專利名稱：：計(jì)算機(jī)系統(tǒng)與處理方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明關(guān)于一種計(jì)算機(jī)系統(tǒng)，特別是關(guān)于一種適用于自動(dòng)化制造環(huán)境的計(jì)算機(jī)整合制造系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
：計(jì)算機(jī)集成制造(ComputerIntegratedManufacturing，CIM)廣泛地使用于半導(dǎo)體裝置的制造，用以控制物料以及信息流程。制造自動(dòng)化可有效且精確地控制物料移動(dòng)(materialmovement)和重要的相關(guān)數(shù)據(jù)，因而降低生產(chǎn)周期、降低浪費(fèi)以及改善產(chǎn)量。即使在一些使用自動(dòng)物料搬運(yùn)系統(tǒng)(AutomatedMaterialHandlingSystem，AMHS)的自動(dòng)化制造環(huán)境中，仍不可避免手動(dòng)搬運(yùn)一些物料。當(dāng)手動(dòng)搬運(yùn)物料時(shí)，可能會(huì)造成物料實(shí)體位置與計(jì)算機(jī)系統(tǒng)中數(shù)據(jù)不一致的風(fēng)險(xiǎn)。換言之，通過計(jì)算機(jī)數(shù)據(jù)追蹤物料的位置并執(zhí)行處理變得越來越不精確，并且會(huì)引起后續(xù)的處理步驟發(fā)生錯(cuò)誤。這種物料不一致所產(chǎn)生的錯(cuò)誤可能會(huì)造成生產(chǎn)周期的延遲、增加返工(rework)與廢料(scrap)并且減少產(chǎn)量。
發(fā)明內(nèi)容為解決所述問題，本發(fā)明的目的是提供一種計(jì)算機(jī)系統(tǒng)，包括剖析器、比較器以及自動(dòng)校正模塊。剖析器用以接收具有詳細(xì)處理工具執(zhí)行數(shù)據(jù)的記錄文件，并且產(chǎn)生具有部分以已知格式所設(shè)置的詳細(xì)處理工具執(zhí)行數(shù)據(jù)的操作記錄。比較器用以接收自動(dòng)化物料追蹤數(shù)據(jù)，并且與操作記錄數(shù)據(jù)進(jìn)行比較。自動(dòng)校正模塊用以當(dāng)自動(dòng)化物料追蹤數(shù)據(jù)與操作記錄數(shù)據(jù)不一致時(shí)，自動(dòng)地校正自動(dòng)化物料追蹤數(shù)據(jù)。根據(jù)所述的計(jì)算機(jī)系統(tǒng)，其中所述比較器還在檢測(cè)到所述自動(dòng)化物料追蹤數(shù)據(jù)與所述操作記錄數(shù)據(jù)之間的不一致時(shí)產(chǎn)生一警告電子郵件。根據(jù)所述的計(jì)算機(jī)系統(tǒng)，其中所述比較器還在檢測(cè)到所述自動(dòng)化物料追蹤數(shù)據(jù)與所述操作記錄數(shù)據(jù)之間的不一致時(shí)產(chǎn)生一不一致報(bào)告。根據(jù)所述的計(jì)算機(jī)系統(tǒng)，其中所述操作記錄包括設(shè)置于所述處理工具的多個(gè)物料載具的多個(gè)獨(dú)特的辨識(shí)器、由每個(gè)所述載具所運(yùn)送的大量物料以及時(shí)間戳記。根據(jù)所述的計(jì)算機(jī)系統(tǒng)，其中所述記錄文件包括一預(yù)定時(shí)間周期的詳細(xì)處理工具數(shù)據(jù)。根據(jù)所述的計(jì)算機(jī)系統(tǒng)，其中所述記錄文件包括實(shí)時(shí)的詳細(xì)處理工具數(shù)據(jù)。此外，本發(fā)明還提供一種處理方法，包括接收具有詳細(xì)處理工具執(zhí)行數(shù)據(jù)的記錄文件，并且產(chǎn)生具有部分以已知格式所設(shè)置的詳細(xì)處理工具執(zhí)行數(shù)據(jù)的操作記錄；接收自動(dòng)化物料追蹤數(shù)據(jù)，并且將自動(dòng)化物料追蹤數(shù)據(jù)與操作記錄數(shù)據(jù)進(jìn)行比較；當(dāng)檢測(cè)到自動(dòng)化物料追蹤數(shù)據(jù)與操作記錄數(shù)據(jù)不一致時(shí)，自動(dòng)地校正自動(dòng)化物料追蹤數(shù)據(jù)。