專利名稱：制造機(jī)臺(tái)的監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)處理方法和裝置、監(jiān)控方法和系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及制造機(jī)臺(tái)的監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)處理方法和裝置、監(jiān)控方法和系統(tǒng)。 背景4支術(shù)
半導(dǎo)體集成電路的制造過程中，各工藝步驟所使用的制造機(jī)臺(tái)的性能好 壞是直接影響半導(dǎo)體產(chǎn)品成品率的重要原因之一，因此，每天對(duì)制造機(jī)臺(tái)進(jìn)
行監(jiān)測(cè)和控制是非常有必要的。對(duì)制造機(jī)臺(tái)的監(jiān)測(cè)過程包括測(cè)量在制品， 獲得制造機(jī)臺(tái)的監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)；對(duì)制造機(jī)臺(tái)的控制過程包括根據(jù)制造機(jī)臺(tái)的監(jiān) 測(cè)數(shù)據(jù)判斷制造機(jī)臺(tái)的性能是否符合標(biāo)準(zhǔn)，在制造機(jī)臺(tái)的性能不符合標(biāo)準(zhǔn)時(shí) 調(diào)整制造機(jī)臺(tái)并控制其達(dá)到最佳化。
上述監(jiān)測(cè)過程中，測(cè)量裝置測(cè)量在制品可以得到在制品的性能參數(shù)的測(cè) 量值；上述控制過程中，控制裝置，例如生產(chǎn)執(zhí)行系統(tǒng)(MES, Manufacturing Execution System)根據(jù)監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)是否在預(yù)定范圍內(nèi)來判斷制造機(jī)臺(tái)的性能是 否符合標(biāo)準(zhǔn)，若是則控制制造機(jī)臺(tái)繼續(xù)工作，若否則控制制造機(jī)臺(tái)停止工作。
一些在制品的性能參數(shù)的測(cè)量值在制造機(jī)臺(tái)處理前和處理后是相同的， 例如線寬、線間距等，因此，從測(cè)量裝置得到的測(cè)量值可以直接作為制造機(jī) 臺(tái)的監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)輸入到控制裝置。
但是，還有一些在制品的性能參數(shù)的測(cè)量值在制造機(jī)臺(tái)處理前和處理后 會(huì)發(fā)生變化，在制品在通過制造機(jī)臺(tái)前后需要分別被測(cè)量，如申請(qǐng)?zhí)枮?200510096511.9的中國(guó)發(fā)明專利所述，因此，從測(cè)量裝置得到的測(cè)量值不能直 接作為制造機(jī)臺(tái)的監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)輸入到控制裝置，而是需要對(duì)處理前、處理后的 測(cè)量值進(jìn)行計(jì)算，得到在制品的性能參數(shù)的計(jì)算值，例如厚度、微粒子數(shù)量、 蝕刻率等，才將所獲得的在制品的性能參數(shù)的計(jì)算值作為制造機(jī)臺(tái)的監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)輸入到控制裝置。
目前，制造機(jī)臺(tái)的監(jiān)測(cè)和控制過程是分離的，沒有達(dá)到一體化，也就是 說，還沒有一種裝置可以對(duì)測(cè)量裝置所得到的測(cè)量值進(jìn)行處理，以獲得制造 機(jī)臺(tái)的監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)，并將其輸入至控制裝置中。因此，在制造機(jī)臺(tái)的監(jiān)控過程 中，測(cè)量裝置和控制裝置之間的工作只能是通過人工完成的，例如，監(jiān)測(cè)人 員讀取測(cè)量裝置測(cè)量在制品所得到的性能參數(shù)的測(cè)量值并記錄在無塵室的記 錄本中，必要時(shí)還需要對(duì)測(cè)量值進(jìn)行計(jì)算后再記錄，然后監(jiān)測(cè)人員將測(cè)量值
或計(jì)算值作為監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)輸入到MES中。
此外，由于上述獲得制造機(jī)臺(tái)的監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)是通過人工完成的，這不僅處 理時(shí)間較長(zhǎng)，而且記錄、計(jì)算和輸入都很容易出錯(cuò)，甚至有些監(jiān)測(cè)人員在獲 得錯(cuò)誤的監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)時(shí)，故意不輸入會(huì)使制造機(jī)臺(tái)停止工作的監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)，而直
接輸入正確的監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)，因此MES無法發(fā)現(xiàn)制造機(jī)臺(tái)的性能降低，而使制造 機(jī)臺(tái)繼續(xù)工作，這樣就會(huì)嚴(yán)重影響成品率。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明解決的問題是，提供一種制造機(jī)臺(tái)的監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)處理方法和裝置、 監(jiān)控方法和系統(tǒng)，以使制造機(jī)臺(tái)的監(jiān)測(cè)和控制一體化，同時(shí)提高制造機(jī)臺(tái)的 監(jiān)測(cè)和控制過程的準(zhǔn)確性和時(shí)效性。
為解決上述問題，本發(fā)明提供一種制造機(jī)臺(tái)的監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)處理方法，包括 下述步驟
獲取在制品的性能參數(shù)的測(cè)量值；
判斷所述測(cè)量值是不需要還是需要計(jì)算的測(cè)量值；
若所述測(cè)量值是不需要計(jì)算的測(cè)量值，則將所述在制品的性能參數(shù)的測(cè) 量值作為制造機(jī)臺(tái)的監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)記錄；
若所述測(cè)量值是需要計(jì)算的測(cè)量值，則判斷所述測(cè)量值是制造機(jī)臺(tái)處理 前還是處理后的測(cè)量值；若所述測(cè)量值是制造機(jī)臺(tái)處理前的測(cè)量值，則暫存所述測(cè)量值； 若所述測(cè)量值是制造機(jī)臺(tái)處理后的測(cè)量值，則根據(jù)所述處理后的測(cè)量值
