。
17. 根據權利要求16所述的電子系統(tǒng)，其中所述電壓縮放信號電 路包括連接到所述第 一環(huán)形振蕩器和所述第二環(huán)形振蕩器的相位檢測 器。
18. —種電子系統(tǒng)，包括 熱二一及管，尋址電路，其連接到系統(tǒng)時鐘，數字溫度表，其連接到所述尋址電路，比較器，其連接到所述數字溫度表和所述熱二極管，頻率響應表，其連接到所述數字溫度表的輸出，第一環(huán)形振蕩器，第二環(huán)形振蕩器，第一電壓縮放信號電路，其連接到所述頻率響應表和所述第一環(huán)形 振蕩器，第二電壓縮放信號電路，其連接到所述第一和第二環(huán)形振蕩器，以及電壓源，其響應于接收自所述第一電壓縮放信號電路的第一電壓縮放信號、以及接收自所述第二電壓縮放信號電路的第二電壓縮放信號， 來提供電源給所述電子系統(tǒng)。
19.根據權利要求18所述的電子系統(tǒng)，還包括連接到所述第一電 壓縮放信號電路的第一縮放寄存器和連接到所述第二電壓縮放信號電 路的第二縮放寄存器。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種用于調整供應給電路的電壓的集成電路、電子系統(tǒng)和方法。在半導體襯底上制作的集成電路中包括測量電路部件。這些測量電路連接到向該集成電路提供電壓源的電壓調整電路。這些測量電路提供信號以控制該電壓調整電路，以便基于在該半導體器件上獲得的測量值來調節(jié)給該集成電路的電壓輸出。這些測量包括半導體襯底上的各位置處的溫度和IR降、以及集成電路的頻率響應。
文檔編號G05F1/565GK101241375SQ200810005719
公開日2008年8月13日 申請日期2008年2月3日 優(yōu)先權日2007年2月6日
發(fā)明者D·K·辛格, F·I·阿塔拉 申請人:國際商業(yè)機器公司