根據(jù)所述的處理方法，還包括當(dāng)檢測(cè)到所述自動(dòng)化物料追蹤數(shù)據(jù)與所述操作記錄數(shù)據(jù)不一致時(shí)產(chǎn)生一警告電子郵件。根據(jù)所述的處理方法，還包括當(dāng)檢測(cè)到所述自動(dòng)化物料追蹤數(shù)據(jù)與所述操作記錄數(shù)據(jù)不一致時(shí)產(chǎn)生一不一致報(bào)告。根據(jù)所述的處理方法，其中產(chǎn)生所述操作記錄包括提供設(shè)置于所述處理工具的多個(gè)物料載具的多個(gè)獨(dú)特的辨識(shí)器、由每個(gè)所述載具所運(yùn)送的大量物料以及時(shí)間戳記。根據(jù)所述的處理方法，其中接收所述記錄文件包括接收具有一預(yù)定時(shí)間周期的詳細(xì)處理工具數(shù)據(jù)的所述記錄文件。根據(jù)所述的處理方法，其中接收所述記錄文件包括接收具有實(shí)時(shí)的詳細(xì)處理工具數(shù)據(jù)的所述記錄文件。通過本發(fā)明的計(jì)算機(jī)系統(tǒng)和處理方法對(duì)數(shù)據(jù)執(zhí)行校正與更新，從而導(dǎo)致產(chǎn)量的增加、較少的廢料并且降低生產(chǎn)周期。圖1顯示根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例所述的制造環(huán)境的簡(jiǎn)化方框圖。圖2顯示根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例所述的在自動(dòng)化制造環(huán)境中，用以校正物料與數(shù)據(jù)不一致的系統(tǒng)與方法的簡(jiǎn)化數(shù)據(jù)流程圖。圖3顯示根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例所述的晶片分類機(jī)記錄文件的部分內(nèi)容。圖4顯示應(yīng)用本發(fā)明實(shí)施例所述的審核算法的流程圖。圖5顯示應(yīng)用本發(fā)明實(shí)施例所述在自動(dòng)化制造環(huán)境中，用以校正物料與數(shù)據(jù)不一致的方法流程圖。其中，附圖標(biāo)記說明如下10制造環(huán)境12、13、14、15、16處理工具20、21、22自動(dòng)物料搬運(yùn)機(jī)24手動(dòng)物料傳送30自動(dòng)化制造環(huán)境32處理工具記錄文件34剖析器36處理工具操作記錄38比較器40MES數(shù)據(jù)42審核算法44比較結(jié)果46結(jié)束48校正程序50不一致報(bào)告52產(chǎn)生并傳送警告電子郵件具體實(shí)施方式為讓本發(fā)明的所述和其它目的、特征、和優(yōu)點(diǎn)能更明顯易懂，下文特舉出優(yōu)選實(shí)施例，并結(jié)合附圖，作詳細(xì)說明如下實(shí)施例圖1顯示根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例所述的制造環(huán)境10的簡(jiǎn)化方框圖。制造環(huán)境10可以為半導(dǎo)體裝置廠或是任何自動(dòng)化或半自動(dòng)化制造環(huán)境，在制造環(huán)境10中物料流程的控制以及關(guān)于物料流程的數(shù)據(jù)的精確度極為重要。在這樣的環(huán)境中，通過不精確的數(shù)據(jù)來辨識(shí)物料的處理與位置可導(dǎo)致產(chǎn)量明顯的減少、物料的交錯(cuò)污染(cross-contamination)、增加生產(chǎn)周期以及產(chǎn)生較多浪費(fèi)的物料(higherproductionofwastedmaterials)。