和對(duì)應(yīng)的處理前的測(cè)量值，計(jì)算在制品的性能參數(shù)的計(jì)算值；
將所述在制品的性能參數(shù)的計(jì)算值作為制造機(jī)臺(tái)的監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)記錄。 為解決上述問題，本發(fā)明還提供一種制造機(jī)臺(tái)的監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)處理裝置，包
括
獲取單元，用于獲取在制品的性能參數(shù)的測(cè)量值；
判斷單元，用于判斷所述測(cè)量值是不需要還是需要計(jì)算的測(cè)量值，并且 在所述測(cè)量值是需要計(jì)算的測(cè)量值時(shí)，判斷所述測(cè)量值是制造機(jī)臺(tái)處理前還 是處理后的測(cè)量值；
暫存單元，用于在所述測(cè)量值是制造機(jī)臺(tái)處理前的測(cè)量值時(shí)，暫存所述 測(cè)量值；
計(jì)算單元，用于在所述測(cè)量值是制造機(jī)臺(tái)處理后的測(cè)量值時(shí)，根據(jù)所述 處理后的測(cè)量值和對(duì)應(yīng)的處理前的測(cè)量值，計(jì)算在制品的性能參數(shù)的計(jì)算值；
記錄單元，用于在所述測(cè)量值是不需要計(jì)算的測(cè)量值時(shí)，將所述在制品 的性能參數(shù)的測(cè)量值作為制造機(jī)臺(tái)的監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)記錄，以及在所述測(cè)量值是制 造機(jī)臺(tái)處理后的測(cè)量值時(shí)，將所述在制品的性能參數(shù)的計(jì)算值作為制造機(jī)臺(tái) 的監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)記錄。
為解決上述問題，本發(fā)明還提供一種制造機(jī)臺(tái)的監(jiān)控方法，包括下述步
驟
測(cè)量在制品，獲取在制品的性能參數(shù)的測(cè)量值； 判斷所述測(cè)量值是不需要還是需要計(jì)算的測(cè)量值；
若所述測(cè)量值是不需要計(jì)算的測(cè)量值，則將所述在制品的性能參數(shù)的測(cè) 量值作為制造機(jī)臺(tái)的監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)記錄；
若所述測(cè)量值是需要計(jì)算的測(cè)量值，則判斷所述測(cè)量值是制造機(jī)臺(tái)處理
10前還是處理后的測(cè)量值；
若所述測(cè)量值是制造機(jī)臺(tái)處理前的測(cè)量值，則暫存所述測(cè)量值；
若所述測(cè)量值是制造機(jī)臺(tái)處理后的測(cè)量值，則根據(jù)所述處理后的測(cè)量值
和對(duì)應(yīng)的處理前的測(cè)量值，計(jì)算在制品的性能參數(shù)的計(jì)算值；
將所述在制品的性能參數(shù)的計(jì)算值作為制造機(jī)臺(tái)的監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)記錄； 判斷所述記錄的制造機(jī)臺(tái)的監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)是否在預(yù)定的范圍內(nèi)，若是則控制
制造機(jī)臺(tái)繼續(xù)工作，若否則控制制造機(jī)臺(tái)停止工作。
為解決上述問題，本發(fā)明還提供一種制造機(jī)臺(tái)的監(jiān)控系統(tǒng)，包括 測(cè)量裝置，用于測(cè)量在制品，獲取在制品的性能參數(shù)的測(cè)量值； 監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)處理裝置，用于在所述測(cè)量值是不需要計(jì)算的測(cè)量值時(shí)、將所
述在制品的性能參數(shù)的測(cè)量值作為制造機(jī)臺(tái)的監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)記錄，在所述測(cè)量值
是需要計(jì)算的測(cè)量值并且是制造機(jī)臺(tái)處理前的測(cè)量值時(shí)、暫存所述測(cè)量值，
在所述測(cè)量值是需要計(jì)算的測(cè)量值并且是制造機(jī)臺(tái)處理后的測(cè)量值時(shí)、根據(jù) 所述處理后的測(cè)量值和對(duì)應(yīng)的處理前的測(cè)量值，計(jì)算在制品的性能參數(shù)的計(jì) 算值，并將所述在制品的性能參數(shù)的計(jì)算值作為制造機(jī)臺(tái)的監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)記錄；
控制裝置，用于判斷所述監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)處理裝置記錄的制造機(jī)臺(tái)的監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù) 是否在預(yù)定范圍內(nèi)，若是則控制制造機(jī)臺(tái)繼續(xù)工作，若否則控制制造機(jī)臺(tái)停 止工作。
與現(xiàn)有技術(shù)相比，上述技術(shù)方案提供了一種制造機(jī)臺(tái)的監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)處理裝 置，通過監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)處理裝置與測(cè)量裝置、控制裝置結(jié)合，將制造機(jī)臺(tái)的監(jiān)測(cè) 和控制結(jié)合在一起，進(jìn)而使制造機(jī)臺(tái)的監(jiān)控一體化。另外，制造機(jī)臺(tái)的監(jiān)測(cè) 數(shù)據(jù)的處理是由監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)處理裝置完成的，相較于現(xiàn)有技術(shù)中由人工完成而 言，不僅處理時(shí)間短，而且錯(cuò)誤率也非常低，也就是說，上述技術(shù)方案也可 以提高制造機(jī)臺(tái)的監(jiān)測(cè)和控制過程的準(zhǔn)確性和時(shí)效性。