制造環(huán)境10包括多個(gè)處理工具以及設(shè)備12-16。在半導(dǎo)體制造設(shè)備中，處理工具12-16可以為獨(dú)立的設(shè)備或是群組設(shè)備(clustersofequipment)。這些處理工具包括執(zhí)行例如化學(xué)機(jī)械研磨、蝕刻、薄膜制造、光刻、清洗、測(cè)試等步驟的設(shè)備，以在晶片基板上形成半導(dǎo)體裝置。這些處理工具通常會(huì)全自動(dòng)的將晶片覆蓋于例如前開式晶片盒(frontopeningunifiedpods，F(xiàn)OUPs)、前開式運(yùn)輸盒(frontopeningshippingboxes，F(xiàn)OSBs)以及卡式磁帶等介質(zhì)中，并根據(jù)指定的方法執(zhí)行預(yù)定步驟。半導(dǎo)體廠中的物料或晶片通過自動(dòng)物料搬運(yùn)系統(tǒng)(AutomatedMaterialHandlingSystem，AMHS)的自動(dòng)物料搬運(yùn)機(jī)20-22的操作是從處理工具獲取晶片并且將晶片傳送至下一個(gè)處理工具執(zhí)行其它處理。這些自動(dòng)物料搬運(yùn)機(jī)可包括傳送帶(conveyor)、軌道(rail)、高架軌道(overheadtrack)、回轉(zhuǎn)臺(tái)(turntable)、機(jī)器人以及自動(dòng)倉儲(chǔ)系統(tǒng)(stocker)等。制造執(zhí)行系統(tǒng)(manufacturingexecutionsystem，MES)用以追蹤工作進(jìn)展(work-in-progess)以及物料與數(shù)據(jù)流。雖然許多先進(jìn)的制造環(huán)境已經(jīng)自動(dòng)化，但是大部分的制造環(huán)境仍使用某些形式的手動(dòng)物料搬運(yùn)。例如，介于處理工具14與16之間的物料24傳送為手動(dòng)執(zhí)行。例如，在半導(dǎo)體廠中，手動(dòng)搬運(yùn)與輸送晶片仍然常用于工具監(jiān)視或是步驟驗(yàn)證。當(dāng)手動(dòng)搬運(yùn)物料時(shí)，除非操作員小心的更新制造執(zhí)行系統(tǒng)，否則將會(huì)造成制造執(zhí)行系統(tǒng)中的數(shù)據(jù)記錄與物料的實(shí)體位置不一致。圖2顯示根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例所述的系統(tǒng)的簡(jiǎn)化數(shù)據(jù)流程圖，以及校正自動(dòng)化制造環(huán)境30中物料與數(shù)據(jù)不一致的方法。系統(tǒng)30用以實(shí)時(shí)或于預(yù)定時(shí)間周期(例如每天、每四小時(shí)或是每八小時(shí)等)存取處理工具記錄文件32。處理工具記錄文件32中包括物料搬運(yùn)的詳細(xì)執(zhí)行記錄或是執(zhí)行搬運(yùn)的處理工具。記錄文件為自動(dòng)產(chǎn)生的晶片搬運(yùn)設(shè)備的物料內(nèi)容的詳細(xì)說明。圖3顯示根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例所述的處理工具記錄文件32。處理工具記錄文件32記錄搬運(yùn)是由晶片分類機(jī)所執(zhí)行。處理工具記錄文件32作為剖析器(parser)34的輸入，剖析器用以讀取記錄文件的內(nèi)容，且記錄文件通常為私有(proprietary)的數(shù)據(jù)格式。接下來，剖析器選取數(shù)據(jù)并且對(duì)所選取的數(shù)據(jù)進(jìn)行語法分析而產(chǎn)生具有以已知的數(shù)據(jù)格式而設(shè)置的分析數(shù)據(jù)的操作記錄(operationjournal)36。操作記錄36可指出設(shè)置于處理工具的晶片載具、載具中的晶片數(shù)量、相關(guān)的時(shí)間戳記(日期或時(shí)間)以及其它數(shù)據(jù)。