圖1是本發(fā)明實(shí)施方式的制造機(jī)臺(tái)的監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)處理方法的流程圖2A是本發(fā)明實(shí)施方式的制造機(jī)臺(tái)的監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)處理裝置的結(jié)構(gòu)示意圖； 圖2B是本發(fā)明實(shí)施方式的制造機(jī)臺(tái)的監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)處理裝置的具體結(jié)構(gòu)示 意圖3是本發(fā)明實(shí)施方式的監(jiān)控方法的流程圖; 圖4是本發(fā)明實(shí)施方式的監(jiān)控系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖； 圖5是本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的監(jiān)控系統(tǒng)的工作流程圖； 圖6是本發(fā)明另 一個(gè)實(shí)施例的監(jiān)控系統(tǒng)的工作流程圖。
具體實(shí)施例方式
本發(fā)明實(shí)施方式是通過監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)處理裝置與測(cè)量裝置、控制裝置的結(jié)合， 將制造機(jī)臺(tái)的監(jiān)測(cè)和控制結(jié)合在一起，進(jìn)而使制造機(jī)臺(tái)的監(jiān)控一體化。下面 結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明具體實(shí)施方式
做詳細(xì)的說明。
圖1是本發(fā)明實(shí)施方式的制造機(jī)臺(tái)的監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)處理方法的流程圖，其中， 制造機(jī)臺(tái)用于處理半導(dǎo)體在制品(如晶圓)，其可以是半導(dǎo)體制造過程中使用 的任何一種制造機(jī)臺(tái)，例如，研磨機(jī)臺(tái)、曝光機(jī)臺(tái)、蝕刻機(jī)臺(tái)等。制造機(jī)臺(tái) 的監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)是用于判斷制造機(jī)臺(tái)的性能好壞的參數(shù)，其可以是在制品的性能 參數(shù)的測(cè)量值，例如線寬、線間距等；也可以是在制品的性能參數(shù)的計(jì)算值， 例如厚度差、微粒子數(shù)量差、蝕刻率等。
步驟Sll，獲取在制品的性能參數(shù)的測(cè)量值。在制品的性能參數(shù)的測(cè)量值 是由測(cè)量裝置測(cè)量在制品得到的，例如，測(cè)量在制品的線寬、線間距、厚度、 微粒子數(shù)量等得到的測(cè)量值。另外，若測(cè)量裝置是在制造機(jī)臺(tái)處理在制品前 測(cè)量在制品，則可以將測(cè)量所得到的測(cè)量值的類型標(biāo)記為處理前的測(cè)量值； 若測(cè)量裝置是在制造機(jī)臺(tái)處理在制品后測(cè)量在制品，則可以將測(cè)量所得到的 測(cè)量值的類型標(biāo)記為處理后的測(cè)量值。
步驟S12,判斷所述測(cè)量值是否是需要計(jì)算的測(cè)量值，即判斷所述測(cè)量值
12是需要還是不需要計(jì)算的測(cè)量值，若否則進(jìn)行步驟S13,若是則進(jìn)行步驟S14。
判斷所述測(cè)量值是不需要還是需要計(jì)算的測(cè)量值可以根據(jù)所述性能參數(shù)的類 型來判斷，例如，若在制品的性能參數(shù)的類型為線寬、線間距，則所述測(cè)量 值是不需要計(jì)算的測(cè)量值，若在制品的性能參數(shù)的類型為厚度、微粒子數(shù)量， 則所述測(cè)量值是需要計(jì)算的測(cè)量值。
步驟S13,若所述測(cè)量值是不需要計(jì)算的測(cè)量值，則將所述在制品的性能 參數(shù)的測(cè)量值作為制造機(jī)臺(tái)的監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)記錄。例如，將在制品的線寬的測(cè)量 值、在制品的線間距的測(cè)量值作為制造機(jī)臺(tái)的監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)記錄。
步驟S14,若所述測(cè)量值是需要計(jì)算的測(cè)量值，則判斷所述測(cè)量值是否是 制造機(jī)臺(tái)處理前的測(cè)量值，即所述測(cè)量值是制造機(jī)臺(tái)處理前的測(cè)量值還是處 理后的測(cè)量值，若是則進(jìn)行步驟S15，若否則進(jìn)行步驟S16。判斷所述測(cè)量值 是制造機(jī)臺(tái)處理前還是處理后的測(cè)量值可以根據(jù)所述測(cè)量值的類型來判斷， 即步驟Sll所述的標(biāo)記為處理前的測(cè)量值還是處理后的測(cè)量值。
步驟S15,若所述測(cè)量值是制造機(jī)臺(tái)處理前的測(cè)量值，則暫存所述測(cè)量值。 另外，測(cè)量裝置測(cè)量在制品可能會(huì)得到多個(gè)測(cè)量值，因此，本步驟中，在暫 存每個(gè)測(cè)量值的同時(shí)，還暫存對(duì)應(yīng)于所述測(cè)量值的測(cè)量時(shí)間。例如，在測(cè)量 晶圓厚度時(shí)，不同位置的厚度可能會(huì)不同，測(cè)量裝置會(huì)測(cè)量晶圓的不同位置， 由此即會(huì)得到多個(gè)厚度的測(cè)量值，因此，在暫存晶圓每個(gè)位置的厚度的測(cè)量 值時(shí)，還同時(shí)暫存該測(cè)量值的測(cè)量時(shí)間。
步驟S16,若所述測(cè)量值是制造機(jī)臺(tái)處理后的測(cè)量值，則才艮據(jù)所述處理后 的測(cè)量值和對(duì)應(yīng)的處理前的測(cè)量值，計(jì)算在制品的性能參數(shù)的計(jì)算值。在制 品的性能參數(shù)的計(jì)算值與處理前的性能參數(shù)的測(cè)量值、處理后的性能參數(shù)的 測(cè)量值的關(guān)系可以以計(jì)算公式的形式預(yù)先儲(chǔ)存。例如，在制品的性能參數(shù)的 計(jì)算值為在制品的厚度差，其是在制品通過研磨機(jī)臺(tái)前的厚度的測(cè)量值和通 過研磨機(jī)臺(tái)后的厚度的測(cè)量值之差；在制品的性能參數(shù)的計(jì)算值為蝕刻率，其是在制品通過蝕刻機(jī)臺(tái)前的厚度的測(cè)量值和通過蝕刻機(jī)臺(tái)后的厚度的測(cè)量 值之差除以蝕刻時(shí)間所得到的計(jì)算結(jié)果。.另外，如果有多個(gè)處理前的測(cè)量值， 則可以根據(jù)步驟S15所述暫存的測(cè)量值的測(cè)量時(shí)間來選擇對(duì)應(yīng)的處理前的測(cè) 量值。
步驟S17，將所述在制品的性能參數(shù)的計(jì)算值作為制造機(jī)臺(tái)的監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)記 錄。例如，將在制品的厚度差、在制品的微粒子數(shù)量差、蝕刻率作為制造機(jī) 臺(tái)的監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)記錄。
對(duì)應(yīng)于圖1所示的制造機(jī)臺(tái)的監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)處理方法，圖2A示出了一種制造 機(jī)臺(tái)的監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)處理裝置，包括獲取單元21、判斷單元22、暫存單元23、 計(jì)算單元24和記錄單元25。
獲取單元21,用于獲取在制品的性能參數(shù)的測(cè)量值。在制品的性能參數(shù) 的測(cè)量值是由測(cè)量裝置測(cè)量在制品得到的，獲取單元21通過讀取測(cè)量裝置測(cè) 量在制品得到的值獲取在制品的性能參數(shù)的測(cè)量值。
判斷單元22，用于判斷所述獲取單元21獲取的在制品的性能參數(shù)的測(cè)量 值是不需要還是需要計(jì)算的測(cè)量值，并且在所述測(cè)量值是需要計(jì)算的測(cè)量值 時(shí)，判斷所述測(cè)量值是制造機(jī)臺(tái)處理前還是處理后的測(cè)量值。判斷單元22可 以根據(jù)所述性能參數(shù)的類型判斷所述測(cè)量值是不需要還是需要計(jì)算的測(cè)量 值。判斷單元22可以根據(jù)所述測(cè)量值的類型判斷所述測(cè)量值是制造機(jī)臺(tái)處理 前還是處理后的測(cè)量值。
判斷單元22可以進(jìn)一步包括第一判斷單元221和第二判斷單元222, 如圖2B所示。其中，第一判斷單元221用于判斷所述測(cè)量值是不需要還是需 要計(jì)算的測(cè)量值；第二判斷單元222用于在所述測(cè)量值是需要計(jì)算的測(cè)量值 時(shí)，判斷所述測(cè)量值是制造機(jī)臺(tái)處理前還是處理后的測(cè)量值。
暫存單元23,用于根據(jù)判斷單元22的判斷結(jié)果，在所述測(cè)量值是制造機(jī) 臺(tái)處理前的測(cè)量值時(shí)，暫存所述測(cè)量值。另外，所述暫存單元22還暫存所述測(cè)量值的測(cè)量時(shí)間。
升算單元24,用于根據(jù)判斷單元22的判斷結(jié)果，在所述測(cè)量值是制造機(jī) 臺(tái)處理后的測(cè)量值時(shí)，根據(jù)所述處理后的測(cè)量值和對(duì)應(yīng)的處理前的測(cè)量值， 計(jì)算在制品的性能參數(shù)的計(jì)算值。所述對(duì)應(yīng)的處理前的測(cè)量值可以根據(jù)所述 暫存的測(cè)量值的測(cè)量時(shí)間選擇。
記錄單元25,用于根據(jù)判斷單元22的判斷結(jié)果，在所述測(cè)量值是不需要 計(jì)算的測(cè)量值時(shí)，將所述在制品的性能參數(shù)的測(cè)量值作為制造機(jī)臺(tái)的監(jiān)測(cè)數(shù) 據(jù)記錄，以及在所述測(cè)量值是制造機(jī)臺(tái)處理后的測(cè)量值時(shí)，將所述在制品的 性能參數(shù)的計(jì)算值作為制造機(jī)臺(tái)的監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)記錄。
記錄單元25可以進(jìn)一步包括第一記錄單元251和第二記錄單元252, 如圖2B所示。其中，第一記錄單元251用于在所述測(cè)量值是不需要計(jì)算的測(cè) 量值時(shí)，將所述在制品的性能參數(shù)的測(cè)量值作為制造機(jī)臺(tái)的監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)記錄； 第二記錄單元252，用于在所述測(cè)量值是制造機(jī)臺(tái)處理后的測(cè)量值時(shí)，將計(jì)算 單元24計(jì)算所得的在制品的性能參數(shù)的計(jì)算值作為制造機(jī)臺(tái)的監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)記 錄。
請(qǐng)繼續(xù)參考圖3，其是本發(fā)明實(shí)施方式的監(jiān)控方法的流程圖，所述方法包 括下列步驟
步驟S31,測(cè)量在制品，獲取在制品的性能參數(shù)的測(cè)量值。
步驟S32，判斷所述測(cè)量值是否是需要計(jì)算的測(cè)量值，即判斷所述測(cè)量值 是需要還是不需要計(jì)算的測(cè)量值，若否則進(jìn)行步驟S33,若是則進(jìn)行步驟S34。
步驟S33，若所述測(cè)量值是不需要計(jì)算的測(cè)量值，則將所述在制品的性能 參數(shù)的測(cè)量值作為制造機(jī)臺(tái)的監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)記錄，接著，進(jìn)行步驟S38。
步驟S34,若所述測(cè)量值是需要計(jì)算的測(cè)量值，則判斷所述測(cè)量值是否是 制造機(jī)臺(tái)處理前的測(cè)量值，即所述測(cè)量值是制造機(jī)臺(tái)處理前的測(cè)量值還是處 理后的測(cè)量值，若是則進(jìn)行步驟S35,若否則進(jìn)行步驟S36。步驟S35，若所述測(cè)量值是制造機(jī)臺(tái)處理前的測(cè)量值，則暫存所述測(cè)量值。
步驟S36，若所述測(cè)量值是制造機(jī)臺(tái)處理后的測(cè)量值，則根據(jù)所述處理后
的測(cè)量值和對(duì)應(yīng)的處理前的測(cè)量值，計(jì)算在制品的性能參數(shù)的計(jì)算值。
步驟S37，將所述在制品的性能參數(shù)的計(jì)算值作為制造機(jī)臺(tái)的監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)記 錄。步驟S31至S37對(duì)應(yīng)于上述步驟S11至S17,在此不予重復(fù)說明。
步驟S38,判斷所述記錄的制造機(jī)臺(tái)的監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)是否在預(yù)定的范圍內(nèi)，若 是則進(jìn)行步驟S39,控制制造機(jī)臺(tái)繼續(xù)工作；若否則進(jìn)行步驟S40,控制制造 機(jī)臺(tái)停止工作。其中，預(yù)定的范圍是根據(jù)制造機(jī)臺(tái)的性能標(biāo)準(zhǔn)預(yù)先設(shè)定和儲(chǔ) 存的，若所述記錄的制造機(jī)臺(tái)的監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)在預(yù)定的范圍內(nèi)，則說明制造機(jī)臺(tái) 的性能符合標(biāo)準(zhǔn)，制造機(jī)臺(tái)可以繼續(xù)工作；若所述記錄的制造機(jī)臺(tái)的監(jiān)測(cè)數(shù) 據(jù)超出預(yù)定的范圍，則說明制造機(jī)臺(tái)的性能下降而影響在制品的性能，因此 需要使制造機(jī)臺(tái)停止工作，并對(duì)其進(jìn)行檢查和調(diào)整，以改進(jìn)其性能。
對(duì)應(yīng)于圖3所示的制造機(jī)臺(tái)的監(jiān)控方法，圖4示出了一種制造機(jī)臺(tái)的監(jiān) 控系統(tǒng)，包括測(cè)量裝置41、監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)處理裝置42和控制裝置43。