例如，操作記錄36可包括下列數(shù)據(jù)星期一5月10日19:39:012005PFB00013910晶片PFF0005013晶片在所述例子中，操作記錄的內(nèi)容指出在2005年5月10日星期一時(shí)，晶片載具PFB000139包括十個(gè)晶片，且晶片載具PFF000501包括三個(gè)晶片。接下來，提供處理工具的處理工具操作記錄至比較器38，與儲(chǔ)存于MES中由制造執(zhí)行系統(tǒng)自動(dòng)產(chǎn)生的數(shù)據(jù)40進(jìn)行比較。比較器38根據(jù)審核算法(checkeralgorithm)42來判斷操作記錄數(shù)據(jù)36與MES數(shù)據(jù)40之間是否為不一致，并且產(chǎn)生比較結(jié)果44。關(guān)于更詳細(xì)的審核算法在圖4中討論。當(dāng)操作記錄數(shù)據(jù)36與MES數(shù)據(jù)40一致時(shí)，代表工具實(shí)際執(zhí)行，且MES數(shù)據(jù)代表自動(dòng)物料搬運(yùn)系統(tǒng)發(fā)生于工具，接下來程序結(jié)束于方框46，直到預(yù)定間隔處的下一個(gè)執(zhí)行疊代(executioniteration)。如上所述，可實(shí)時(shí)或周期性的(例如每四個(gè)小時(shí)、每次變動(dòng)或是每天)進(jìn)行比較。當(dāng)比較結(jié)果顯示MES數(shù)據(jù)與操作記錄數(shù)據(jù)不一致時(shí)，MES數(shù)據(jù)可通過校正程序48執(zhí)行自動(dòng)更新，如此一來便可使操作記錄數(shù)據(jù)與MES數(shù)據(jù)一致。因此，MES數(shù)據(jù)反應(yīng)現(xiàn)實(shí)并且提供晶片設(shè)置的精確圖片。另外可結(jié)合自動(dòng)校正而產(chǎn)生不一致報(bào)告50，并且將不一致報(bào)告50傳送至使用者或操作員。不一致報(bào)告可通過產(chǎn)生警告電子郵件信息52或其它裝置傳送給操作員。不一致警告電子郵件52可能包括下列數(shù)據(jù)對(duì)于PFB000139沒有發(fā)現(xiàn)不匹配的晶片數(shù)@星期一5月10日19:39:012005FOUP中的晶片10pcsMES中的晶片8pcs此警告電子郵件中根據(jù)設(shè)備記錄文件/操作記錄指出在特定的日期及時(shí)間，標(biāo)記為PFC000139的載具包括十個(gè)晶片，但是MES數(shù)據(jù)僅顯示包括八個(gè)晶片。因此，必須注意MES數(shù)據(jù)與操作記錄數(shù)據(jù)之間的不一致。當(dāng)沒有執(zhí)行自動(dòng)校正時(shí)，操作員可手動(dòng)的更新MES數(shù)據(jù)使其符合操作記錄數(shù)據(jù)。圖2所示的元件或函式34、38、44、48、50以及52可以為在計(jì)算機(jī)平臺(tái)上所執(zhí)行的個(gè)別的應(yīng)用程序或是用以執(zhí)行橫跨設(shè)置于分布式架構(gòu)中多個(gè)計(jì)算機(jī)平臺(tái)的多個(gè)模塊。系統(tǒng)可監(jiān)視并且挑出可能發(fā)生于半導(dǎo)體制造廠中所操作的個(gè)別處理工具、部分處理工具或是所有處理工具的錯(cuò)誤。通過這樣的操作方法來檢查MES數(shù)據(jù)或其它用以追蹤物料處理與物料流程的數(shù)據(jù)對(duì)照由處理設(shè)備或工具所產(chǎn)生的數(shù)據(jù)的正確性，當(dāng)發(fā)現(xiàn)不一致時(shí)即可對(duì)MES數(shù)據(jù)執(zhí)行校正與更新。MES數(shù)據(jù)的正確性將導(dǎo)致產(chǎn)量的增加、較少的廢料并且降低生產(chǎn)周期。圖4顯示根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例所述的審核算法42的流程圖。