測(cè)量裝置41,用于測(cè)量在制品，獲取在制品的性能參數(shù)的測(cè)量值。若是 在制造機(jī)臺(tái)處理在制品前測(cè)量在制品，則測(cè)量裝置41可以將測(cè)量所得到的測(cè) 量值的類型標(biāo)記為處理前的測(cè)量值；若是在制造機(jī)臺(tái)處理在制品后測(cè)量在制 品，則測(cè)量裝置41可以將測(cè)量所得到的測(cè)量值的類型標(biāo)記為處理后的測(cè)量值。
監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)處理裝置42,用于讀取所述測(cè)量裝置41測(cè)量得到的在制品的性 能參數(shù)的測(cè)量值；在所述測(cè)量值是不需要計(jì)算的測(cè)量值時(shí)，將所述在制品的 性能參數(shù)的測(cè)量值作為制造機(jī)臺(tái)的監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)記錄；在所述測(cè)量值是需要計(jì)算 的測(cè)量值并且是制造機(jī)臺(tái)處理前的測(cè)量值時(shí)，暫存所述測(cè)量值；在所述測(cè)量 值是需要計(jì)算的測(cè)量值并且是制造機(jī)臺(tái)處理后的測(cè)量值時(shí)，根據(jù)所述處理后 的測(cè)量值和對(duì)應(yīng)的處理前的測(cè)量值，計(jì)算在制品的性能參數(shù)的計(jì)算值；并將 所述在制品的性能參數(shù)的計(jì)算值作為制造機(jī)臺(tái)的監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)記錄。監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)處理裝置41如圖2A所示，上面已有對(duì)應(yīng)詳細(xì)的說明，在此即不予重復(fù)。
控制裝置43，用于判斷監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)處理裝置42記錄的制造機(jī)臺(tái)的監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù) 是否在預(yù)定范圍內(nèi)，若是則控制制造機(jī)臺(tái)繼續(xù)工作，若否則控制制造機(jī)臺(tái)停 止工作。其中，監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)處理裝置42記錄的制造機(jī)臺(tái)的監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)可以記錄在 監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)處理裝置42中，也可以記錄在控制裝置43 (例如MES)中。
另外，所述測(cè)量裝置41可以進(jìn)一步包括第一測(cè)量機(jī)臺(tái)和第二測(cè)量才幾臺(tái) (未圖示)。其中，第一測(cè)量機(jī)臺(tái)用于測(cè)量制造機(jī)臺(tái)處理前的在制品，獲得處 理前在制品的性能參數(shù)的測(cè)量值；第二測(cè)量機(jī)臺(tái)，用于測(cè)量制造機(jī)臺(tái)處理后 的在制品，獲得處理后在制品的性能參數(shù)的測(cè)量值。因此，測(cè)量裝置41可以 不需要標(biāo)記測(cè)量值的類型，監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)處理裝置42可以根據(jù)讀取的是第一測(cè)量 機(jī)臺(tái)的測(cè)量值、還是第二測(cè)量機(jī)臺(tái)的測(cè)量值來判斷是制造機(jī)臺(tái)處理前的測(cè)量 值、還是處理后的測(cè)量值。
下面以制造機(jī)臺(tái)是研磨機(jī)臺(tái)為例說明上述監(jiān)控系統(tǒng)的工作過程，請(qǐng)結(jié)合 參考圖4和圖5:
步驟S51,在晶圓通過研磨機(jī)臺(tái)前(即晶圓被研磨機(jī)臺(tái)處理前)，測(cè)量裝 置41測(cè)量晶圓的厚度。
步驟S52,監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)處理裝置42讀取測(cè)量裝置41測(cè)量所得的晶圓厚度的 測(cè)量值。
步驟S53,晶圓厚度的測(cè)量值是需要計(jì)算的測(cè)量值，并且是研磨機(jī)臺(tái)處理 前的測(cè)量值，監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)處理裝置42暫存該研磨機(jī)臺(tái)處理前的晶圓厚度的測(cè)量 值。
步驟S54,在晶圓通過研磨機(jī)臺(tái)后(即晶圓被研磨機(jī)臺(tái)處理后)，測(cè)量裝 置41測(cè)量晶圓的厚度。
步驟S55，監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)處理裝置42讀取測(cè)量裝置41測(cè)量所得的晶圓厚度的 測(cè)量值。步驟S56,晶圓厚度的測(cè)量值是需要計(jì)算的測(cè)量值，并且是研磨機(jī)臺(tái)處理 后的測(cè)量值，監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)處理裝置42查找到已暫存的研磨機(jī)臺(tái)處理前的測(cè)量值， 并根據(jù)該研磨機(jī)臺(tái)處理后的晶圓厚度的測(cè)量值和研磨機(jī)臺(tái)處理前的晶圓厚度 的測(cè)量值，計(jì)算晶圓厚度的差值。
步驟S57，監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)處理裝置42將計(jì)算所得的晶圓厚度的差值記錄到控 制裝置43中。
步驟S58，控制裝置43判斷所記錄的晶圓厚度的差值是否在預(yù)定的范圍 內(nèi)，若是則進(jìn)行步驟S59,控制裝置43控制研磨機(jī)臺(tái)繼續(xù)工作；若否則進(jìn)行 步驟S60,控制裝置43控制研磨機(jī)臺(tái)停止工作。
上述監(jiān)控系統(tǒng)的工作過程也可以是如圖6所示
步驟S61，在晶圓通過研磨機(jī)臺(tái)前，測(cè)量裝置41測(cè)量晶圓的厚度，并標(biāo) 記測(cè)量值的類型為處理前的測(cè)量值；在晶圓通過研磨機(jī)臺(tái)后，測(cè)量裝置41測(cè) 量晶圓的厚度，并標(biāo)記測(cè)量值的類型為處理后的測(cè)量^f直。
步驟S62，監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)處理裝置42讀取測(cè)量裝置41測(cè)量所得的晶圓厚度的 測(cè)量值。
步驟S63,晶圓厚度的測(cè)量值是需要計(jì)算的測(cè)量值，監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)處理裝置 42根據(jù)測(cè)量裝置41所標(biāo)記的測(cè)量值的類型判斷晶圓厚度的測(cè)量值是否是研磨 機(jī)臺(tái)處理前的晶圓厚度的測(cè)量值，若是則進(jìn)行步驟S64,若否則進(jìn)行步驟S65。
步驟S64,晶圓厚度的測(cè)量值是研磨機(jī)臺(tái)處理前的晶圓厚度的測(cè)量值，監(jiān) 測(cè)數(shù)據(jù)處理裝置42暫存該研磨機(jī)臺(tái)處理前的晶圓厚度的測(cè)量值，返回至步驟 S62。
步驟S65,晶圓厚度的測(cè)量值是研磨機(jī)臺(tái)處理后的晶圓厚度的測(cè)量值，監(jiān) 測(cè)數(shù)據(jù)處理裝置42查找到已暫存的研磨機(jī)臺(tái)處理前的測(cè)量值，并根據(jù)該研磨 機(jī)臺(tái)處理后的晶圓厚度的測(cè)量值和研磨機(jī)臺(tái)處理前的晶圓厚度的測(cè)量值，計(jì) 算晶圓厚度的差值。步驟S66,監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)處理裝置42將計(jì)算所得的晶圓厚度的差值記錄到控 制裝置43-中。
步驟S67,控制裝置43判斷所記錄的晶圓厚度的差值是否在預(yù)定的范圍 內(nèi)，若是則進(jìn)行步驟S68,控制研磨機(jī)臺(tái)繼續(xù)工作；若否則進(jìn)行步驟S69,控 制研磨機(jī)臺(tái)停止工作。
綜上所述，上述技術(shù)方案提供了一種制造機(jī)臺(tái)的監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)處理裝置，通 過監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)處理裝置與測(cè)量裝置、控制裝置結(jié)合，將制造機(jī)臺(tái)的監(jiān)測(cè)和控制 結(jié)合在一起，進(jìn)而使制造機(jī)臺(tái)的監(jiān)控(監(jiān)測(cè)和控制) 一體化。另外，制造機(jī) 臺(tái)的監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)的處理是由監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)處理裝置完成的，相較于現(xiàn)有技術(shù)中由人 工完成而言，不僅處理時(shí)間短，而且錯(cuò)誤率也非常低，也就是說，上述技術(shù) 方案也可以提高制造機(jī)臺(tái)的監(jiān)測(cè)和控制過程的準(zhǔn)確性和時(shí)效性。
本發(fā)明雖然以較佳實(shí)施例公開如上，但其并不是用來限定本發(fā)明，任何 本領(lǐng)域技術(shù)人員在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，都可以做出可能的變動(dòng)和 修改，因此本發(fā)明的保護(hù)范圍應(yīng)當(dāng)以本發(fā)明權(quán)利要求所界定的范圍為準(zhǔn)。
19
權(quán)利要求
1. 一種制造機(jī)臺(tái)的監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)處理方法，其特征在于，包括下述步驟獲取在制品的性能參數(shù)的測(cè)量值；判斷所述測(cè)量值是不需要還是需要計(jì)算的測(cè)量值；若所述測(cè)量值是不需要計(jì)算的測(cè)量值，則將所述在制品的性能參數(shù)的測(cè)量值作為制造機(jī)臺(tái)的監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)記錄；若所述測(cè)量值是需要計(jì)算的測(cè)量值，則判斷所述測(cè)量值是制造機(jī)臺(tái)處理前還是處理后的測(cè)量值；若所述測(cè)量值是制造機(jī)臺(tái)處理前的測(cè)量值，則暫存所述測(cè)量值；若所述測(cè)量值是制造機(jī)臺(tái)處理后的測(cè)量值，則根據(jù)所述處理后的測(cè)量值和對(duì)應(yīng)的處理前的測(cè)量值，計(jì)算在制品的性能參數(shù)的計(jì)算值；將所述在制品的性能參數(shù)的計(jì)算值作為制造機(jī)臺(tái)的監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)記錄。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的制造機(jī)臺(tái)的監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)處理方法，其特征在于，所 述判斷所述測(cè)量值是不需要還是需要計(jì)算的測(cè)量值是根據(jù)所述性能參數(shù)的類 型來判斷的。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的制造機(jī)臺(tái)的監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)處理方法，其特征在于，所 述判斷所述測(cè)量值是制造機(jī)臺(tái)處理前還是處理后的測(cè)量值是根據(jù)所述測(cè)量值 的類型來判斷的。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的制造機(jī)臺(tái)的監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)處理方法，其特征在于，若 所述測(cè)量值是制造機(jī)臺(tái)處理前的測(cè)量值，則還暫存所述測(cè)量值的測(cè)量時(shí)間； 所述對(duì)應(yīng)的處理前的測(cè)量值是根據(jù)所述暫存的測(cè)量值的測(cè)量時(shí)間選擇的。
5. —種制造機(jī)臺(tái)的監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)處理裝置，其特征在于，包括 獲取單元，用于獲取在制品的性能參數(shù)的測(cè)量值；判斷單元，用于判斷所述測(cè)量值是不需要還是需要計(jì)算的測(cè)量值，并且 在所述測(cè)量值是需要計(jì)算的測(cè)量值時(shí)，判斷所述測(cè)量值是制造機(jī)臺(tái)處理前還 是處理后的測(cè)量值；暫存單元，用于在所述測(cè)量值是制造機(jī)臺(tái)處理前的測(cè)量值時(shí)，暫存所述 測(cè)量值；計(jì)算單元，用于在所述測(cè)量值是制造機(jī)臺(tái)處理后的測(cè)量值時(shí)，根據(jù)所述處理后的測(cè)量值和對(duì)應(yīng)的處理前的測(cè)量值，計(jì)算在制品的性能參數(shù)的計(jì)算值；記錄單元，用于在所述測(cè)量值是不需要計(jì)算的測(cè)量值時(shí)，將所述在制品 的性能參數(shù)的測(cè)量值作為制造機(jī)臺(tái)的監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)記錄，以及在所述測(cè)量值是制 造機(jī)臺(tái)處理后的測(cè)量值時(shí)，將所述在制品的性能參數(shù)的計(jì)算值作為制造機(jī)臺(tái) 的監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)記錄。
6. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的制造機(jī)臺(tái)的監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)處理裝置，其特征在于，所 述判斷單元包括第一判斷單元，用于判斷所述測(cè)量值是不需要還是需要計(jì)算的測(cè)量值； 第二判斷單元，用于在所述測(cè)量值是需要計(jì)算的測(cè)量值時(shí)，判斷所述測(cè) 量值是制造機(jī)臺(tái)處理前還是處理后的測(cè)量值。
7. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的制造機(jī)臺(tái)的監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)處理裝置，其特征在于，所 述記錄單元包括第一記錄單元，用于在所述測(cè)量值是不需要計(jì)算的測(cè)量值時(shí)，將所述在 制品的性能參數(shù)的測(cè)量值作為制造機(jī)臺(tái)的監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)記錄；第二記錄單元，用于在所述測(cè)量值是制造機(jī)臺(tái)處理后的測(cè)量值時(shí)，將所 述在制品的性能參數(shù)的計(jì)算值作為制造機(jī)臺(tái)的監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)記錄。
8. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的制造機(jī)臺(tái)的監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)處理裝置，其特征在于，所 述判斷單元根據(jù)所述性能參數(shù)的類型判斷所述測(cè)量值是不需要還是需要計(jì)算 的測(cè)量值。
9. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的制造機(jī)臺(tái)的監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)處理裝置，其特征在于，所 述判斷單元根據(jù)所述測(cè)量值的類型判斷所述測(cè)量值是制造機(jī)臺(tái)處理前還是處 理后的測(cè)量值。
10. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的制造機(jī)臺(tái)的監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)處理裝置，其特征在于，所 述暫存單元還暫存所述測(cè)量值的測(cè)量時(shí)間，所述對(duì)應(yīng)的處理前的測(cè)量值是根 據(jù)所述暫存的測(cè)量值的測(cè)量時(shí)間選擇的。
11. 一種制造機(jī)臺(tái)的監(jiān)控方法，其特征在于，包括下列步驟 測(cè)量在制品，獲取在制品的性能參數(shù)的測(cè)量值；判斷所述測(cè)量值是不需要還是需要計(jì)算的測(cè)量值；若所述測(cè)量值是不需要計(jì)算的測(cè)量值，則將所述在制品的性能參數(shù)的測(cè) 量值作為制造機(jī)臺(tái)的監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)記錄；若所述測(cè)量值是需要計(jì)算的測(cè)量值，則判斷所述測(cè)量值是制造機(jī)臺(tái)處理 前還是處理后的測(cè)量值；若所述測(cè)量值是制造機(jī)臺(tái)處理前的測(cè)量值，則暫存所述測(cè)量值；若所述測(cè)量值是制造機(jī)臺(tái)處理后的測(cè)量值，則根據(jù)所述處理后的測(cè)量值 和對(duì)應(yīng)的處理前的測(cè)量值，計(jì)算在制品的性能參數(shù)的計(jì)算值；將所述在制品的性能參數(shù)的計(jì)算值作為制造機(jī)臺(tái)的監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)記錄；判斷所述記錄的制造機(jī)臺(tái)的監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)是否在預(yù)定的范圍內(nèi)，若是則控制 制造機(jī)臺(tái)繼續(xù)工作，若否則控制制造機(jī)臺(tái)停止工作。
12. 根據(jù)權(quán)利要求11所述的制造機(jī)臺(tái)的監(jiān)控方法，其特征在于，所述判斷所 述測(cè)量值是不需要還是需要計(jì)算的測(cè)量值是根據(jù)所述性能參數(shù)的類型來判斷 的。
13. 根據(jù)權(quán)利要求11所述的制造機(jī)臺(tái)的監(jiān)控方法，其特征在于，所述判斷所 述測(cè)量值是不需要還是需要計(jì)算的測(cè)量值是根據(jù)所述測(cè)量值的類型來判斷 的。
14. 根據(jù)權(quán)利要求11所述的制造機(jī)臺(tái)的監(jiān)控方法，其特征在于，若所述測(cè)量 值是制造機(jī)臺(tái)處理前的測(cè)量值，則還暫存所述測(cè)量值的測(cè)量時(shí)間；所述對(duì)應(yīng) 的處理前的測(cè)量值是根據(jù)所述暫存的測(cè)量值的測(cè)量時(shí)間選擇的。
15. —種制造機(jī)臺(tái)的監(jiān)控系統(tǒng)，其特征在于，包括測(cè)量裝置，用于測(cè)量在制品，獲取在制品的性能參數(shù)的測(cè)量值； 監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)處理裝置，用于在所述測(cè)量值是不需要計(jì)算的測(cè)量值時(shí)、將所 述在制品的性能參數(shù)的測(cè)量值作為制造機(jī)臺(tái)的監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)記錄，在所述測(cè)量值 是需要計(jì)算的測(cè)量值并且是制造機(jī)臺(tái)處理前的測(cè)量值時(shí)、暫存所述測(cè)量值，在所述測(cè)量值是需要計(jì)算的測(cè)量值并且是制造機(jī)臺(tái)處理后的測(cè)量值時(shí)、根據(jù) 所述處理后的測(cè)量值和對(duì)應(yīng)的處理前的測(cè)量值，計(jì)算在制品的性能參數(shù)的計(jì) 算值，并將所述在制品的性能參數(shù)的計(jì)算值作為制造機(jī)臺(tái)的監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)記錄；控制裝置，用于判斷所述監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)處理裝置記錄的制造機(jī)臺(tái)的監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù) 是否在預(yù)定范圍內(nèi)，若是則控制制造機(jī)臺(tái)繼續(xù)工作，若否則控制制造機(jī)臺(tái)停 止工作。