當(dāng)在前開式晶片盒中的晶片編號(hào)被操作記錄36的記錄數(shù)據(jù)辨識(shí)時(shí)，開始步驟54。在步驟56中，前開式晶片盒中的晶片編號(hào)被MES數(shù)據(jù)40辨識(shí)。在步驟58中，審核算法42判斷來自記錄數(shù)據(jù)的前開式晶片盒中的晶片編號(hào)是否與來自MES數(shù)據(jù)的前開式晶片盒中的晶片編號(hào)一致。在步驟60中，當(dāng)來自記錄數(shù)據(jù)的前開式晶片盒中的晶片編號(hào)與MES數(shù)據(jù)的前開式晶片盒中的晶片編號(hào)一致時(shí)，將一致的信息告知比較器，因此終止了處理步驟。在步驟62中，當(dāng)來自記錄數(shù)據(jù)的前開式晶片盒中的晶片編號(hào)與MES數(shù)據(jù)的前開式晶片盒中的晶片編號(hào)不一致時(shí)，將不一致的信息告知比較器，并且執(zhí)行自動(dòng)校正。因此終止處理步驟。圖5顯示根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例所述的在自動(dòng)化制造環(huán)境30中用以校正物料與數(shù)據(jù)不一致的方法流程圖。當(dāng)從處理工具獲取到記錄文件時(shí)，開始步驟66。在步驟68中，剖析器34分析記錄文件而產(chǎn)生操作記錄。在步驟70中，比較器38根據(jù)審核算法42對(duì)MES數(shù)據(jù)40與操作記錄36的數(shù)據(jù)進(jìn)行比較。在步驟72中，審核算法42判斷MES數(shù)據(jù)40與操作記錄36的數(shù)據(jù)是否一致。在步驟74中，當(dāng)MES數(shù)據(jù)40與操作記錄36的數(shù)據(jù)一致時(shí)，將一致的數(shù)據(jù)儲(chǔ)存至數(shù)據(jù)庫中，并且因而終止處理步驟。然而，在步驟76中，當(dāng)MES數(shù)據(jù)40與操作記錄36的數(shù)據(jù)不一致時(shí)，將不一致的數(shù)據(jù)儲(chǔ)存至數(shù)據(jù)庫中。在步驟78中使用不一致的數(shù)據(jù)而對(duì)MES數(shù)據(jù)40執(zhí)行自動(dòng)校正。在步驟80中自動(dòng)產(chǎn)生并且傳送警告郵件，用以通知操作員不一致的信息，并因此終止處理步驟。本發(fā)明雖以優(yōu)選實(shí)施例揭示如上，然而其并非用以限定本發(fā)明的范圍，所屬領(lǐng)域的普通技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，可做些許的更動(dòng)與潤(rùn)飾，因此本發(fā)明的保護(hù)范圍應(yīng)當(dāng)視后附的權(quán)利要求所界定的范圍為準(zhǔn)。權(quán)利要求1.一種計(jì)算機(jī)系統(tǒng)，包括一剖析器，用以接收具有一詳細(xì)處理工具執(zhí)行數(shù)據(jù)的一記錄文件，并且產(chǎn)生具有部分以一已知格式所設(shè)置的所述詳細(xì)處理工具執(zhí)行數(shù)據(jù)的一操作記錄；一比較器，用以接收一自動(dòng)化物料追蹤數(shù)據(jù)，并且與所述操作記錄數(shù)據(jù)進(jìn)行比較；以及一自動(dòng)校正模塊，用以當(dāng)所述自動(dòng)化物料追蹤數(shù)據(jù)與所述操作記錄數(shù)據(jù)不一致時(shí)，自動(dòng)地校正所述自動(dòng)化物料追蹤數(shù)據(jù)。2.如權(quán)利要求1所述的計(jì)算機(jī)系統(tǒng)，其中所述比較器還在檢測(cè)到所述自動(dòng)化物料追蹤數(shù)據(jù)與所述操作記錄數(shù)據(jù)之間的不一致時(shí)產(chǎn)生一警告電子郵件。3.