16. 根據(jù)權(quán)利要求15所述的制造機(jī)臺(tái)的監(jiān)控系統(tǒng)，其特征在于，所述監(jiān)測(cè)數(shù) 據(jù)處理裝置包括獲取單元，用于獲取在制品的性能參數(shù)的測(cè)量值；判斷單元，用于判斷所述測(cè)量值是不需要還是需要計(jì)算的測(cè)量值，并且 在所述測(cè)量值是需要計(jì)算的測(cè)量值時(shí)，判斷所述測(cè)量值是制造機(jī)臺(tái)處理前還 是處理后的測(cè)量值；暫存單元，用于在所述測(cè)量值是制造機(jī)臺(tái)處理前的測(cè)量值時(shí)，暫存所述 測(cè)量值；計(jì)算單元，用于在所述測(cè)量值是制造機(jī)臺(tái)處理后的測(cè)量值時(shí)，根據(jù)所述 處理后的測(cè)量值和對(duì)應(yīng)的處理前的測(cè)量值，計(jì)算在制品的性能參數(shù)的計(jì)算值；記錄單元，用于在所述測(cè)量值是不需要計(jì)算的測(cè)量值時(shí)，將所述在制品 的性能參數(shù)的測(cè)量值作為制造機(jī)臺(tái)的監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)記錄，以及在所述測(cè)量值是制 造機(jī)臺(tái)處理后的測(cè)量值時(shí)，將所述在制品的性能參數(shù)的計(jì)算值作為制造機(jī)臺(tái) 的監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)記錄。
17. 根據(jù)權(quán)利要求16所述的制造機(jī)臺(tái)的監(jiān)控系統(tǒng)，其特征在于，所述判斷單元包括 -第一判斷單元，用于判斷所述測(cè)量值是不需要還是需要計(jì)算的測(cè)量值； 第二判斷單元，用于在所述測(cè)量值是需要計(jì)算的測(cè)量值時(shí)，判斷所述測(cè)量值是制造機(jī)臺(tái)處理前還是處理后的測(cè)量值。
18. 根據(jù)權(quán)利要求16所述的制造機(jī)臺(tái)的監(jiān)控系統(tǒng)，其特征在于，所述記錄單 元包括第一記錄單元，用于在所述測(cè)量值是不需要計(jì)算的測(cè)量值時(shí)，將所述在 制品的性能參數(shù)的測(cè)量值作為制造機(jī)臺(tái)的監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)記錄；第二記錄單元，用于在所述測(cè)量值是制造機(jī)臺(tái)處理后的測(cè)量值時(shí)，將所 述在制品的性能參數(shù)的計(jì)算值作為制造機(jī)臺(tái)的監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)記錄。
19. 根據(jù)權(quán)利要求16所述的制造機(jī)臺(tái)的監(jiān)控系統(tǒng)，其特征在于，所述判斷單 元根據(jù)所述性能參數(shù)的類型判斷所述測(cè)量值是不需要還是需要計(jì)算的測(cè)量 值。
20. 根據(jù)權(quán)利要求16所述的制造機(jī)臺(tái)的監(jiān)控系統(tǒng)，其特征在于，所述判斷單 元根據(jù)所述測(cè)量值的類型判斷所述測(cè)量值是制造機(jī)臺(tái)處理前還是處理后的測(cè) 量值。
21. 根據(jù)權(quán)利要求16所述的制造機(jī)臺(tái)的監(jiān)控系統(tǒng)，其特征在于，所述暫存單 元還暫存所述測(cè)量值的測(cè)量時(shí)間，所述對(duì)應(yīng)的處理前的測(cè)量值是根據(jù)所述暫 存的測(cè)量值的測(cè)量時(shí)間選擇的。
22. 根據(jù)權(quán)利要求15所述的制造機(jī)臺(tái)的監(jiān)控系統(tǒng)，其特征在于，所述制造機(jī) 臺(tái)的監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)記錄在監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)處理裝置或者控制裝置中。
23. 根據(jù)權(quán)利要求15所述的制造機(jī)臺(tái)的監(jiān)控系統(tǒng)，其特征在于，所述測(cè)量裝 置包括第一測(cè)量單元，用于測(cè)量制造機(jī)臺(tái)處理前的在制品，獲得處理前在制品的性能參數(shù)的測(cè)量值；第二測(cè)量單元，用于測(cè)量制il機(jī)臺(tái)處理后的在制品，獲得處理后在制品 的性能參數(shù)的測(cè)量值。
全文摘要
一種制造機(jī)臺(tái)的監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)處理方法和裝置、監(jiān)控方法和系統(tǒng)，所述裝置包括獲取單元，獲取在制品的性能參數(shù)的測(cè)量值；判斷單元，判斷測(cè)量值是否是需要計(jì)算的測(cè)量值，并在測(cè)量值是需要計(jì)算的測(cè)量值時(shí)，判斷其是制造機(jī)臺(tái)處理前還是處理后的測(cè)量值；暫存單元，暫存制造機(jī)臺(tái)處理前的測(cè)量值；計(jì)算單元，根據(jù)處理后的測(cè)量值和對(duì)應(yīng)的處理前的測(cè)量值，計(jì)算在制品的性能參數(shù)的計(jì)算值；記錄單元，在測(cè)量值是不需要計(jì)算的測(cè)量值時(shí)，將在制品的性能參數(shù)的測(cè)量值作為制造機(jī)臺(tái)的監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)記錄，在測(cè)量值是制造機(jī)臺(tái)處理后的測(cè)量值時(shí)，將在制品的性能參數(shù)的計(jì)算值作為制造機(jī)臺(tái)的監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)記錄。本發(fā)明可使制造機(jī)臺(tái)的監(jiān)控一體化，并提高了監(jiān)控過程的準(zhǔn)確性和時(shí)效性。
文檔編號(hào)G05B19/048GK101452272SQ20071009440
公開日2009年6月10日 申請(qǐng)日期2007年12月7日 優(yōu)先權(quán)日2007年12月7日
發(fā)明者利 方, 武 李 申請(qǐng)人:中芯國(guó)際集成電路制造(上海)有限公司