如權(quán)利要求1所述的計(jì)算機(jī)系統(tǒng)，其中所述比較器還在檢測(cè)到所述自動(dòng)化物料追蹤數(shù)據(jù)與所述操作記錄數(shù)據(jù)之間的不一致時(shí)產(chǎn)生一不一致報(bào)告。4.如權(quán)利要求1所述的計(jì)算機(jī)系統(tǒng)，其中所述操作記錄包括設(shè)置于所述處理工具的多個(gè)物料載具的多個(gè)獨(dú)特的辨識(shí)器、由每個(gè)所述載具所運(yùn)送的大量物料以及時(shí)間戳記。5.如權(quán)利要求1所述的計(jì)算機(jī)系統(tǒng)，其中所述記錄文件包括一預(yù)定時(shí)間周期的詳細(xì)處理工具數(shù)據(jù)。6.如權(quán)利要求1所述的計(jì)算機(jī)系統(tǒng)，其中所述記錄文件包括實(shí)時(shí)的詳細(xì)處理工具數(shù)據(jù)。7.一種處理方法，適用于具有編碼的計(jì)算機(jī)可讀取介質(zhì)，包括如下步驟接收具有一詳細(xì)處理工具執(zhí)行數(shù)據(jù)的一記錄文件，并且產(chǎn)生具有部分以一已知格式所設(shè)置的所述詳細(xì)處理工具執(zhí)行數(shù)據(jù)的一操作記錄；接收一自動(dòng)化物料追蹤數(shù)據(jù)，并且將所述自動(dòng)化物料追蹤數(shù)據(jù)與所述操作記錄數(shù)據(jù)進(jìn)行比較；當(dāng)檢測(cè)到所述自動(dòng)化物料追蹤數(shù)據(jù)與所述操作記錄數(shù)據(jù)不一致時(shí)，自動(dòng)地校正所述自動(dòng)化物料追蹤數(shù)據(jù)。8.如權(quán)利要求7所述的處理方法，還包括當(dāng)檢測(cè)到所述自動(dòng)化物料追蹤數(shù)據(jù)與所述操作記錄數(shù)據(jù)不一致時(shí)產(chǎn)生一警告電子郵件。9.如權(quán)利要求7所述的處理方法，還包括當(dāng)檢測(cè)到所述自動(dòng)化物料追蹤數(shù)據(jù)與所述操作記錄數(shù)據(jù)不一致時(shí)產(chǎn)生一不一致報(bào)告。10.如權(quán)利要求7所述的處理方法，其中產(chǎn)生所述操作記錄包括提供設(shè)置于所述處理工具的多個(gè)物料載具的多個(gè)獨(dú)特的辨識(shí)器、由每個(gè)所述載具所運(yùn)送的大量物料以及時(shí)間戳記。11.如權(quán)利要求7所述的處理方法，其中接收所述記錄文件包括接收具有一預(yù)定時(shí)間周期的詳細(xì)處理工具數(shù)據(jù)的所述記錄文件。12.如權(quán)利要求7所述的處理方法，其中接收所述記錄文件包括接收具有實(shí)時(shí)的詳細(xì)處理工具數(shù)據(jù)的所述記錄文件。全文摘要一種計(jì)算機(jī)系統(tǒng)與處理方法，該計(jì)算機(jī)系統(tǒng)包括剖析器、比較器以及自動(dòng)校正模塊。剖析器用以接收具有詳細(xì)處理工具執(zhí)行數(shù)據(jù)的記錄文件，并且產(chǎn)生具有部分以已知格式所設(shè)置的詳細(xì)處理工具執(zhí)行數(shù)據(jù)的操作記錄。比較器用以接收自動(dòng)化物料追蹤數(shù)據(jù)，并且與操作記錄數(shù)據(jù)進(jìn)行比較。自動(dòng)校正模塊用以當(dāng)自動(dòng)化物料追蹤數(shù)據(jù)與操作記錄數(shù)據(jù)不一致時(shí)，自動(dòng)地校正自動(dòng)化物料追蹤數(shù)據(jù)。通過本發(fā)明的計(jì)算機(jī)系統(tǒng)和處理方法對(duì)數(shù)據(jù)執(zhí)行校正與更新，從而導(dǎo)致產(chǎn)量的增加、較少的廢料并且降低生產(chǎn)周期。文檔編號(hào)G05B19/418GK101034289SQ20071000517公開日2007年9月12日申請(qǐng)日期2007年2月15日優(yōu)先權(quán)日2006年3月8日發(fā)明者張永政,傅學(xué)士申請(qǐng)人:臺(tái)灣積體電路制造股份有限公司